JP2013545893A5

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Info

Publication number: JP2013545893A5
Application number: JP2013535294A
Authority: JP
Filing date: 2011-10-06
Publication date: 2014-11-13

Claims

酸化モリブデンを有する少なくとも１つのモリブデン含有層を含む被膜において、前記酸化モリブデンが実質的に一酸化モリブデンであることを特徴とする被膜。
前記被膜は、実質的に一酸化モリブデンを含む少なくとも１つの酸化モリブデン層を含み、前記一酸化モリブデン層のＸ線回折（ＸＲＤ）スペクトルは実質的にＭｏＯ₂ピークもＭｏＯ₃ピークも示さないことを特徴とする請求項１に記載の被膜。
前記被膜は、少なくとも１つの窒化モリブデン層を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の被膜。
前記被膜は、モリブデン窒素結合と酸化モリブデン結合とを含むＭｏ−Ｎ−Ｏ層を少なくとも１つ含み、実質的にモリブデン原子は、最大１つの酸素原子と化合物を形成し、前記被膜中に好ましくは一酸化モリブデンを含有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の被膜。
前記Ｍｏ−Ｎ−Ｏ層は、窒化モリブデン層と一酸化モリブデン層との間にあることを特徴とする請求項４に記載の被膜。
前記Ｍｏ−Ｎ−Ｏ層中の原子濃度割合は、以下の式により表され、すなわち、
Ｍｏ_z（Ｎ_dＯ_e）で、
ｅは、前記Ｍｏ−Ｎ−Ｏ層中の酸素原子濃度であり、
ｄは、前記Ｍｏ−Ｎ−Ｏ層中の窒素原子濃度であり、
ｚは、前記Ｍｏ−Ｎ−Ｏ層中のモリブデン原子濃度であり、
ｚ≧ｙである
ことを特徴とする請求項４または５に記載の被膜。
前記Ｍｏ−Ｎ−Ｏ層は漸進的な層であり、前記Ｍｏ−Ｎ−Ｏ層の基板に近い境界面から表面に近い境界面に向かって、窒素濃度は低下し、酸素濃度は上昇することを特徴とする請求項４、５または６に記載の被膜。
前記Ｍｏ−Ｎ−Ｏ層は漸進的な層であり、前記Ｍｏ−Ｎ−Ｏ層の基板に近い境界面から表面に近い境界面に向かって、酸素濃度は低下し、窒素濃度は上昇することを特徴とする請求項４、５または６に記載の被膜。
前記被膜は、請求項７に記載の被膜を少なくとも１つと、請求項８に記載の被膜を少なくとも１つ含むことを特徴とする請求項４、５または６に記載の被膜。
前記被膜は、ＭｏＯ₃を有する被覆層を有することを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の被膜。
基体と前記Ｍｏ含有層との間に、少なくとも１つの付着層および／または少なくとも１つの機能層が析出されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の被膜。
少なくとも１つのＭｏ含有層は、とりわけ非常に良好な機械安定性を有し、（Ｍｏ_1-x，Ｍｅ_x）Ａ_aＢ_bＣ_cを含有し、
０≦ｘ≦０．９９で、好ましくは０≦ｘ≦０．５であり、
Ｍｅは、Ｗ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｎｂ、Ａｇ、ＣｕおよびＶの群の１つの金属またはこの群の２つ以上の金属の組み合わせであり、
Ａは、０．５≦ａ≦１の窒素（Ｎ）であり、
Ｂは、０≦ｂ≦０．５の炭素（Ｃ）であり、
Ｃは、０≦ｃ≦０．５の酸素（Ｏ）であり、
ａ、ｂおよびｃは元素Ｎ、ＣおよびＯ間のａｔ％（原子百分率）を示し、ａ＋ｂ＋ｃ＝１であり、これ以外の追加的な元素を設けることもできるが、好ましくは設けず、ｘ≧ｃであることを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の被膜。
少なくとも１つのＭｏ含有層は、とりわけ非常に良好な潤滑剤特性および滑り特性を有し、（Ｍｏ_1-y，Ｍｅ_y）Ａ_uＢ_vＣ_wを含有し、
０≦ｙ≦０．９９で、好ましくは０≦ｙ≦０．５であり、
Ｍｅは、Ｗ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｎｂ、Ａｇ、ＣｕおよびＶの群の１つの金属またはこの群の２つ以上の金属の組み合わせであり、
Ａは、０≦ｕ≦０．５の窒素であり、
Ｂは、０≦ｖ≦０．５の炭素であり、
Ｃは、０．５≦ｗ≦１の酸素であり、
ｕ、ｖおよびｗは元素Ｎ、ＣおよびＯ間のａｔ％を示し、ｕ＋ｖ＋ｗ＝１であり、これ以外の追加的な元素を設けることもできるが、好ましくは設けず、ｙ≧ｗであることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の被膜。
前記被膜は、少なくとも１つの請求項１２に記載の第１層と、１つの請求項１３に記載の第２層とを含むことを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載の被膜。
請求項１から１４のいずれか１項に記載の被膜を作り出すためのＰＶＤ（物理的蒸着法）またはＰＶＤとＣＶＤ（化学的蒸着法）とを組み合わせた方法において、前記一酸化モリブデンを含む層中の前記一酸化モリブデンは、スパーク蒸発を用いて析出されることを特徴とする方法。
請求項１から１５のいずれか１項に記載の被膜を作り出すためのＰＶＤ方法において、前記モリブデン含有層は、反応雰囲気中で少なくとも１つのモリブデン含有ターゲットをスパーク蒸発させることにより作り出されることを特徴とする方法。
被膜を備えた構成部品において、前記被膜が上記請求項１から１４のいずれか１項に記載の被膜であることを特徴とする構成部品。
金属または合金製の構成部品を作るために請求項１７に記載の被膜がなされた工具の応用において、前記被膜により、前記工具の被膜した表面への、加工した金属または合金の油性染みの発生が低減または好ましくは完全に回避されることを特徴とする応用。