JP2013541836A - 疑似容量性エネルギ貯蔵のためのナノ構造体電極 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】陽極酸化処理されたアルミナ(AAO)基板であるナノ多孔性テンプレート基板を用いて、高い格納エネルギ密度を有する疑似コンデンサが形成される。核形成層を用いる、原子層堆積、化学気相堆積、もしくは電気化学堆積またはこれらの組み合わせによって、疑似容量性材料がAAO基板の側壁沿いに共形的に堆積される。壁上の疑似容量性材料の厚さは、堆積処理において正確に制御が可能である。AAOはエッチングされて、PC材料のナノチューブのアレイが形成され、該ナノチューブは円筒形状でキャビティをその中に有し構造的にロバストである。足場としての機能を果たしたAAO基板が除去されるので、活性なPC材料だけが残され、これにより質量当たりのエネルギが最大化される。さらに、ナノチューブを基板から切り離し、ランダムな方向を有する個別のナノチューブを導電性基板上に堆積して、疑似コンデンサの電極を形成することができる。
【選択図】図3
Description
Claims (25)
- 電極を含むエネルギ貯蔵デバイスであって、前記電極は、導電性基板上に配置された複数の疑似容量性ナノシリンダを含み、各疑似容量性ナノシリンダは、疑似容量性材料を含み、キャビティを中に有する、前記エネルギ貯蔵デバイス。
- 各疑似容量性ナノシリンダ中の前記キャビティは、その疑似容量性ナノシリンダに密閉されていない、請求項1に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記各疑似容量性ナノシリンダは、その一端に開口を有し、前記開口は前記キャビティに切れ目なくつながれている、請求項1に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記複数の疑似容量性ナノシリンダの側壁は、前記導電性基板の表面に対し垂直である、請求項1に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記各疑似容量性ナノシリンダは、穴部を中に含まない端末キャップ部分を有し、その疑似容量性ナノシリンダの側壁の全体内外周に切れ目なくつながれている外部末端表面を有する、請求項4に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記外部末端表面の全体が前記導電性基板に接している、請求項5に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記各疑似容量性ナノシリンダは、前記複数の容量性ナノシリンダの他のどれとも横方向に間を置かれて接触していない、請求項4に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記各疑似容量性ナノシリンダは、その疑似容量性ナノシリンダの両端部分に所在する2つの開口を有する、請求項4に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記複数の容量性ナノシリンダの各々は、各容量性ナノシリンダの末端にある平面の疑似容量性材料層を介して切れ目なく相互につながれている、請求項4に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記平面の疑似容量性材料層は、少なくとも、前記複数の疑似容量性ナノシリンダ間での疑似容量性ナノシリンダの合計数だけの数の穴部を中に有する、請求項9に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記複数の疑似容量性ナノシリンダの方向性がランダム化されている、請求項1に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記各疑似容量性ナノシリンダは、その疑似容量性ナノシリンダの両端部分に所在する2つの開口を有する、請求項11に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記疑似容量性材料は、酸化マンガン、酸化ルテニウム、酸化ニッケル、およびこれらの組み合わせから選択される、請求項1に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記電極に接触していない別の電極をさらに含み、導電性の材料を包含する、請求項1に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 前記電極と前記別の電極との間に所在する電解溶液と、
前記電解溶液中に組み込まれたセパレータと、
をさらに含み、
イオンが、前記電極と前記別の電極とにまたがる印加電気バイアスの下で、前記セパレータを通過して移動し、前記セパレータはこれを通る電子の移動を阻む、
請求項14に記載のエネルギ貯蔵デバイス。 - 前記複数の疑似容量性ナノシリンダは、疑似容量性材料である官能基によって被覆される、請求項1に記載のエネルギ貯蔵デバイス。
- 複数の疑似容量性ナノシリンダを製造する方法であって、
複数の穴部を中に有する陽極酸化アルミナ基板上に疑似容量性材料層を堆積するステップと、
前記陽極酸化アルミナ基板の表面を露出するステップと、
前記陽極酸化アルミナ基板を除去するステップであって、前記疑似容量性材料層の残存部分から複数の疑似容量性ナノシリンダが形成される、前記除去するステップと、
を含む前記方法。 - 前記疑似容量性材料層は、原子層堆積(ALD)によって形成される、請求項17に記載の方法。
- 前記疑似容量性材料層を堆積するに先立って、前記陽極酸化アルミナ基板を導電性基板の上に配置するステップをさらに含み、前記疑似容量性材料層は前記導電性基板の表面上に堆積される、請求項17に記載の方法。
- 前記陽極酸化アルミナ基板の前記表面は、前記導電性基板に接していない方の、前記疑似容量性材料層の端面平面部分を除去することによって露出される、請求項19に記載の方法。
- 前記複数の疑似容量性ナノシリンダは、前記導電性基板の表面に対し垂直な側壁を有する疑似容量性ナノシリンダのアレイとして形成される、請求項19に記載の方法。
- 前記疑似容量性材料層を堆積するに先立って、前記陽極酸化アルミナ基板を使い捨て基板の上に配置するステップをさらに含み、前記疑似容量性材料層が前記使い捨て基板の表面上に堆積される、請求項17に記載の方法。
- 前記疑似容量性材料層と前記陽極酸化アルミナ基板とのアセンブリから前記使い捨て基板を除去するステップと、
前記アセンブリを導電性基板に取り付けるステップであって、前記陽極酸化アルミナ基板の表面が前記取り付けステップの後で露出される、前記取り付けるステップと、
をさらに含む、請求項22に記載の方法。 - 前記疑似容量性材料層と前記陽極酸化アルミナ基板とのアセンブリから前記使い捨て基板を除去するステップと、
前記複数の疑似容量性ナノシリンダを導電性基板の上に配置するステップであって、前記複数の疑似容量性ナノシリンダの方向性は配置時にランダム化される、前記配置するステップと、
をさらに含む、請求項22に記載の方法。 - 前記複数の疑似容量性ナノシリンダを、疑似容量性材料である官能基によって被覆するステップをさらに含む、請求項17に記載の方法。
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