JP2013533893A5 - - Google Patents

Description

[0169]これまでのところ、記載された非自己画像化可能ノルボルネン型ポリマーは、浸漬リソグラフィープロセスのために、浸漬リソグラフィープロセスにおいてホトレジスト層に上層するトップコートを形成するために、このようなポリマーを製造する方法、このようなポリマーを用いた組成物およびこのような組成物を利用する浸漬リソグラフィープロセスのために有用であるということが理解されるはずである。
本願は以下の発明を包含する。
［項目１］ 非自己画像化可能ポリマーであって、式Ｉ：

［式中、ｎは、０〜５までの整数であり；Ｒ ^１ 、Ｒ ^２ 、Ｒ ^３ およびＲ ^４ は、各々独立して、水素、線状または分枝状アルキル基、線状または分枝状ハロアルキル基、または式Ａ、式Ｂおよび式Ｃ：

（式中、Ｚは、１１未満のｐＫ _ａ を有するブロンステッド（Bronsted）酸基であり；Ｙは、ＯまたはＳであり；ｔは、０〜５の整数であり；ｐは、０〜３の整数であり；ｑは、各々独立して、１〜３の整数であり；Ｒ ^＊ は、独立して、水素、メチル基またはエチル基であり；そして式Ｂおよび式Ｃ中のＡは各々、上に定義の式Ａによって表される基である）
によって表される基の一つである］
によって表されるノルボルネン型反復単位を含み；但し、少なくとも一つのノルボルネン型反復単位について、Ｒ ^１ 〜Ｒ ^４ の一つは、式Ａ、式Ｂまたは式Ｃの一つによって表される基であるという条件付きである非自己画像化可能ポリマー。
［項目２］ Ｚが、式Ｄ、式Ｅまたは式Ｆ：

（式中、Ｒ ^ｆ は、独立して、Ｃ _ｎ Ｑ _２ｎ＋１ であり、ここにおいて、Ｑは、独立して、ＦまたはＨであり；但し、少なくとも一つのＱはＦであるという条件付きであり；そしてここにおいて、ｎは、独立して、１〜４の整数である）
によって表される基の一つより選択される、項目１に記載の非自己画像化可能ポリマー。
［項目３］ Ｙが、酸素である、項目２に記載の非自己画像化可能ポリマー。
［項目４］ Ｚが、式Ｄによって表される基である、項目３に記載の非自己画像化可能ポリマー。
［項目５］ 前記最初のノルボルネン型反復単位とは異なる少なくとも一つの追加のノルボルネン型反復単位を更に含む、項目３に記載の非自己画像化可能ポリマー。
［項目６］ Ｚが、式Ｄによって表される基である、項目５に記載の非自己画像化可能ポリマー。
［項目７］ ２，０００〜８０，０００の分子量（Ｍ _Ｗ ）を有する、項目３に記載の非自己画像化可能ポリマー。
［項目８］ 非自己画像化可能ポリマーを製造する方法であって、
反応容器に、最初のノルボルネン型モノマーであって、式Ｉ：

［式中、ｎは、０〜５までの整数であり；Ｒ ^１ 、Ｒ ^２ 、Ｒ ^３ およびＲ ^４ は、各々独立して、水素、線状または分枝状アルキル基、線状または分枝状ハロアルキル基、または式Ａ、式Ｂおよび式Ｃ：

（式中、Ｚは、１１未満のｐＫ _ａ を有する Bronsted 酸基であり；Ｙは、ＯまたはＳであり；ｔは、０〜５の整数であり；ｐは、０〜３の整数であり；ｑは、各々独立して、１〜３の整数であり；Ｒ ^＊ は、独立して、水素、メチル基またはエチル基であり；そして式Ｂおよび式ＣのＡは各々、上に定義の式Ａによって表される基である）
によって表される基の一つである］
によって表され；但し、少なくとも一つのノルボルネン型反復単位について、Ｒ ^１ 〜Ｒ ^４ の一つは、式Ａ、式Ｂまたは式Ｃの一つによって表される基であるという条件付きであるノルボルネン型モノマーを入れ、
更に、反応容器に、適当な溶媒、触媒を入れ、さらに任意の助触媒を入れてもよく；
反応容器内容物に撹拌を行って、反応溶液を形成させ；そして
溶液に、熱および連続撹拌を、前記最初のノルボルネン型モノマーの重合を引き起こすのに十分な時間行うこと
を含む方法。
［項目９］ 反応容器に、一つまたはそれを超える他のノルボルネン型モノマーであって、前記最初のノルボルネン型モノマーとは構造的に異なっている該他のモノマーを入れることを更に含む、項目８に記載の方法。
［項目１０］ トップコート組成物であって、項目４に記載の非自己画像化可能ポリマーおよび流延用溶媒を含むトップコート組成物。

Claims (11)

1. 以下：
   

   

   から成る群より選択されるノルボルネン型反復単位を含む、非自己画像化ポリマー。
2. 式：
   

   

   のノルボルネン型反復単位を含む、請求項１に記載の非自己画像化ポリマー。
3. 式：
   

   

   を有するモノマーから誘導されるノルボルネン型反復単位を更に含む、請求項２に記載の非自己画像化ポリマー。
4. 式：
   

   

   を有するモノマーから誘導されるノルボルネン型反復単位を更に含む、請求項２に記載の非自己画像化ポリマー。
5. 式：
   

   

   を有するモノマーから誘導されるノルボルネン型反復単位を更に含む、請求項２に記載の非自己画像化ポリマー。
6. 式：
   

   

   を有するモノマーから誘導されるノルボルネン型反復単位を更に含む、請求項２に記載の非自己画像化ポリマー。
7. ノルボルネン型反復単位から成る非自己画像化ホモポリマーであって、ポリマーの反復単位は、以下：
   

   

   から成る群より選択される構造式のうちの１つである、前記非自己画像化ホモポリマー。
8. ホモポリマーが、構造式：
   

   

   を有するノルボルネン型反復単位から成る、請求項７に記載の非自己画像化ホモポリマー。
9. ホモポリマーが、構造式：
   

   

   を有するノルボルネン型反復単位から成る、請求項７に記載の非自己画像化ホモポリマー。
10. ポリマーが、構造式：
    

    

    を有するノルボルネン型反復単位から成るホモポリマーである、請求項７に記載の非自己画像化ホモポリマー。
11. ホモポリマーが、構造式：
    

    

    を有するノルボルネン型反復単位から成る、請求項７に記載の非自己画像化ホモポリマー。