JP2013523553A - 流体供給装置 - Google Patents

Abstract

本発明は、製造システムで使用される流体を貯蔵するための内部容器と、内側に前記内部容器が位置する外部容器と、前記内部容器に貯蔵された流体を製造システムに供給するための第１連結ユニットが設置され、前記外部容器に結合される連結部と、を含み、前記外部容器は、前記連結部と前記内部容器が連通するように連結されるための通路機構を含み、製造システムに流体を供給するとき、前記通路機構が重力方向に向かうように、製造システムに備えられた設置面に向かうように設置される流体供給装置に関するもので、本発明によれば、製造システムに流体を供給する作業後に、内部容器に残っている流体の残量を減らすことによって、材料費の損失などを減らすことができ、使い捨ての消耗品であるディップチューブの構成を省略することによって、作業の便宜性及び作業の安全性を向上させると共に、製造単価及び維持コストを節減することができる。
【選択図】図４

Description

本発明は、流体を貯蔵することができ、貯蔵された流体を供給するための流体供給装置に関する。

半導体素子などの電子部品、液晶表示装置（ＬＣＤ、Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）などのディスプレイ装置、バイオ産業、製薬産業、太陽光産業などの製造システムでは流体供給装置が使用される。例えば、前記流体供給装置は、前記製造システムにおいて使用されるフォトレジスト、エッチング剤、化学気相蒸着反応剤、溶媒、ウェハ及び器具洗浄剤、化学機械的研磨組成物などのような流体を前記製造システムに供給することができる。

図１は、従来技術に係る流体供給装置の概略的な断面図で、図２は、従来技術に係る流体供給装置に密封機構とキャップが結合された状態を示す概略的な断面図である。図２は、図１の拡大図を基準として従来技術に係る流体供給装置に密封機構及びキャップが結合された状態を示したものである。

図１を参考すると、従来技術に係る流体供給装置１０は、内部容器１１、外部容器１２、連結部１３、及びディップチューブ１４を含む。

前記内部容器１１には、前記製造システム１００において使用される流体が貯蔵されることができる。前記内部容器１１は、前記外部容器１２の内側に位置するように設置される。前記内部容器１１は、前記連結部１３に連通するように連結され、これによって、前記内部容器１１に貯蔵された流体は、前記連結部１３を通じて前記製造システム１００に供給されることができる。

前記外部容器１２には、内側に前記内部容器１１が位置される。前記外部容器１２は、前記連結部１３が結合されるための通路部材１２１を含み、前記通路部材１２１を通じて前記連結部１３と連通するように連結される。すなわち、前記外部容器１２は、全体的に円筒形状に形成されることができ、前記通路部材１２１により一側が開放されるように形成されることができる。

前記連結部１３は、前記外部容器１２に結合され、前記外部容器１２及び前記内部容器１１のそれぞれに連通するように連結される。前記連結部１３には、前記内部容器１１に連通するように連結される第１連結ユニット１５、及び前記外部容器１２に連通するように連結される第２連結ユニット１６がそれぞれ結合される。前記第１連結ユニット１５は、前記製造システム１００に連結され、前記内部容器１１に貯蔵された流体は、前記ディップチューブ１４、前記連結部１３、及び前記第１連結ユニット１５を通じて前記製造システム１００に供給されることができる。前記第２連結ユニット１６は、気体供給源２００に連結され、前記気体供給源２００から供給された気体は、前記第２連結ユニット１６及び前記連結部１３を通じて、前記内部容器１１の外側と前記外部容器１２の内側との間の空間Ａに供給されることができる。前記内部容器１１と前記外部容器１２との間の空間Ａに供給された気体は、前記内部容器１１に力を加えることができ、これによって、前記内部容器１１が圧縮されながら、前記内部容器１１に貯蔵された流体が排出されることができる。

前記連結部１３は、結合部材１３１、連結部材１３２、支持部材１３３、プローブ１３４、及び継ぎ部材１３５を含む。

前記結合部材１３１は、内側に前記通路部材１２１が位置するように前記外部容器１２に締結される。前記結合部材１３１の内周面に形成された雌ねじと前記外部容器１２の外周面に形成された雄ねじとの結合により、前記結合部材１３１は、前記外部容器１２に締結される。前記結合部材１３１は、第１連結孔１３１１を含む。前記第２連結ユニット１６から供給される気体は、前記第１連結孔１３１１を通じて前記内部容器１１と前記外部容器１２との間の空間Ａに供給されることができる。

前記連結部材１３２は、内側に前記結合部材１３１が位置するように前記結合部材１３１に締結される。前記連結部材１３２の内周面に形成された雌ねじと前記結合部材１３１の外周面に形成された雄ねじとの結合により、前記連結部材１３２は、前記結合部材１３１に締結される。

前記支持部材１３３は、前記結合部材１３１に支持されて前記連結部材１３２の内側に位置するように設置され、前記プローブ１３４を支持する。前記支持部材１３３は、第２連結孔１３３１を含む。前記第２連結ユニット１６から供給される気体は、前記第２連結孔１３３１及び前記第１連結孔１３１１を通じて、前記内部容器１１と前記外部容器１２との間の空間Ａに供給されることができる。

前記プローブ１３４は、一側が前記内部容器１１に連通するように連結され、他側が前記第１連結ユニット１５に連通するように連結される。前記プローブ１３４は、前記支持部材１３３及び前記結合部材１３１を貫通して一側が前記内部容器１１に連通するように連結され、前記支持部材１３３に支持されるように設置される。前記内部容器１１に貯蔵された流体は、前記ディップチューブ１４、前記プローブ１３４、及び前記第１連結ユニット１５を通じて前記製造システム１００に供給されることができる。

前記継ぎ部材１３５には、一側に前記ディップチューブ１４が結合され、他側に前記プローブ１３４が結合される。前記プローブ１３４は、前記継ぎ部材１３５を通じて前記ディップチューブ１４に連通するように連結され、前記ディップチューブ１４を通じて前記内部容器１１に連通するように連結されることができる。

前記ディップチューブ１４は、前記内部容器１１の内側に位置するように設置される。前記ディップチューブ１４は、前記内部容器１１の上側から下側に向かう方向（矢印Ｂ方向）に長く形成されることができる。前記ディップチューブ１４は、一側が前記プローブ１３４に連通するように連結され、他側が前記内部容器１１の下側に位置するように前記継ぎ部材１３５に結合される。前記内部容器１１に貯蔵された流体は、前記内部容器１１の下側から前記ディップチューブ１４の内部に移動され、前記ディップチューブ１４及び前記継ぎ部材１３５を通じて前記プローブ１３４に移動された後、前記第１連結ユニット１５を通じて前記製造システム１００に供給されることができる。

図１及び図２を参考すると、従来技術に係る流体供給装置１０は、密封機構１７及びキャップ１８をさらに含む。従来技術に係る流体供給装置１０が、前記内部容器１１に流体が貯蔵された状態で、前記製造システム１００が位置している場所に運搬される過程で、前記密封機構１７及び前記キャップ１８は、前記内部容器１１から流体が排出されないようにする。すなわち、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記製造システム１００に流体を供給するための機能に加えて、流体を貯蔵するための機能及び流体を運搬するための機能をさらに具現するために、前記密封機構１７及び前記キャップ１８を含む。

前記密封機構１７は、前記結合部材１３１に結合され、これによって、前記内部容器１１に貯蔵された流体が外部に排出されないように密封する。前記プローブ１３４が前記密封機構１７を貫通して前記継ぎ部材１３５に連通するように連結されることによって、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記製造システム１００に流体を供給するための状態になることができる。

前記キャップ１８は、前記結合部材１３１に締結される。前記キャップ１８の内周面に形成された雌ねじと前記結合部材１３１の外周面に形成された雄ねじとの結合により、前記キャップ１８は、前記結合部材１３１に締結され得る。前記キャップ１８は、前記密封機構１７上に位置するように前記結合部材１３１に締結され、これによって、外力により前記密封機構１７が任意に損傷することを防止できる。

ここで、従来技術に係る流体供給装置１０は、次のような問題がある。

第一に、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記製造システム１００に流体を供給するとき、前記通路部材１２１が上側に向かうように、前記製造システム１００に備えられた設置面３００に設置される。これによって、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記内部容器１１の下側に位置した流体が、前記ディップチューブ１４を通じて上側に移動して前記内部容器１１から排出される。すなわち、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記内部容器１１に貯蔵された流体が、重力方向（矢印Ｂ方向）に対して反対方向に移動して前記内部容器１１から排出される。したがって、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記内部容器１１に貯蔵された流体を前記製造システム１００に供給した後、前記内部容器１１にかなりの量の流体が残ることになってしまい、材料費の損失などが生じるという問題がある。

第二に、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記ディップチューブ１４を用いて前記内部容器１１に貯蔵された流体を前記製造システム１００に供給するが、前記ディップチューブ１４は、一回の使用後に交替または洗浄を必要とする使い捨ての消耗品に該当する。したがって、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記ディップチューブ１４に対する交替、洗浄作業などのために追加作業が要求されるという問題があり、前記ディップチューブ１４に対する交替、洗浄作業などのために追加コストが生じるという問題がある。

第三に、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記連結部１３がかなりの個数の構成からなる。これによって、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記連結部１３を組み立てる作業が複雑で且つ煩わしいという問題がある。また、前記連結部１３をなす各構成の間に前記製造システム１００に供給される流体及び前記第２連結ユニット１６から供給される気体が漏洩することを防止するために、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記連結部１３をなす各構成の個数に相応する個数でオーリング（Ｏ−ｒｉｎｇ）のような密封部材を備えなければならないという問題がある。

第四に、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記製造システム１００に流体を供給するための機能を行う場合、前記連結部１３が結合された状態でなければならず、流体を貯蔵するための機能及び流体を運搬するための機能を行う場合、前記密封機構１７と前記キャップ１８とが結合された状態でなければならない。したがって、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記製造システム１００の運営者が前記キャップ１８を分離し、前記連結部１３を結合させる追加作業を行わなければならないという問題がある。

第五に、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記内部容器１１に貯蔵された流体を重力方向（矢印Ｂ方向）に対して反対方向に移動させるために、前記内部容器１１と前記外部容器１２との間の空間Ａに供給された気体が、前記内部容器１１にかなりの力を加えなければならない。そのため、従来技術に係る流体供給装置１０は、前記内部容器１１に過度な力が加わることによって前記内部容器１１が損傷する危険があるという問題がある。

本発明は、上述したような問題点を解決するために案出されたもので、本発明の目的は、製造システムに流体を供給する作業後に、内部容器に残っている流体の残量を減らすことができ、使い捨ての消耗品であるディップチューブの構成を省略することによって、作業の便宜性及び作業の安全性を向上させ、維持コストを節減できる流体供給装置を提供することにある。

本発明の他の目的は、製造システムに流体を供給するのに必要な構成要素の個数を減らすことができ、これによって、各構成要素の間に流体と気体が漏洩することを防止するための密封部材の個数を減らすことができる流体供給装置を提供することにある。

本発明の更に他の目的は、流体を貯蔵するための機能、流体を運搬するための機能、及び製造システムに流体を供給するための機能を構成要素の変更なしに具現することができ、流体が貯蔵された内部容器が損傷する危険を減らすことができる流体供給装置を提供することにある。

上述したような目的を達成するために、本発明は、下記のような構成を含むことができる。

本発明に係る流体供給装置は、製造システムで使用される流体を貯蔵するための内部容器と、内側に前記内部容器が位置する外部容器と、前記内部容器に貯蔵された流体を製造システムに供給するための第１連結ユニットが設置され、前記外部容器に結合される連結部と、を含むことができる。前記外部容器は、前記連結部と前記内部容器が連通するように連結されるための通路機構を含み、製造システムに流体を供給するとき、前記通路機構が重力方向に向かうように、製造システムに備えられた設置面に向かうように設置されることができる。

本発明によれば、次のような効果を得ることができる。

本発明は、製造システムに流体を供給する作業後に、内部容器に残っている流体の残量を減らすことによって材料費の損失などを減らすことができ、使い捨ての消耗品であるディップチューブの構成を省略することによって、作業の便宜性を向上させると共に、製造単価及び維持コストを節減できる効果を図ることができる。

従来技術に係る流体供給装置の概略的な断面図である。 従来技術に係る流体供給装置に密封機構及びキャップが結合された状態を示す概略的な断面図である。 本発明に係る流体供給装置の概略的な斜視図である。 本発明に係る流体供給装置の概略的な断面図である。 本発明に係る流体供給装置において結合機構及びプローブ機構の概略的な分解斜視図である。 本発明に係る流体供給装置において結合機構及びプローブ機構の概略的な分解断面図である。 本発明に係る流体供給装置において連結部の概略的な結合斜視図である。 本発明の変形された実施例に係る流体供給装置において連結部の概略的な結合斜視図である。 本発明に係る流体供給装置において第２連結ユニットから供給される気体が移動される経路を示す概略図である。 本発明の一実施例に係る内部容器の概略的な正面図である。 図１０のＧ−Ｇ線に沿う断面図である。 本発明の他の実施例に係る内部容器の概略的な正面図である。 図１２のＨ−Ｈ線に沿う断面図である。

以下では、本発明に係る流体供給装置の好適な実施例を添付の図面を参照して詳細に説明する。

図３は、本発明に係る流体供給装置の概略的な斜視図で、図４は、本発明に係る流体供給装置の概略的な断面図で、図５は、本発明に係る流体供給装置において結合機構及びプローブ機構の概略的な分解斜視図で、図６は、本発明に係る流体供給装置において結合機構及びプローブ機構の概略的な分解断面図で、図７は、本発明に係る流体供給装置において連結部の概略的な結合斜視図で、図８は、本発明の変形された実施例に係る流体供給装置において連結部の概略的な結合斜視図で、図９は、本発明に係る流体供給装置において第２連結ユニットから供給される気体が移動される経路を示す概略図で、図１０は、本発明の一実施例に係る内部容器の概略的な正面図で、図１１は、図１０のＧ−Ｇ線に沿う断面図で、図１２は、本発明の他の実施例に係る内部容器の概略的な正面図で、図１３は、図１２のＨ−Ｈ線に沿う断面図である。

図３及び図４を参考すると、本発明に係る流体供給装置１は、内部容器２、外部容器３、及び連結部４を含む。

前記内部容器２には、製造システム１００に使用される流体が貯蔵されることができる。前記内部容器２は、前記外部容器３の内側に位置するように設置される。前記内部容器２は、前記連結部４に連通するように連結され、これによって、前記内部容器２に貯蔵された流体は、前記連結部４を通じて前記製造システム１００に供給されることができる。前記製造システム１００は、半導体素子などの電子部品、液晶表示装置などのディスプレイ装置、バイオ産業、製薬産業、太陽光産業などに使われる製造システム１００であってもよく、本発明に係る流体供給装置１は、前記製造システム１００において使われるフォトレジスト、エッチング剤、化学気相蒸着反応剤、溶媒、ウェハ及び器具洗浄剤、化学機械的研磨組成物などのような流体を前記製造システム１００に供給することができる。

前記外部容器３には、その内側に前記内部容器２が位置する。前記外部容器３は、外力により前記内部容器２が損傷することを防止できるように十分な強度を持つ材質で形成されることができ、例えば、金属材質、プラスチック材質などで形成されることができる。

前記外部容器３は、前記連結部４と前記内部容器２が連通するように連結されるための通路機構３１を含むことができる。前記外部容器３は、全体的に円筒形状に形成されることができ、前記通路機構３１により一側が開放されるように形成されることができる。本発明に係る流体供給装置１が前記製造システム１００に流体を供給するとき、前記外部容器３は、前記通路機構３１が前記製造システム１００に備えられた設置面３００に向かうように設置されることができる。これによって、本発明に係る流体供給装置１が前記製造システム１００に流体を供給するとき、前記通路機構３１は、重力方向（矢印Ｂ方向）に向かうことができる。すなわち、本発明に係る流体供給装置１は、前記通路機構３１が下側方向（矢印Ｂ方向）に向かうように位置された状態で前記製造システム１００に流体を供給することができる。これによって、前記内部容器２に貯蔵された流体は、重力方向（矢印Ｂ方向）に移動されて前記内部容器２から排出されることができ、前記連結部４を通じて前記製造システム１００に供給されることができる。したがって、本発明に係る流体供給装置１は、次のような作用効果を図ることができる。

第一に、従来技術による流体供給装置は、前記内部容器に貯蔵された流体が重力方向（矢印Ｂ方向）に対して反対方向に移動されて前記内部容器から排出されるため、流体を前記製造システム１００に供給した後、前記内部容器にかなりの量の流体が残っていることになり、材料費の損失などが生じるという問題がある。

これとは異なり、本発明に係る流体供給装置１は、前記内部容器２に貯蔵された流体が重力方向（矢印Ｂ方向）に移動されて前記内部容器２から排出される。したがって、本発明に係る流体供給装置１は、従来技術による流体供給装置と比較するとき、前記内部容器２に貯蔵された流体を前記製造システム１００に供給した後、前記内部容器２に残ることになる流体の残量を減らすことができ、これによって、材料費の損失などを減らすことができる。

第二に、従来技術による流体供給装置は、前記内部容器に貯蔵された流体が重力方向（矢印Ｂ方向）に対して反対方向に移動されて前記内部容器から排出されるため、使い捨ての消耗品である前記ディップチューブを必要とすることで、前記ディップチューブに対する交替、洗浄などのための追加作業及び追加コストが生じるという問題がある。

これに対して、本発明に係る流体供給装置１は、前記内部容器２に貯蔵された流体が重力方向（矢印Ｂ方向）に移動されて前記内部容器２から排出されるため、使い捨ての消耗品である前記ディップチューブの構成を省略でき、ディップチューブと前記連結部４を連結するための継ぎ部材の構成も省略することができる。したがって、本発明に係る流体供給装置１は、従来技術による流体供給装置と比較するとき、作業の便宜性を向上させることができ、製造単価及び維持コストを節減することができる。

第三に、従来技術による流体供給装置は、前記内部容器に貯蔵された流体を重力方向（矢印Ｂ方向）に対して反対方向に移動させるために前記内部容器をかなりの力で圧縮させなければならず、この過程で前記内部容器に過度な力が加わり、前記内部容器が損傷する危険が大きいという問題がある。前記内部容器が損傷すると、前記内部容器に貯蔵された流体が前記外部容器に漏洩することによって材料費の損失などが生じるという問題がある。また、前記内部容器が損傷すると、前記内部容器の内部に異物が流入することがあり、これによって、前記内部容器に残っている流体の残量に関係なく、前記内部容器に貯蔵された流体を廃棄させなければならないので、材料費の損失などがさらに生じうるという問題がある。例えば、前記製造システムに所定の液体を供給する場合、前記内部容器が損傷すると、前記内部容器へ気体が流入し、前記内部容器に貯蔵された液体にバブル（ｂｕｂｂｌｅ）などが生じることがあり、これによって、前記内部容器に残っている液体の残量に関係なく、前記内部容器に貯蔵された液体を廃棄させなければならないという問題がある。

これとは異なり、本発明に係る流体供給装置１は、前記内部容器２に貯蔵された流体が重力方向（矢印Ｂ方向）に移動されて前記内部容器２から排出されるので、前記内部容器２を圧縮させなくても、または前記内部容器２を相対的に小さな力で圧縮させても前記内部容器２に貯蔵された流体を前記内部容器２から排出させることができる。したがって、従来技術による流体供給装置と比較するとき、本発明に係る流体供給装置１は、前記内部容器２に過度な力が加わり前記内部容器２が損傷する危険を減らすことができる。また、前記内部容器２が損傷する危険を減らすことによって、本発明に係る流体供給装置１は、前記内部容器２に貯蔵された流体が前記外部容器３へ漏洩することを防止でき、前記内部容器２に異物が流入することを防止でき、異物の流入によって上述したようなバブルなどが発生することを防止することができる。したがって、本発明に係る流体供給装置１は、材料費の損失などが生じることを防止することができ、作業の安全性を向上させることができる。

第四に、従来技術による流体供給装置は、上述したように、ディップチューブを必要とするが、前記ディップチューブが損傷すると、前記ディップチューブを通じて前記製造システムに供給される流体に異物が混入することがあり、異物が混入することによって上述したようなバブルなどが発生するという問題がある。

これに対して、本発明に係る流体供給装置１は、上述したように、ディップチューブの構成を省略できるので、ディップチューブが損傷することによって生じる問題を根本的に遮断することができる。したがって、本発明に係る流体供給装置１は、材料費の損失などが生じることを防止することができ、作業の安全性を向上させることができる。

第五に、図１の拡大図に示されたように、従来技術による流体供給装置１０は、前記内部容器１１が前記通路部材１２１に結合されるが、前記内部容器１１に貯蔵された流体が有する重量により前記内部容器１１が前記通路部材１２１から分離される危険があるという問題がある。前記内部容器１１が前記通路部材１２１から分離されると、前記内部容器１１に貯蔵された流体が前記外部容器１２へ漏洩し、前記内部容器１１に異物が流入することがあり、前記内部容器１１に流入した異物によって上述したようなバブルなどが生じるという問題がある。

これとは異なり、本発明に係る流体供給装置１は、図４の拡大図に示されたように、前記内部容器２に貯蔵された流体が有する重量を前記通路機構３１と前記内部容器２とに分散させることができ、前記内部容器２において前記通路機構３１の外側に位置された部分が前記外部容器３に支持されることができるので、前記内部容器２に貯蔵された流体が有する重量により前記内部容器２が前記通路機構３１から分離される危険を減らすことができる。したがって、本発明に係る流体供給装置１は、前記内部容器２が前記通路機構３１から分離されることによって材料費の損失などが生じることを防止することができ、作業の安全性を向上させることができる。

図３及び図４を参考すると、前記通路機構３１は、第１締結部材３１１、通路部材３１２、及び連結機構３１３を含むことができる。

前記第１締結部材３１１は、前記外部容器３の一側から突出するように形成されることができる。前記第１締結部材３１１は、全体的に中空の円筒形状に形成されることができる。前記第１締結部材３１１によって前記外部容器３は一側が開放されるように形成されることができる。前記第１締結部材３１１には前記連結部４が締結されることができ、前記第１締結部材３１１の外面には雄ねじが形成されることができる。

前記通路部材３１２は、前記第１締結部材３１１の内側に位置するように前記第１締結部材３１１に結合されることができる。前記通路部材３１２は、前記通路部材３１２の中央側において前記通路部材３１２を貫通して形成された設置孔を含むことができる。前記連結機構３１３は、前記設置孔に位置するように前記通路部材３１２に結合されることができる。前記通路部材３１２は、連通孔３１２１を含むことができる。前記連通孔３１２１は、前記設置孔の外側に位置するように前記通路部材３１２を貫通して形成されることができる。前記連通孔３１２１は、前記内部容器２の外側と前記外部容器３の内側との間の空間Ａに連通するように連結されることができ、前記第１締結部材３１１に締結された前記連結部４に連通するように連結されることができる。前記通路部材３１２には前記連通孔３１２１が複数形成されてもよい。

前記連結機構３１３は、前記設置孔に位置するように前記通路部材３１２に結合されることができる。前記連結機構３１３は、前記連結機構３１３の中央側において前記連結機構３１３を貫通して形成された結合孔を含むことができる。前記連結部４は、前記結合孔を通じて前記連結機構３１３を貫通して前記内部容器２に連通するように連結されることができる。前記連結機構３１３には前記内部容器２が結合されることができる。前記内部容器２は、前記内部容器２において流体が貯蔵される内側空間Ｃが、前記内部容器２の外側と前記外部容器３の内側との間の空間Ａと連通しないように、前記連結機構３１３に結合されることができる。前記連結機構３１３は、所定の弾性力を有する弾性材質で形成されることができ、前記連結部４において前記結合孔を貫通した部分に弾性的に密着して、前記連結機構３１３と前記連結部４との間を密封することができる。

図４乃至図６を参考すると、前記連結部４は、前記内部容器２に連通するように前記外部容器３に結合される。前記連結部４には、前記内部容器２に貯蔵された流体を前記製造システム１００に供給するための第１連結ユニット５が設置される。前記内部容器２に貯蔵された流体は、前記連結部４と前記第１連結ユニット５を通じて前記製造システム１００に供給されることができる。前記連結部４は、結合機構４１及びプローブ機構４２を含むことができる。

図４乃至図６を参考すると、前記結合機構４１は前記外部容器３に結合されることができる。前記結合機構４１には前記プローブ機構４２が結合されることができる。前記プローブ機構４２は、前記結合機構４１を貫通して前記内部容器２に連通するように連結されることができる。そのために、前記結合機構４１は、貫通孔４１１（図５に示される）を含み、前記貫通孔４１１は、前記結合機構４１を貫通して形成されることができる。前記結合機構４１は、支持部材４１２及び第２締結部材４１３を含むことができる。

前記支持部材４１２は、前記プローブ機構４２を支持することができる。前記支持部材４１２は、前記結合機構４１の内周面において前記貫通孔４１１が形成された方向に突出するように形成されることができ、これによって、前記結合機構４１に結合された前記プローブ機構４２を支持することができる。前記プローブ機構４２は、前記支持部材４１２に支持され、前記結合機構４１に結合されることができる。

前記第２締結部材４１３は、前記第１締結部材３１１に締結されることができ、これによって、前記結合機構４１は、前記外部容器３に結合されることができる。前記第２締結部材４１３は、前記結合機構４１において前記貫通孔４１１が形成された内側面に形成されることができる。前記結合機構４１は、前記第１締結部材３１１に形成された雄ねじに締結可能なように、雌ねじが形成された前記第２締結部材４１３を含むことができる。

図４乃至図６を参考すると、前記プローブ機構４２は、一側が前記内部容器２に連通するように連結され、他側が前記第１連結ユニット５に連通するように連結されることができる。前記プローブ機構４２は、前記結合機構４１に結合されることができる。前記プローブ機構４２は、第１流入孔４２１、通路孔４２２及び突出部材４２３を含むことができる。

前記第１流入孔４２１は、前記通路孔４２２に連通するように形成され、前記プローブ機構４２の一端４２aに形成されることができる。前記内部容器２に貯蔵された流体は、前記第１流入孔４２１を通じて前記通路孔４２２へ移動可能である。

前記通路孔４２２は、前記第１流入孔４２１に連通するように前記プローブ機構４２の内側に形成されることができる。前記通路孔４２２は、前記第１流入孔４２１を通じて流入した流体が前記第１連結ユニット５へ移動されるための流路として機能することができる。前記通路孔４２２は、前記プローブ機構４２の長手方向に長く形成されることができ、全体的に円筒形状に形成されることができる。前記連結ユニット５は、前記通路孔４２２に連通するように前記プローブ機構４２に結合されることができる。

前記突出部材４２３は、前記支持部材４１２に支持されることができる。前記突出部材４２３は、前記通路孔４２２の外側方向に突出するように形成されることができる。前記突出部材４２３は、全体的に円盤状に形成されることができるが、これに限定されず、前記貫通孔４１１に挿入可能で、前記支持部材４１２に支持されることができる形態であれば、他の形状に形成されてもよい。

図４及び図７に示されたように、本発明に係る流体供給装置１は、前記結合機構４１に結合される支持機構Ｓを含むことができる。前記プローブ機構４１は、前記突出部材４２３の一面が前記支持部材４１２に支持され、前記突出部材４２３の他面が前記支持機構Ｓに支持されることによって前記結合機構４１に結合されることができる。図示されていないが、前記プローブ機構４２は、前記結合機構４１に締結によって結合されてもよい。この場合、前記プローブ機構４２の外周面には雄ねじが形成され、前記結合機構４１の内周面には雌ねじが形成されることができる。

上述したように、本発明に係る流体供給装置１は、従来技術による流体供給装置と比較するとき、前記連結部４をなす構成の個数を減らすことができる。具体的に説明すると、図１に示されたように、従来技術による流体供給装置１０は、前記連結部１３が、前記結合部材１３１、前記連結部材１３２、前記支持部材１３３、前記プローブ１３４、及び前記継ぎ部材１３５を含んでなる。これとは異なり、本発明に係る流体供給装置１は、図４に示されたように、前記連結部４が、前記結合機構４１と前記プローブ機構４２を含んでなるので、従来技術による流体供給装置と比較するとき、前記連結部４をなす構成の個数を減らすことができる。したがって、本発明に係る流体供給装置１は、前記連結部４を簡単に構成することによって、前記連結部４を組み立てる作業を単純化することができ、前記連結部４を組み立てるのにかかる時間を減らすことができる。また、本発明に係る流体供給装置１は、前記連結部４をなす構成の個数を減らすことによって、従来技術による流体供給装置と比較するとき、前記連結部４をなす構成の間を密封するためのオーリング（Ｏ−ｒｉｎｇ）のような密封部材の個数を減らすことができる。

図４乃至図６を参考すると、前記プローブ機構４２は、第２流入孔４２４をさらに含むことができる。

前記第２流入孔４２４は、前記通路孔４２２に連通するように形成されることができ、前記プローブ機構４２の側壁を貫通して形成されることができる。前記内部容器２に貯蔵された流体は、前記第１流入孔４２１と前記第２流入孔４２４を通じて前記通路孔４２２へ移動されることができ、前記通路孔４２２を経て前記第１連結ユニット５を通じて前記製造システム１００に供給されることができる。

前記第２流入孔４２４は、前記プローブ機構４２の一端４２aから他端４２ｂに向かう方向（矢印Ｂ方向）に、前記第１流入孔４２１から所定の距離だけ離隔した位置に形成されることができる。図４に示されたように、前記プローブ機構４２は、前記第１流入孔４２１と前記第２流入孔４２４が前記内部容器２の内側に位置するように設置されることができ、前記第２流入孔４２４は、前記第１流入孔４２１から下側方向（矢印Ｂ方向）に所定距離だけ離隔した位置に位置するように形成されることができる。すなわち、前記第２流入孔４２４は、前記第１流入孔４２１よりも前記通路機構３１にさらに近く位置されることができる。したがって、本発明に係る流体供給装置１は、前記内部容器２に貯蔵された流体を前記製造システム１００に供給した後、前記内部容器２に残ることになる流体の残量をさらに減らすことができる。これを具体的に説明すると、次の通りである。

前記内部容器２に貯蔵された流体が前記製造システム１００に供給され、前記内部容器２に貯蔵された流体が前記第１流入孔４２１の位置よりも下側に位置する量が残る場合、前記第１流入孔４１へ前記内部容器２に残っている流体が流入しにくい状態になる。このような場合、前記内部容器２に残っている流体が前記第２流入孔４２４を通じて前記通路孔４２２へ移動できるので、本発明に係る流体供給装置１は、前記内部容器２に残る流体の残量をさらに減らすことができる。前記プローブ機構４２は、前記第２流入孔４２４を複数含むことができ、前記第２流入孔４２４は、前記プローブ機構４２の円周方向に沿って互いに所定距離だけ離隔して形成されることができる。図６には前記プローブ機構４２が３個の第２流入孔４２４を含むものと示しているが、前記プローブ機構４２は、２個以下の第２流入孔４２４を含んでもよく、または４個以上の第２流入孔４２４を含んでもよい。

図６を参考すると、前記第２流入孔４２４は、前記内部容器２（図４に示される）に連通するように連結される入口４２４ａが、前記通路孔４２２に連通するように連結される出口４２４ｂよりも前記プローブ機構４２の一端４２aに近く位置するように斜めに形成されることができる。これによって、本発明に係る流体供給装置１（図４に示される）は、前記内部容器２（図４に示される）に貯蔵された流体が前記第２流入孔４２４を通じて前記通路孔４２２に容易に移動されるように具現することができる。

図４及び図７を参考すると、前記第１連結ユニット５は、一側が前記プローブ機構４２に連結され、他側が前記製造システム１００に連結される。前記第１連結ユニット５は、第１連結ボディー５１、開閉部材５２、及び弾性部材５３を含むことができる。

前記第１連結ボディー５１は、前記内部容器２から排出される流体が前記製造システム１００に供給されるための排出孔５１１を含むことができる。前記内部容器２に貯蔵された流体は、前記第１流入孔４２１及び前記第２流入孔４２４を通じて前記通路孔４２２へ移動することができ、前記通路孔４２２と前記排出孔５１１を経て前記製造システム１００に供給されることができる。

前記開閉部材５２は、前記排出孔５１１を選択的に開閉させることができる。前記開閉部材５２は、前記排出孔５１１を閉鎖させる第１位置Ｅ（図７に示される）と前記排出孔５１１を開放させる第２位置Ｆ（図７に示される）間に移動可能なように前記第１連結ボディー５１に結合されることができる。前記開閉部材５２が前記第１位置Ｅに位置すると、図７の拡大図に示されたように、前記開閉部材５２は、前記第１連結ボディー５１に接触されて前記排出孔５１１を閉鎖させることができる。これによって、前記開閉部材５２は、前記内部容器２に貯蔵された流体が前記製造システム１００に供給されることを遮断できる。前記開閉部材５２が前記第２位置Ｆに位置すると、前記開閉部材５２は、前記第１連結ボディー５１から離隔して前記排出孔５１１を開放させることができる。これによって、前記開閉部材５２は、前記内部容器２に貯蔵された流体が前記製造システム１００に供給されるようにすることができる。

前記弾性部材５３は、前記開閉部材５２が前記排出孔５１１を閉鎖させる方向（矢印Ｄ方向）に前記開閉部材５２に弾性力を提供することができる。これによって、前記開閉部材５２に外力が作用しない場合、前記開閉部材５２は、前記弾性部材５３により前記排出孔５１１を閉鎖させる第１位置Ｅに位置できる。図示していないが、前記製造システム１００に備えられた連結装置が前記開閉部材５２を押して移動させることができ、これによって、前記開閉部材５２は、前記第１連結ボディー５１から離隔されることによって前記排出孔５１１を開放させる前記第２位置Ｆに位置することができる。この場合、前記弾性部材５３は弾性的に圧縮されることができる。

上記のような第１連結ユニット５によって、本発明に係る流体供給装置１は、流体を貯蔵するための機能、流体を運搬するための機能、及び前記製造システム１００に流体を供給するための機能を構成要素の変更なしに具現することができ、これによって作業の便宜性を向上させることができる。これについてより具体的に説明すると、次の通りである。

まず、従来技術による流体供給装置は、流体を貯蔵するための機能及び流体を運搬するための機能を具現するために、流体供給装置に密封機構とキャップを結合しなければならない。また、前記製造システム１００に流体を供給するための機能を具現するために、流体供給装置に連結部を結合しなければならない。これによって、流体供給装置の供給者が前記内部容器に流体を満たし、流体供給装置に密封機構とキャップを結合させた後、前記製造システム１００が位置した場所に運搬すると、製造システム１００の運営者が流体供給装置からキャップを分離し、流体供給装置に連結部及び第１連結ユニットを結合させる追加作業を行うことによって、従来技術による流体供給装置は、前記製造システム１００に流体を供給できる状態となり得る。

これとは異なり、本発明に係る流体供給装置１は、流体を貯蔵するための機能、流体を運搬するための機能、及び前記製造システム１００に流体を供給するための機能を構成要素の変更なしに具現することができる。これによって、流体供給装置の供給者が前記内部容器２に流体を満たし、前記流体供給装置１に前記第１連結ユニット５が設置された前記連結部４を結合させた後、前記製造システム１００が位置した場所に運搬すると、製造システム１００の運営者が前記製造システム１００に備えられた連結装置を前記第１連結ユニット５に連結させることによって、本発明に係る流体供給装置１は、前記製造システム１００に流体を供給できる状態となり得る。したがって、本発明に係る流体供給装置１は、従来技術による流体供給装置と比較するとき、作業の便宜性を向上させることができる。

前記第１連結ユニット５と前記製造システム１００に備えられた連結装置としてクイックコネクタ（Ｑｕｉｃｋ Ｃｏｎｎｅｃｔｏｒ）を用いることができる。前記クイックコネクタは、雌コネクタと雄コネクタで構成されることができる。前記雌コネクタと前記雄コネクタは、結合されると互いに連通するように連結されることができ、分離されるとそれぞれ閉鎖された状態になることができる。図７に示されたように、前記第１連結ユニット５として前記雄コネクタを用いることができる。この場合、前記製造システム１００に備えられた連結装置としては前記雌コネクタを用いることができる。図８に示されたように、前記第１連結ユニット５として前記雌コネクタを用いることができる。この場合、前記製造システム１００に備えられた連結装置としては前記雄コネクタを用いることができる。

図９を参考すると、前記連結部４には前記内部容器２に力を加えるための気体が供給される第２連結ユニット６が設置されることができる。図９において点線で示された矢印は、第２連結ユニットから供給される気体が移動する経路を表示したものである。

前記第２連結ユニット６は、気体供給源２００に連結されることができる。前記気体供給源２００から供給される気体は、前記第２連結ユニット６及び前記連結部４を通じて前記内部容器２の外側と前記外部容器３の内側との間の空間Ａに供給されることができ、これによって、前記内部容器２に力を加えることで前記内部容器２を圧縮させることができる。前記内部容器２が圧縮されることによって、前記内部容器２に貯蔵された流体は、前記プローブ機構４２へ容易に移動されることができる。前記第２連結ユニット６から供給される気体が、前記連結部４を通じて前記内部容器２の外側と前記外部容器３の内側との間の空間Ａに供給されることができるように、前記結合機構４１と前記プローブ機構４２は、次のような構成を含むことができる。

前記結合機構４１は、前記内部容器２と前記外部容器３との間の空間Ａに連通するように連結される第１連結孔４１４を含むことができる。これによって、前記第２連結ユニット６から供給される気体は、前記連結部４を通じて、前記内部容器２と前記外部容器３との間の空間Ａへ移動することができる。これについて具体的に説明すると、次の通りである。

図６に示されたように、前記結合機構４１に形成された貫通孔４１１は、前記支持部材４１２が形成された第１設置空間４１１a、前記第２締結部材４１３が形成された第２設置空間４１１ｂ、及び前記第１設置空間４１１aと前記第２設置空間４１１ｂとの間に形成された第３設置空間４１１ｃを含むことができる。図６及び図９を参考すると、前記第２連結ユニット６から供給される気体は、前記第１設置空間４１１aに流入されるが、前記プローブ機構４２、前記結合機構４１、及び前記通路機構３１の間に設置された密封部材によって、前記第３設置空間４１１ｃ（図６に示される）を通じて前記第２設置空間４１１ｂへ移動することができなくなる。したがって、前記第２連結ユニット６から供給される気体が、前記第１設置空間４１１aから前記第２設置空間４１１ｂに移動できるように、前記結合機構４１は、前記第１設置空間４１１aと前記第２設置空間４１１ｂにそれぞれ連通するように連結される第１連結孔４１４を含むことができる。前記結合機構４１は、前記第１連結孔４１４を複数含んでもよい。前記第２連結ユニット６から供給される気体は、前記第１設置空間４１１a、前記第１連結孔４１４、及び前記第２設置空間４１１ｂを経た後、前記通路部材３１２に形成された連通孔３１２１を通じて、前記内部容器２と前記外部容器３との間の空間Ａに供給されることができる。

図６及び図９を参考すると、前記プローブ機構４２は、前記第２連結ユニット６と前記第１連結孔４１４に連通するように連結される第２連結孔４２５を含むことができる。前記第２連結孔４２５は、前記突出部材４２３を貫通して形成されることができる。前記第２連結孔４２５は、一側が前記第２連結ユニット６に連通するように連結されることができ、他側が前記第１設置空間４１１aに連通するように連結されることができる。前記第２連結ユニット６から供給される気体は、図９に点線で示された矢印のように、前記第２連結孔４２５、前記第１設置空間４１１a、前記第１連結孔４１４、前記第２設置空間４１１ｂ、及び前記連通孔３１２１を経て前記内部容器２と前記外部容器３との間の空間Ａに供給されることができる。図示されていないが、前記プローブ機構４２は、前記第２連結孔４２５を複数含んでもよい。

以下では、本発明に係る内部容器の好適な実施例を、添付の構成を参照してより具体的に説明する。

図４及び図９を参考すると、前記内部容器２は、前記製造システム１００に使用される流体を貯蔵することができ、内側に流体が満たされることによって膨張することができる。前記内部容器２は、前記第２連結ユニット６から供給された気体により圧縮されて潰れることができ、これによって、前記内部容器２に貯蔵された流体が前記製造システム１００へ容易に供給されることができるようにする。

図４、図１０及び図１１を参考すると、前記内部容器２は、第１容器部材２１、第２容器部材２２、及び密封部２３を含むことができる。前記第１容器部材２１と前記第２容器部材２２との間には、前記製造システム１００において使用される流体を貯蔵するための貯蔵部Ｃが形成されることができる。

前記第１容器部材２１は、前記貯蔵部Ｃに流体が満たされると膨張することができ、前記第２連結ユニット６から供給された気体により圧縮されることができる材質で形成されることができる。例えば、前記第１容器部材２１は、ポリエチレン（ＰＥ、Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ）で形成されることができる。前記第１容器部材２１は、全体的に四角形状に形成されることができる。

前記第２容器部材２２は、前記貯蔵部Ｃに流体が満たされると膨張することができ、前記第２連結ユニット６から供給された気体により圧縮されることができる材質で形成されることができる。例えば、前記第２容器部材２２は、ポリエチレン（ＰＥ、Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ）で形成されることができる。前記第２容器部材２２は、全体的に四角形状に形成されることができる。

前記密封部２３は、前記第１容器部材２１と前記第２容器部材２２との間に前記貯蔵部Ｃが形成されるように前記第１容器部材２１と前記第２容器部材２２とを結合させることができる。前記密封部２３は、前記第１容器部材２１と前記第２容器部材２２を互いに重なるように位置させた状態で、前記貯蔵部Ｃの外周面に沿って熱を加えることによって形成されることができる。前記貯蔵部Ｃは、前記密封部２３により密封されることができる。

前記内部容器２は、注入口２４を含むことができる。前記注入口２４は、前記第１容器部材２１または前記第２容器部材２２のうちいずれか一つを貫通して前記貯蔵部Ｃに連通するように形成されることができる。前記内部容器２は、前記注入口２４を通じて前記連結機構３１３（図４に示される）に結合されることができる。前記プローブ機構４２（図４に示される）は、前記注入口２４を通じて前記内部容器２の内部に挿入されることができ、前記貯蔵部Ｃに連通するように連結されることができる。前記製造システム１００に使用される流体は、前記注入口２４を通じて前記貯蔵部Ｃに満たされることができる。

ここで、本発明の一実施例に係る内部容器２は、図１０に示されたように、矩形形状に形成された前記密封部２３を含むことができる。これによって、前記貯蔵部Ｃ（図１１に示される）は、４個の辺を有するように形成されることができる。このような本発明の一実施例に係る内部容器２は、次のような問題がある。

第一に、前記内部容器２は、前記製造システム１００に使用される流体が前記貯蔵部Ｃに満たされると膨張した状態になる。前記内部容器２が膨張することによって、本発明の一実施例に係る内部容器２は、前記貯蔵部Ｃが有する４個の角部にかなりの力が加えられて損傷する危険が高いという問題がある。

第二に、前記内部容器２は、前記第２連結ユニット６から供給された気体により圧縮されて潰れながら、前記貯蔵部Ｃに貯蔵された流体が前記製造システム１００へ容易に供給されることができるようにする。本発明に係る流体供給装置１は、前記製造システム１００に所定の液体を供給できるが、前記内部容器２が圧縮されて潰れる過程で、前記貯蔵部Ｃが有する４個の角部に残存していた気体がバブルなどを発生させるという問題がある。バブルなどが発生すると、前記貯蔵部Ｃに残っている液体の残量に関係なく、前記内部容器２に貯蔵された液体を廃棄させなければならないため、本発明の一実施例に係る内部容器２は、材料費の損失などが生じる危険があるという問題がある。

図１２及び図１３を参考すると、上述したような問題を解決するために、本発明の他の実施例に係る内部容器２は、Ｎ（Ｎは、４より大きい整数）個の辺を有する前記貯蔵部Ｃを含むことができる。すなわち、前記密封部２３は、前記貯蔵部Ｃが５個以上の辺を有するように形成されることができる。したがって、本発明の他の実施例に係る内部容器２は、次のような作用効果を図ることができる。

第一に、本発明の他の実施例に係る内部容器２は、上述した一実施例と比較するとき、前記貯蔵部Ｃがさらに多くの個数の辺を有する。すなわち、本発明の他の実施例に係る内部容器２は、上述した一実施例よりも前記貯蔵部Ｃがさらに多くの個数の角を有する。したがって、本発明の他の実施例に係る内部容器２は、前記貯蔵部Ｃに貯蔵された流体が加える力をさらに多くの個数の角に分散させることによって、損傷する危険を減らすことができる。

第二に、本発明の他の実施例に係る内部容器２は、上述した一実施例と比較するとき、前記貯蔵部Ｃが有する辺の刃先角（ｉｎｃｌｕｄｅｄ ａｎｇｌｅ）を増大させることができる。上述した一実施例は、前記貯蔵部Ｃが４個の辺を有するので、各辺が９０°の刃先角２３ａ（図１０に示される）を有するように形成されるが、本発明の他の実施例に係る内部容器２は、前記貯蔵部Ｃがさらに多くの個数の辺を有することによって、各辺が９０°より大きい刃先角２３ｂ（図１２に示される）を有するように形成されることができる。例えば、図１２に示されたように、前記貯蔵部Ｃが８個の辺を有する場合、各辺は１３５°の刃先角２３ｂを有するように形成されることができる。したがって、本発明の他の実施例に係る内部容器２は、前記貯蔵部Ｃが有する角部に気体が残存することを防止できるので、前記第２連結ユニット６から供給された気体により圧縮されて潰れる過程で、バブルなどが発生することを防止でき、これによって、材料費の損失などが生じることを防止することができる。

図１２には、本発明の他の実施例に係る内部容器２が八角形の形状に形成された前記密封部２３を含むものと示されているが、これに限定されず、前記密封部２３は、前記貯蔵部Ｃが５個以上８個以下の辺を有するように形成されてもよく、前記貯蔵部Ｃが９個以上の辺を有するように形成されてもよい。また、図１２には、前記内部容器２が全体的に八角形の形状に形成された第１容器部材２１（図１３に示される）及び第２容器部材２２（図１３に示される）を含むものと示されているが、これに限定されず、前記第１容器部材２１（図１３に示される）及び第２容器部材２２（図１３に示される）は、前記貯蔵部Ｃに対応する形状に形成されてもよく、前記貯蔵部Ｃの形状に関係なく、矩形形状などの他の形状に形成されてもよい。

図１３を参考すると、本発明に係る内部容器２は、次のような構成をさらに含むことができる。

前記第１容器部材２１は、前記内部容器２の外側の一面をなす第１外部シート２１１、及び前記第１外部シート２１１の内側に位置する第１内部シート２１２を含むことができる。前記第１外部シート２１１と前記第１内部シート２１２との間には第１補助貯蔵部２１ａが形成されることができる。

前記第２容器部材２２は、前記内部容器２の外側の他面をなす第２外部シート２２１、及び前記第２外部シート２２１の内側に位置する第２内部シート２２２を含むことができる。前記第２外部シート２２１と前記第２内部シート２２２との間には第２補助貯蔵部２２ａが形成されることができる。前記貯蔵部Ｃは、前記第１内部シート２１２と前記第２内部シート２２２との間に形成されることができる。

これによって、本発明に係る内部容器２は、前記第１内部シート２１２または前記第２内部シート２２２が損傷しても、前記第１外部シート２１１と前記第２外部シート２２１により前記貯蔵部Ｃに貯蔵された流体が外部に漏洩することを防止できる。また、本発明に係る内部容器２は、前記第１外部シート２１１と前記第２外部シート２２１が損傷しても、前記第１内部シート２１２と前記第２内部シート２２２により前記貯蔵部Ｃに異物などが流入することを防止できる。したがって、本発明に係る流体供給装置１は、前記貯蔵部Ｃに貯蔵された流体が前記内部容器２の外部に漏洩したり、前記貯蔵部Ｃに異物などが流入することを二重に遮断できるので、材料費の損失などが生じることを防止することができ、作業の安全性を向上させることができる。

図示していないが、前記第１外部シート２１１、第１内部シート２１２、第２外部シート２２１、及び第２内部シート２２２は、それぞれ複数個のシートを結合させた多層構造に形成されることができる。例えば、前記第１外部シート２１１及び前記第２外部シート２２１は、３個のシートを結合させた３階構造に形成されることができ、前記第１内部シート２１２及び前記第２内部シート２２２は、５個のシートを結合させた５階構造に形成されることができる。したがって、本発明に係る流体供給装置１は、前記内部容器２が有する強度を向上させることができ、これによって、前記内部容器２が外力により損傷する危険を減らすことができる。また、本発明に係る流体供給装置１は、多層構造に形成された前記第１外部シート２１１、第１内部シート２１２、第２外部シート２２１、及び第２内部シート２２２によって前記内部容器２が有する透湿度を低くすることによって、前記内部容器２から流体が漏洩することを防止でき、前記内部容器２に異物などが浸透することを防止できる。前記第１外部シート２１１及び前記第２外部シート２２１は、ポリエチレン（ＰＥ）で形成されたフィルムを複数結合させた多層構造に形成されることができ、前記第１内部シート２１２及び前記第２内部シート２２２は、ポリエチレン（ＰＥ）で形成されたフィルム及びナイロン（ｎｙｌｏｎ）で形成されたフィルムを複数結合させた多層構造に形成されることができる。

図示していないが、本発明に係る内部容器２は、補助シートをさらに含むことができる。前記補助シートは、前記第１外部シート２１１と前記第１内部シート２１２との間に位置でき、前記第２外部シート２２１と前記第２内部シート２２２との間に位置することができる。したがって、本発明に係る流体供給装置１は、前記貯蔵部Ｃに貯蔵された流体が前記内部容器２の外部に漏洩したり、前記貯蔵部Ｃに異物などが流入することを多重に遮断できるので、材料費の損失などが生じることを防止することができ、作業の安全性をさらに向上させることができる。

図３及び図４を参考すると、本発明に係る流体供給装置１は、第１ケース７及び第２ケース８を含むことができる。

前記第１ケース７は、内側に前記連結部４が位置するように前記外部容器２に結合される。前記第１ケース７は、前記外部容器２と一体に形成されてもよい。前記第１ケース７は、第１支持面７１、連結溝７２、及び第１把持孔７３を含むことができる。

前記第１支持面７１は、前記製造システム１００に備えられた設置面３００に支持されることができる。前記第１支持面７１が前記製造システム１００に備えられた設置面３００に支持されると、本発明に係る流体供給装置１は、前記通路機構３１が重力方向（矢印Ｂ方向）に位置するように設置されることができる。すなわち、本発明に係る流体供給装置１は、前記内部容器２に貯蔵された流体が重力方向（矢印Ｂ方向）に移動して前記内部容器２から排出されることができる形態に設置されることができる。

前記連結溝７２は、前記第１ケース７の側壁を貫通して形成されることができる。前記第１支持面７１が前記製造システム１００に備えられた設置面３００に支持された状態で、前記第１連結ユニット５は、前記連結溝７２を通じて前記製造システム１００に備えられた連結装置と結合されることができる。

前記第１把持孔７３は、前記第１ケース７の側壁を貫通して形成されることができる。前記第１把持孔７３は、前記連結溝７２が形成された位置と異なる位置で前記第１ケース７の側壁を貫通して形成されることができる。本発明に係る流体供給装置１は、前記第１把持孔７３により容易に運搬することができる。前記第１ケース７は、前記第１把持孔７３を複数含んでもよく、前記第１把持孔７３は、前記第１ケース７の円周方向に沿って互いに所定距離だけ離隔して形成されることができる。

前記第２ケース８は、前記外部容器２に結合される。前記外部容器２には一側に前記第１ケース７が結合され、他側に前記第２ケース８が結合されることができる。前記第２ケース８は、前記外部容器２と一体に形成されてもよい。前記第２ケース８は、第２支持面８１及び第２把持孔８２を含むことができる。

前記第２支持面８１は、底面（図示せず）に支持されることができる。本発明に係る流体供給装置１は、前記製造システム１００に流体を供給する機能を行う場合には、図４に示すように、前記第１支持面７１が前記製造システム１００に備えられた設置面３００に支持されるが、その他の場合には、前記第２支持面８１が底面に支持されてもよい。例えば、本発明に係る流体供給装置１を運搬する場合には、前記第２支持面８１が底面に支持されてもよい。

前記第２把持孔８２は、前記第２ケース８の側壁を貫通して形成されることができる。本発明に係る流体供給装置１は、前記第２把持孔８２によって容易に運搬することができる。前記第２ケース８は、前記第２把持孔８２を複数含んでもよく、前記第２把持孔８２は、前記第２ケース８の円周方向に沿って互いに所定距離だけ離隔して形成されることができる。

以上で説明した本発明は、前述した実施例及び添付の図面に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で様々な置換、変形及び変更が可能であるということが、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者にとって明白である。

Claims (10)

1. 製造システムで使用される流体を貯蔵するための内部容器と、
   内側に前記内部容器が位置する外部容器と、
   前記内部容器に貯蔵された流体を製造システムに供給するための第１連結ユニットが設置され、前記外部容器に結合される連結部と、
   製造システムに備えられた設置面に支持されるための第１支持面を含む第１ケースと、を含み、
   前記外部容器は、前記連結部と前記内部容器が連通するように連結されるための通路機構を含み、製造システムに流体を供給するとき、前記通路機構が重力方向に向かうように、製造システムに備えられた設置面に向かうように設置され、
   前記第１ケースは、内側に前記連結部が位置するように前記外部容器に結合されることを特徴とする、流体供給装置。
2. 前記連結部は、前記外部容器に結合される結合機構、及び前記結合機構に結合されるプローブ機構を含み、
   前記プローブ機構は、前記内部容器に貯蔵された流体が流入するための第１流入孔、及び前記第１流入孔に連通するように形成され、前記第１流入孔を通じて流入した流体が前記第１連結ユニットへ移動されるための通路孔を含み、
   前記第１連結ユニットは、前記通路孔に連通するように前記プローブ機構に結合されることを特徴とする、請求項１に記載の流体供給装置。
3. 前記結合機構は、前記プローブ機構を支持するための支持部材を含み、
   前記プローブ機構は、前記支持部材に支持されるための突出部材を含むことを特徴とする、請求項２に記載の流体供給装置。
4. 前記通路機構は、前記結合機構が締結されるための第１締結部材を含み、
   前記結合機構は、前記第１締結部材と締結されるための第２締結部材を含むことを特徴とする、請求項２に記載の流体供給装置。
5. 前記連結部には、前記内部容器に力を加えるための気体が供給される第２連結ユニットが設置され、
   前記結合機構は、前記第２連結ユニットから供給される気体が前記内部容器と前記外部容器との間の空間に供給されるように、前記内部容器と前記外部容器との間の空間に連通するように連結される第１連結孔を含み、
   前記プローブ機構は、前記第２連結ユニットと前記第１連結孔にそれぞれ連通するように連結される第２連結孔を含むことを特徴とする、請求項２に記載の流体供給装置。
6. 前記第１連結ユニットは、
   前記内部容器から排出される流体が製造システムに供給されるための排出孔が形成された第１連結ボディーと、
   前記排出孔を閉鎖させる第１位置と前記排出孔を開放させる第２位置間に移動可能なように前記第１連結ボディーに結合される開閉部材と、
   前記開閉部材が前記排出孔を閉鎖させる方向に、前記開閉部材に弾性力を提供する弾性部材を含むことを特徴とする、請求項１に記載の流体供給装置。
7. 前記連結部は、一側が前記内部容器に連通するように連結され、他側が前記第１連結ユニットに連通するように連結されるプローブ機構を含み、
   前記プローブ機構は、前記内部容器に貯蔵された流体が前記第１連結ユニットへ移動されるための通路孔、前記通路孔に連通するように形成され、前記内部容器に貯蔵された流体が流入するための第１流入孔、及び前記通路孔に連通するように形成され、前記内部容器に貯蔵された流体が流入するための第２流入孔を含み、
   前記第１流入孔は、前記プローブ機構の一端に形成され、前記第２流入孔は、前記プローブ機構の一端から他端に向かう方向に、前記第１流入孔から離隔した位置に形成されたことを特徴とする、請求項１に記載の流体供給装置。
8. 前記プローブ機構は、前記第２流入孔が前記内部容器の内側に位置するように設置され、
   前記第２流入孔は、前記内部容器に連通するように連結される入口が前記通路孔に連通するように連結される出口よりも前記プローブ機構の一端に近く位置するように斜めに形成されたことを特徴とする、請求項７に記載の流体供給装置。
9. 前記内部容器は、第１容器部材、第２容器部材、及び前記第１容器部材と前記第２容器部材との間に製造システムで使用される流体が貯蔵されるための貯蔵部が形成されるように、前記第１容器部材と前記第２容器部材とを結合させる密封部を含み、
   前記密封部は、前記貯蔵部がＮ（Ｎは、４より大きい整数）個の辺を有するように形成されたことを特徴とする、請求項１に記載の流体供給装置。
10. 前記第１容器部材は、前記内部容器の外側の一面をなす第１外部シート、及び前記第１外部シートの内側に位置する第１内部シートを含み、
    前記第２容器部材は、前記内部容器の外側の他面をなす第２外部シート、及び前記第２外部シートの内側に位置する第２内部シートを含み、
    前記貯蔵部は、前記第１内部シートと前記第２内部シートとの間に形成されたことを特徴とする、請求項９に記載の流体供給装置。

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