JP2013521659A5

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Publication number: JP2013521659A5
Application number: JP2012556217A
Authority: JP
Filing date: 2011-03-02
Publication date: 2014-04-17
Anticipated expiration: 2031-03-02

Claims

コンピュータシステムに含まれているプロセッサを利用し、ウェーハ上の異常特徴を特徴付けるための方法であって、
前記ウェーハの縁部近傍領域である縁部ロールオフ領域における少なくとも１つのセクタ内で検知された高さ情報の径方向プロファイルＺ（ｒ，θ）もたらすウェーハ表面測定データを得るステップと、
少なくとも前記セクタ内の径方向ラインに沿う、前記ウェハーについての検知された高さ情報の径方向プロファイルＺ（ｒ，θ）を決定するステップと、
前記径方向プロファイルＺ（ｒ，θ）のｒによる２階微分である（ｄ ^２／ｄｒ ^２）Ｚ（ｒ，θ）を示すＺＤＤプロファイル、および前記径方向プロファイルＺ（ｒ，θ）のｒによる３階微分である（ｄ ^３／ｄｒ ^３）Ｚ（ｒ，θ）を示すＺＤＤＤプロファイルを生成するステップと、
前記ＺＺＤプロファイルおよび前記ＺＤＤＤプロファイルを、処理することにより、傾斜プロファイルを生成するステップと、
前記傾斜プロファイルから異常範囲を決定するステップと、
前記ＺＺＤプロファイルおよび前記ＺＤＤＤプロファイルを処理することにより、高さプロファイルを生成するステップと、
前記高さプロファイルから異常高さを決定するステップと、
を含む方法。
前記異常は前記ウェーハの縁部ロールオフ領域における隆起である、請求項１に記載の方法。
前記隆起は前記ＺＤＤプロファイルの負領域に配置される、請求項２に記載の方法。
フィルタ処理済みＺＤＤプロファイルおよびフィルタ処理済みＺＤＤＤプロファイルを、バイラテラルフィルタを用いて算出するステップをさらに含む、請求項２に記載の方法。
前記バイラテラルフィルタは、
特徴検出感度、および
推定されたプロファイルノイズレベル、
により制御される、請求項４に記載の方法。
特徴検出感度のための前記ＺＤＤ／ＺＤＤＤ閾値により制御される切り捨てられたプロファイル適合を用いて、前記ＺＤＤプロファイルおよびＺＤＤＤプロファイルの基準線を適応的に決定するステップをさらに含む、請求項２に記載の方法。
前記ＺＺＤプロファイルおよび前記ＺＤＤＤプロファイルを処理することにより高さプロファイルを生成する前記ステップは、
前記ＺＤＤプロファイルおよびＺＤＤＤプロファイルが、対応する適応的基準線と交差するまで、主要なＺＤＤピークおよびＺＤＤＤピークから後向きに観察することにより、異常特徴開始位置を見出すステップを含む、請求項６に記載の方法。
前記ＺＤＤプロファイルおよび前記ＺＤＤＤプロファイルを、前記対応する異常特徴開始位置から再構築された傾斜が符号を変化させるまで積分することにより、異常特徴高さプロファイルを再構築するステップをさらに含む、請求項７に記載の方法。
径方向検索領域において複数の隆起を検出および定量化するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
低次多項式成分を有さない正規化処理済み高さ・傾斜・曲率プロファイルを、前記ＺＤＤＤプロファイルから算出するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
前記プロファイルにおける隆起特徴および縁部ロールオフ信号成分を除去した後にＲＭＳまたはパワースペクトル密度（ＰＳＤ）統計を用いて縁部領域径方向粗度を定量化するステップをさらに含む、請求項５に記載の方法。
正のＺＤＤピークである１型および負のＺＤＤピークである２型の縁部隆起の個数と、
隆起開始位置、隆起範囲、隆起規模、および隆起平均傾斜を含む、各縁部隆起に対する特性と、
を含む、前記ウェーハ縁部ロールオフ領域について報告および定量化するステップをさらに含む、請求項２に記載の方法。
半径が一定であるが角度が変動するデータを定量化することにより、高さ、傾斜、曲率、または高次微分領域における周辺縁部定量化を生成するステップをさらに含む、請求項２に記載の方法。
ウェーハ上の異常特徴を特徴付けるためのシステムであって、
（ａ）前記ウェーハの縁部近傍領域である縁部ロールオフ領域における少なくとも１つのセクタ内で検知された高さ情報の径方向プロファイルＺ（ｒ，θ）もたらすウェーハ表面測定データを得るステップと、
（ｂ）少なくとも前記セクタ内の径方向ラインに沿う、前記ウェーハについての検知された高さ情報の径方向プロファイルＺ（ｒ，θ）を決定するステップと、
（ｃ）前記径方向プロファイルＺ（ｒ，θ）のｒによる２階微分である（ｄ ^２／ｄｒ ^２）Ｚ（ｒ，θ）を示すＺＤＤプロファイル、および前記径方向プロファイルＺ（ｒ，θ）のｒによる３階微分である（ｄ ^３／ｄｒ ^３）Ｚ（ｒ，θ）を示すＺＤＤＤプロファイルを生成するステップと、
（ｄ）前記ＺＺＤプロファイルおよび前記ＺＤＤＤプロファイルを処理することにより、傾斜プロファイルを生成するステップと、
（ｅ）前記傾斜プロファイルから異常範囲を決定するステップと、
（ｆ）前記ＺＺＤプロファイルおよび前記ＺＤＤＤプロファイルを処理することにより、高さプロファイルを生成するステップと、
（ｇ）前記高さプロファイルから異常高さを決定するステップと、
を実行するようプログラムされたプロセッサを備える、システム。