JP2013521659A - ウェーハ縁部(エッジ)特徴の検出および定量化のためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2010年12月14に発行された、同一出願人が所有する米国特許第7,853,429号に関する。米国特許第7,853,429号の全体は、参照することにより援用される。
ZDD(r,θ)=d2/dr2Z(r,θ)
米国特許第7,853,429号に説明されるZDD方法においては、ZDDプロファイルを用いることにより、縁部ロールオフ領域における隆起開始位置およびピーク半径位置が直接的に決定され、次いで、隆起振幅および傾斜情報が算出される。負のZDD値から正のZDD値への移行は、ZDDプロファイルから隆起プロファイルを構築することをトリガするために用いられる。この方法は、正のZDD値により表される隆起に適用される。しかし、負のZDD領域にある隆起には適用されない。図2は負のZDD領域における隆起特徴を示す。ZDDプロファイルを処理することにより、注目するウェーハ縁部/ウェーハロールオフ領域の負のZDD領域における表面特徴を抽出することが、以下に開示される。
ZDDD(r,θ)=d/dr ZDD(r,θ)=d3/dr3Z(r,θ)
図3は、典型的なZDD曲線および対応するZDDD曲線を示す。ZDDD曲線においては負のZDD領域において極めて大きい振幅および急勾配の特徴が生じる点に注意すべきである。また、微分演算のデジタル計算における近似エラーがウェーハ表面の平滑度およびデータサンプリング距離により決定される点にも注意すべきである。
Z(r)=a0+a1r+a2r2+O(r)
から、より明らかに見ることができるであろう。なお式中、O(r)は、3次以上の項である。Z(r)の3次導関数を求めると、1番目から3番目の項は0となり、rの3次以上の項が残る。
Z(r,θ)
は、セクタ範囲[θ−Δ,θ+Δ]におけるデータを平均することにより算出される。セクタの個数が少ない、例えば16個の場合、より多くのデータが各平均に組み込まれることとなる。その結果、高周波ノイズ成分は、計算処理済みのプロファイルにおいて、平均によりかなりの程度まで低減されるであろう。しかし、この平均処理により、表面特徴信号が低減され、したがって、表面特徴検出の角度分解能はより低くなることであろう。対比的に、より多く、例えば360個のセクタを使用すると、表面特徴に対する角度分解能はより良好なものとなるであろう。しかし、この場合、プロファイル信号は、特にウェーハ縁部領域において、より少ないデータが平均されるため、ノイズが大きくなり、これにより、特徴の検出および定量化の信頼性が影響を受けることとなるであろう。単純な平均フィルタまたはガウスフィルタを含む、様々なフィルタ方式が導入されてきた。これらフィルタの両方においては、離散データ配列における近傍ピクセルまたは近傍データ値の重み付き平均が使用される。これらのフィルタ方式においては、プロファイルノイズが抑制されるとき、ZDD特徴信号が損なわれるであろう。
1.縁部隆起の種類、すなわち正のZDD領域における隆起(本明細書では1型隆起と称することとする)および負のZDD領域における隆起(本明細書では2型隆起と称することとする)。
2.各種類の隆起の個数および分布。複数隆起の検出および認定は、径方向検索領域において、有効化される。本方法により、1型および2型の両方の隆起を区別および定量化することが可能である。
3.隆起開始位置、隆起範囲、隆起規模、および隆起規模を隆起範囲で除算することにより定義される隆起平均傾斜等の、隆起特性。
4.縁部領域径方向粗度は正確に定量化され得る。バイラテラルフィルタ処理が適用されたプロファイル信号を本来のプロファイル信号から減算することにより、高規模縁部領域からの干渉がない正確な縁部領域径方向粗度が生成されるであろう。粗度は、RMSまたはパワースペクトル密度(RSD:Power Spectrum Density)関数等の、標準的な統計を用いて説明され得る。粗度から導出されたプロファイルは、低規模高周波ノイズ成分としての根拠となる。表面ノイズ抑制方式は縁部領域径方向粗度の正確な定量化において用いられ得る。
5.本明細書におけるデータ報告は、一定の角度であってしかも変動する半径に対してなされてきた。この方法は、一定の半径であってしかも変動する角度に対しても、データを調査するよう拡張され得る。このことにより、高さ、傾斜、曲率、または高次微分領域における、周辺縁部の定量化がなされる。このことの1例が図9に示される。なお、図9においては、EPI欠陥900を含む縁部セクタが示される。図9において、X軸は角度、Y軸は半径であり、この角度方向におけるウェーハ縁部特性が推定および報告され得る。
を含み得る。
本発明に係る方法またはその一部は、コンピュータを用いて実装され得る。図10に示すコンピュータシステムは、プロセッサ1000(例えば、プロセッサコア、マイクロプロセッサ、演算デバイス、その他)、およびメモリ1005を備え得る。なお、メモリ1005は、メインメモリ1007およびスタティックメモリ1008を備え、メインメモリ1007およびスタティックメモリ1008は、バス1010を介して相互に通信し得る。この機械は、タッチスクリーン、液晶ディスプレイ(LCD)、発光ダイオード(LED)ディスプレイ、またはカソードレイチューブ(CRT)を含み得る、ディスプレイユニット1015を備え得る。周知のように、コンピュータシステムは、人間入出力(I/O)装置1020(例えば、キーボード、英数字キーパッド、その他)、ポインティング装置1025(例えば、マウス、タッチスクリーン、その他)、ドライブユニット1030(例えば、ディスクドライブユニット、CD/DVDドライブ、有形のコンピュータ可読着脱可能媒体ドライブ、SSD記憶装置、その他)、信号生成装置1035(例えば、スピーカ、音響出力、その他)、およびネットワークインターフェース装置1040(例えば、イーサネットインターフェース、有線ネットワークインターフェース、無線ネットワークインターフェース、伝播信号インターフェース、その他)も含み得る。
a)局所的ZDD最大値および最小値を特定すること、
b)局所的最小値から近傍の局所的最大値までの範囲をチェックすること、および
c)当該の範囲がZDD範囲閾値よりも高い場合、局所的最小値から局所的最大値までZDD(r)を2回積分することにより、縁部隆起の隆起規模を求めること、
を含む。この代替的な方式は、正および負のZDD(r)領域の両方に対して有効であることに注意すべきである。本発明の範囲は、請求項を考慮して解釈すべきである。
Claims (14)
- ウェーハ上の異常特徴を特性化するためのプロセッサに基づく方法であって、
前記ウェーハの縁部近傍領域(縁部ロールオフ領域)における少なくとも1つのセクタ内で検知された高さ情報を、前記プロセッサを用いて受け取るステップと、
前記ウェーハに対する、少なくとも前記セクタ近傍内の径方向ラインに沿う、前面・後面・厚さプロファイル曲線であって前記検知された高さ情報を含む前面・後面・厚さプロファイル曲線を、前記プロセッサを用いて決定するステップと、
前記前面・後面・厚さプロファイルを、前記プロセッサを用いて処理することにより、前記検知された高さ情報の径方向の2階微分を示すZDDプロファイル、および前記検知された高さ情報の径方向の3階微分を示すZDDDプロファイルを生成するステップと、
前記ZZDプロファイルおよび前記ZDDDプロファイルを、前記プロセッサを用いて処理することにより、傾斜プロファイルを生成するステップと、
前記傾斜プロファイルから異常範囲測定を、前記プロセッサを用いて決定するステップと、
前記ZZDプロファイルおよび前記ZDDDプロファイルを、前記プロセッサを用いて処理することにより、高さプロファイルを生成するステップと、
前記高さプロファイルから異常高さ測定を、前記プロセッサを用いて決定するステップと、
を含む方法。 - 前記異常は前記ウェーハの縁部ロールオフ領域における隆起である、請求項1に記載の方法。
- 前記隆起は前記ZDDプロファイルの負領域に配置される、請求項2に記載の方法。
- フィルタ処理済みZDDプロファイルおよびフィルタ処理済みZDDDプロファイルを、バイラテラルフィルタ方式を用いて算出するステップをさらに含む、
請求項2に記載の方法。 - 前記バイラテラルフィルタ方式は、
特徴検出感度、および
推定されたプロファイルノイズレベル、
により制御される、請求項4に記載の方法。 - 特徴検出感度のために前記ZDD/ZDDD閾値により制御される切り捨てられたプロファイル適合を用いて、前記ZDDプロファイルおよびZDDDプロファイルの基準線を適応的に決定するステップをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- 前記ZZDプロファイルおよび前記ZDDDプロファイルを、前記プロセッサを用いて処理することにより高さプロファイルを生成する前記ステップは、
前記ZDDプロファイルおよびZDDDプロファイルが、対応する適応的基準線と交差するまで、主要なZDDピークおよびZDDDピークから後向きに観察することにより、異常特徴開始位置を見出すステップを含む、
請求項6に記載の方法。 - 前記ZDDプロファイルおよび前記ZDDDプロファイルを、前記対応する異常特徴開始位置から再構築された傾斜が符号を変化させるまで積分することにより、異常特徴高さプロファイルを再構築するステップをさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 径方向検索領域において複数の隆起を検出および定量化するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 低次多項式成分を有さない正規化処理済み高さ・傾斜・曲率プロファイルを、前記ZDDDプロファイルから算出するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記プロファイルにおける隆起特徴および縁部ロールオフ信号成分を除去した後にRMSまたはパワースペクトル密度(PSD)統計を用いて縁部領域径方向粗度を定量化するステップをさらに含む、請求項5に記載の方法。
- 1型(正のZDDピーク)および2型(負のZDDピーク)の縁部隆起の個数と、
隆起開始位置、隆起範囲、隆起規模、および隆起平均傾斜を含む、各縁部隆起に対する特性と、
を含む、前記ウェーハ縁部ロールオフ領域について報告および定量化するステップをさらに含む、請求項2に記載の方法。 - 半径が一定であるが角度が変動するデータを定量化することにより、高さ、傾斜、曲率、または高次微分領域における周辺縁部定量化を生成するステップをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- ウェーハ上の異常特徴を特性化するためのシステムであって、
前記ウェーハの縁部近傍領域における少なくとも1つのセクタ内で検知された高さ情報を受け取るステップと、
前記ウェーハに対する、前記セクタ内の径方向ラインに少なくとも沿う、前記検知された高さ情報を含む前面・後面・厚さプロファイル曲線を、決定するステップと、
前記前面・後面・厚さプロファイルを用いて処理することにより、前記検知された高さ情報の径方向の2階微分を示すZDDプロファイル、および前記検知された高さ情報の径方向の3階微分を示すZDDDプロファイルを生成するステップと、
前記ZZDプロファイルおよび前記ZDDDプロファイルを処理することにより、傾斜プロファイルを生成するステップと、
前記傾斜プロファイルから異常範囲測定を決定するステップと、
前記ZZDプロファイルおよび前記ZDDDプロファイルを処理することにより、高さプロファイルを生成するステップと、
前記高さプロファイルから異常高さ測定を決定するステップと、
を実行するよう構成されたプロセッサを備える、
システム。
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