JP7135637B2 - マスク検査装置及びマスク検査方法 - Google Patents
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2 記憶部
3 SEM
11 フィルタ選択部
12 二値化処理部
13 相関値計算部
14 二値化方法決定部
15 画像取得部
16 描画条件決定部
Claims (4)
- 評価対象のマスクパターンを測定した画像である元画像を取得する画像取得部と、
前記元画像に対してフィルタ処理を行い、参照画像を生成するフィルタ処理部と、
前記元画像と前記参照画像との相関値を計算する相関値計算部と、
を備え、
前記相関値に基づいて前記マスクパターンを評価し、
前記フィルタ処理部は二値化処理を行い、前記参照画像を生成することを特徴とするマスク検査装置。 - 前記画像取得部は、異なる描画条件で描画した複数のマスクパターンの元画像を取得し、
前記フィルタ処理部は、複数の元画像のそれぞれについて参照画像を生成し、
前記相関値計算部は、前記複数の元画像のそれぞれについて、対応する参照画像との相関値を計算することを特徴とする請求項1に記載のマスク検査装置。 - 異なる描画条件で描画した複数のマスクパターンを測定した第1画像のそれぞれに対し、複数のフィルタ条件でフィルタ処理を行い、フィルタ条件毎の第1参照画像を生成する工程と、
前記第1画像と前記第1参照画像との第1相関値を計算する工程と、
前記複数のマスクパターンのリニアリティの評価結果と、フィルタ条件毎の第1相関値とを比較し、前記リニアリティの評価結果と同じ傾向を持つ第1相関値が得られるフィルタ条件を決定する工程と、
異なる描画条件で描画した複数のマスクパターンの第2画像のそれぞれに対し、前記決定したフィルタ条件でフィルタ処理を行い、第2参照画像を生成する工程と、
前記第2画像と前記第2参照画像との第2相関値を計算する工程と、
前記第2相関値に基づいて描画条件を決定する工程と、
を備えるマスク検査方法。 - 前記第1参照画像及び前記第2参照画像は二値画像であることを特徴とする請求項3に記載のマスク検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2007102192A1 (ja) | 2006-03-06 | 2007-09-13 | Topcon Corporation | 半導体デバイス製造方法 |
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-
2018
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