JP6229323B2 - 表面検査方法、表面検査装置、および表面検査プログラム - Google Patents
表面検査方法、表面検査装置、および表面検査プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6229323B2 JP6229323B2 JP2013124991A JP2013124991A JP6229323B2 JP 6229323 B2 JP6229323 B2 JP 6229323B2 JP 2013124991 A JP2013124991 A JP 2013124991A JP 2013124991 A JP2013124991 A JP 2013124991A JP 6229323 B2 JP6229323 B2 JP 6229323B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- inspection
- frequency characteristic
- frequency
- correction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
検査対象の画像と良品サンプルのテンプレート画像を取得し、
前記検査対象の画像を周波数変換した第1周波数特性と、前記テンプレート画像を周波数変換した第2周波数特性を算出し、
前記第1周波数特性と前記第2周波数特性に基づいて、前記第1周波数特性に適用する補正値を決定し、
前記第1周波数特性に前記補正値を適用した補正結果を逆変換して前記検査対象の第1修正画像を生成し、
前記第1修正画像と前記テンプレート画像を用いて検査領域を位置決めし、
前記位置決めされた前記検査領域内で前記検査対象の表面検査を行う
ことを特徴とする。
(a)検査対象の画像と良品サンプルのテンプレート画像を取得させる処理;
(b)検査対象の画像を周波数変換した第1周波数特性と、テンプレート画像を周波数変換した第2周波数特性を算出させる処理;
(c)第1周波数特性と第2周波数特性に基づいて、第1周波数特性に適用する補正値を決定させる処理;
(d)前記第1周波数特性に前記補正値を適用した補正結果を算出させ、前記補正結果を逆変換して前記検査対象の第1修正画像を生成させる処理;
(e)前記第1修正画像と前記テンプレート画像を用いて検査領域を位置決めさせる処理;および
(f)前記位置決めされた前記検査領域内で前記検査対象の表面検査を行わせる処理。
(付記1)
検査対象の画像と良品サンプルのテンプレート画像を取得し、
前記検査対象の画像を周波数変換した第1周波数特性と、前記テンプレート画像を周波数変換した第2周波数特性を算出し、
前記第1周波数特性と前記第2周波数特性に基づいて、前記第1周波数特性に適用する補正値を決定し、
前記第1周波数特性に前記補正値を適用した補正結果を逆変換して前記検査対象の第1修正画像を生成し、
前記第1修正画像と前記テンプレート画像を用いて検査領域を位置決めし、
前記位置決めされた前記検査領域内で前記検査対象の表面検査を行う
ことを特徴とする表面検査方法。
(付記2)
前記第2周波数特性に前記補正値を適用した補正結果を逆変換して、前記テンプレート画像の第2修正画像を生成し、
前記第1修正画像と前記第2修正画像を用いて前記検査領域を位置決めし、
前記位置決めされた前記検査領域内で前記検査対象の表面検査を行う
ことを特徴とする付記1に記載の表面検査方法。
(付記3)
前記位置決めされた前記検査領域内で、前記検査対象の前記画像と前記テンプレート画像を用いて前記表面検査を行うことを特徴とする付記1又は2に記載の表面検査方法。
(付記4)
前記補正値は、前記第2周波数特性の平均パワー強度に対する前記第1周波数特性の平均パワー強度の増大に相当することを特徴とする付記1〜3のいずれかに記載の表面検査方法。
(付記5)
前記補正値は、補正後の周波数スペクトルパワー値がゼロより小さくならないように適用されることを特徴とする付記1〜3のいずれかに記載の表面検査方法。
(付記6)
前記検査対象の画像と、前記補正値を、検査装置の視野ごとに取得して蓄積し、
複数の前記視野から得られる前記補正値の統計値を、次の検査対象に適用される前記補正値として用いることを特徴とする付記1に記載の表面検査方法。
(付記7)
検査対象の画像を取得する撮像装置と、
前記検査対象の画像と、あらかじめ取得した良品サンプルのテンプレート画像を格納するメモリと、
前記検査対象の画像を周波数変換した第1周波数特性と、前記テンプレート画像を周波数変換した第2周波数特性を算出し、前記第1周波数特性を補正した後に逆変換して前記検査対象の第1修正画像を生成する周波数変換部と、
前記第1周波数特性と前記第2周波数特性に基づいて、前記第1周波数特性に適用される補正値を決定する補正値決定部と、
前記第1修正画像と前記テンプレート画像を用いて検査領域を位置決めするアライメント部と、
前記位置決めされた前記検査領域内で前記検査対象の表面検査を行う検査部と、
を有することを特徴とする表面検査装置。
(付記8)
前記周波数変換部は、前記第2周波数特性に前記補正値を適用した補正結果を逆変換して、前記テンプレート画像の第2修正画像を生成し、
前記アライメント部は、前記第1修正画像と前記第2修正画像を用いて前記検査領域を位置決めすることを特徴とする付記7に記載の表面検査装置。
(付記9)
前記メモリは、前記検査対象の画像と前記補正値を前記撮像装置の視野ごとに蓄積し、
前記補正値決定部は、複数の前記視野から得られる前記補正値の統計値を次の検査対象に適用される前記補正値として決定することを特徴とする付記7に記載の表面検査装置。
(付記10)
表面検査装置にインストールされて前記表面検査装置の制御部に以下の処理を行わせることを特徴とする表面検査プログラム:
検査対象の画像と良品サンプルのテンプレート画像を取得させる処理;
前記検査対象の画像を周波数変換した第1周波数特性と、前記テンプレート画像を周波数変換した第2周波数特性を算出させる処理;
前記第1周波数特性と前記第2周波数特性に基づいて、前記第1周波数特性に適用する補正値を決定させる処理;
前記第1周波数特性に前記補正値を適用した補正結果を算出させ、前記補正結果を逆変換して前記検査対象の第1修正画像を生成させる処理;
前記第1修正画像と前記テンプレート画像を用いて検査領域を位置決めさせる処理;および
前記位置決めされた前記検査領域内で前記検査対象の表面検査を行わせる処理。
(付記11)
前記制御部に、
前記第2周波数特性に前記補正値を適用した第2補正結果を算出させ、前記第2補正結果を逆変換して前記テンプレート画像の第2修正画像を生成させる処理と、
前記第1修正画像と前記第2修正画像を用いて前記検査領域を位置決めさせる処理と、
をさらに行わせることを特徴とする付記10に記載の表面検査プログラム。
(付記12)
前記制御部に、
前記検査対象の画像と前記補正値を前記撮像装置の視野ごとに蓄積させる処理と、
複数の前記視野から得られる前記補正値の統計値を、次の検査対象に適用する前記補正値として決定させる処理、
をさらに行わせることを特徴とする付記10に記載の表面検査プログラム。
50 表面検査装置
51 ステージ
52 照明装置
53 撮像装置
55 制御部
57 出力手段
59 メモリ
61 周波数変換部
62 補正値決定部
63 アライメント部
64 比較・検査部
Claims (6)
- 検査対象の画像と良品サンプルのテンプレート画像を取得し、
前記検査対象の画像を周波数変換した第1周波数特性と、前記テンプレート画像を周波数変換した第2周波数特性を算出し、
前記第1周波数特性と前記第2周波数特性に基づいて、前記第1周波数特性に適用する補正値を決定し、
前記第1周波数特性に前記補正値を適用した補正結果を逆変換して前記検査対象の第1修正画像を生成し、
前記第2周波数特性に前記補正値を適用した補正結果を逆変換して、前記テンプレート画像の第2修正画像を生成し、
前記第1修正画像と前記第2修正画像を用いて検査領域を位置決めし、
前記位置決めされた前記検査領域内で前記検査対象の表面検査を行う
ことを特徴とする表面検査方法。 - 検査対象の画像と良品サンプルのテンプレート画像を取得し、
前記検査対象の画像を周波数変換した第1周波数特性と、前記テンプレート画像を周波数変換した第2周波数特性を算出し、
前記第1周波数特性と前記第2周波数特性に基づいて、前記第1周波数特性に適用する補正値を決定し、
前記第1周波数特性に前記補正値を適用した補正結果を逆変換して前記検査対象の第1修正画像を生成し、
前記第1修正画像と前記テンプレート画像を用いて検査領域を位置決めし、
前記位置決めされた前記検査領域内で前記検査対象の表面検査を行い、
前記検査対象の画像と、前記補正値を、検査装置の視野ごとに取得して蓄積し、
複数の前記視野から得られる前記補正値の統計値を、次の検査対象に適用される前記補正値として用いることを特徴とする表面検査方法。 - 検査対象の画像を取得する撮像装置と、
前記検査対象の画像と、あらかじめ取得した良品サンプルのテンプレート画像を格納するメモリと、
前記検査対象の画像を周波数変換した第1周波数特性と、前記テンプレート画像を周波数変換した第2周波数特性を算出し、前記第1周波数特性を補正した後に逆変換して前記検査対象の第1修正画像を生成する周波数変換部と、
前記第1周波数特性と前記第2周波数特性に基づいて、前記第1周波数特性に適用される補正値を決定する補正値決定部と、
前記第1修正画像と前記テンプレート画像を用いて検査領域を位置決めするアライメント部と、
前記位置決めされた前記検査領域内で前記検査対象の表面検査を行う検査部と、
を有し、
前記周波数変換部は、前記第2周波数特性に前記補正値を適用した補正結果を逆変換して、前記テンプレート画像の第2修正画像を生成し、
前記アライメント部は、前記第1修正画像と前記第2修正画像を用いて前記検査領域を位置決めすることを特徴とする表面検査装置。 - 検査対象の画像を取得する撮像装置と、
前記検査対象の画像と、あらかじめ取得した良品サンプルのテンプレート画像を格納するメモリと、
前記検査対象の画像を周波数変換した第1周波数特性と、前記テンプレート画像を周波数変換した第2周波数特性を算出し、前記第1周波数特性を補正した後に逆変換して前記検査対象の第1修正画像を生成する周波数変換部と、
前記第1周波数特性と前記第2周波数特性に基づいて、前記第1周波数特性に適用される補正値を決定する補正値決定部と、
前記第1修正画像と前記テンプレート画像を用いて検査領域を位置決めするアライメント部と、
前記位置決めされた前記検査領域内で前記検査対象の表面検査を行う検査部と、
を有し、
前記メモリは、前記検査対象の画像と前記補正値を検査装置の視野ごとに取得して蓄積し、
前記補正値決定部は、複数の前記視野から得られる前記補正値の統計値を、次の検査対象に適用される前記補正値として決定することを特徴とする表面検査装置。 - 表面検査装置にインストールされて前記表面検査装置の制御部に以下の処理を行わせることを特徴とする表面検査プログラム:
検査対象の画像と良品サンプルのテンプレート画像を取得させる処理;
前記検査対象の画像を周波数変換した第1周波数特性と、前記テンプレート画像を周波数変換した第2周波数特性を算出させる処理;
前記第1周波数特性と前記第2周波数特性に基づいて、前記第1周波数特性に適用する補正値を決定させる処理;
前記第1周波数特性に前記補正値を適用した第1補正結果を算出させ、前記第1補正結果を逆変換して前記検査対象の第1修正画像を生成させる処理;
前記第2周波数特性に前記補正値を適用した第2補正結果を算出させ、前記第2補正結果を逆変換して前記テンプレート画像の第2修正画像を生成させる処理;
前記第1修正画像と前記第2修正画像を用いて検査領域を位置決めさせる処理;および
前記位置決めされた前記検査領域内で前記検査対象の表面検査を行わせる処理。 - 表面検査装置にインストールされて前記表面検査装置の制御部に以下の処理を行わせることを特徴とする表面検査プログラム:
検査対象の画像と良品サンプルのテンプレート画像を取得させる処理;
前記検査対象の画像を周波数変換した第1周波数特性と、前記テンプレート画像を周波数変換した第2周波数特性を算出させる処理;
前記第1周波数特性と前記第2周波数特性に基づいて、前記第1周波数特性に適用する補正値を決定させる処理;
前記第1周波数特性に前記補正値を適用した第1補正結果を算出させ、前記第1補正結果を逆変換して前記検査対象の第1修正画像を生成させる処理;
前記第1修正画像と前記テンプレート画像を用いて検査領域を位置決めさせる処理;
前記位置決めされた前記検査領域内で前記検査対象の表面検査を行わせる処理;
前記検査対象の画像と前記補正値を検査装置の視野ごとに取得して蓄積させる処理;及び
複数の前記視野から得られる前記補正値の統計値を、次の検査対象に適用される前記補正値として決定させる処理。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013124991A JP6229323B2 (ja) | 2013-06-13 | 2013-06-13 | 表面検査方法、表面検査装置、および表面検査プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013124991A JP6229323B2 (ja) | 2013-06-13 | 2013-06-13 | 表面検査方法、表面検査装置、および表面検査プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015001406A JP2015001406A (ja) | 2015-01-05 |
JP6229323B2 true JP6229323B2 (ja) | 2017-11-15 |
Family
ID=52296023
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013124991A Expired - Fee Related JP6229323B2 (ja) | 2013-06-13 | 2013-06-13 | 表面検査方法、表面検査装置、および表面検査プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6229323B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102016108079A1 (de) * | 2016-05-02 | 2017-11-02 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Artefaktreduktion bei der winkelselektiven beleuchtung |
TWI649152B (zh) * | 2017-11-28 | 2019-02-01 | 先馳精密儀器股份有限公司 | 刀具狀態檢測系統及方法 |
JP2021139718A (ja) * | 2020-03-04 | 2021-09-16 | 日本発條株式会社 | 検査システムの点検方法、検査システム、およびコンピュータプログラム。 |
CN114486916A (zh) * | 2022-01-26 | 2022-05-13 | 上海电机学院 | 基于机器视觉的手机玻璃盖板缺陷检测方法 |
WO2024029026A1 (ja) * | 2022-08-04 | 2024-02-08 | 株式会社センシンロボティクス | 情報処理システム及びプログラム、情報処理方法、サーバ |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3253724B2 (ja) * | 1993-02-16 | 2002-02-04 | 松下電器産業株式会社 | 欠陥検査装置 |
JP2000003444A (ja) * | 1998-06-15 | 2000-01-07 | Hitachi Ltd | パターンマッチング方法 |
EP1390814A2 (en) * | 2001-05-30 | 2004-02-25 | Nptest, Inc. | Sub-resolution alignment of images |
JP5025442B2 (ja) * | 2007-12-10 | 2012-09-12 | 株式会社ブリヂストン | タイヤ形状検査方法とその装置 |
JP2012194030A (ja) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Research Institute Of Advanced Technology Co Ltd | 画像の検査方法および装置 |
-
2013
- 2013-06-13 JP JP2013124991A patent/JP6229323B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015001406A (ja) | 2015-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6229323B2 (ja) | 表面検査方法、表面検査装置、および表面検査プログラム | |
JP2008164593A5 (ja) | ||
JP2005277395A5 (ja) | ||
JP2007149055A5 (ja) | ||
KR102308437B1 (ko) | 대상체의 외부의 검사를 최적화하기 위한 장치 및 그 방법 | |
JP2013096175A (ja) | コンクリート打継面の評価装置 | |
JP2016095160A (ja) | 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置 | |
KR100953204B1 (ko) | 기판의 품질 검사장치 및 그 검사방법 | |
JP2008190872A (ja) | 表面不良検出装置、方法及びプログラム | |
CN107037053B (zh) | 用于检测斑缺陷的设备和方法 | |
JP2010181328A (ja) | 太陽電池ウェハ表面の検査装置,太陽電池ウェハ表面の検査用プログラム,太陽電池ウェハ表面の検査方法 | |
KR20080004346A (ko) | 불균일 검사 장치, 화상 표시 장치, 불균일 검사 방법 및화상 표시 방법 | |
US10955354B2 (en) | Cylindrical body surface inspection device and cylindrical body surface inspection method | |
CN108346592B (zh) | 一种模拟晶圆背面缺陷的方法及装置 | |
KR20160097651A (ko) | 유효화 영상처리기법을 이용한 시료의 패턴 검사 장치 및 방법, 그리고 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체 | |
JP2006155579A (ja) | 画像処理方法および画像処理装置 | |
JP5321939B2 (ja) | 画質検査装置および画質検査方法 | |
US20120170846A1 (en) | Method for detecting streak noises in digital image | |
JP2018004324A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP5949690B2 (ja) | 評価方法及び評価装置 | |
TWI493177B (zh) | 一種檢測具週期性結構光學薄膜的瑕疵檢測方法及其檢測裝置 | |
JP2015161529A (ja) | 表面検査装置、表面検査方法およびプログラム | |
TWI780084B (zh) | 用於調諧經調變晶圓之敏感度及判定用於經調變晶圓之處理視窗之系統,方法以及非暫時性電腦可讀媒體 | |
KR101615733B1 (ko) | 카메라모듈의 렌즈와 적외선필터 사이의 이물 검사를 위한 표면 시각화 방법 | |
JP7135637B2 (ja) | マスク検査装置及びマスク検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160310 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170407 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170919 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171002 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6229323 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |