JP2013250188A5 - - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 31
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 17
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 4
Description
なお、分割する数（つまりは、分割した結果としての第１領域の大きさ）は、第１検査
画像に周期性パターンが含まれる場合には、その周期（周期幅）、また検出すべき欠陥の
大きさなどにより適宜設定する。例えば、画像むらが周期性の分布を示す場合には、第１
領域の大きさは、その周期の４分の１以下であることが好ましく、また、周期の６分の１
以下であることがより好ましい。ここで第１領域の大きさとは、平均値Ａを算出する画素の配列方向に沿っている幅（長さ）である。
画像に周期性パターンが含まれる場合には、その周期（周期幅）、また検出すべき欠陥の
大きさなどにより適宜設定する。例えば、画像むらが周期性の分布を示す場合には、第１
領域の大きさは、その周期の４分の１以下であることが好ましく、また、周期の６分の１
以下であることがより好ましい。ここで第１領域の大きさとは、平均値Ａを算出する画素の配列方向に沿っている幅（長さ）である。
Claims (10)
- 被検査物を撮像して第１検査画像を取得する撮像部と、
前記第１検査画像を処理する画像処理部と、を備え、
前記処理は、
前記第１検査画像を複数の第１領域に分割し、それぞれの前記第１領域に含まれる画素
が有する画素データの平均値Ａと、複数の前記平均値Ａ間を補間するデータとから基準画像を作り、
前記第１検査画像と前記基準画像との画素データの差分から第２検査画像を作り、
前記第２検査画像を複数の第２領域に分割し、それぞれの前記第２領域に含まれる画素
が有する画素データの平均値Ｂから比較画像を作り、
前記第２検査画像と前記比較画像との画素データの差分と所定の閾値とを比べて、欠陥を検出すること、
を特徴とする欠陥検出装置。 - 前記第１検査画像に周期性パターンが含まれる場合に、
前記第１領域の幅は、前記周期性パターンの周期の４分の１以下であることを特徴とする請求項１に記載の欠陥検出装置。 - 前記第１検査画像に周期性パターンが含まれる場合に、
前記第１領域の幅は、前記周期性パターンの周期の６分の１以下であることを特徴とする請求項１に記載の欠陥検出装置。 - 前記第１領域は、前記第１検査画像を構成する複数の画素行、あるいは前記画素行と交
差する複数の画素列をそれぞれ分割して得られる画素グループであることを特徴とする請
求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。 - 前記第１領域は、前記第１検査画像を構成する隣り合う複数の分割された画素列、ある
いは隣り合う複数の分割された画素行の画素からなる画素グループであることを特徴とす
る請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。 - 前記画像処理部は、前記第１検査画像を複数の第１領域に分割し、それぞれの前記第１
領域に含まれる画素が持つ画素データの平均値Ａを算出し、それぞれの前記画素の画素デ
ータを、それぞれの前記第１領域の前記平均値Ａを補間するデータに置き換えることで基
準画像を作ることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の欠陥検出
装置。 - 前記画像処理部は、前記第２検査画像を複数の第２領域に分割し、それぞれの前記第２
領域に含まれる画素が持つ画素データの平均値Ｂを算出し、それぞれの前記第２領域に含
まれる画素の画素データを前記平均値Ｂに置き換えることで比較画像を作ることを特徴と
する請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。 - 前記画素データは、輝度情報であることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれ
か一項に記載の欠陥検出装置。 - 被検査物を撮像して第１検査画像を取得するステップと、
前記第１検査画像を複数の第１領域に分割し、それぞれの前記第１領域に含まれる画素
が有する画素データの平均値Ａと、複数の前記平均値Ａ間を補間するデータとから基準画像を作るステップと、
前記第１検査画像と前記基準画像との画素データの差分から第２検査画像を作るステップと、
前記第２検査画像を複数の第２領域に分割し、それぞれの前記第２領域に含まれる画素
が有する画素データの平均値Ｂから比較画像を作るステップと、
前記第２検査画像と前記比較画像との画素データの差分と所定の閾値とを比べて、欠陥を検出するステップと、
を含むことを特徴とする欠陥検出方法。 - 被検査物の欠陥を検出する欠陥検出装置で実行され、
前記被検査物を撮像して得られた第１検査画像を処理することで欠陥を検出するプログ
ラムであって、
前記第１検査画像を複数の第１領域に分割し、それぞれの前記第１領域に含まれる画素
が有する画素データの平均値Ａと、複数の前記平均値Ａ間を補間するデータとから基準画像を作るステップと、
前記第１検査画像と前記基準画像との画素データの差分から第２検査画像を作るステップと、
前記第２検査画像を複数の第２領域に分割し、それぞれの前記第２領域に含まれる画素
が有する画素データの平均値Ｂから比較画像を作るステップと、
前記第２検査画像と前記比較画像との画素データの差分と所定の閾値とを比べて、欠陥を検出するステップと、
を含むことを特徴とする欠陥検出プログラム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012125889A JP2013250188A (ja) | 2012-06-01 | 2012-06-01 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法、および欠陥検出プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012125889A JP2013250188A (ja) | 2012-06-01 | 2012-06-01 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法、および欠陥検出プログラム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013250188A JP2013250188A (ja) | 2013-12-12 |
| JP2013250188A5 true JP2013250188A5 (ja) | 2015-06-18 |
Family
ID=49849007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012125889A Withdrawn JP2013250188A (ja) | 2012-06-01 | 2012-06-01 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法、および欠陥検出プログラム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2013250188A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6329397B2 (ja) * | 2014-03-07 | 2018-05-23 | 株式会社ダイヘン | 画像検査装置及び画像検査方法 |
| KR101711192B1 (ko) | 2014-08-19 | 2017-03-14 | 삼성전자 주식회사 | 전기-광학 변조기, 및 그 전기-광학 변조기를 포함한 검사 장치 |
| CN109900707B (zh) * | 2019-03-20 | 2021-07-02 | 湖南华曙高科技有限责任公司 | 一种铺粉质量检测方法、设备以及可读存储介质 |
| KR102595278B1 (ko) * | 2020-12-29 | 2023-10-27 | 부산대학교 산학협력단 | 표면결함검출 스캐너를 위한 이미지 데이터 저장 장치 및 방법 |
| CN116973311B (zh) * | 2023-09-22 | 2023-12-12 | 成都中嘉微视科技有限公司 | 一种膜上膜下异物的检测装置及检测方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09145638A (ja) * | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Kawasaki Steel Corp | 表面欠陥検査方法及び装置 |
| JP2000329699A (ja) * | 1999-05-20 | 2000-11-30 | Kobe Steel Ltd | 欠陥検査方法及びその装置 |
| JP5147287B2 (ja) * | 2006-05-23 | 2013-02-20 | パナソニック株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法、プログラム、記録媒体および集積回路 |
| JP2008070242A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Seiko Epson Corp | ノイズ除去方法および装置、ムラ欠陥検査方法および装置 |
| JP4820971B2 (ja) * | 2008-03-08 | 2011-11-24 | 関東自動車工業株式会社 | 表面検査方法 |
-
2012
- 2012-06-01 JP JP2012125889A patent/JP2013250188A/ja not_active Withdrawn
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