JP2013247118A - ビアホール形成方法及びビアホール形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ビアホール形成装置100は、加工基材10が載置されるステージ19と、レーザ光L1,L2を加工基材に向けて照射するレーザ照射装置と、加工基材10の上方に配置された集塵機20とを備える。加工基材10は、絶縁層11と、この絶縁層11の両面に形成された導体層12,13とを備える。ビアホール形成装置100は、ビアホール形成領域30の外周対応箇所に集光されたレーザ光L1を照射し、加工基材10の表層の導体層12をビアホール形成領域を囲むように除去し、ビアホール形成領域30の径と同径かそれよりも僅かに大きなビームスポット径となるように拡散されたレーザ光L2をビアホール形成領域30に照射して、ビアホール形成領域30内に残存する導体層12及び絶縁層11を除去し、ビアホールを形成する。
【選択図】図1
Description
11 絶縁層
12,13 導体層
20 集塵機
21 筐体部
22 ダクト部
23 窓部
30 ビアホール形成領域
100 ビアホール形成装置
Claims (3)
- 絶縁層の一方の面に第1導体層が形成されると共に前記絶縁層の他方の面に第2導体層が形成された基材に、前記第1導体層及び絶縁層を、前記第2導体層を貫通しないように除去してビアホールを形成するビアホール形成方法において、
前記第1導体層におけるビアホール形成領域の外周対応箇所を、集光された第1レーザ光の照射によって除去する工程と、
前記ビアホール形成領域内に残存する前記第1導体層及び絶縁層を、前記第1レーザ光よりも拡散された第2レーザ光を照射して除去する工程とを備えた
ことを特徴とするビアホール形成方法。 - 前記第2レーザ光を照射するのに伴って、前記基材が載置されたステージから5mm〜15mm上方に配置された集塵手段を動作させ、除去された前記第1導体層及び絶縁層を集塵する工程を備えた
ことを特徴とする請求項1記載のビアホール形成方法。 - 絶縁層の一方の面に第1導体層が形成されると共に前記絶縁層の他方の面に第2導体層が形成された基材に、前記第1導体層及び絶縁層を、前記第2導体層を貫通しないように除去してビアホールを形成するビアホール形成装置において、
前記第1導体層におけるビアホール形成領域の外周対応箇所を、集光された第1レーザ光の照射によって除去すると共に、前記ビアホール形成領域内に残存する前記第1導体層及び絶縁層を、前記第1レーザ光よりも拡散された第2レーザ光を照射して除去するレーザ光照射手段と、
前記基材が載置されたステージから5mm〜15mm上方に配置され、前記レーザ光照射手段により除去された前記第1導体層及び絶縁層を集塵する集塵手段とを備えた
ことを特徴とするビアホール形成装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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