JP2013246851A - 磁気記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】スピントルク発振子の発振特性を劣化させることなく、磁気記録ヘッドを製造する方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、主磁極を形成する工程、主磁極上に、スピントルク発振子を形成するための隙間を有する絶縁層を設ける工程、該隙間にスピントルク発振子を形成する工程、及びスピントルク発振子上に補助磁極を形成する工程を具備することを特徴とする磁気記録ヘッドの製造方法が提供される。
【選択図】図1Q
Description
主磁極上に、スピントルク発振子を形成するための隙間を有する絶縁層を設ける工程、
該隙間にスピントルク発振子を形成する工程、及び
スピントルク発振子上に補助磁極を形成する工程を具備することを特徴とする磁気記録ヘッドの製造方法が提供される。
主磁極上にマスク層を形成する工程、
マスク層を介して主磁極をパターニングする工程、
主磁極、及びマスク層上に絶縁層を設ける工程、
絶縁層を部分的に除去することにより該マスク層を露出させる工程、及び
マスク層を除去することにより絶縁層にスピントルク発振子を形成するための隙間を設ける工程、隙間にスピントルク発振子を形成する工程、及びスピントルク発振子上に補助磁極を形成する工程を含むことができる。
隙間を有する絶縁層上に、イオンビームスパッタ法によりスピントルク発振子を形成する工程、隙間以外の領域に形成されたスピントルク発振子を削ることにより除去する工程を含むことができる。
図1Aないし図1Qに実施例1に係る磁気記録ヘッドの製造工程を表す図を示す。
図3Aないし図3Qに実施例2に係る磁気記録ヘッドの製造工程を表す図を示す。
図4Aないし図4Rに実施例3に係る磁気記録ヘッドの製造工程を表す図を示す。
Claims (6)
- 主磁極を形成する工程、
主磁極上に、スピントルク発振子を形成するための隙間を有する絶縁層を設ける工程、
該隙間にスピントルク発振子を形成する工程、及び
スピントルク発振子上に補助磁極を形成する工程を具備することを特徴とする磁気記録ヘッドの製造方法。 - 前記隙間を有する絶縁層を設ける工程は、
前記主磁極上にマスク層を形成する工程、
該マスク層を介して該主磁極をパターニングする工程、
該主磁極、及び該マスク層上に絶縁層を設ける工程、
該絶縁層を部分的に除去することにより該マスク層を露出させる工程、及び
該マスク層を除去することにより該絶縁層にスピントルク発振子を形成するための隙間を設ける工程を具備することを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記マスク層は、レジスト層及びハードマスク層のうち1つである請求項2に記載の方法。
- 前記隙間にスピントルク発振子を形成する工程は、
該隙間を有する絶縁層上に、イオンビームスパッタ法によりスピントルク発振子を形成する工程、及び
該隙間以外の領域に形成されたスピントルク発振子を削ることにより除去する工程を含むことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の方法。 - 前記主磁極を形成する工程は、非磁性層に形成された溝に主磁極を形成することを含む請求項1ないし4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記絶縁層を部分的に除去することにより該マスク層を露出させる工程の前に
前記絶縁層上に磁気シールド層を形成し、及び前記磁気シールド層を部分的に除去することを含む請求項1ないし4のいずれか1項に記載の方法。
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US9230597B2 (en) * | 2013-11-01 | 2016-01-05 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic head having a spin torque oscillator (STO) with a hybrid heusler field generation layer (FGL) |
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US9196271B1 (en) * | 2014-10-21 | 2015-11-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Spin-torque oscillation element and microwave-assisted magnetic recording head using the same |
US10109302B1 (en) * | 2017-07-18 | 2018-10-23 | Tdk Corporation | Magnetic recording head with spin torque oscillator, head gimbal assembly and magnetic recording apparatus |
US10636439B2 (en) | 2017-12-19 | 2020-04-28 | Western Digital Technologies, Inc. | MAMR write head with thermal dissipation conductive guide |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001284679A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-12 | Toshiba Corp | 磁気素子およびその製造方法 |
JP2009301695A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Tdk Corp | マイクロ波アシスト用薄膜磁気ヘッド及びマイクロ波アシスト磁気記録方法 |
JP2011090767A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-05-06 | Headway Technologies Inc | 磁気記録ヘッドおよびその製造方法 |
JP2011134429A (ja) * | 2009-12-23 | 2011-07-07 | Headway Technologies Inc | 垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法 |
JP2011238343A (ja) * | 2010-05-05 | 2011-11-24 | Headway Technologies Inc | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法 |
JP2012014792A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Toshiba Corp | 磁気記録ヘッド及び磁気記録装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7748104B2 (en) * | 2006-04-25 | 2010-07-06 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Structure and method for reduced corrosion of auxiliary poles during the fabrication of perpendicular write heads |
US8305711B2 (en) * | 2010-03-03 | 2012-11-06 | Headway Technologies, Inc. | Process of octagonal pole for microwave assisted magnetic recording (MAMR) writer |
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2012
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001284679A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-12 | Toshiba Corp | 磁気素子およびその製造方法 |
JP2009301695A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Tdk Corp | マイクロ波アシスト用薄膜磁気ヘッド及びマイクロ波アシスト磁気記録方法 |
JP2011090767A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-05-06 | Headway Technologies Inc | 磁気記録ヘッドおよびその製造方法 |
JP2011134429A (ja) * | 2009-12-23 | 2011-07-07 | Headway Technologies Inc | 垂直磁気記録用磁気ヘッドの製造方法 |
JP2011238343A (ja) * | 2010-05-05 | 2011-11-24 | Headway Technologies Inc | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法 |
JP2012014792A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Toshiba Corp | 磁気記録ヘッド及び磁気記録装置 |
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