JP2013239623A - シート状構造体、シート状構造体の製造方法、電子機器及び電子機器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カーボンナノチューブシート10は、膜厚方向に配向した複数の炭素元素の線状構造体11を含む束状構造体12と、複数のカーボンナノチューブ11を覆う被覆層13と、被覆層13で覆われた複数のカーボンナノチューブ11の間に設けられた充填層14と、を備え、被覆層13の厚さが、膜厚方向と交差する方向において均一でない。カーボンナノチューブシート10は、膜厚方向に加えられた変形に対して弾性を有する。
【選択図】図2
Description
所定の方向に配向した複数の炭素元素の線状構造体を含む束状構造体と、
前記複数の炭素元素の線状構造体を覆う被覆層と、
前記被覆層で覆われた複数の炭素元素の線状構造体の間に設けられた充填層と、
を備え、
前記被覆層の厚さが、前記所定の方向と交差する方向において均一でないシート状構造体。
前記所定の方向に加えられた変形に対して弾性を有する付記1に記載のシート状構造体。
前記シート状構造体の厚さは一定でなく、
前記シート状構造体の厚さが厚い所の前記被覆層の厚さが、前記シート状構造体の厚さが薄い所の前記被覆層の厚さよりも厚い付記1又は2に記載のシート状構造体。
前記被覆層の熱伝導率は、前記束状構造体の単位面積当たりの熱伝導率よりも高い付記1〜3の何れか一項に記載のシート状構造体。
前記被覆層の厚さが、100nm以下である付記1〜4の何れか一項に記載のシート状構造体。
前記束状構造体における前記炭素元素の線状構造体の面密度は、1×1010本以上である付記1〜4の何れか一項に記載のシート状構造体。
発熱体と、
放熱体と、
所定の方向に配向した複数の炭素元素の線状構造体を含む束状構造体と、
前記複数の炭素元素の線状構造体を覆う被覆層と、
前記被覆層で覆われた複数の炭素元素の線状構造体の間に設けられた充填層と、
を有し、
前記被覆層の厚さが前記所定の方向と交差する方向において均一でなく、前記発熱体と前記放熱体との間に配置されたシート状構造体と、
を備える電子機器。
前記放熱体と前記発熱体との間の距離は一定でなく、
前記放熱体と前記発熱体との間の距離が長い所の前記被覆層の厚さが、前記放熱体と前記発熱体との間の距離が短い所の前記被覆層の厚さよりも厚い付記7に記載の電子機器。
基板の上に、所定の方向に配向した複数の炭素元素の線状構造体を形成する工程と、
前記複数の炭素元素の線状構造体を覆う被覆層を形成する工程であって、前記被覆層の厚さが前記所定の方向と交差する方向において均一でないように、被覆層を形成する工程と、
前記被覆層で覆われた前記複数の炭素元素の線状構造体の間隙に充填層を形成する工程と、
前記複数の炭素元素の線状構造体を、前記基板から剥離する工程と、
を備えるシート状構造体の製造方法。
前記被覆層を形成する工程は、
前記複数の炭素元素の線状構造体の一部を覆うように板を配置し、
原子層蒸着法を用いて、前記被覆層を形成する付記9に記載のシート状構造体の製造方法。
前記複数の炭素元素の線状構造体を形成する工程は、
前記基板の上に、前記線状構造体が形成されない領域を設けるように、前記複数の炭素元素の線状構造体を形成し、
前記被覆層を形成する工程は、
原子層蒸着法を用いて、前記被覆層を形成する付記9に記載のシート状構造体の製造方法。
前記複数の炭素元素の線状構造体を形成する工程は、
前記基板の上に前記複数の炭素元素の線状構造体を形成した後、前記基板の上から、前記複数の炭素元素の線状構造体の一部を除去する付記11に記載のシート状構造体の製造方法。
前記被覆層を形成する工程は、
前記基板の上に形成された前記複数の炭素元素の線状構造体を含む束状構造体が、前記所定の方向に加えられた外力に対して弾性を有するように、前記被覆層を形成する付記9〜12の何れか一項に記載のシート状構造体の製造方法。
所定の方向に配向した複数の炭素元素の線状構造体を含む束状構造体と、
前記複数の炭素元素の線状構造体を覆う被覆層と、
前記被覆層で覆われた複数の炭素元素の線状構造体の間に設けられた充填層と、
を備え、
前記被覆層の厚さが、前記所定の方向と交差する方向において均一でないシート状構造体を、発熱体と放熱体の間に、配置する工程と、
前記発熱体と前記放熱体の間に荷重を加えながら前記シート状構造体を加熱することにより、前記充填層を融解させる工程と、
前記シート状構造体を冷却することにより、前記充填層を固化させる工程と、
を有する電子機器の製造方法。
11 カーボンナノチューブ(線状構造体)
12 束状構造体
13 被覆層
14 充填層
20 基板
21、21a、21b、21c 触媒層
22 遮蔽板
23 熱可塑性樹脂フィルム
R カーボンナノチューブが形成されない領域
30 電子機器
31 回路基板
32 半導体素子(発熱体)
33 ヒートスプレッダ(放熱体)
34 接合部
35 半田
Claims (10)
- 所定の方向に配向した複数の炭素元素の線状構造体を含む束状構造体と、
前記複数の炭素元素の線状構造体を覆う被覆層と、
前記被覆層で覆われた複数の炭素元素の線状構造体の間に設けられた充填層と、
を備え、
前記被覆層の厚さが、前記所定の方向と交差する方向において均一でないシート状構造体。 - 前記所定の方向に加えられた変形に対して弾性を有する請求項1に記載のシート状構造体。
- 前記シート状構造体の厚さは一定でなく、
前記シート状構造体の厚さが厚い所の前記被覆層の厚さが、前記シート状構造体の厚さが薄い所の前記被覆層の厚さよりも厚い請求項1又は2に記載のシート状構造体。 - 発熱体と、
放熱体と、
所定の方向に配向した複数の炭素元素の線状構造体を含む束状構造体と、
前記複数の炭素元素の線状構造体を覆う被覆層と、
前記被覆層で覆われた複数の炭素元素の線状構造体の間に設けられた充填層と、
を有し、
前記被覆層の厚さが前記所定の方向と交差する方向において均一でなく、前記発熱体と前記放熱体との間に配置されたシート状構造体と、
を備える電子機器。 - 前記放熱体と前記発熱体との間の距離は一定でなく、
前記放熱体と前記発熱体との間の距離が長い所の前記被覆層の厚さが、前記放熱体と前記発熱体との間の距離が短い所の前記被覆層の厚さよりも厚い請求項4に記載の電子機器。 - 基板の上に、所定の方向に配向した複数の炭素元素の線状構造体を形成する工程と、
前記複数の炭素元素の線状構造体を覆う被覆層を形成する工程であって、前記被覆層の厚さが前記所定の方向と交差する方向において均一でないように、被覆層を形成する工程と、
前記被覆層で覆われた前記複数の炭素元素の線状構造体の間隙に充填層を形成する工程と、
前記複数の炭素元素の線状構造体を、前記基板から剥離する工程と、
を備えるシート状構造体の製造方法。 - 前記被覆層を形成する工程は、
前記複数の炭素元素の線状構造体の一部を覆うように板を配置し、
原子層蒸着法を用いて、前記被覆層を形成する請求項6に記載のシート状構造体の製造方法。 - 前記複数の炭素元素の線状構造体を形成する工程は、
前記基板の上に、前記線状構造体が形成されない領域を設けるように、前記複数の炭素元素の線状構造体を形成し、
前記被覆層を形成する工程は、
原子層蒸着法を用いて、前記被覆層を形成する請求項6に記載のシート状構造体の製造方法。 - 前記複数の炭素元素の線状構造体を形成する工程は、
前記基板の上に前記複数の炭素元素の線状構造体を形成した後、前記基板の上から、前記複数の炭素元素の線状構造体の一部を除去する請求項8に記載のシート状構造体の製造方法。 - 所定の方向に配向した複数の炭素元素の線状構造体を含む束状構造体と、
前記複数の炭素元素の線状構造体を覆う被覆層と、
前記被覆層で覆われた複数の炭素元素の線状構造体の間に設けられた充填層と、
を備え、
前記被覆層の厚さが、前記所定の方向と交差する方向において均一でないシート状構造体を、発熱体と放熱体の間に、配置する工程と、
前記発熱体と前記放熱体の間に荷重を加えながら前記シート状構造体を加熱することにより、前記充填層を融解させる工程と、
前記シート状構造体を冷却することにより、前記充填層を固化させる工程と、
を有する電子機器の製造方法。
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