JP2015084355A - ナノ構造体シート、電子機器、ナノ構造体シートの製造方法、及び電子機器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 簡単な手法で十分な膜厚と安定した熱伝達能力を有するナノ構造体シートを提供する。
【解決手段】基板上の互いに隣接する第1領域に第1の長さの第1線状構造体を成長し、原子層堆積法により、前記第1線状構造体の長さ方向の一部又は全部を個別に覆い、かつ前記線状構造体の成長端で前記基板の面内方向に連続する被膜を形成し、前記隣接する前記第1線状構造体同士を前記成長端で重ね合わせて、ナノ構造体シートを作製する。
【選択図】図3
Description
基板上の互いに隣接する第1領域に第1の長さの第1線状構造体を成長し、
原子層堆積法により、前記第1線状構造体の長さ方向の一部又は全部を個別に覆い、かつ前記第1線状構造体の成長端で前記基板の面内方向に連続する被膜を形成し、
前記隣接する前記第1線状構造体同士を前記成長端で重ね合わせる、
ことを特徴とする。
(付記1)
第1方向に延びる複数の線状構造体と、
前記第1方向の中央部で前記複数の線状構造体を前記第1方向と直交する第2方向に連続して接続し、かつ前記線状構造体の各々について前記第1方向に沿った一部又は全部を個別に覆う原子層堆積被膜と、
を有するナノ構造体シート。
(付記2)
前記第1方向は前記ナノ構造体シートの膜厚方向であり、
前記ナノ構造体シートの両面で、前記線状構造体の端部の長さが揃っていることを特徴とする付記1に記載のナノ構造体シート。
(付記3)
前記原子層堆積被膜の熱伝導率は、前記線状構造体全体の熱伝導率以上であることを特徴とする付記1または2に記載のナノ構造体シート。
(付記4)
前記第1方向の中央部で連続する前記原子層堆積膜の少なくとも一方の側で前記複数の線状構造体の間を埋める樹脂層、
をさらに有することを特徴とする付記1〜3のいずれかに記載のナノ構造体シート。
(付記5)
発熱体と、
放熱体と、
前記発熱体と前記放熱体の間に配置されるナノ構造体シートと、
を有し、
前記ナノ構造体シートは、
第1方向に延びる複数の線状構造体と、前記第1方向の中央部で前記複数の線状構造体を前記第1方向と直交する第2方向に連続して接続し、かつ前記線状構造体の各々について前記第1方向に沿った一部又は全部を個別に覆う原子層堆積被膜と、を有することを特徴とする電子機器(10)。(請求項2)
(付記6)
基板上の互いに隣接する第1領域に第1の長さの第1線状構造体を成長し、
原子層堆積法により、前記第1線状構造体の長さ方向の一部又は全部を個別に覆い、かつ前記第1線状構造体の成長端で前記基板の面内方向に連続する被膜を形成し、
前記隣接する前記第1線状構造体同士を前記成長端で重ね合わせる、
ことを特徴とするナノ構造体シートの製造方法。
(付記7)
前記基板上で隣接する前記第1領域の境界に前記第1の長さよりも短い第2の長さの第2線状構造体を成長し、
前記隣接する前記第1線状構造体のいずれか一方を、前記第2線状構造体で折り曲げて前記第1線状構造体の他方に重ね合わせる、
ことを特徴とする付記6に記載のナノ構造体シートの製造方法。
(付記8)
前記基板上の第1領域に第1の触媒層を形成し、
前記基板上の前記境界に位置する第2領域に、前記第1の触媒層と異なる第2の触媒層を形成し、
前記第1の触媒層から前記第1線状構造体を成長し、
前記第2の触媒層から前記第2線状構造体を成長する
ことを特徴とする付記7に記載のナノ構造体シートの製造方法。
(付記9)
前記基板から、前記第1線状構造体と前記第2線状構造体をシート状態で剥離し、
前記剥離した後に前記第2線状構造体で折り曲げて前記第1線状構造体同士を重ね合わせる、
ことを特徴とする付記7に記載のナノ構造体シートの製造方法。
(付記10)
前記基板上で、隣接する前記第1線状構造体のいずれか一方を前記第2線状構造体で折り曲げて、前記第1線状構造体の他方に重ね合わせ、
前記重ね合わせた前記第1線状構造体を前記基板から剥離する、
ことを特徴とする付記7に記載のナノ構造体シートの製造方法。
(付記11)
前記被膜を、前記第1線状構造体全体の熱伝導率以上の熱伝導率を有する材料で形成することを特徴とする付記6〜10のいずれかに記載のナノ構造体シートの製造方法。
(付記12)
基板上の互いに隣接する第1領域に第1の長さの第1線状構造体を成長し、
原子層堆積法により、前記第1線状構造体の長さ方向の一部又は全部を個別に覆い、かつ前記線状構造体の成長端で前記基板の面内方向に連続する被膜を形成し、
前記隣接する前記第1線状構造体同士を前記成長端で重ね合わせてナノ構造体シートを作製し、
前記ナノ構造体シートを発熱体と放熱体の間に配置する、
ことを特徴とする電子機器の製造方法。
(付記13)
前記基板上で隣接する前記第1領域の境界に前記第1の長さよりも短い第2の長さの第2線状構造体を成長し、
前記基板から、前記第1線状構造体と前記第2線状構造体をシート状態で剥離し、
前記剥離した前記第1線状構造体と前記第2線状構造体を、前記発熱体と前記放熱体のいずれか一方に搭載し、
前記搭載後に、前記隣接する前記第1線状構造体のいずれか一方を、前記第2線状構造体で折り曲げて前記第1線状構造体の他方に重ね合わせ、
前記重ね合わせられた前記第1線状構造体上に、前記発熱体と前記放熱体の他方を搭載する、
ことを特徴とする付記12に記載の電子機器の製造方法。
11 基板
15 Al2O3層
16 開口
17 Fe層(第2触媒層)
18 積層触媒層(第1触媒層)
19a 長いカーボンナノチューブ
19b 短いカーボンナノチューブ
19A カーボンナノチューブ束
19B カーボンナノチューブ束
21 被膜
22 スリット
30 ナノ構造体シート
40 発熱体(又は放熱体)
41 放熱体(又は発熱体)
Claims (6)
- 第1方向に延びる複数の線状構造体と、
前記第1方向の中央部で前記複数の線状構造体を前記第1方向と直交する第2方向に連続して接続し、かつ前記線状構造体の各々について前記第1方向に沿った一部又は全部を個別に覆う原子層堆積被膜と、
を有するナノ構造体シート。 - 発熱体と、
放熱体と、
前記発熱体と前記放熱体の間に配置されるナノ構造体シートと、
を有し、
前記ナノ構造体シートは、第1方向に延びる複数の線状構造体と、前記第1方向の中央部で前記複数の線状構造体を前記第1方向と直交する第2方向に連続して接続し、かつ前記線状構造体の各々について前記第1方向に沿った一部又は全部を個別に覆う原子層堆積被膜と、を有することを特徴とする電子機器。 - 基板上の互いに隣接する第1領域に第1の長さの第1線状構造体を成長し、
原子層堆積法により、前記第1線状構造体の長さ方向の一部又は全部を個別に覆い、かつ前記第1線状構造体の成長端で前記基板の面内方向に連続する被膜を形成し、
前記隣接する前記第1線状構造体同士を前記成長端で重ね合わせる、
ことを特徴とするナノ構造体シートの製造方法。 - 前記基板上で隣接する前記第1領域の境界に前記第1の長さよりも短い第2の長さの第2線状構造体を成長し、
前記隣接する前記第1線状構造体のいずれか一方を、前記第2線状構造体で折り曲げて前記第1線状構造体の他方に重ね合わせる、
ことを特徴とする請求項3に記載のナノ構造体シートの製造方法。 - 前記基板上の第1領域に第1の触媒層を形成し、
前記基板上の前記境界に位置する第2領域に、前記第1の触媒層と異なる第2の触媒層を形成し、
前記第1の触媒層から前記第1線状構造体を成長し、
前記第2の触媒層から前記第2線状構造体を成長する
ことを特徴とする請求項4に記載のナノ構造体シートの製造方法。 - 基板上の互いに隣接する第1領域に第1の長さの第1線状構造体を成長し、
原子層堆積法により、前記第1線状構造体の長さ方向の一部又は全部を個別に覆い、かつ前記線状構造体の成長端で前記基板の面内方向に連続する被膜を形成し、
前記隣接する前記第1線状構造体同士を前記成長端で重ね合わせてナノ構造体シートを作製し、
前記ナノ構造体シートを発熱体と放熱体の間に配置する、
ことを特徴とする電子機器の製造方法。
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- 2013-10-25 JP JP2013222035A patent/JP6156057B2/ja active Active
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