JP2013238594A - 流量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高剛性の導電性のサポート部分1と、センサ要素2と、安定なカプセル化部3とを有し、センサ要素2が、導電結合部8を介してサポート部分1と接続され、センサ要素2が、プレート状のサポートサブストレートを有し、このサポートサブストレート上に、少なくとも1つの温度センサ5と加熱要素4が配設され、カプセル化部3が、センサ要素2とサポート部分1を部分的に係合式に包囲し、センサ要素2の上面及び下面上の領域が、カプセル化部3によって覆われず、測定すべき流れが妨害されることなくこれら領域を環流し得ることを特徴とする、マスフローを直接測定するための流量センサ。
【選択図】図2
Description
1.1 接続領域
1.2 接続領域
1.3 接続領域
1.4 接続領域
2 センサ要素
2.1 サポートサブストレート
3 カプセル化部
4 加熱要素
5 温度センサ
6 接着剤
7 固定要素
8 導電接続部
9 コンタクト領域
10 位置決め部分
Claims (14)
- 高剛性の導電性のサポート部分(1)と、センサ要素(2)と、安定なカプセル化部(3)とを有し、センサ要素(2)が、導電結合部(8)を介してサポート部分(1)と接続され、センサ要素(2)が、プレート状のサポートサブストレート(2.1)を有し、このサポートサブストレート上に、少なくとも1つの温度センサ(5)と加熱要素(4)が配設され、カプセル化部(3)が、センサ要素(2)とサポート部分(1)を部分的に係合式に包囲し、センサ要素(2)の上面及び下面上の領域が、カプセル化部(3)によって覆われず、測定すべき流れ(S)が妨害されることなくこれら領域を環流し得ることを特徴とする、マスフローを直接測定するための流量センサ。
- センサ要素(2)が、流量センサの長手方向軸に沿って延在し、この長手方向軸に対して垂直な、少なくともセンサ要素(2)に隣接する一方の側のカプセル化部(3)の領域が、測定すべき流れ(S)のための前縁として形成されていること、を特徴とする請求項1に記載の流量センサ。
- センサ要素(2)に隣接する両側のそれぞれ1つのカプセル化部(3)の領域が、測定すべき流れ(S)のための前縁として形成され、これら両領域が、流量センサの対称軸に対して鏡面対称に形成されていること、を特徴とする請求項2に記載の流量センサ。
- 前縁が、湾曲した横断面を備え、これにより、測定すべき流れ(S)に、流量センサがエッジの作用を加えないこと、を特徴とする請求項2又は3に記載の流量センサ。
- カプセル化部(3)によって覆われてない、センサ要素(2)の上面及び下面上の領域が、それぞれ矩形に形成され、この領域の長手方向軸が、流量センサの長手方向軸に沿って延在すること、を特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の流量センサ。
- カプセル化部(3)によって覆われてない、センサ要素(2)の上面及び/又は下面上の領域内に、加熱要素(4)が配設されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の流量センサ。
- カプセル化部(3)が、センサ要素(2)とサポート部分(1)間の導電結合部(8)を包囲すること、を特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の流量センサ。
- 導電結合部(8)が、ボンディングワイヤによるボンディング結合部として形成されていること、を特徴とする請求項7に記載の流量センサ。
- カプセル化部(3)が、流量センサを後置の関連電子機器と電気接続可能にする、サポート部分(1)の接続領域(1.1〜1.4)を覆わないこと、を特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の流量センサ。
- 流量センサの長手方向終端に、保持要素への流量センサの取外し可能な配設のために使用される固定要素(7)が配設されていること、を特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の流量センサ。
- 固定要素(7)として、カプセル化部(3)内に形成されたスナップインフックが使用されること、を特徴とする請求項10に記載の流量センサ。
- カプセル化部(3)が、充填式のエポキシ材料から形成されていること、を特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の流量センサ。
- センサ要素(2)のサポートサブストレート(2.1)が、低熱伝導率の材料から成ること、を特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の流量センサ。
- サポートサブストレート(2.1)のための材料として、ガラス又はZrO2又はLTCCが使用されること、を特徴とする請求項13に記載の流量センサ。
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