JP2013235635A - 貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】貼付装置1は、板状部材11を支持する支持手段2と、接着シートASを板状部材11の被貼付面11Aに対向する状態に供給する供給手段3と、接着シートASを被貼付面11Aに押圧して接着シートASを板状部材11に貼付する押圧手段4とを具備している。押圧手段4は、接着シートASを押圧する押圧ローラ44を備え、押圧ローラ44および支持手段2は、被貼付面11Aの領域内で被貼付面11Aに沿って相対的に旋回可能に構成されている。押圧ローラ44が大型化することを防止でき、押圧ローラ44全体の押圧力を均一にでき、接着シートASを均一に被貼付面11Aに貼付できる。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載の装置では、シートをディスク基板に貼付する際、接着シートを有するシートをディスク基板上に供給し、この状態でディスク基板の表面に沿って、一端側から他端側に向けて一直線状に円筒状のロールを移動させて順次押圧して貼付している。
また、貼付する面積が広い被着体の場合には、軸方向の長さが長いロールを用いる必要があり、装置が大型化するとともに、ロールの中央部が撓むことで均一な貼付ができなくなるおそれがある。
また、本発明の貼付装置では、前記押圧手段は、前記押圧部材が前記接着シートを押圧する領域全体における押圧力の強さを調整する全体押圧力調整手段を備えている、ことが好ましい。
さらに、本発明の貼付装置では、前記押圧手段は、前記被着体の被貼付面に間隙を介して対向する状態で前記供給手段により供給された接着シートを保持可能な保持手段を備え、前記押圧部材と前記支持部材とを相対的に旋回させることにより、前記保持手段で保持された前記接着シートを前記被貼付面に貼付する、ことが好ましい。
そして、本発明の貼付装置では、前記押圧部材は、転動可能な円錐形または截頭円錐形の押圧ローラにより構成されている、ことが好ましい。
また、本発明の貼付装置では、前記押圧部材は、押圧ブラシと板状の押圧ブレードとのうちの少なくともいずれか一方により構成されている、ことが好ましい。
さらに、本発明の貼付装置では、前記押圧部材は、気体を噴出して前記接着シートを押圧する気体噴出部材により構成されている、ことが好ましい。
また、貼付する面積が広い被着体の場合でも、ロールを移動してシートを貼付する従来例と対比して装置が大型化することを防止することができるとともに、ロールの中央部が撓むことで均一な貼付ができなくなることを防止できる。
そして、全体押圧力調整手段によって、押圧部材が接着シートに当接する領域全体における押圧力の強弱を調整することで、例えば、内外周押圧力調整手段による接着シートの被貼付面への密着力を部分的に変更した状態のまま、全体的な押圧力を変更することができる。
また、被貼付面に間隙を介して対向する接着シートを、被貼付面に押圧して貼り付けることで、押圧している位置から押圧部材が旋回する軌跡に対応して接着シートが被貼付面に貼付され、被貼付面と接着シートとの間に空気が入り込むことを防止でき、接着シートを被貼付面全体で均一に貼付できる。
そして、押圧部材を円錐形または截頭円錐形の押圧ローラにより構成することで、押圧ローラを被貼付面の領域内で周方向に旋回させた場合でも、旋回外周側のローラ部分の回転につられて旋回内周側のローラ部分が接着シート上を空回りすることがなくなり、接着シート表面に傷を付けることを防止することができる。
また、押圧部材を押圧ブラシと板状の押圧ブレードとのうちの少なくとも一方で構成するとともに、接着シートを押圧しつつ被貼付面の領域内を被貼付面に沿って旋回することで、簡単な構造の押圧部材により接着シートを貼付でき、装置構造を簡略化できる。
そして、押圧部材として気体噴出部材を用い、気体を噴出して接着シートを押圧することで、押圧部材が接着シートに接触することなく接着シートを貼付できる。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。
図1において、貼付装置1は、被着体としての板状部材11の被貼付面11Aに、接着シートASを貼付する装置である。
ここで、接着シートASは、基材シートBSと、この基材シートBSの一面(下面)に設けられた接着剤層ADとからなり、貼付面(接着剤層ADの下面)の反対側(上側)が帯状の剥離シートRLに疑似接着や濡れ性によって所定間隔で仮着されて原反RSを構成している。
剥離手段35は、駆動機器としての直動モータ35Aと、直動モータ35Aのスライダ35Bに取り付けられた移動フレーム35Cと、移動フレーム35Cに取り付けられ、駆動機器としての回動モータ35Dによって駆動される駆動ローラ35Eと、駆動ローラ35Eとの間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ35Fと、を備えている。
また、保持手段43には、平面視で中心位置から外縁に向かって拡開した略扇状に設けられるとともに、図4に示すように、正面視で下面側から上面側に向かって拡開した形状に設けられた切欠43Bが設けられ、この切欠43Bの下面側は、略長方形状の貫通孔43B1とされる。
次に、貼付装置1により接着シートASを板状部材11に貼付する工程について説明する。
まず、図1に示すように供給手段3に原反RSを通紙しておく。
図示しないロボットアームなどの搬送手段により、支持部材23の載置面23A上に板状部材11が供給されると、支持手段2が図示しない吸引手段を駆動し、板状部材11を吸着保持した後、直動モータ21を駆動し、図1に示すように、板状部材11を保持手段43の下方所定位置に移動させる。
その後、接着シートASが貼付された板状部材11は、図示しない搬送手段によって次の工程に搬送され、以降上記同様の動作が繰り返される。
また、押圧部材は、押圧ローラ44を用いる場合に限らず、例えば、図5(A)に示すように、押圧ブラシ61を用いたり、板状のゴム材や軟質プラスチックなどからなる押圧ブレード71を用いたり、押圧ブラシ61と押圧ブレード71との双方を有したものを用いたりしてもよい。すなわち、図7(A)に示す実施形態では、保持手段43の切欠43Bは、保持手段43を上下に貫通する貫通孔43B1のみの形状とされ、この貫通孔43B1の上部中央には、貫通孔43B1を幅方向に連結架橋する架橋部62が設けられている。そして、上記実施形態における全体押圧力調整手段46に代えて、架橋部62に設けられた駆動機器としての直動モータ63を用いている。この直動モータ63の出力軸63Aには、貫通孔43B1の長手方向に沿った棒状部材64が設けられている。そして、棒状部材64の長手方向の両端部には、上記実施形態の内外周押圧力調整手段47に相当する駆動機器としての直動モータ65および駆動機器としての直動モータ66がそれぞれ設けられている。これら、直動モータ65の出力軸65Aおよび直動モータ66の出力軸66Aの先端間に、前述の押圧ブラシ61や押圧ブレード71が連結されている。
この図5(A)に示す実施形態では、直動モータ63により押圧ブラシ61や押圧ブレード71を全体的に上下動させ、全体的な押圧力の強さが調整可能となっている。また、直動モータ65および直動モータ66のそれぞれを適宜に駆動することにより、押圧ブラシ61や押圧ブレード71における内周側や外周側の押圧力の強さが変更可能となっている。この場合も、押圧力調整手段は、各直動モータ63、65、66をトータル的に制御して、押圧ブラシ61や押圧ブレード71の内周側と外周側との押圧力の強さ所定の強さとなるように調整する。
また、保持手段43の径方向に沿って、押圧ブラシ61と押圧ブレード71とを設けた構成としてもよい。例えば、板状部材11として半導体ウェハを用い、この半導体ウェハに接着シートASを貼付する場合、半導体ウェハを切削する際の切削水が外周側から浸水しないように、接着シートASの外周側の密着度合いを強くするために、外周側を押圧ブレード71とし、内周側を押圧ブラシ61としてもよい。さらには、あらかじめ押圧ブラシ61の毛の長さが異なるように形成して異なる押圧力で押圧できる構成としたり、押圧ブラシ61の毛を異なる材質で形成して毛の剛性が異なることにより、押圧力の強さが異なるように形成したりしたものでもよい。
同様に、板状の押圧ブレード71を用いる場合でも、全体的に同材質にて形成する場合に限らず、例えば部分的に硬さの異なるゴムや樹脂などを用いて形成して押圧力の強さが異なるように形成するなどしてもよい。
すなわち、図5(B)に示す実施形態は、保持手段43の貫通孔43B1に気体噴出部材8が装着された構成とされている。気体噴出部材8の下面には、気体を噴出する複数の噴出口81が長手方向に沿って一列、もしくは、複数列、開口形成されている。
そして、噴出口81から気体を噴出しつつ保持手段43を回転させることで、気体噴出部材8から噴出される気体により、原反RSを板状部材11へ押し付けつつ気体噴出部材8自身が旋回し、接着シートASが板状部材11に貼付される。
そして、図5(C)に示す実施形態では、内周側直動モータ92および外周側直動モータ93により、シャッタ91を気体噴出部材8の下面に進退するように移動させることで、噴出口81の開口度合いを調整し、気体の噴出量を制御し、押圧力の強さを調整可能に構成されている。
具体的には、図5(C)に二点鎖線で示すように、気体噴出部材8の旋回方向における外周側に位置する噴出口81に対し、内周側に位置する噴出口81の開口領域を小さくするように、シャッタ91を斜めに移動させることで、内周側の押圧力が弱くなり、外周側の押圧力が強くなる状態が得られる。また、内周側および外周側の噴出口81が同様な開口領域となるように、シャッタ91を移動させることで、全体的な押圧力の強弱を調整できる。
また、基材シートBSの一面に接着シートASを有した接着シートASを貼付した後、基材シートBSを基層剥離手段5により剥離する構成を例示したが、例えば、剥離シートRLに接着シートASが直接設けられた原反RSを繰り出して、接着シートASを貼付する構成としてもよい。さらに、接着シートASとして例えば感熱接着性の接着シートを用い、当該接着シートASを保持手段43で保持し、加熱手段を備えた支持部材23で支持した被着体に加熱することで貼付する構成としてもよい。この場合、供給手段としては、例えばロボットアームなどにより保持手段43の下面に接着シートASを供給するなど、被着体の被貼付面に対向する状態に供給可能な従来公知の供給方法を用いればよい。
また、押圧ローラ44を保持手段43とは別体に構成し、押圧ローラ44を直接旋回させてもよい。さらに、旋回としては、例えば渦巻き状に移動させるなど、押圧開始位置と押圧終了位置とが異なるように押圧部材を旋回させてもよい。
また、押圧部材側を固定した状態とし、支持手段2および供給手段3を旋回させたり、押圧手段4と支持手段2および供給手段3との両方を旋回させたりする構成としてもよい。
また、帯状の接着シートASを板状部材11に貼付した後、当該接着シートASを所定形状に切断する切断手段を採用してもよい。
2……支持手段
3……供給手段
4……押圧手段
8……気体噴出部材
11……板状部材(被着体)
11A…被貼付面
43……保持手段
44……押圧ローラ(押圧部材)
46A…直動モータ(全体押圧力調整手段)
47A…直動モータ(内外周押圧力調整手段)
61……押圧ブラシ(押圧部材)
63……直動モータ(全体押圧力調整手段)
65……直動モータ(内外周押圧力調整手段)
66……直動モータ(内外周押圧力調整手段)
71……押圧ブレード(押圧部材)
AS……接着シート
Claims (4)
- 被着体を支持する支持手段と、
接着シートを被着体の被貼付面に対向する状態で供給する供給手段と、
前記接着シートを前記被貼付面に押圧して貼付する押圧手段とを具備し、
前記押圧手段は、前記接着シートを押圧する押圧部材を備え、
前記押圧部材と前記支持手段とを前記被貼付面の領域内で前記被貼付面に沿って相対的に旋回可能に構成されていることを特徴とする貼付装置。 - 前記押圧手段は、前記押圧部材と前記支持部材との旋回時において、前記押圧部材の内周側の押圧力および外周側の押圧力の強さをそれぞれ変更可能な内外周押圧力調整手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の貼付装置。
- 前記押圧部材は、転動可能な円錐形または截頭円錐形の押圧ローラにより構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の貼付装置。
- 被着体を支持する支持工程と、
接着シートを被着体の被貼付面に対向する状態で供給する供給工程と、
前記接着シートを押圧する押圧部材を用いて、前記接着シートを前記被貼付面に押圧して前記接着シートを前記被着体に貼付する押圧工程とを実施する貼付方法であって、
前記押圧工程では、前記被貼付面の領域内で前記押圧部材と前記被着体とを前記被貼付面に沿って相対的に旋回させて前記接着シートを前記被貼付面に貼付することを特徴とする貼付方法。
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