JP2013234912A - ソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、テスターにセットされた多数個の被検査部品を精度良く所定の温度範囲に入れることのできる部品検査装置を提供する。
【解決手段】ソケットガイド３０は、被検査部品２の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備えた複数のソケット３に接し、複数の被検査部品２を保持するハンド１５を複数のソケット３に対して所定の位置に案内するガイドプレート３１と、ガイドプレート３１の外周部領域に付設され、複数のカートリッジヒーター５１を有するヒータープレート３２と、ヒータープレート３２の複数の位置の温度を検出する複数の温度センサー５１ｓと、一つ以上のエアヒーター５２と、ガイドプレート３１に形成され、エアヒーター５２によって加熱されたホットエアーを複数のソケット３に導く流路と、を備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、ソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置に関する。

ＩＣデバイス、ＬＣＤパネル、密着型イメージセンサー（ＣＩＳ）などの電子部品は、一般的に、出荷段階の最終検査において、電子部品検査装置を用いた全数検査（電気的特性検査）を行なう。また、一般的に、電子部品検査装置は、テスターと、被検査部品をテスターのテストヘッドに供給するハンドラーとによって構成されている。
上記の電子部品は、近年ますます高集積化・高機能化が進む中で、その品質・信頼性においても、より高いものが要求されている。そのため、電気的特性検査は、長い時間を要するようになるばかりでなく、高温や低温状態でのより精度の高い検査が必要とされる場合が多い。これに対し、高温または低温で効率的に検査できるようにする技術として、特許文献１に記載されているように、熱源を備え、熱源によって加熱または冷却された流体を供給する流路が形成されたソケットガイド（被検査部品を保持するソケットのガイド）、およびこのソケットガイドを備える電子部品試験装置が知られている。

国際公開第ＷＯ２００９／１１８８５５号パンフレット（Ａ１）

しかしながら、特許文献１に記載のソケットガイド、およびこのソケットガイドを備える電子部品試験装置は、検査（試験）をより効率的に行なうための多数個並列処理に対して何ら考慮がされておらず、高温または低温で多数個並列に検査する場合において、精度良く検査を行なうことができないという問題があった。
以下、具体的に説明する。
特許文献１に記載のソケットガイドによると、熱源によってソケットガイドが加熱または冷却され、ソケットガイドに形成された流路を通過することで流体が加熱または冷却される。ソケットは、隣接するソケットガイドからの熱伝導および、流路から供給される流体の熱によって所定の温度となる。
一方、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温または低温で並列に検査を行なう多数個並列処理の場合、セットされた全ての被検査部品を短時間に所定の温度範囲に入るようにする必要がある。一般的に、多数個並列処理は、テスターおよびハンドラーの能力の範囲内で、より効率良く処理できるように被検査部品の検査環境を構築する。具体的には、並列処理ができる最大個数の、あるいはより多くの被検査部品がテストヘッド上に効率的にセットできるように（例えば、基板平面上にマトリクス状に密に）ソケットが配置される。このため、配列されるソケットの位置によっては、温度差が発生してしまう場合がある。この温度差が発生する原因としては、ソケットや被検査部品が放熱する周囲環境の違い（例えば、配列の周辺部と中央部との違いなど）、各ソケットとソケットガイドとの接触面積の違い、ソケットガイドに形成された流体出口から各ソケットまでの距離の違い、また、これらによるソケットボード自体の温度分布などによる。
つまり、特許文献１に記載のソケットガイドによると、高温または低温で並列に検査を行なう多数個並列処理の場合、セットされた全ての被検査部品を精度良く所定の温度範囲に入れるのが困難である、あるいは、精度良く所定の温度範囲に入れるためには、配列するソケットの位置による差が発生しないように、並列処理できる被検査部品の数を減らさなければならないという課題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例または形態として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかるソケットガイドは、被検査部品の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備えた複数のソケットに接し、複数の前記被検査部品を保持するハンドを複数の前記ソケットに対して所定の位置に案内するガイドプレートと、前記ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第１のヒーターを有するヒータープレートと、前記ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第２のヒーターと、前記ガイドプレートに形成され、前記第２のヒーターによって加熱された流体を複数の前記ソケットに導く第１の流路と、を備えることを特徴とする。

本適用例によれば、ソケットガイドは、複数のソケットに接するガイドプレートと、ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第１のヒーターを有するヒータープレートと、ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第２のヒーターと、第２のヒーターによって加熱された流体を複数のソケットに導く第１の流路などから構成されている。
つまり、ヒータープレートの複数の位置の温度をモニターしながら、複数の第１のヒーターおよび一つ以上の第２のヒーターの温度を個別に調整することができる構成になっている。これによって、ガイドプレートに配置される複数のソケットの温度ばらつきを低減する調整が可能となる。具体的には、ソケットや被検査部品が放熱する周囲環境の違いによって、例えば、やや低温にばらついた部位に近い位置の第１のヒーターを高い温度に設定することによって、温度を補正することができる。また、第１のヒーターで補正しきれない場合には、第２のヒーターの温度を調整することにより、ソケットに供給される流体の温度を調整することができるため、より精度の高い補正を行なうことができる。
従って、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、セットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るように調整することが可能となる。その結果、多数個並列処理によって、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。

［適用例２］上記適用例にかかるソケットガイドにおいて、前記ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、前記第１のヒーターは、前記枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターであることを特徴とする。

本適用例によれば、ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、第１のヒーターは、枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターである。一般的にテストヘッドはその平面形状が矩形である場合が多く、それに合わせた配列のソケットガイドに対して、ヒータープレートは矩形の枠状体であることが好ましい。また、複数のカートリッジヒーターを、ヒータープレートの枠の延在方向と略平行に内蔵することで、簡便にガイドプレートを周辺部から均一に加熱するヒータープレートを構成することができる。
なお、略平行とは実質的に平行であれば良いことを意味している。

［適用例３］上記適用例にかかるソケットガイドにおいて、前記ヒータープレートに形成された、前記第１の流路と連通する第２の流路と、前記ガイドプレートに形成され、前記ソケットに導かれた前記流体を前記ガイドプレートの外周部に備える排出口に導く第３の流路と、を更に備え、前記第２のヒーターによって加熱された前記流体は、前記第２の流路および前記第１の流路を経由して複数の前記ソケットに供給され、前記第３の流路を経由して排出されることを特徴とする。

本適用例によれば、第１の流路と連通する第２の流路がヒータープレートに形成されており、ソケットに導かれた流体を排出口に導く第３の流路がガイドプレートに形成されている。第２のヒーターによって加熱された流体は、第２の流路および第１の流路を経由して複数のソケットに供給され、第３の流路を経由して排出される。このように構成されることで、所定の温度に設定した流体を、よりスムーズに移動させることが可能となり、その結果、ソケットにセットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るようにより効率的に調整することが可能となる。

［適用例４］上記適用例にかかるソケットガイドにおいて、前記温度センサーは、複数の前記第１のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることを特徴とする。

本適用例のように、温度センサーは、複数の第１のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることが好ましい。このように構成することで、調整する第１のヒーターの温度をダイレクトにモニターしながら個別に調整することができるようになる。

［適用例５］上記適用例にかかるソケットガイドにおいて、前記第１の流路および前記第２の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数の前記ソケットに前記流体を導くための分岐および前記分岐から前記ソケットまで前記流体を導く分流路を有し、前記分流路には、前記流体の流量を調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、第１の流路および第２の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数のソケットに流体を導くための分岐および分岐からソケットまで流体を導く分流路を有し、分流路には、流体の流量を調節できる調節弁を更に備えている。このように構成することで、個々のソケットに供給される流体の流量を調節することにより、第２のヒーターから伝達される熱量の調整を個々のソケット毎に行なうことが可能となる。その結果、ソケットにセットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るようにより精度良く調整することが可能となる。

［適用例６］本適用例にかかるハンドラーは、搬送部と、ソケットガイドと、流体供給部と、を備えるハンドラーであって、前記搬送部は、被検査部品の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備えた複数のソケットに、複数の前記被検査部品を保持し移動させるハンドを有し、前記ソケットガイドは、複数の前記ソケットに接し、前記ハンドを複数の前記ソケットに対して所定の位置に案内するガイドプレートと、前記ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第１のヒーターを有するヒータープレートと、前記ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第２のヒーターと、前記ガイドプレートに形成され、前記第２のヒーターによって加熱された流体を複数の前記ソケットに導く第１の流路と、を備え、前記流体供給部は、前記第２のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第１の流路を経由して複数の前記ソケットに供給する、ことを特徴とする。

本適用例によれば、ハンドラーは、搬送部と、ソケットガイドと、流体供給部と、を備え、ソケットガイドは、複数のソケットに接するガイドプレートと、ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第１のヒーターを有するヒータープレートと、ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第２のヒーターと、第２のヒーターによって加熱された流体を複数のソケットに導く第１の流路などから構成されている。
つまり、ハンドラーが備えるソケットガイドは、ヒータープレートの複数の位置の温度をモニターしながら、複数の第１のヒーターおよび一つ以上の第２のヒーターの温度を個別に調整することができる構成になっている。これによって、ソケットガイドによってガイドされる複数のソケットの温度ばらつきを低減する調整が可能となる。具体的には、ソケットや被検査部品が放熱する周囲環境の違いによって、例えば、やや低温にばらついた部位に近い位置の第１のヒーターを高い温度に設定することによって、温度を補正することができる。また、第１のヒーターで補正しきれない場合には、第２のヒーターの温度を調整することにより、ソケットに供給される流体の温度を調整することができるため、より精度の高い補正を行なうことができる。
従って、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、セットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るように調整することが可能となる。その結果、多数個並列処理によって、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。

［適用例７］上記適用例にかかるハンドラーにおいて、前記ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、前記第１のヒーターは、前記枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターであることを特徴とする。

本適用例によれば、ハンドラーが備えるソケットガイドのヒータープレートは、矩形の枠状体であり、第１のヒーターは、枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターである。一般的にテストヘッドはその平面形状が矩形である場合が多く、それに合わせた配列のソケットガイドに対して、ヒータープレートは矩形の枠状体であることが好ましい。また、複数のカートリッジヒーターを、ヒータープレートの枠の延在方向と略平行に内蔵することで、簡便にガイドプレートを周辺部から均一に加熱するヒータープレートを構成することができる。その結果、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。

［適用例８］上記適用例にかかるハンドラーにおいて、前記ヒータープレートに形成された、前記第１の流路と連通する第２の流路と、前記ガイドプレートに形成され、前記ソケットに導かれた前記流体を前記ガイドプレートの外周部に備える排出口に導く第３の流路と、を更に備え、前記流体供給部は、前記第２のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第２の流路および前記第１の流路を経由して複数の前記ソケットに供給し、前記第３の流路を経由して排出することを特徴とする。

本適用例によれば、ハンドラーが備えるソケットガイドにおいて、第１の流路と連通する第２の流路が、ヒータープレートに形成されており、ソケットに導かれた流体を排出口に導く第３の流路が、ガイドプレートに形成されている。第２のヒーターによって加熱された流体は、第２の流路および第１の流路を経由して複数のソケットに供給され、第３の流路を経由して排出される。このように構成されることで、所定の温度に設定した流体を、よりスムーズに移動させることが可能となり、その結果、ソケットにセットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るようにより効率的に調整することが可能となる。

［適用例９］上記適用例にかかるハンドラーにおいて、前記温度センサーは、複数の前記第１のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることを特徴とする。

本適用例のように、ハンドラーが備えるソケットガイドにおいて、温度センサーは、複数の第１のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることが好ましい。このように構成することで、調整する第１のヒーターの温度をダイレクトにモニターしながら個別に調整することができるようになる。

［適用例１０］上記適用例にかかるハンドラーにおいて、前記第１の流路および前記第２の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数の前記ソケットに前記流体を導くための分岐および前記分岐から前記ソケットまで前記流体を導く分流路を有し、前記分流路には、前記流体の流量を調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、ハンドラーが備えるソケットガイドにおいて、第１の流路および第２の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数のソケットに流体を導くための分岐および分岐からソケットまで流体を導く分流路を有し、分流路には、流体の流量を調節できる調節弁を更に備えている。このように構成することで、個々のソケットに供給される流体の流量を調節することにより、第２のヒーターから伝達される熱量の調整を個々のソケット毎に行なうことが可能となる。その結果、ソケットにセットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るようにより精度良く調整することが可能となる。

［適用例１１］本適用例にかかる部品検査装置は、ハンドラーと、ソケットと、検査部と、を備える部品検査装置であって、前記ハンドラーは、搬送部と、ソケットガイドと、流体供給部と、を備え、前記ソケットは、被検査部品の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備え、前記搬送部は、複数の前記ソケットに、複数の前記被検査部品を保持し移動させるハンドを有し、前記ソケットガイドは、複数の前記ソケットに接し、前記ハンドを複数の前記ソケットに対して所定の位置に案内するガイドプレートと、前記ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第１のヒーターを有するヒータープレートと、前記ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第２のヒーターと、前記ガイドプレートに形成され、前記第２のヒーターによって加熱された流体を複数の前記ソケットに導く第１の流路と、を備え、前記流体供給部は、前記第２のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第１の流路を経由して複数の前記ソケットに供給し、前記検査部は、前記ソケットに装着された前記被検査部品を検査することを特徴とする。

本適用例によれば、部品検査装置は、ハンドラーと、ソケットと、検査部と、を備え、ハンドラーは、搬送部と、ソケットガイドと、流体供給部と、を備え、ソケットガイドは、複数のソケットに接するガイドプレートと、ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第１のヒーターを有するヒータープレートと、ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第２のヒーターと、第２のヒーターによって加熱された流体を複数のソケットに導く第１の流路などから構成されている。
つまり、部品検査装置が備えるソケットガイドは、ヒータープレートの複数の位置の温度をモニターしながら、複数の第１のヒーターおよび一つ以上の第２のヒーターの温度を個別に調整することができる構成になっている。これによって、ソケットガイドによってガイドされる複数のソケットの温度ばらつきを低減する調整が可能となる。具体的には、ソケットや被検査部品が放熱する周囲環境の違いによって、例えば、やや低温にばらついた部位に近い位置の第１のヒーターを高い温度に設定することによって、温度を補正することができる。また、第１のヒーターで補正しきれない場合には、第２のヒーターの温度を調整することにより、ソケットに供給される流体の温度を調整することができるため、より精度の高い補正を行なうことができる。
従って、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、セットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るように調整することが可能となる。その結果、多数個並列処理によって、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。

［適用例１２］上記適用例にかかる部品検査装置において、前記ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、前記第１のヒーターは、前記枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターであることを特徴とする。

本適用例によれば、部品検査装置が備えるソケットガイドのヒータープレートは、矩形の枠状体であり、第１のヒーターは、枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターである。一般的にテストヘッドはその平面形状が矩形である場合が多く、それに合わせた配列のソケットガイドに対して、ヒータープレートは矩形の枠状体であることが好ましい。また、複数のカートリッジヒーターを、ヒータープレートの枠の延在方向と略平行に内蔵することで、簡便にガイドプレートを周辺部から均一に加熱するヒータープレートを構成することができる。その結果、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。

［適用例１３］上記適用例にかかる部品検査装置において、前記ヒータープレートに形成された、前記第１の流路と連通する第２の流路と、前記ガイドプレートに形成され、前記ソケットに導かれた前記流体を前記ガイドプレートの外周部に備える排出口に導く第３の流路と、を更に備え、前記流体供給部は、前記第２のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第２の流路および前記第１の流路を経由して複数の前記ソケットに供給し、前記第３の流路を経由して排出することを特徴とする。

本適用例によれば、部品検査装置が備えるソケットガイドにおいて、第１の流路と連通する第２の流路が、ヒータープレートに形成されており、ソケットに導かれた流体を排出口に導く第３の流路が、ガイドプレートに形成されている。第２のヒーターによって加熱された流体は、第２の流路および第１の流路を経由して複数のソケットに供給され、第３の流路を経由して排出される。このように構成されることで、所定の温度に設定した流体を、よりスムーズに移動させることが可能となり、その結果、ソケットにセットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るようにより効率的に調整することが可能となる。

［適用例１４］上記適用例にかかる部品検査装置において、前記温度センサーは、複数の前記第１のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることを特徴とする。

本適用例のように、部品検査装置が備えるソケットガイドにおいて、温度センサーは、複数の第１のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることが好ましい。このように構成することで、調整する第１のヒーターの温度をダイレクトにモニターしながら個別に調整することができるようになる。

［適用例１５］上記適用例にかかる部品検査装置において、前記第１の流路および前記第２の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数の前記ソケットに前記流体を導くための分岐および前記分岐から前記ソケットまで前記流体を導く分流路を有し、前記分流路には、前記流体の流量を調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、部品検査装置が備えるソケットガイドにおいて、第１の流路および第２の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数のソケットに流体を導くための分岐および分岐からソケットまで流体を導く分流路を有し、分流路には、流体の流量を調節できる調節弁を更に備えている。このように構成することで、個々のソケットに供給される流体の流量を調節することにより、第２のヒーターから伝達される熱量の調整を個々のソケット毎に行なうことが可能となる。その結果、ソケットにセットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るようにより精度良く調整することが可能となる。

実施形態１にかかる部品検査装置の概略を示す側面図。 （ａ）：ソケットガイドの平面図、（ｂ）：ソケットガイドの断面図。 （ａ）：実施形態２にかかるソケットガイドの平面図、（ｂ）：ソケットガイドの断面図。

以下に本発明を具体化した実施形態について、図面を参照して説明する。以下は、本発明の一実施形態であって、本発明を限定するものではない。なお、以下の各図においては、説明を分かりやすくするため、実際とは異なる尺度で記載している場合がある。

（実施形態１）
まず、実施形態１にかかるソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置について説明する。
（部品検査装置）
図１は、実施形態１にかかる部品検査装置１の概略を示す側面図である。
部品検査装置１は、被検査部品２の電気的特性を検査する装置であり、ハンドラー１０と、検査部としてのテスター２０などから構成されている。ハンドラー１０は、ハンドラー本体１１にソケットガイド３０を備え、テスター２０は、テスター本体２１に電気的に接続されたテストヘッド２２を備えている。テストヘッド２２には、ソケット３が実装されたロードボード２３がセットされる。ソケット３は、被検査部品２の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備え、ソケット３にセットされた被検査部品２をロードボード２３、テストヘッド２２を介してテスター本体２１に電気的に接続する。被検査部品２は、ソケットガイド３０のガイドを受け、ハンドラー１０によってソケット３にセットされ、テスター２０によって電気的特性の検査が行われる。

被検査部品２は、例えばＩＣ（Integrated Circuit）デバイス、ＬＣＤパネル、密着型イメージセンサー（ＣＩＳ）などの電子部品であり、例えば、ＩＣデバイスの形態としては、ＢＧＡ（Ball grid array）、ＣＳＰ（Chip Scale Package）、ＱＦＰ（Quad Flat Package）、ＳＯＰ（Small Outline Package）などのパッケージがある。

（ハンドラー）
ハンドラー１０は、ハンドラー本体１１、ソケットガイド３０などから構成され、ハンドラー本体１１は、ローダー部１２、アンローダー部１３、搬送部１４、エア供給部４０などを含み構成されている。
ローダー部１２は、検査前の被検査部品２を収容する。アンローダー部１３は、検査後の被検査部品２を収容する。
搬送部１４は、被検査部品２を保持し移動させるハンド１５を有し、検査前の被検査部品２をローダー部１２からピックアップし、ソケット３にセットする。テスター２０により、ソケット３にセットされた被検査部品２の検査が行われ、検査が完了すると、ハンド１５は、ソケット３から被検査部品２をピックアップし、検査結果に応じて被検査部品２を良品や不良品などに分類してアンローダー部１３に収納する。
エア供給部４０は、ソケットガイド３０に流体としてのホットエアーを供給する流体供給部である。エア供給部４０の詳細は後述する。

（ソケットガイド）
図２（ａ）は、ソケットガイド３０の平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ‐Ａ断面図である。図２（ｂ）は、ソケットガイド３０の断面図に、ハンド１５、ソケット３、ロードボード２３、エア供給部４０などを付記している。
本実施例では、矩形状のロードボード２３に、６個のソケット３をマトリクス状（２行×３列）に実装し、６個の被検査部品２を高温状態にして並列に検査する場合を示している。

ソケットガイド３０は、ガイドプレート３１、ヒータープレート３２などから構成されている。ソケットガイド３０は、ロードボード２３に実装されたソケット３を、ハンドラー１０が認識する所定の位置に固定するガイドとしての機能に合わせ、被検査部品２に所定の熱ストレスを印加するための加熱体としての機能を持っている。
ソケットガイド３０は、ハンドラー１０に備えられるテーブル１６に固定される。テストヘッド２２に装着されたロードボード２３は、ソケットガイド３０を介して位置決めされ、ハンドラー１０に固定される。位置決めは、ロードボード２３、ソケットガイド３０、テーブル１６のそれぞれに嵌合される位置決めピン３３などによって精度良く行われる。

ガイドプレート３１は、ロードボード２３と略同じ大きさの矩形状の金属板であり、ロードボード２３上のソケット３に当接し、それぞれのソケット３の被検査部品２を収容する部分に対応した位置に開口部３１ｗを有している。ハンド１５に保持された被検査部品２が、開口部３１ｗを通してソケット３にセットされる。ハンド１５は、ガイドプレート３１に備えられハンド１５に嵌合される位置決めピン３４などによって精度良く被検査部品２をソケット３にセットすることができる。ガイドプレート３１は、例えば、ステンレス鋼により構成しているが、これに限定するものではなく、例えばアルミニウム材や銅材を用いて構成しても良い。

ヒータープレート３２は、ガイドプレート３１と略同じ大きさの矩形の金属枠状体であり、ガイドプレート３１の外周部領域の面上に当接して固定されている。ヒータープレート３２を構成する各辺の枠部分には、枠の延在方向と略平行に第１のヒーターとしてのカートリッジヒーター５１が埋設されている。カートリッジヒーター５１は、枠各辺の略２分の１の長さを有しており、枠各辺の端部から枠の中央部に向かって埋設されている。それぞれのカートリッジヒーター５１は、中央部付近に温度センサー５１ｓを備えており、それぞれのカートリッジヒーター５１の温度がモニターできるようになっている。

ヒータープレート３２は、例えば、ステンレス鋼により構成しているが、これに限定するものではなく、例えばアルミニウム材や銅材を用いて構成しても良い。また、ヒータープレート３２は、矩形の枠状体に限定するものではない。ガイドプレート３１の全体をより均一の温度分布にする熱源として機能する形態であれば良く、例えば、円形枠状にガイドプレート３１の周辺に付設しても良いし、また例えば、ガイドプレート３１の面上に格子状に付設する方法などでも良い。また、例えば、ガイドプレート３１とヒータープレート３２とのようにそれぞれを別に構成するのではなく、ガイドプレートに直接カートリッジヒーターを埋設する方法で構成しても良い。

エア供給部４０は、第２のヒーターとしてのエアヒーター５２、温度センサー５２ｓなどから構成され、圧空入口５２ｉとホットエアー出口５２ｏとを備えている。エア供給部４０は、圧空入口５２ｉから取り入れた圧空をエアヒーター５２により加熱し、ホットエアー出口５２ｏを介してソケットガイド３０に流体としてのホットエアーを供給する。ホットエアーの温度は、温度センサー５２ｓによりモニターすることができる。

ホットエアー出口５２ｏからソケット３までのホットエアーが導かれる流路は、流路６０および第１の流路としての流路６１、第２の流路としての流路６２などから構成されている。
流路６０は、ホットエアー出口５２ｏに連通し、テーブル１６を貫通してテーブル１６に固定されているヒータープレート３２に達する。流路６２は、図示するように、ヒータープレート３２の内部に形成され、流路６０に連通し、枠に沿って延び、最寄りのソケット３（開口部３１ｗ）の付近で分岐して当接するガイドプレート３１に向けて開口している。流路６１は、ガイドプレート３１の内部に形成され、個々の開口部３１ｗの付近で開口する流路６２に連通し、個々の開口部３１ｗの側面に開口している。

また、ガイドプレート３１の内部には、第３の流路としての流路６３が形成されている。流路６３は、図示するように、隣り合う開口部３１ｗを連通させ、また、ガイドプレート３１の側面に配置する排出口６４に連通している。ハンド１５に保持された被検査部品２が、開口部３１ｗを通してソケット３にセットされた場合に、開口部３１ｗに導入されたホットエアーは、流路６３を介して外部に排出されるように構成している。

図２（ａ），（ｂ）では、１つのエア供給部４０から２行×３列に配列されたソケット３の一方の行の３個のソケット３にホットエアーが供給される様子を示している。図示を省略しているが、他方の行の３個のソケット３にもホットエアーを供給するエア供給部４０を備えている。
なお、このようにエア供給部４０は２つに限定するものではなく、ホットエアーの流量や、ホットエアーで調整する温度範囲などから、必要に応じて備えることが好ましく、１つ、あるいは３つ以上備えるものであっても良い。
また、より効果的に熱ストレスを被検査部品２に印加するために、ソケット３の内部にホットエアーを導く流路を形成し、その流路に流路６１を連通するようにしても良い。

以上のような構成によれば、複数のカートリッジヒーター５１によりヒータープレート３２は加熱され、ヒータープレート３２に周辺部が当接するガイドプレート３１は、熱伝導により全体が加熱される。マトリクス状に配置された複数のソケット３は、それぞれガイドプレート３１に当接しているため、全体に加熱されたガイドプレート３１によって加熱される。ソケット３に伝達された熱は、接続端子３ａから被検査部品２の外部端子２ａを通じるなどして被検査部品２に熱ストレスとして印加される。
一般的に、ソケットは樹脂により構成されるため、熱伝導性が金属などに比べて低い。従って、すべてのソケット３が熱せられて温度が安定するまでには、ある程度の時間を要する。そのため、部品検査装置１は、エア供給部４０からエアヒーター５２により加熱されたホットエアーを、流路６０，６１，６２を介してソケット３に供給している。ホットエアーは、直接、接続端子３ａや外部端子２ａを加熱することができるので、より効率的に被検査部品２に熱ストレスを印加することができる。
なお、ガイドプレート３１からソケット３に対して熱伝導をより効率的に行えるようにするために、ガイドプレート３１がソケット３に当接する面積は、より広い方が好ましい。

（温度の調整）
部品検査装置１によれば、複数のヒーター（複数のカートリッジヒーター５１およびエアヒーター５２）および複数の温度センサー５１ｓ，５２ｓを備えているため、並列処理される複数の被検査部品２に印加する熱ストレスをより均一とするための調整を、より精度良く行なうことができる。
複数の位置にセットされる被検査部品２の温度は、例えば熱電対を埋め込んだ被検査部品２と同一形態のパッケージをそれぞれのソケット３にセットして測る方法や、あるいは、被検査部品２が接合を有する半導体を内蔵した電子部品の場合には、直接、ソケット３にセットされた被検査部品２から温度を読みとる方法（熱抵抗の温度特性により、接合部の温度Ｔｊを計測する方法）などがある。

以上述べたように、本実施形態によるソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置によれば、以下の効果を得ることができる。
ソケットガイド３０は、複数のソケット３に接するガイドプレート３１と、ガイドプレート３１の外周部領域に付設され、複数の第１のヒーターとしてのカートリッジヒーター５１を有するヒータープレート３２と、カートリッジヒーター５１の温度を検出する温度センサー５１ｓと、第２のヒーターとしてのエアヒーター５２と、エアヒーター５２によって加熱された流体としてのホットエアーを複数のソケット３に導く流路などから構成されている。
つまり、ヒータープレート３２の複数の位置のカートリッジヒーター５１の温度をモニターしながら、複数のカートリッジヒーター５１およびエアヒーター５２の温度を個別に調整することができる構成になっている。これによって、ガイドプレート３１に配置される複数のソケット３の温度ばらつきを低減する調整が可能となる。具体的には、ソケット３や被検査部品２が放熱する周囲環境の違いによって、例えば、やや低温にばらついた部位に近い位置のカートリッジヒーター５１を高い温度に設定することによって、温度を補正することができる。また、カートリッジヒーター５１で補正しきれない場合には、エア供給部４０から供給されるホットエアーの温度や流量を変更するなどして、より均一となるように調整することができる。
従って、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、セットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るように調整することが可能となる。その結果、多数個並列処理によって、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。

また、ヒータープレート３２は、矩形の枠状体であり、カートリッジヒーター５１は、枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されている。一般的にテストヘッドはその平面形状が矩形である場合が多く、複数のカートリッジヒーターを、ヒータープレートの枠の延在方向と略平行に内蔵することで、簡便にガイドプレートを周辺部から均一に加熱するヒータープレートを構成することができる。

また、ソケット３に導かれたホットエアーを排出口６４に導く流路６３が、ガイドプレート３１に形成されている。エアヒーター５２によって加熱されたホットエアーは、ヒータープレート３２およびガイドプレート３１に形成された流路６２，６１を経由して複数のソケット３に供給され、流路６３を経由して排出される。このように構成されることで、所定の温度に設定したホットエアーを、よりスムーズに移動させることが可能となり、その結果、ソケット３にセットされた被検査部品２を所定の温度範囲に入るようにより効率的に調整することが可能となる。

また、温度センサー５１ｓは、複数のカートリッジヒーター５１のそれぞれの温度を検出する位置に配置されているため、調整するカートリッジヒーター５１の温度をダイレクトにモニターしながら個別に調整することができるようになる。

（実施形態２）
次に、実施形態２にかかるソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置について説明する。なお、説明にあたり、上述した実施形態と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。
（ソケットガイド）
図３（ａ）は、実施形態２にかかるソケットガイド３０ｖの平面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ‐Ａ断面図である。図３（ｂ）は、ソケットガイド３０ｖの断面図に、ハンド１５、ソケット３、ロードボード２３、エア供給部４０などを付記している。
ソケットガイド３０ｖは、各ソケット３までのそれぞれの流路にホットエアーの流量を個別に調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする。

ソケットガイド３０ｖは、ガイドプレート３１ｖ、ヒータープレート３２などから構成されており、ガイドプレート３１ｖ以外は、ソケットガイド３０と同様の構成である。ガイドプレート３１ｖは、各ソケット３の位置に形成されている開口部３１ｗに連通する流路６１の途中に調節弁７０を備えている点を除き、ガイドプレート３１と同様の構成である。
具体的に説明する。
流路６０から供給されるホットエアーは、流路６１あるいは流路６２において分岐してそれぞれのソケット３に導かれる。図３（ａ），（ｂ）に示すガイドプレート３１ｖの例では、エア供給部４０からの流路は、流路６２において３つの分流路に分岐し、３つの流路６１として開口部３１ｗに連通している。３つの流路６１のそれぞれには、ホットエアーの流量が調節できる調節弁７０を備えている。

（ハンドラー）
実施形態１で説明したハンドラー１０において、ソケットガイド３０に代わりソケットガイド３０ｖを備えるハンドラーを構成することができる。

（部品検査装置）
実施形態１で説明した部品検査装置１において、ソケットガイド３０に代わりソケットガイド３０ｖを備えるハンドラーを構成することができる。

本実施形態によるソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置によれば、上述した実施形態の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
個々のソケット３に供給されるホットエアーの流量を調節することにより、第２のヒーターとしてのエアヒーター５２から伝達される熱量の調整を個々のソケット３毎に行なうことが可能となる。その結果、ソケット３にセットされた被検査部品２を所定の温度範囲に入るようにより精度良く調整することが可能となる。

１…部品検査装置、２…被検査部品、２ａ…外部端子、３…ソケット、３ａ…接続端子、１０…ハンドラー、１１…ハンドラー本体、１２…ローダー部、１３…アンローダー部、１４…搬送部、１５…ハンド、１６…テーブル、２０…テスター、２１…テスター本体、２２…テストヘッド、２３…ロードボード、３０，３０ｖ…ソケットガイド、３１，３１ｖ…ガイドプレート、３１ｗ…開口部、３２…ヒータープレート、３３，３４…位置決めピン、４０…エア供給部、５１…カートリッジヒーター、５１ｓ，５２ｓ…温度センサー、５２…エアヒーター、５２ｉ…圧空入口、５２ｏ…ホットエアー出口、６０，６１，６２，６３…流路、６４…排出口、７０…調節弁。

Claims (15)

1. 被検査部品の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備えた複数のソケットに接し、複数の前記被検査部品を保持するハンドを複数の前記ソケットに対して所定の位置に案内するガイドプレートと、
   前記ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第１のヒーターを有するヒータープレートと、
   前記ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、
   一つ以上の第２のヒーターと、
   前記ガイドプレートに形成され、前記第２のヒーターによって加熱された流体を複数の前記ソケットに導く第１の流路と、を備えることを特徴とするソケットガイド。
2. 前記ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、
   前記第１のヒーターは、前記枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターであることを特徴とする請求項１に記載のソケットガイド。
3. 前記ヒータープレートに形成された、前記第１の流路と連通する第２の流路と、
   前記ガイドプレートに形成され、前記ソケットに導かれた前記流体を前記ガイドプレートの外周部に備える排出口に導く第３の流路と、を更に備え、
   前記第２のヒーターによって加熱された前記流体は、前記第２の流路および前記第１の流路を経由して複数の前記ソケットに供給され、前記第３の流路を経由して排出されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のソケットガイド。
4. 前記温度センサーは、複数の前記第１のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載のソケットガイド。
5. 前記第１の流路および前記第２の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数の前記ソケットに前記流体を導くための分岐および前記分岐から前記ソケットまで前記流体を導く分流路を有し、前記分流路には、前記流体の流量を調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載のソケットガイド。
6. 搬送部と、ソケットガイドと、流体供給部と、を備えるハンドラーであって、
   前記搬送部は、被検査部品の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備えた複数のソケットに、複数の前記被検査部品を保持し移動させるハンドを有し、
   前記ソケットガイドは、複数の前記ソケットに接し、前記ハンドを複数の前記ソケットに対して所定の位置に案内するガイドプレートと、前記ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第１のヒーターを有するヒータープレートと、前記ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第２のヒーターと、前記ガイドプレートに形成され、前記第２のヒーターによって加熱された流体を複数の前記ソケットに導く第１の流路と、を備え、
   前記流体供給部は、前記第２のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第１の流路を経由して複数の前記ソケットに供給する、ことを特徴とするハンドラー。
7. 前記ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、
   前記第１のヒーターは、前記枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターであることを特徴とする請求項６に記載のハンドラー。
8. 前記ヒータープレートに形成された、前記第１の流路と連通する第２の流路と、
   前記ガイドプレートに形成され、前記ソケットに導かれた前記流体を前記ガイドプレートの外周部に備える排出口に導く第３の流路と、を更に備え、
   前記流体供給部は、前記第２のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第２の流路および前記第１の流路を経由して複数の前記ソケットに供給し、前記第３の流路を経由して排出することを特徴とする請求項６または請求項７に記載のハンドラー。
9. 前記温度センサーは、複数の前記第１のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることを特徴とする請求項６ないし請求項８のいずれか一項に記載のハンドラー。
10. 前記第１の流路および前記第２の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数の前記ソケットに前記流体を導くための分岐および前記分岐から前記ソケットまで前記流体を導く分流路を有し、前記分流路には、前記流体の流量を調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする請求項６ないし請求項９のいずれか一項に記載のハンドラー。
11. ハンドラーと、ソケットと、検査部と、を備える部品検査装置であって、
    前記ハンドラーは、搬送部と、ソケットガイドと、流体供給部と、を備え、
    前記ソケットは、被検査部品の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備え、
    前記搬送部は、複数の前記ソケットに、複数の前記被検査部品を保持し移動させるハンドを有し、
    前記ソケットガイドは、複数の前記ソケットに接し、前記ハンドを複数の前記ソケットに対して所定の位置に案内するガイドプレートと、前記ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第１のヒーターを有するヒータープレートと、前記ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第２のヒーターと、前記ガイドプレートに形成され、前記第２のヒーターによって加熱された流体を複数の前記ソケットに導く第１の流路と、を備え、
    前記流体供給部は、前記第２のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第１の流路を経由して複数の前記ソケットに供給し、
    前記検査部は、前記ソケットに装着された前記被検査部品を検査することを特徴とする部品検査装置。
12. 前記ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、
    前記第１のヒーターは、前記枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターであることを特徴とする請求項１１に記載の部品検査装置。
13. 前記ヒータープレートに形成された、前記第１の流路と連通する第２の流路と、
    前記ガイドプレートに形成され、前記ソケットに導かれた前記流体を前記ガイドプレートの外周部に備える排出口に導く第３の流路と、を更に備え、
    前記流体供給部は、前記第２のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第２の流路および前記第１の流路を経由して複数の前記ソケットに供給し、前記第３の流路を経由して排出することを特徴とする請求項１１または請求項１２に記載の部品検査装置。
14. 前記温度センサーは、複数の前記第１のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることを特徴とする請求項１１ないし請求項１３のいずれか一項に記載の部品検査装置。
15. 前記第１の流路および前記第２の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数の前記ソケットに前記流体を導くための分岐および前記分岐から前記ソケットまで前記流体を導く分流路を有し、前記分流路には、前記流体の流量を調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする請求項１１ないし請求項１４のいずれか一項に記載の部品検査装置。

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