JP2013234912A - ソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、テスターにセットされた多数個の被検査部品を精度良く所定の温度範囲に入れることのできる部品検査装置を提供する。
【解決手段】ソケットガイド30は、被検査部品2の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備えた複数のソケット3に接し、複数の被検査部品2を保持するハンド15を複数のソケット3に対して所定の位置に案内するガイドプレート31と、ガイドプレート31の外周部領域に付設され、複数のカートリッジヒーター51を有するヒータープレート32と、ヒータープレート32の複数の位置の温度を検出する複数の温度センサー51sと、一つ以上のエアヒーター52と、ガイドプレート31に形成され、エアヒーター52によって加熱されたホットエアーを複数のソケット3に導く流路と、を備える。
【選択図】図2
【解決手段】ソケットガイド30は、被検査部品2の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備えた複数のソケット3に接し、複数の被検査部品2を保持するハンド15を複数のソケット3に対して所定の位置に案内するガイドプレート31と、ガイドプレート31の外周部領域に付設され、複数のカートリッジヒーター51を有するヒータープレート32と、ヒータープレート32の複数の位置の温度を検出する複数の温度センサー51sと、一つ以上のエアヒーター52と、ガイドプレート31に形成され、エアヒーター52によって加熱されたホットエアーを複数のソケット3に導く流路と、を備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、ソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置に関する。
ICデバイス、LCDパネル、密着型イメージセンサー(CIS)などの電子部品は、一般的に、出荷段階の最終検査において、電子部品検査装置を用いた全数検査(電気的特性検査)を行なう。また、一般的に、電子部品検査装置は、テスターと、被検査部品をテスターのテストヘッドに供給するハンドラーとによって構成されている。
上記の電子部品は、近年ますます高集積化・高機能化が進む中で、その品質・信頼性においても、より高いものが要求されている。そのため、電気的特性検査は、長い時間を要するようになるばかりでなく、高温や低温状態でのより精度の高い検査が必要とされる場合が多い。これに対し、高温または低温で効率的に検査できるようにする技術として、特許文献1に記載されているように、熱源を備え、熱源によって加熱または冷却された流体を供給する流路が形成されたソケットガイド(被検査部品を保持するソケットのガイド)、およびこのソケットガイドを備える電子部品試験装置が知られている。
上記の電子部品は、近年ますます高集積化・高機能化が進む中で、その品質・信頼性においても、より高いものが要求されている。そのため、電気的特性検査は、長い時間を要するようになるばかりでなく、高温や低温状態でのより精度の高い検査が必要とされる場合が多い。これに対し、高温または低温で効率的に検査できるようにする技術として、特許文献1に記載されているように、熱源を備え、熱源によって加熱または冷却された流体を供給する流路が形成されたソケットガイド(被検査部品を保持するソケットのガイド)、およびこのソケットガイドを備える電子部品試験装置が知られている。
しかしながら、特許文献1に記載のソケットガイド、およびこのソケットガイドを備える電子部品試験装置は、検査(試験)をより効率的に行なうための多数個並列処理に対して何ら考慮がされておらず、高温または低温で多数個並列に検査する場合において、精度良く検査を行なうことができないという問題があった。
以下、具体的に説明する。
特許文献1に記載のソケットガイドによると、熱源によってソケットガイドが加熱または冷却され、ソケットガイドに形成された流路を通過することで流体が加熱または冷却される。ソケットは、隣接するソケットガイドからの熱伝導および、流路から供給される流体の熱によって所定の温度となる。
一方、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温または低温で並列に検査を行なう多数個並列処理の場合、セットされた全ての被検査部品を短時間に所定の温度範囲に入るようにする必要がある。一般的に、多数個並列処理は、テスターおよびハンドラーの能力の範囲内で、より効率良く処理できるように被検査部品の検査環境を構築する。具体的には、並列処理ができる最大個数の、あるいはより多くの被検査部品がテストヘッド上に効率的にセットできるように(例えば、基板平面上にマトリクス状に密に)ソケットが配置される。このため、配列されるソケットの位置によっては、温度差が発生してしまう場合がある。この温度差が発生する原因としては、ソケットや被検査部品が放熱する周囲環境の違い(例えば、配列の周辺部と中央部との違いなど)、各ソケットとソケットガイドとの接触面積の違い、ソケットガイドに形成された流体出口から各ソケットまでの距離の違い、また、これらによるソケットボード自体の温度分布などによる。
つまり、特許文献1に記載のソケットガイドによると、高温または低温で並列に検査を行なう多数個並列処理の場合、セットされた全ての被検査部品を精度良く所定の温度範囲に入れるのが困難である、あるいは、精度良く所定の温度範囲に入れるためには、配列するソケットの位置による差が発生しないように、並列処理できる被検査部品の数を減らさなければならないという課題があった。
以下、具体的に説明する。
特許文献1に記載のソケットガイドによると、熱源によってソケットガイドが加熱または冷却され、ソケットガイドに形成された流路を通過することで流体が加熱または冷却される。ソケットは、隣接するソケットガイドからの熱伝導および、流路から供給される流体の熱によって所定の温度となる。
一方、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温または低温で並列に検査を行なう多数個並列処理の場合、セットされた全ての被検査部品を短時間に所定の温度範囲に入るようにする必要がある。一般的に、多数個並列処理は、テスターおよびハンドラーの能力の範囲内で、より効率良く処理できるように被検査部品の検査環境を構築する。具体的には、並列処理ができる最大個数の、あるいはより多くの被検査部品がテストヘッド上に効率的にセットできるように(例えば、基板平面上にマトリクス状に密に)ソケットが配置される。このため、配列されるソケットの位置によっては、温度差が発生してしまう場合がある。この温度差が発生する原因としては、ソケットや被検査部品が放熱する周囲環境の違い(例えば、配列の周辺部と中央部との違いなど)、各ソケットとソケットガイドとの接触面積の違い、ソケットガイドに形成された流体出口から各ソケットまでの距離の違い、また、これらによるソケットボード自体の温度分布などによる。
つまり、特許文献1に記載のソケットガイドによると、高温または低温で並列に検査を行なう多数個並列処理の場合、セットされた全ての被検査部品を精度良く所定の温度範囲に入れるのが困難である、あるいは、精度良く所定の温度範囲に入れるためには、配列するソケットの位置による差が発生しないように、並列処理できる被検査部品の数を減らさなければならないという課題があった。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例または形態として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例にかかるソケットガイドは、被検査部品の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備えた複数のソケットに接し、複数の前記被検査部品を保持するハンドを複数の前記ソケットに対して所定の位置に案内するガイドプレートと、前記ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第1のヒーターを有するヒータープレートと、前記ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第2のヒーターと、前記ガイドプレートに形成され、前記第2のヒーターによって加熱された流体を複数の前記ソケットに導く第1の流路と、を備えることを特徴とする。
本適用例によれば、ソケットガイドは、複数のソケットに接するガイドプレートと、ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第1のヒーターを有するヒータープレートと、ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第2のヒーターと、第2のヒーターによって加熱された流体を複数のソケットに導く第1の流路などから構成されている。
つまり、ヒータープレートの複数の位置の温度をモニターしながら、複数の第1のヒーターおよび一つ以上の第2のヒーターの温度を個別に調整することができる構成になっている。これによって、ガイドプレートに配置される複数のソケットの温度ばらつきを低減する調整が可能となる。具体的には、ソケットや被検査部品が放熱する周囲環境の違いによって、例えば、やや低温にばらついた部位に近い位置の第1のヒーターを高い温度に設定することによって、温度を補正することができる。また、第1のヒーターで補正しきれない場合には、第2のヒーターの温度を調整することにより、ソケットに供給される流体の温度を調整することができるため、より精度の高い補正を行なうことができる。
従って、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、セットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るように調整することが可能となる。その結果、多数個並列処理によって、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。
つまり、ヒータープレートの複数の位置の温度をモニターしながら、複数の第1のヒーターおよび一つ以上の第2のヒーターの温度を個別に調整することができる構成になっている。これによって、ガイドプレートに配置される複数のソケットの温度ばらつきを低減する調整が可能となる。具体的には、ソケットや被検査部品が放熱する周囲環境の違いによって、例えば、やや低温にばらついた部位に近い位置の第1のヒーターを高い温度に設定することによって、温度を補正することができる。また、第1のヒーターで補正しきれない場合には、第2のヒーターの温度を調整することにより、ソケットに供給される流体の温度を調整することができるため、より精度の高い補正を行なうことができる。
従って、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、セットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るように調整することが可能となる。その結果、多数個並列処理によって、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。
[適用例2]上記適用例にかかるソケットガイドにおいて、前記ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、前記第1のヒーターは、前記枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターであることを特徴とする。
本適用例によれば、ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、第1のヒーターは、枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターである。一般的にテストヘッドはその平面形状が矩形である場合が多く、それに合わせた配列のソケットガイドに対して、ヒータープレートは矩形の枠状体であることが好ましい。また、複数のカートリッジヒーターを、ヒータープレートの枠の延在方向と略平行に内蔵することで、簡便にガイドプレートを周辺部から均一に加熱するヒータープレートを構成することができる。
なお、略平行とは実質的に平行であれば良いことを意味している。
なお、略平行とは実質的に平行であれば良いことを意味している。
[適用例3]上記適用例にかかるソケットガイドにおいて、前記ヒータープレートに形成された、前記第1の流路と連通する第2の流路と、前記ガイドプレートに形成され、前記ソケットに導かれた前記流体を前記ガイドプレートの外周部に備える排出口に導く第3の流路と、を更に備え、前記第2のヒーターによって加熱された前記流体は、前記第2の流路および前記第1の流路を経由して複数の前記ソケットに供給され、前記第3の流路を経由して排出されることを特徴とする。
本適用例によれば、第1の流路と連通する第2の流路がヒータープレートに形成されており、ソケットに導かれた流体を排出口に導く第3の流路がガイドプレートに形成されている。第2のヒーターによって加熱された流体は、第2の流路および第1の流路を経由して複数のソケットに供給され、第3の流路を経由して排出される。このように構成されることで、所定の温度に設定した流体を、よりスムーズに移動させることが可能となり、その結果、ソケットにセットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るようにより効率的に調整することが可能となる。
[適用例4]上記適用例にかかるソケットガイドにおいて、前記温度センサーは、複数の前記第1のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることを特徴とする。
本適用例のように、温度センサーは、複数の第1のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることが好ましい。このように構成することで、調整する第1のヒーターの温度をダイレクトにモニターしながら個別に調整することができるようになる。
[適用例5]上記適用例にかかるソケットガイドにおいて、前記第1の流路および前記第2の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数の前記ソケットに前記流体を導くための分岐および前記分岐から前記ソケットまで前記流体を導く分流路を有し、前記分流路には、前記流体の流量を調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、第1の流路および第2の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数のソケットに流体を導くための分岐および分岐からソケットまで流体を導く分流路を有し、分流路には、流体の流量を調節できる調節弁を更に備えている。このように構成することで、個々のソケットに供給される流体の流量を調節することにより、第2のヒーターから伝達される熱量の調整を個々のソケット毎に行なうことが可能となる。その結果、ソケットにセットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るようにより精度良く調整することが可能となる。
[適用例6]本適用例にかかるハンドラーは、搬送部と、ソケットガイドと、流体供給部と、を備えるハンドラーであって、前記搬送部は、被検査部品の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備えた複数のソケットに、複数の前記被検査部品を保持し移動させるハンドを有し、前記ソケットガイドは、複数の前記ソケットに接し、前記ハンドを複数の前記ソケットに対して所定の位置に案内するガイドプレートと、前記ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第1のヒーターを有するヒータープレートと、前記ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第2のヒーターと、前記ガイドプレートに形成され、前記第2のヒーターによって加熱された流体を複数の前記ソケットに導く第1の流路と、を備え、前記流体供給部は、前記第2のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第1の流路を経由して複数の前記ソケットに供給する、ことを特徴とする。
本適用例によれば、ハンドラーは、搬送部と、ソケットガイドと、流体供給部と、を備え、ソケットガイドは、複数のソケットに接するガイドプレートと、ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第1のヒーターを有するヒータープレートと、ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第2のヒーターと、第2のヒーターによって加熱された流体を複数のソケットに導く第1の流路などから構成されている。
つまり、ハンドラーが備えるソケットガイドは、ヒータープレートの複数の位置の温度をモニターしながら、複数の第1のヒーターおよび一つ以上の第2のヒーターの温度を個別に調整することができる構成になっている。これによって、ソケットガイドによってガイドされる複数のソケットの温度ばらつきを低減する調整が可能となる。具体的には、ソケットや被検査部品が放熱する周囲環境の違いによって、例えば、やや低温にばらついた部位に近い位置の第1のヒーターを高い温度に設定することによって、温度を補正することができる。また、第1のヒーターで補正しきれない場合には、第2のヒーターの温度を調整することにより、ソケットに供給される流体の温度を調整することができるため、より精度の高い補正を行なうことができる。
従って、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、セットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るように調整することが可能となる。その結果、多数個並列処理によって、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。
つまり、ハンドラーが備えるソケットガイドは、ヒータープレートの複数の位置の温度をモニターしながら、複数の第1のヒーターおよび一つ以上の第2のヒーターの温度を個別に調整することができる構成になっている。これによって、ソケットガイドによってガイドされる複数のソケットの温度ばらつきを低減する調整が可能となる。具体的には、ソケットや被検査部品が放熱する周囲環境の違いによって、例えば、やや低温にばらついた部位に近い位置の第1のヒーターを高い温度に設定することによって、温度を補正することができる。また、第1のヒーターで補正しきれない場合には、第2のヒーターの温度を調整することにより、ソケットに供給される流体の温度を調整することができるため、より精度の高い補正を行なうことができる。
従って、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、セットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るように調整することが可能となる。その結果、多数個並列処理によって、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。
[適用例7]上記適用例にかかるハンドラーにおいて、前記ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、前記第1のヒーターは、前記枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターであることを特徴とする。
本適用例によれば、ハンドラーが備えるソケットガイドのヒータープレートは、矩形の枠状体であり、第1のヒーターは、枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターである。一般的にテストヘッドはその平面形状が矩形である場合が多く、それに合わせた配列のソケットガイドに対して、ヒータープレートは矩形の枠状体であることが好ましい。また、複数のカートリッジヒーターを、ヒータープレートの枠の延在方向と略平行に内蔵することで、簡便にガイドプレートを周辺部から均一に加熱するヒータープレートを構成することができる。その結果、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。
[適用例8]上記適用例にかかるハンドラーにおいて、前記ヒータープレートに形成された、前記第1の流路と連通する第2の流路と、前記ガイドプレートに形成され、前記ソケットに導かれた前記流体を前記ガイドプレートの外周部に備える排出口に導く第3の流路と、を更に備え、前記流体供給部は、前記第2のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第2の流路および前記第1の流路を経由して複数の前記ソケットに供給し、前記第3の流路を経由して排出することを特徴とする。
本適用例によれば、ハンドラーが備えるソケットガイドにおいて、第1の流路と連通する第2の流路が、ヒータープレートに形成されており、ソケットに導かれた流体を排出口に導く第3の流路が、ガイドプレートに形成されている。第2のヒーターによって加熱された流体は、第2の流路および第1の流路を経由して複数のソケットに供給され、第3の流路を経由して排出される。このように構成されることで、所定の温度に設定した流体を、よりスムーズに移動させることが可能となり、その結果、ソケットにセットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るようにより効率的に調整することが可能となる。
[適用例9]上記適用例にかかるハンドラーにおいて、前記温度センサーは、複数の前記第1のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることを特徴とする。
本適用例のように、ハンドラーが備えるソケットガイドにおいて、温度センサーは、複数の第1のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることが好ましい。このように構成することで、調整する第1のヒーターの温度をダイレクトにモニターしながら個別に調整することができるようになる。
[適用例10]上記適用例にかかるハンドラーにおいて、前記第1の流路および前記第2の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数の前記ソケットに前記流体を導くための分岐および前記分岐から前記ソケットまで前記流体を導く分流路を有し、前記分流路には、前記流体の流量を調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、ハンドラーが備えるソケットガイドにおいて、第1の流路および第2の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数のソケットに流体を導くための分岐および分岐からソケットまで流体を導く分流路を有し、分流路には、流体の流量を調節できる調節弁を更に備えている。このように構成することで、個々のソケットに供給される流体の流量を調節することにより、第2のヒーターから伝達される熱量の調整を個々のソケット毎に行なうことが可能となる。その結果、ソケットにセットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るようにより精度良く調整することが可能となる。
[適用例11]本適用例にかかる部品検査装置は、ハンドラーと、ソケットと、検査部と、を備える部品検査装置であって、前記ハンドラーは、搬送部と、ソケットガイドと、流体供給部と、を備え、前記ソケットは、被検査部品の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備え、前記搬送部は、複数の前記ソケットに、複数の前記被検査部品を保持し移動させるハンドを有し、前記ソケットガイドは、複数の前記ソケットに接し、前記ハンドを複数の前記ソケットに対して所定の位置に案内するガイドプレートと、前記ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第1のヒーターを有するヒータープレートと、前記ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第2のヒーターと、前記ガイドプレートに形成され、前記第2のヒーターによって加熱された流体を複数の前記ソケットに導く第1の流路と、を備え、前記流体供給部は、前記第2のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第1の流路を経由して複数の前記ソケットに供給し、前記検査部は、前記ソケットに装着された前記被検査部品を検査することを特徴とする。
本適用例によれば、部品検査装置は、ハンドラーと、ソケットと、検査部と、を備え、ハンドラーは、搬送部と、ソケットガイドと、流体供給部と、を備え、ソケットガイドは、複数のソケットに接するガイドプレートと、ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第1のヒーターを有するヒータープレートと、ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第2のヒーターと、第2のヒーターによって加熱された流体を複数のソケットに導く第1の流路などから構成されている。
つまり、部品検査装置が備えるソケットガイドは、ヒータープレートの複数の位置の温度をモニターしながら、複数の第1のヒーターおよび一つ以上の第2のヒーターの温度を個別に調整することができる構成になっている。これによって、ソケットガイドによってガイドされる複数のソケットの温度ばらつきを低減する調整が可能となる。具体的には、ソケットや被検査部品が放熱する周囲環境の違いによって、例えば、やや低温にばらついた部位に近い位置の第1のヒーターを高い温度に設定することによって、温度を補正することができる。また、第1のヒーターで補正しきれない場合には、第2のヒーターの温度を調整することにより、ソケットに供給される流体の温度を調整することができるため、より精度の高い補正を行なうことができる。
従って、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、セットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るように調整することが可能となる。その結果、多数個並列処理によって、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。
つまり、部品検査装置が備えるソケットガイドは、ヒータープレートの複数の位置の温度をモニターしながら、複数の第1のヒーターおよび一つ以上の第2のヒーターの温度を個別に調整することができる構成になっている。これによって、ソケットガイドによってガイドされる複数のソケットの温度ばらつきを低減する調整が可能となる。具体的には、ソケットや被検査部品が放熱する周囲環境の違いによって、例えば、やや低温にばらついた部位に近い位置の第1のヒーターを高い温度に設定することによって、温度を補正することができる。また、第1のヒーターで補正しきれない場合には、第2のヒーターの温度を調整することにより、ソケットに供給される流体の温度を調整することができるため、より精度の高い補正を行なうことができる。
従って、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、セットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るように調整することが可能となる。その結果、多数個並列処理によって、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。
[適用例12]上記適用例にかかる部品検査装置において、前記ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、前記第1のヒーターは、前記枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターであることを特徴とする。
本適用例によれば、部品検査装置が備えるソケットガイドのヒータープレートは、矩形の枠状体であり、第1のヒーターは、枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターである。一般的にテストヘッドはその平面形状が矩形である場合が多く、それに合わせた配列のソケットガイドに対して、ヒータープレートは矩形の枠状体であることが好ましい。また、複数のカートリッジヒーターを、ヒータープレートの枠の延在方向と略平行に内蔵することで、簡便にガイドプレートを周辺部から均一に加熱するヒータープレートを構成することができる。その結果、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。
[適用例13]上記適用例にかかる部品検査装置において、前記ヒータープレートに形成された、前記第1の流路と連通する第2の流路と、前記ガイドプレートに形成され、前記ソケットに導かれた前記流体を前記ガイドプレートの外周部に備える排出口に導く第3の流路と、を更に備え、前記流体供給部は、前記第2のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第2の流路および前記第1の流路を経由して複数の前記ソケットに供給し、前記第3の流路を経由して排出することを特徴とする。
本適用例によれば、部品検査装置が備えるソケットガイドにおいて、第1の流路と連通する第2の流路が、ヒータープレートに形成されており、ソケットに導かれた流体を排出口に導く第3の流路が、ガイドプレートに形成されている。第2のヒーターによって加熱された流体は、第2の流路および第1の流路を経由して複数のソケットに供給され、第3の流路を経由して排出される。このように構成されることで、所定の温度に設定した流体を、よりスムーズに移動させることが可能となり、その結果、ソケットにセットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るようにより効率的に調整することが可能となる。
[適用例14]上記適用例にかかる部品検査装置において、前記温度センサーは、複数の前記第1のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることを特徴とする。
本適用例のように、部品検査装置が備えるソケットガイドにおいて、温度センサーは、複数の第1のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることが好ましい。このように構成することで、調整する第1のヒーターの温度をダイレクトにモニターしながら個別に調整することができるようになる。
[適用例15]上記適用例にかかる部品検査装置において、前記第1の流路および前記第2の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数の前記ソケットに前記流体を導くための分岐および前記分岐から前記ソケットまで前記流体を導く分流路を有し、前記分流路には、前記流体の流量を調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、部品検査装置が備えるソケットガイドにおいて、第1の流路および第2の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数のソケットに流体を導くための分岐および分岐からソケットまで流体を導く分流路を有し、分流路には、流体の流量を調節できる調節弁を更に備えている。このように構成することで、個々のソケットに供給される流体の流量を調節することにより、第2のヒーターから伝達される熱量の調整を個々のソケット毎に行なうことが可能となる。その結果、ソケットにセットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るようにより精度良く調整することが可能となる。
以下に本発明を具体化した実施形態について、図面を参照して説明する。以下は、本発明の一実施形態であって、本発明を限定するものではない。なお、以下の各図においては、説明を分かりやすくするため、実際とは異なる尺度で記載している場合がある。
(実施形態1)
まず、実施形態1にかかるソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置について説明する。
(部品検査装置)
図1は、実施形態1にかかる部品検査装置1の概略を示す側面図である。
部品検査装置1は、被検査部品2の電気的特性を検査する装置であり、ハンドラー10と、検査部としてのテスター20などから構成されている。ハンドラー10は、ハンドラー本体11にソケットガイド30を備え、テスター20は、テスター本体21に電気的に接続されたテストヘッド22を備えている。テストヘッド22には、ソケット3が実装されたロードボード23がセットされる。ソケット3は、被検査部品2の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備え、ソケット3にセットされた被検査部品2をロードボード23、テストヘッド22を介してテスター本体21に電気的に接続する。被検査部品2は、ソケットガイド30のガイドを受け、ハンドラー10によってソケット3にセットされ、テスター20によって電気的特性の検査が行われる。
まず、実施形態1にかかるソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置について説明する。
(部品検査装置)
図1は、実施形態1にかかる部品検査装置1の概略を示す側面図である。
部品検査装置1は、被検査部品2の電気的特性を検査する装置であり、ハンドラー10と、検査部としてのテスター20などから構成されている。ハンドラー10は、ハンドラー本体11にソケットガイド30を備え、テスター20は、テスター本体21に電気的に接続されたテストヘッド22を備えている。テストヘッド22には、ソケット3が実装されたロードボード23がセットされる。ソケット3は、被検査部品2の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備え、ソケット3にセットされた被検査部品2をロードボード23、テストヘッド22を介してテスター本体21に電気的に接続する。被検査部品2は、ソケットガイド30のガイドを受け、ハンドラー10によってソケット3にセットされ、テスター20によって電気的特性の検査が行われる。
被検査部品2は、例えばIC(Integrated Circuit)デバイス、LCDパネル、密着型イメージセンサー(CIS)などの電子部品であり、例えば、ICデバイスの形態としては、BGA(Ball grid array)、CSP(Chip Scale Package)、QFP(Quad Flat Package)、SOP(Small Outline Package)などのパッケージがある。
(ハンドラー)
ハンドラー10は、ハンドラー本体11、ソケットガイド30などから構成され、ハンドラー本体11は、ローダー部12、アンローダー部13、搬送部14、エア供給部40などを含み構成されている。
ローダー部12は、検査前の被検査部品2を収容する。アンローダー部13は、検査後の被検査部品2を収容する。
搬送部14は、被検査部品2を保持し移動させるハンド15を有し、検査前の被検査部品2をローダー部12からピックアップし、ソケット3にセットする。テスター20により、ソケット3にセットされた被検査部品2の検査が行われ、検査が完了すると、ハンド15は、ソケット3から被検査部品2をピックアップし、検査結果に応じて被検査部品2を良品や不良品などに分類してアンローダー部13に収納する。
エア供給部40は、ソケットガイド30に流体としてのホットエアーを供給する流体供給部である。エア供給部40の詳細は後述する。
ハンドラー10は、ハンドラー本体11、ソケットガイド30などから構成され、ハンドラー本体11は、ローダー部12、アンローダー部13、搬送部14、エア供給部40などを含み構成されている。
ローダー部12は、検査前の被検査部品2を収容する。アンローダー部13は、検査後の被検査部品2を収容する。
搬送部14は、被検査部品2を保持し移動させるハンド15を有し、検査前の被検査部品2をローダー部12からピックアップし、ソケット3にセットする。テスター20により、ソケット3にセットされた被検査部品2の検査が行われ、検査が完了すると、ハンド15は、ソケット3から被検査部品2をピックアップし、検査結果に応じて被検査部品2を良品や不良品などに分類してアンローダー部13に収納する。
エア供給部40は、ソケットガイド30に流体としてのホットエアーを供給する流体供給部である。エア供給部40の詳細は後述する。
(ソケットガイド)
図2(a)は、ソケットガイド30の平面図、図2(b)は、図2(a)のA‐A断面図である。図2(b)は、ソケットガイド30の断面図に、ハンド15、ソケット3、ロードボード23、エア供給部40などを付記している。
本実施例では、矩形状のロードボード23に、6個のソケット3をマトリクス状(2行×3列)に実装し、6個の被検査部品2を高温状態にして並列に検査する場合を示している。
図2(a)は、ソケットガイド30の平面図、図2(b)は、図2(a)のA‐A断面図である。図2(b)は、ソケットガイド30の断面図に、ハンド15、ソケット3、ロードボード23、エア供給部40などを付記している。
本実施例では、矩形状のロードボード23に、6個のソケット3をマトリクス状(2行×3列)に実装し、6個の被検査部品2を高温状態にして並列に検査する場合を示している。
ソケットガイド30は、ガイドプレート31、ヒータープレート32などから構成されている。ソケットガイド30は、ロードボード23に実装されたソケット3を、ハンドラー10が認識する所定の位置に固定するガイドとしての機能に合わせ、被検査部品2に所定の熱ストレスを印加するための加熱体としての機能を持っている。
ソケットガイド30は、ハンドラー10に備えられるテーブル16に固定される。テストヘッド22に装着されたロードボード23は、ソケットガイド30を介して位置決めされ、ハンドラー10に固定される。位置決めは、ロードボード23、ソケットガイド30、テーブル16のそれぞれに嵌合される位置決めピン33などによって精度良く行われる。
ソケットガイド30は、ハンドラー10に備えられるテーブル16に固定される。テストヘッド22に装着されたロードボード23は、ソケットガイド30を介して位置決めされ、ハンドラー10に固定される。位置決めは、ロードボード23、ソケットガイド30、テーブル16のそれぞれに嵌合される位置決めピン33などによって精度良く行われる。
ガイドプレート31は、ロードボード23と略同じ大きさの矩形状の金属板であり、ロードボード23上のソケット3に当接し、それぞれのソケット3の被検査部品2を収容する部分に対応した位置に開口部31wを有している。ハンド15に保持された被検査部品2が、開口部31wを通してソケット3にセットされる。ハンド15は、ガイドプレート31に備えられハンド15に嵌合される位置決めピン34などによって精度良く被検査部品2をソケット3にセットすることができる。ガイドプレート31は、例えば、ステンレス鋼により構成しているが、これに限定するものではなく、例えばアルミニウム材や銅材を用いて構成しても良い。
ヒータープレート32は、ガイドプレート31と略同じ大きさの矩形の金属枠状体であり、ガイドプレート31の外周部領域の面上に当接して固定されている。ヒータープレート32を構成する各辺の枠部分には、枠の延在方向と略平行に第1のヒーターとしてのカートリッジヒーター51が埋設されている。カートリッジヒーター51は、枠各辺の略2分の1の長さを有しており、枠各辺の端部から枠の中央部に向かって埋設されている。それぞれのカートリッジヒーター51は、中央部付近に温度センサー51sを備えており、それぞれのカートリッジヒーター51の温度がモニターできるようになっている。
ヒータープレート32は、例えば、ステンレス鋼により構成しているが、これに限定するものではなく、例えばアルミニウム材や銅材を用いて構成しても良い。また、ヒータープレート32は、矩形の枠状体に限定するものではない。ガイドプレート31の全体をより均一の温度分布にする熱源として機能する形態であれば良く、例えば、円形枠状にガイドプレート31の周辺に付設しても良いし、また例えば、ガイドプレート31の面上に格子状に付設する方法などでも良い。また、例えば、ガイドプレート31とヒータープレート32とのようにそれぞれを別に構成するのではなく、ガイドプレートに直接カートリッジヒーターを埋設する方法で構成しても良い。
エア供給部40は、第2のヒーターとしてのエアヒーター52、温度センサー52sなどから構成され、圧空入口52iとホットエアー出口52oとを備えている。エア供給部40は、圧空入口52iから取り入れた圧空をエアヒーター52により加熱し、ホットエアー出口52oを介してソケットガイド30に流体としてのホットエアーを供給する。ホットエアーの温度は、温度センサー52sによりモニターすることができる。
ホットエアー出口52oからソケット3までのホットエアーが導かれる流路は、流路60および第1の流路としての流路61、第2の流路としての流路62などから構成されている。
流路60は、ホットエアー出口52oに連通し、テーブル16を貫通してテーブル16に固定されているヒータープレート32に達する。流路62は、図示するように、ヒータープレート32の内部に形成され、流路60に連通し、枠に沿って延び、最寄りのソケット3(開口部31w)の付近で分岐して当接するガイドプレート31に向けて開口している。流路61は、ガイドプレート31の内部に形成され、個々の開口部31wの付近で開口する流路62に連通し、個々の開口部31wの側面に開口している。
流路60は、ホットエアー出口52oに連通し、テーブル16を貫通してテーブル16に固定されているヒータープレート32に達する。流路62は、図示するように、ヒータープレート32の内部に形成され、流路60に連通し、枠に沿って延び、最寄りのソケット3(開口部31w)の付近で分岐して当接するガイドプレート31に向けて開口している。流路61は、ガイドプレート31の内部に形成され、個々の開口部31wの付近で開口する流路62に連通し、個々の開口部31wの側面に開口している。
また、ガイドプレート31の内部には、第3の流路としての流路63が形成されている。流路63は、図示するように、隣り合う開口部31wを連通させ、また、ガイドプレート31の側面に配置する排出口64に連通している。ハンド15に保持された被検査部品2が、開口部31wを通してソケット3にセットされた場合に、開口部31wに導入されたホットエアーは、流路63を介して外部に排出されるように構成している。
図2(a),(b)では、1つのエア供給部40から2行×3列に配列されたソケット3の一方の行の3個のソケット3にホットエアーが供給される様子を示している。図示を省略しているが、他方の行の3個のソケット3にもホットエアーを供給するエア供給部40を備えている。
なお、このようにエア供給部40は2つに限定するものではなく、ホットエアーの流量や、ホットエアーで調整する温度範囲などから、必要に応じて備えることが好ましく、1つ、あるいは3つ以上備えるものであっても良い。
また、より効果的に熱ストレスを被検査部品2に印加するために、ソケット3の内部にホットエアーを導く流路を形成し、その流路に流路61を連通するようにしても良い。
なお、このようにエア供給部40は2つに限定するものではなく、ホットエアーの流量や、ホットエアーで調整する温度範囲などから、必要に応じて備えることが好ましく、1つ、あるいは3つ以上備えるものであっても良い。
また、より効果的に熱ストレスを被検査部品2に印加するために、ソケット3の内部にホットエアーを導く流路を形成し、その流路に流路61を連通するようにしても良い。
以上のような構成によれば、複数のカートリッジヒーター51によりヒータープレート32は加熱され、ヒータープレート32に周辺部が当接するガイドプレート31は、熱伝導により全体が加熱される。マトリクス状に配置された複数のソケット3は、それぞれガイドプレート31に当接しているため、全体に加熱されたガイドプレート31によって加熱される。ソケット3に伝達された熱は、接続端子3aから被検査部品2の外部端子2aを通じるなどして被検査部品2に熱ストレスとして印加される。
一般的に、ソケットは樹脂により構成されるため、熱伝導性が金属などに比べて低い。従って、すべてのソケット3が熱せられて温度が安定するまでには、ある程度の時間を要する。そのため、部品検査装置1は、エア供給部40からエアヒーター52により加熱されたホットエアーを、流路60,61,62を介してソケット3に供給している。ホットエアーは、直接、接続端子3aや外部端子2aを加熱することができるので、より効率的に被検査部品2に熱ストレスを印加することができる。
なお、ガイドプレート31からソケット3に対して熱伝導をより効率的に行えるようにするために、ガイドプレート31がソケット3に当接する面積は、より広い方が好ましい。
一般的に、ソケットは樹脂により構成されるため、熱伝導性が金属などに比べて低い。従って、すべてのソケット3が熱せられて温度が安定するまでには、ある程度の時間を要する。そのため、部品検査装置1は、エア供給部40からエアヒーター52により加熱されたホットエアーを、流路60,61,62を介してソケット3に供給している。ホットエアーは、直接、接続端子3aや外部端子2aを加熱することができるので、より効率的に被検査部品2に熱ストレスを印加することができる。
なお、ガイドプレート31からソケット3に対して熱伝導をより効率的に行えるようにするために、ガイドプレート31がソケット3に当接する面積は、より広い方が好ましい。
(温度の調整)
部品検査装置1によれば、複数のヒーター(複数のカートリッジヒーター51およびエアヒーター52)および複数の温度センサー51s,52sを備えているため、並列処理される複数の被検査部品2に印加する熱ストレスをより均一とするための調整を、より精度良く行なうことができる。
複数の位置にセットされる被検査部品2の温度は、例えば熱電対を埋め込んだ被検査部品2と同一形態のパッケージをそれぞれのソケット3にセットして測る方法や、あるいは、被検査部品2が接合を有する半導体を内蔵した電子部品の場合には、直接、ソケット3にセットされた被検査部品2から温度を読みとる方法(熱抵抗の温度特性により、接合部の温度Tjを計測する方法)などがある。
部品検査装置1によれば、複数のヒーター(複数のカートリッジヒーター51およびエアヒーター52)および複数の温度センサー51s,52sを備えているため、並列処理される複数の被検査部品2に印加する熱ストレスをより均一とするための調整を、より精度良く行なうことができる。
複数の位置にセットされる被検査部品2の温度は、例えば熱電対を埋め込んだ被検査部品2と同一形態のパッケージをそれぞれのソケット3にセットして測る方法や、あるいは、被検査部品2が接合を有する半導体を内蔵した電子部品の場合には、直接、ソケット3にセットされた被検査部品2から温度を読みとる方法(熱抵抗の温度特性により、接合部の温度Tjを計測する方法)などがある。
以上述べたように、本実施形態によるソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置によれば、以下の効果を得ることができる。
ソケットガイド30は、複数のソケット3に接するガイドプレート31と、ガイドプレート31の外周部領域に付設され、複数の第1のヒーターとしてのカートリッジヒーター51を有するヒータープレート32と、カートリッジヒーター51の温度を検出する温度センサー51sと、第2のヒーターとしてのエアヒーター52と、エアヒーター52によって加熱された流体としてのホットエアーを複数のソケット3に導く流路などから構成されている。
つまり、ヒータープレート32の複数の位置のカートリッジヒーター51の温度をモニターしながら、複数のカートリッジヒーター51およびエアヒーター52の温度を個別に調整することができる構成になっている。これによって、ガイドプレート31に配置される複数のソケット3の温度ばらつきを低減する調整が可能となる。具体的には、ソケット3や被検査部品2が放熱する周囲環境の違いによって、例えば、やや低温にばらついた部位に近い位置のカートリッジヒーター51を高い温度に設定することによって、温度を補正することができる。また、カートリッジヒーター51で補正しきれない場合には、エア供給部40から供給されるホットエアーの温度や流量を変更するなどして、より均一となるように調整することができる。
従って、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、セットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るように調整することが可能となる。その結果、多数個並列処理によって、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。
ソケットガイド30は、複数のソケット3に接するガイドプレート31と、ガイドプレート31の外周部領域に付設され、複数の第1のヒーターとしてのカートリッジヒーター51を有するヒータープレート32と、カートリッジヒーター51の温度を検出する温度センサー51sと、第2のヒーターとしてのエアヒーター52と、エアヒーター52によって加熱された流体としてのホットエアーを複数のソケット3に導く流路などから構成されている。
つまり、ヒータープレート32の複数の位置のカートリッジヒーター51の温度をモニターしながら、複数のカートリッジヒーター51およびエアヒーター52の温度を個別に調整することができる構成になっている。これによって、ガイドプレート31に配置される複数のソケット3の温度ばらつきを低減する調整が可能となる。具体的には、ソケット3や被検査部品2が放熱する周囲環境の違いによって、例えば、やや低温にばらついた部位に近い位置のカートリッジヒーター51を高い温度に設定することによって、温度を補正することができる。また、カートリッジヒーター51で補正しきれない場合には、エア供給部40から供給されるホットエアーの温度や流量を変更するなどして、より均一となるように調整することができる。
従って、多数個の被検査部品をテストヘッド上の複数のソケットにセットして、高温で並列に検査を行なう多数個並列処理において、セットされた被検査部品を所定の温度範囲に入るように調整することが可能となる。その結果、多数個並列処理によって、より効率良く高温検査ができる検査環境を構築することができる。
また、ヒータープレート32は、矩形の枠状体であり、カートリッジヒーター51は、枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されている。一般的にテストヘッドはその平面形状が矩形である場合が多く、複数のカートリッジヒーターを、ヒータープレートの枠の延在方向と略平行に内蔵することで、簡便にガイドプレートを周辺部から均一に加熱するヒータープレートを構成することができる。
また、ソケット3に導かれたホットエアーを排出口64に導く流路63が、ガイドプレート31に形成されている。エアヒーター52によって加熱されたホットエアーは、ヒータープレート32およびガイドプレート31に形成された流路62,61を経由して複数のソケット3に供給され、流路63を経由して排出される。このように構成されることで、所定の温度に設定したホットエアーを、よりスムーズに移動させることが可能となり、その結果、ソケット3にセットされた被検査部品2を所定の温度範囲に入るようにより効率的に調整することが可能となる。
また、温度センサー51sは、複数のカートリッジヒーター51のそれぞれの温度を検出する位置に配置されているため、調整するカートリッジヒーター51の温度をダイレクトにモニターしながら個別に調整することができるようになる。
(実施形態2)
次に、実施形態2にかかるソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置について説明する。なお、説明にあたり、上述した実施形態と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。
(ソケットガイド)
図3(a)は、実施形態2にかかるソケットガイド30vの平面図、図3(b)は、図3(a)のA‐A断面図である。図3(b)は、ソケットガイド30vの断面図に、ハンド15、ソケット3、ロードボード23、エア供給部40などを付記している。
ソケットガイド30vは、各ソケット3までのそれぞれの流路にホットエアーの流量を個別に調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする。
次に、実施形態2にかかるソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置について説明する。なお、説明にあたり、上述した実施形態と同一の構成部位については、同一の符号を使用し、重複する説明は省略する。
(ソケットガイド)
図3(a)は、実施形態2にかかるソケットガイド30vの平面図、図3(b)は、図3(a)のA‐A断面図である。図3(b)は、ソケットガイド30vの断面図に、ハンド15、ソケット3、ロードボード23、エア供給部40などを付記している。
ソケットガイド30vは、各ソケット3までのそれぞれの流路にホットエアーの流量を個別に調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする。
ソケットガイド30vは、ガイドプレート31v、ヒータープレート32などから構成されており、ガイドプレート31v以外は、ソケットガイド30と同様の構成である。ガイドプレート31vは、各ソケット3の位置に形成されている開口部31wに連通する流路61の途中に調節弁70を備えている点を除き、ガイドプレート31と同様の構成である。
具体的に説明する。
流路60から供給されるホットエアーは、流路61あるいは流路62において分岐してそれぞれのソケット3に導かれる。図3(a),(b)に示すガイドプレート31vの例では、エア供給部40からの流路は、流路62において3つの分流路に分岐し、3つの流路61として開口部31wに連通している。3つの流路61のそれぞれには、ホットエアーの流量が調節できる調節弁70を備えている。
具体的に説明する。
流路60から供給されるホットエアーは、流路61あるいは流路62において分岐してそれぞれのソケット3に導かれる。図3(a),(b)に示すガイドプレート31vの例では、エア供給部40からの流路は、流路62において3つの分流路に分岐し、3つの流路61として開口部31wに連通している。3つの流路61のそれぞれには、ホットエアーの流量が調節できる調節弁70を備えている。
(ハンドラー)
実施形態1で説明したハンドラー10において、ソケットガイド30に代わりソケットガイド30vを備えるハンドラーを構成することができる。
実施形態1で説明したハンドラー10において、ソケットガイド30に代わりソケットガイド30vを備えるハンドラーを構成することができる。
(部品検査装置)
実施形態1で説明した部品検査装置1において、ソケットガイド30に代わりソケットガイド30vを備えるハンドラーを構成することができる。
実施形態1で説明した部品検査装置1において、ソケットガイド30に代わりソケットガイド30vを備えるハンドラーを構成することができる。
本実施形態によるソケットガイド、ハンドラーおよび部品検査装置によれば、上述した実施形態の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
個々のソケット3に供給されるホットエアーの流量を調節することにより、第2のヒーターとしてのエアヒーター52から伝達される熱量の調整を個々のソケット3毎に行なうことが可能となる。その結果、ソケット3にセットされた被検査部品2を所定の温度範囲に入るようにより精度良く調整することが可能となる。
個々のソケット3に供給されるホットエアーの流量を調節することにより、第2のヒーターとしてのエアヒーター52から伝達される熱量の調整を個々のソケット3毎に行なうことが可能となる。その結果、ソケット3にセットされた被検査部品2を所定の温度範囲に入るようにより精度良く調整することが可能となる。
1…部品検査装置、2…被検査部品、2a…外部端子、3…ソケット、3a…接続端子、10…ハンドラー、11…ハンドラー本体、12…ローダー部、13…アンローダー部、14…搬送部、15…ハンド、16…テーブル、20…テスター、21…テスター本体、22…テストヘッド、23…ロードボード、30,30v…ソケットガイド、31,31v…ガイドプレート、31w…開口部、32…ヒータープレート、33,34…位置決めピン、40…エア供給部、51…カートリッジヒーター、51s,52s…温度センサー、52…エアヒーター、52i…圧空入口、52o…ホットエアー出口、60,61,62,63…流路、64…排出口、70…調節弁。
Claims (15)
- 被検査部品の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備えた複数のソケットに接し、複数の前記被検査部品を保持するハンドを複数の前記ソケットに対して所定の位置に案内するガイドプレートと、
前記ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第1のヒーターを有するヒータープレートと、
前記ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、
一つ以上の第2のヒーターと、
前記ガイドプレートに形成され、前記第2のヒーターによって加熱された流体を複数の前記ソケットに導く第1の流路と、を備えることを特徴とするソケットガイド。 - 前記ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、
前記第1のヒーターは、前記枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターであることを特徴とする請求項1に記載のソケットガイド。 - 前記ヒータープレートに形成された、前記第1の流路と連通する第2の流路と、
前記ガイドプレートに形成され、前記ソケットに導かれた前記流体を前記ガイドプレートの外周部に備える排出口に導く第3の流路と、を更に備え、
前記第2のヒーターによって加熱された前記流体は、前記第2の流路および前記第1の流路を経由して複数の前記ソケットに供給され、前記第3の流路を経由して排出されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のソケットガイド。 - 前記温度センサーは、複数の前記第1のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のソケットガイド。
- 前記第1の流路および前記第2の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数の前記ソケットに前記流体を導くための分岐および前記分岐から前記ソケットまで前記流体を導く分流路を有し、前記分流路には、前記流体の流量を調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載のソケットガイド。
- 搬送部と、ソケットガイドと、流体供給部と、を備えるハンドラーであって、
前記搬送部は、被検査部品の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備えた複数のソケットに、複数の前記被検査部品を保持し移動させるハンドを有し、
前記ソケットガイドは、複数の前記ソケットに接し、前記ハンドを複数の前記ソケットに対して所定の位置に案内するガイドプレートと、前記ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第1のヒーターを有するヒータープレートと、前記ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第2のヒーターと、前記ガイドプレートに形成され、前記第2のヒーターによって加熱された流体を複数の前記ソケットに導く第1の流路と、を備え、
前記流体供給部は、前記第2のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第1の流路を経由して複数の前記ソケットに供給する、ことを特徴とするハンドラー。 - 前記ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、
前記第1のヒーターは、前記枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターであることを特徴とする請求項6に記載のハンドラー。 - 前記ヒータープレートに形成された、前記第1の流路と連通する第2の流路と、
前記ガイドプレートに形成され、前記ソケットに導かれた前記流体を前記ガイドプレートの外周部に備える排出口に導く第3の流路と、を更に備え、
前記流体供給部は、前記第2のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第2の流路および前記第1の流路を経由して複数の前記ソケットに供給し、前記第3の流路を経由して排出することを特徴とする請求項6または請求項7に記載のハンドラー。 - 前記温度センサーは、複数の前記第1のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることを特徴とする請求項6ないし請求項8のいずれか一項に記載のハンドラー。
- 前記第1の流路および前記第2の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数の前記ソケットに前記流体を導くための分岐および前記分岐から前記ソケットまで前記流体を導く分流路を有し、前記分流路には、前記流体の流量を調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする請求項6ないし請求項9のいずれか一項に記載のハンドラー。
- ハンドラーと、ソケットと、検査部と、を備える部品検査装置であって、
前記ハンドラーは、搬送部と、ソケットガイドと、流体供給部と、を備え、
前記ソケットは、被検査部品の外部端子と電気的に接続し得る接続端子を備え、
前記搬送部は、複数の前記ソケットに、複数の前記被検査部品を保持し移動させるハンドを有し、
前記ソケットガイドは、複数の前記ソケットに接し、前記ハンドを複数の前記ソケットに対して所定の位置に案内するガイドプレートと、前記ガイドプレートの外周部領域に付設され、複数の第1のヒーターを有するヒータープレートと、前記ヒータープレートの複数の位置の温度を検出する複数の温度センサーと、一つ以上の第2のヒーターと、前記ガイドプレートに形成され、前記第2のヒーターによって加熱された流体を複数の前記ソケットに導く第1の流路と、を備え、
前記流体供給部は、前記第2のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第1の流路を経由して複数の前記ソケットに供給し、
前記検査部は、前記ソケットに装着された前記被検査部品を検査することを特徴とする部品検査装置。 - 前記ヒータープレートは、矩形の枠状体であり、
前記第1のヒーターは、前記枠状体の枠の延在方向と略平行に内蔵されたカートリッジヒーターであることを特徴とする請求項11に記載の部品検査装置。 - 前記ヒータープレートに形成された、前記第1の流路と連通する第2の流路と、
前記ガイドプレートに形成され、前記ソケットに導かれた前記流体を前記ガイドプレートの外周部に備える排出口に導く第3の流路と、を更に備え、
前記流体供給部は、前記第2のヒーターによって加熱された前記流体を、前記第2の流路および前記第1の流路を経由して複数の前記ソケットに供給し、前記第3の流路を経由して排出することを特徴とする請求項11または請求項12に記載の部品検査装置。 - 前記温度センサーは、複数の前記第1のヒーターのそれぞれの温度を検出する位置に配置されていることを特徴とする請求項11ないし請求項13のいずれか一項に記載の部品検査装置。
- 前記第1の流路および前記第2の流路の少なくとも一方、あるいはその両方には、複数の前記ソケットに前記流体を導くための分岐および前記分岐から前記ソケットまで前記流体を導く分流路を有し、前記分流路には、前記流体の流量を調節できる調節弁を更に備えていることを特徴とする請求項11ないし請求項14のいずれか一項に記載の部品検査装置。
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