JP2013232590A - Ｌｅｄ素子搭載用リードフレーム、樹脂付リードフレーム、多面付ｌｅｄパッケージ、ｌｅｄパッケージの製造方法および半導体素子搭載用リードフレーム - Google Patents

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Abstract

【課題】リードフレームがすだれ状に変形することを防止可能なＬＥＤ素子搭載用リードフレームを提供する。
【解決手段】ＬＥＤ素子搭載用リードフレーム１０は、枠体領域１３と、枠体領域１３内に多列および多段に配置された多数のパッケージ領域１４とを備えている。各パッケージ領域１４内のダイパッド２５とリード部２６とは、各々互いに向き合う端縁２５ｅ、２６ｅを有している。ダイパッド２５の端縁２５ｅに突出部７３が設けられ、リード部２６の端縁２６ｅに突出部７３が入り込む引込み部７６が設けられている。また、リード部２６の端縁２６ｅに突出部７５が設けられ、ダイパッド２５の端縁２５ｅに突出部７５が入り込む引込み部７４が設けられている。
【選択図】図３

Description

本発明は、ＬＥＤ素子搭載用リードフレーム、樹脂付リードフレーム、多面付ＬＥＤパッケージ、ＬＥＤパッケージの製造方法および半導体素子搭載用リードフレームに関する。
従来、樹脂封止型半導体装置用のリードフレームとして、例えば特許文献１に記載されたものが存在する。このようなリードフレームにおいては、各ダイパッド周囲に多数の端子部が配置されており、これら多数の端子部と吊りリードとを繋ぐタイバーが、縦横に格子状に配置されている。
一方、近年、ＬＥＤ（発光ダイオード）素子を光源として用いる照明装置が、各種家電、ＯＡ機器、車両機器の表示灯、一般照明、車載照明、およびディスプレイ等に用いられている。このような照明装置の中には、リードフレームにＬＥＤ素子を搭載することにより作製された半導体装置（例えば特許文献２参照）を含むものがある。
特開２００１−３２６３１６号公報 特開２０１２−０３３７２４号公報
ＬＥＤ素子用の半導体装置（ＬＥＤパッケージ）またはディスクリート半導体素子用の半導体装置においては、ダイパッドとリードとが直線状に一列に配置されたものがある。このような半導体装置に用いられるリードフレームの場合、上述した従来のリードフレームと異なり、縦横の格子状のタイバーを設けることなく、互いに隣接するダイパッド同士およびリード部同士を連結する方が、１つのリードフレーム中の素子の面付け数を多くすることができ、リードフレームを効率良く製造することができる。
この場合、ダイパッドとリード部とは、短絡が生じないように離して配置する必要がある。このため、各ダイパッドと各リード部との間の隙間が繋がり、リードフレームの一辺に平行な、複数の細長い空間が生じてしまうという問題が生じる。このため、リードフレームがすだれ状になり、取り扱う際にリードフレームに変形が生じてしまうおそれがある。
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ダイパッドとリード部との間の隙間が繋がり、リードフレームに細長い空間が生じることによりリードフレームがすだれ状になることを防止し、取り扱い時に変形が生じることを防止することが可能な、ＬＥＤ素子搭載用リードフレーム、樹脂付リードフレーム、多面付ＬＥＤパッケージ、ＬＥＤパッケージの製造方法および半導体素子搭載用リードフレームを提供することを目的とする。
本発明は、ＬＥＤ素子搭載用リードフレームにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられていることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、それぞれ突出部および引込み部を有し、前記一のパッケージ領域内のダイパッドの突出部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部の突出部と連結補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、枠体領域は矩形形状を有し、連結補強片は、枠体領域の一辺に対して平行であることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、前記一のパッケージ領域内のリード部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとダイパッド連結部により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれＬ字形状を有することを特徴とするリードフレームである。
本発明は、各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれ台形形状を有することを特徴とするリードフレームである。
本発明は、樹脂付リードフレームにおいて、リードフレームと、リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂とを備えたことを特徴とする樹脂付リードフレームである。
本発明は、多面付ＬＥＤパッケージにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを有するリードフレームであって、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられている、リードフレームと、リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂と、リードフレームの各パッケージ領域のダイパッド上に搭載されたＬＥＤ素子と、ＬＥＤ素子と各パッケージ領域のリード部とを接続する導電部と、ＬＥＤ素子と導電部とを封止する封止樹脂とを備えたことを特徴とする多面付ＬＥＤパッケージである。
本発明は、樹脂付リードフレームの製造方法において、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを有するリードフレームであって、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられている、リードフレームを作製する工程と、リードフレームの各パッケージ領域周縁上に反射樹脂を設ける工程とを備えたことを特徴とする樹脂付リードフレームの製造方法である。
本発明は、ＬＥＤパッケージの製造方法において、樹脂付リードフレームの製造方法により樹脂付リードフレームを作製する工程と、樹脂付リードフレームの各ダイパッド上にそれぞれＬＥＤ素子を搭載する工程と、各ＬＥＤ素子と各リード部とをそれぞれ導電部により接続する工程と、封止樹脂により各ＬＥＤ素子と各導電部とをそれぞれ封止する工程と、反射樹脂およびリードフレームを切断することにより、反射樹脂およびリードフレームをＬＥＤ素子毎に分離する工程とを備えたことを特徴とするＬＥＤパッケージの製造方法である。
本発明は、半導体素子搭載用リードフレームにおいて、枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられていることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、それぞれ突出部および引込み部を有し、前記一のパッケージ領域内のダイパッドの突出部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部の突出部と連結補強片により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、枠体領域は矩形形状を有し、連結補強片は、枠体領域の一辺に対して平行であることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、前記一のパッケージ領域内のリード部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとダイパッド連結部により連結されていることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれＬ字形状を有することを特徴とするリードフレームである。
本発明は、各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれ台形形状を有することを特徴とするリードフレームである。
本発明によれば、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられている。このようにダイパッドとリード部とが互いに入り組んでいることにより、リードフレームの強度が高められている。このことにより、パッケージ領域の取り個数を減らすことなく、取り扱い時にリードフレームが変形することを防止することができる。
図１は、本発明の第１の実施の形態によるリードフレームを示す全体平面図。 図２は、本発明の第１の実施の形態によるリードフレームを示す部分拡大平面図（図１のＡ部拡大図）。 図３は、図２の拡大図であって、上下に隣接する２つのパッケージ領域を示す部分拡大平面図。 図４は、本発明の第１の実施の形態によるリードフレームを示す断面図（図２のＢ−Ｂ線断面図）。 図５（ａ）−（ｂ）は、ダイパッドおよびリード部の変形例を示す部分拡大平面図。 図６は、本発明の第１の実施の形態によるリードフレームにより作製されたＬＥＤパッケージを示す断面図（図７のＣ−Ｃ線断面図）。 図７は、本発明の第１の実施の形態によるリードフレームにより作製されたＬＥＤパッケージを示す平面図。 図８（ａ）−（ｆ）は、本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの製造方法を示す図。 図９（ａ）−（ｄ）は、本発明の第１の実施の形態によるリードフレームを用いて、ＬＥＤパッケージを製造する方法を示す図。 図１０（ａ）−（ｅ）は、本発明の第１の実施の形態によるリードフレームを用いて、ＬＥＤパッケージを製造する方法を示す図。 図１１（ａ）−（ｂ）は、ＬＥＤパッケージを製造する方法のうち、ダイシング工程を示す図。 図１２（ａ）−（ｂ）は、本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例１−１）を示す部分拡大平面図。 図１３（ａ）−（ｂ）は、本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例１−２）を示す部分拡大平面図。 図１４（ａ）−（ｂ）は、本発明の第１の実施の形態によるリードフレームの変形例（変形例１−３）を示す部分拡大平面図。 図１５は、ＬＥＤパッケージの変形例（変形例Ａ）を示す断面図。 図１６は、ＬＥＤパッケージの変形例（変形例Ｂ）を示す断面図。 図１７は、ＬＥＤパッケージの変形例（変形例Ｃ）を示す断面図。 図１８は、本発明の第２の実施の形態によるリードフレームを示す断面図。 図１９は、本発明の第２の実施の形態によるリードフレームにより作製された半導体装置を示す断面図。 図２０は、本発明の第２の実施の形態によるリードフレームを用いて、半導体装置を製造する方法を示す断面図。
（第１の実施の形態）
以下、図面を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。図１乃至図１７は本発明の第１の実施の形態を示す図である。
リードフレームの構成
まず、図１乃至図５により、本実施の形態によるＬＥＤ素子搭載用リードフレームの概略について説明する。図１は、本実施の形態によるリードフレームの全体平面図であり、図２は、図１のＡ部拡大図であり、図３は、図２の一部を更に拡大した図である。また、図４は、図２のＢ−Ｂ線断面図であり、図５（ａ）−（ｂ）は、ダイパッドおよびリード部の変形例を示す図である。
図１に示すリードフレーム１０は、ＬＥＤ素子２１を搭載したＬＥＤパッケージ２０（図６および図７）を作製する際に用いられるものである。このようなリードフレーム１０は、直交する２方向（Ｘ方向及びＹ方向）に延びる周縁１３ａを有する矩形状の外形を有する枠体領域１３と、枠体領域１３内に多列および多段に（マトリックス状に）配置された、多数のパッケージ領域１４とを備えている。
図２に示すように、複数のパッケージ領域１４は、各々ＬＥＤ素子２１が搭載されるダイパッド２５と、ダイパッド２５に隣接するリード部２６とを含んでいる。また、複数のパッケージ領域１４は、互いにダイシング領域１５を介して接続されている。
一つのパッケージ領域１４内のダイパッド２５とリード部２６との間には、隙間１７が形成されており、ダイシングされた後、ダイパッド２５とリード部２６とは互いに電気的に絶縁されるようになっている。なお、各パッケージ領域１４は、それぞれ個々のＬＥＤパッケージ２０に対応する領域である。図２において、各パッケージ領域１４を二点鎖線で示している。
一方、ダイシング領域１５は、各パッケージ領域１４の間に縦横に延びている。このダイシング領域１５は、後述するように、ＬＥＤパッケージ２０を製造する工程において、リードフレーム１０をパッケージ領域１４毎に分離する際にブレード３８が通過する領域となる。図２において、ダイシング領域１５を網掛けで示している。
なお、本明細書において、図２に示すように、各パッケージ領域１４内のリード部２６とダイパッド２５とを左右に並べて配置した場合の横方向がＸ方向に対応し、縦方向がＹ方向に対応する。またこの場合、Ｙ方向プラス側、Ｙ方向マイナス側を、それぞれ上方、下方といい、Ｘ方向プラス側、Ｘ方向マイナス側を、それぞれ右方、左方という。
図３に示すように、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５とリード部２６とは、各々互いに向き合う端縁２５ｅ、２６ｅを有している。上述した隙間１７は、これら端縁２５ｅ、２６ｅの間に形成されている。本実施の形態において、ダイパッド２５およびリード部２６はそれぞれＬ字形状を有しており、ダイパッド２５とリード部２６との間に形成された隙間１７はクランク形状を有している。
また、ダイパッド２５の端縁２５ｅには、突出部７３と引込み部７４とが設けられ、リード部２６の端縁２６ｅには、突出部７５と引込み部７６とが設けられている。ダイパッド２５の突出部７３は、リード部２６の引込み部７６に入り込んでおり、リード部２６の突出部７５は、ダイパッド２５の引込み部７４に入り込んでいる。
さらに、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５の突出部７３と、その上方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６の突出部７５とは、連結補強片５８によってダイシング領域１５を越えて互いに連結されている。また、各パッケージ領域１４内のリード部２６の突出部７５と、その下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５の突出部７３とは、連結補強片５８によってダイシング領域１５を越えて互いに連結されている。各連結補強片５８は、ダイシング領域１５に位置しており、かつ枠体領域１３の一辺、すなわちＹ方向に対して平行に配置されている。
なお、各ダイパッド２５および各リード部２６は、その一方の端縁２５ｅ、２６ｅに設けられた突出部７３、７５が、他方の端縁２６ｅ、２５ｅに設けられた引込み部７６、７４に入り込んでいれば良く、必ずしもＬ字形状を有していなくても良い。例えば図５（ａ）に示すように、各ダイパッド２５および各リード部２６が、それぞれ台形形状を有していても良い。この場合、その端縁２５ｅ、２６ｅは、それぞれＸ方向およびＹ方向に対して斜めに延びるように配置されており、これにより隙間１７もＸ方向およびＹ方向に対して斜めに配置されている。この場合、端縁２５ｅ、２６ｅに突出した角部が存在しないため、リードフレーム１０の取扱い時にこのような角部が周囲の物に引っかかり、リードフレーム１０に変形が生じる不具合を防止することが出来る。
また、図５（ｂ）に示すように、各ダイパッド２５の端縁２５ｅおよび各リード部２６の端縁２６ｅが湾曲し、これにより隙間１７が略Ｓ字形状を有していても良い。この場合、端縁２５ｅ、２６ｅに突出した角部が存在しないため、リードフレーム１０の取扱い時にこのような角部が周囲の物に引っかかり、リードフレーム１０に変形が生じる不具合を防止することが出来る。加えて、各端縁２５ｅ、２６ｅの長さを長くすることができるため、樹脂付きリードフレーム３０とした場合や、ＬＥＤパッケージ２０とした後に、これらに変形を及ぼすような力がかかった場合に、ダイパッド２５およびリード部２６が脱落することが防止され、変形を防止することが出来る。
再度図２および図３を参照すると、各パッケージ領域１４内のリード部２６は、その上方および下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６と、それぞれリード連結部５２によりダイシング領域１５を越えて連結されている。さらに、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、その上方および下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５と、それぞれダイパッド連結部５３によりダイシング領域１５を越えて連結されている。これら各リード連結部５２および各ダイパッド連結部５３は、いずれもダイシング領域１５に位置しており、かつＹ方向に平行に配置されている。
さらに、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、その右方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６と、パッケージ領域連結部５４によりダイシング領域１５を越えて連結されている。さらにまた、各パッケージ領域１４内のリード部２６は、その左方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５と、パッケージ領域連結部５４によりダイシング領域１５を越えて連結されている。各パッケージ領域連結部５４は、ダイシング領域１５に位置しており、かつＸ方向に平行に配置されている。
なお、最も外周に位置するパッケージ領域１４内のリード部２６およびダイパッド２５は、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３、パッケージ領域連結部５４および連結補強片５８のうちの１つまたは複数によって、枠体領域１３に連結されている。
一方、図４の断面図に示すように、リードフレーム１０は、リードフレーム本体１１と、リードフレーム本体１１上に形成されためっき層１２とからなっている。
このうちリードフレーム本体１１は金属板からなっている。リードフレーム本体１１を構成する金属板の材料としては、例えば銅、銅合金、４２合金（Ｎｉ４２％のＦｅ合金）等を挙げることができる。このリードフレーム本体１１の厚みは、ＬＥＤパッケージの構成にもよるが、０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍとすることが好ましい。
また、めっき層１２は、リードフレーム本体１１の表面および裏面を含む全面に設けられている。表面側のめっき層１２は、ＬＥＤ素子２１からの光を反射するための反射層として機能する。他方、裏面側のめっき層１２は、はんだとの密着性を高める役割を果たす。このめっき層１２は、例えば銀（Ａｇ）の電解めっき層からなっている。めっき層１２は、その厚みが極薄く形成されており、具体的には０．００５μｍ〜１０μｍとされることが好ましい。なお、めっき層１２は、必ずしもリードフレーム本体１１の表面および裏面の全体に設ける必要はなく、リードフレーム本体１１の表面および裏面のうち、一部のみに設けても良い。めっき層１２を構成する金属としては、上述した銀のほか、銀の合金、金やその合金、白金族、銅やその合金、アルミニウムなどを用いてもよい。
また、ダイパッド２５の裏面に、第１のアウターリード部２７が形成され、リード部２６の底面に、第２のアウターリード部２８が形成されている。第１のアウターリード部２７および第２のアウターリード部２８は、それぞれＬＥＤパッケージ２０と外部の配線基板とを接続する際に用いられる。
さらにリードフレーム１０の表面には、リードフレーム１０と反射樹脂２３（後述）との密着性を高めるための溝１８が形成されている。なお、図２および図３においては、溝１８の表示を省略している。
ＬＥＤパッケージの構成
次に、図６および図７により、図１乃至図５に示すリードフレームを用いて作製されたＬＥＤパッケージの一実施の形態について説明する。図６および図７は、それぞれＬＥＤパッケージ（ＳＯＮタイプ）を示す断面図および平面図である。
図６および図７に示すように、ＬＥＤパッケージ２０は、（個片化された）リードフレーム１０と、リードフレーム１０のダイパッド２５に載置されたＬＥＤ素子２１と、ＬＥＤ素子２１とリードフレーム１０のリード部２６とを電気的に接続するボンディングワイヤ（導電部）２２とを備えている。
また、ＬＥＤ素子２１を取り囲むように、凹部２３ａを有する反射樹脂２３が設けられている。この反射樹脂２３は、リードフレーム１０と一体化されている。さらに、ＬＥＤ素子２１とボンディングワイヤ２２とは、透光性の封止樹脂２４によって封止されている。この封止樹脂２４は、反射樹脂２３の凹部２３ａ内に充填されている。
以下、このようなＬＥＤパッケージ２０を構成する各構成部材について、順次説明する。
ＬＥＤ素子２１は、発光層として例えばＧａＰ、ＧａＡｓ、ＧａＡｌＡｓ、ＧａＡｓＰ、ＡｌＩｎＧａＰ、またはＩｎＧａＮ等の化合物半導体単結晶からなる材料を適宜選ぶことにより、紫外光から赤外光に渡る発光波長を選択することができる。このようなＬＥＤ素子２１としては、従来一般に用いられているものを使用することができる。
またＬＥＤ素子２１は、はんだまたはダイボンディングペーストにより、反射樹脂２３の凹部２３ａ内においてダイパッド２５上に固定実装されている。なお、ダイボンディングペーストを用いる場合、耐光性のあるエポキシ樹脂やシリコーン樹脂からなるダイボンディングペーストを選択することが可能である。
ボンディングワイヤ２２は、例えば金等の導電性の良い材料からなり、その一端がＬＥＤ素子２１の端子部２１ａに接続されるとともに、その他端がリード部２６上に接続されている。
反射樹脂２３は、例えばリードフレーム１０上に熱可塑性樹脂を例えば射出成形またはトランスファ成形することにより形成されたものである。反射樹脂２３の形状は、射出成形またはトランスファ成形に使用する金型の設計により、様々に実現することが可能である。例えば、反射樹脂２３の全体形状を、図６および図７に示すように直方体としても良く、あるいは円筒形または錐形等の形状とすることも可能である。また凹部２３ａの底面は、矩形、円形、楕円形または多角形等とすることができる。凹部２３ａの側壁の断面形状は、図６のように直線から構成されていても良いし、あるいは曲線から構成されていてもよい。
反射樹脂２３は、リードフレーム１０に対して熱可塑性樹脂を例えば射出成形し、あるいは熱硬化性樹脂を例えば射出成形またはトランスファ成形することにより形成されたものである。反射樹脂２３に使用される熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂については、特に耐熱性、耐候性および機械的強度の優れたものを選ぶことが望ましい。熱可塑性樹脂の種類としては、ポリアミド、ポリフタルアミド（ＰＰＡ）、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルイミドおよびポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、シクロポリオレフィン等、熱硬化性樹脂としては、シリコーン、エポキシ、ポリイミド等を使用することができる。さらにまた、これらの樹脂中に光反射剤として、二酸化チタン、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、窒化アルミニウムおよび窒化ホウ素のうちいずれかを添加することによって、反射樹脂２３の表面において、ＬＥＤ素子２１からの光の反射率を増大させ、ＬＥＤパッケージ２０全体の光取り出し効率を増大させることが可能となる。
封止樹脂２４としては、光の取り出し効率を向上させるために、ＬＥＤパッケージ２０の発光波長において光透過率が高く、また屈折率が高い材料を選択するのが望ましい。したがって耐熱性、耐候性、及び機械的強度が高い特性を満たす樹脂として、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂を選択することが可能である。特に、ＬＥＤ素子２１として高輝度ＬＥＤを用いる場合、封止樹脂２４が強い光にさらされるため、封止樹脂２４は高い耐候性を有するシリコーン樹脂からなることが好ましい。
なお、リードフレーム１０の構成については、図１乃至図５を用いて既に説明したので、ここでは詳細な説明を省略する。
ＬＥＤ素子搭載用リードフレームの製造方法
次に、図１乃至図５に示すリードフレーム１０の製造方法について、図８（ａ）−（ｆ）を用いて説明する。
まず図８（ａ）に示すように、平板状の金属基板３１を準備する。この金属基板３１としては、上述のように銅、銅合金、４２合金（Ｎｉ４２％のＦｅ合金）等からなる金属基板を使用することができる。なお金属基板３１は、その両面に対して脱脂等を行い、洗浄処理を施したものを使用することが好ましい。
次に、金属基板３１の表裏全体にそれぞれ感光性レジスト３２ａ、３３ａを塗布し、これを乾燥する（図８（ｂ））。なお感光性レジスト３２ａ、３３ａとしては、従来公知のものを使用することができる。
続いて、この金属基板３１に対してフォトマスクを介して露光し、現像することにより、所望の開口部３２ｂ、３３ｂを有するエッチング用レジスト層３２、３３を形成する（図８（ｃ））。
次に、エッチング用レジスト層３２、３３を耐腐蝕膜として金属基板３１に腐蝕液でエッチングを施す（図８（ｄ））。腐蝕液は、使用する金属基板３１の材質に応じて適宜選択することができ、例えば、金属基板３１として銅を用いる場合、通常、塩化第二鉄水溶液を使用し、金属基板３１の両面からスプレーエッチングにて行うことができる。
次いで、エッチング用レジスト層３２、３３を剥離して除去することにより、リードフレーム本体１１が得られる（図８（ｅ））。またこのとき、図２に示すリード連結部５２、ダイパッド連結部５３、パッケージ領域連結部５４および連結補強片５８がエッチングにより形成される。
次に、リードフレーム本体１１の表面および裏面に電解めっきを施すことにより、リードフレーム本体１１上に金属（銀）を析出させて、リードフレーム本体１１の表面および裏面にめっき層１２を形成する（図８（ｆ））。この場合、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３、パッケージ領域連結部５４および連結補強片５８が、いずれも本体（リードフレーム本体１１）と、本体上に形成されためっき層１２とからなっているので、これら、リード連結部５２、ダイパッド連結部５３、パッケージ領域連結部５４および連結補強片５８の強度を高めることができる。
この間、具体的には、例えば電解脱脂工程、酸洗工程、化学研磨工程、銅ストライク工程、水洗工程、中性脱脂工程、シアン洗工程、および銀めっき工程を順次経ることにより、リードフレーム本体１１にめっき層１２を形成する。この場合、銀めっき工程で用いられる電解めっき用のめっき液としては、例えばシアン化銀を主成分とした銀めっき液を挙げることができる。実際の工程では、各工程間で必要に応じ適宜水洗工程を加える。また、上記工程の途中でパターニング工程を介在させることにより、リードフレーム本体１１の一部にめっき層１２を形成しても良い。
このようにして、図１乃至図５に示すリードフレーム１０が得られる（図８（ｆ））。
なお、図８（ａ）−（ｆ）において、エッチングによりリードフレーム１０を製造する方法を示したが、プレスによる製造方法を用いても良い。
ＬＥＤパッケージの製造方法
次に、図６および図７に示すＬＥＤパッケージ２０の製造方法について、図９（ａ）−（ｄ）、図１０（ａ）−（ｅ）、および図１１（ａ）−（ｂ）を用いて説明する。
まず上述した工程により（図８（ａ）−（ｆ））、リードフレーム１０を作製する（図９（ａ））。
続いて、このリードフレーム１０を、射出成形機またはトランスファ成形機（図示せず）の金型３５内に装着する（図９（ｂ））。金型３５内には、反射樹脂２３の形状に対応する空間３５ａが形成されている。
次に、射出成形機またはトランスファ成形機の樹脂供給部（図示せず）から金型３５内に熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂を流し込み、その後硬化させることにより、リードフレーム１０のめっき層１２上に反射樹脂２３を形成する（図９（ｃ））。
次いで、反射樹脂２３が形成されたリードフレーム１０を金型３５内から取り出す。このようにして、反射樹脂２３とリードフレーム１０とが一体に形成された樹脂付リードフレーム３０が得られる（図９（ｄ））。なお、スキージを用いる印刷法やダイコートなどの塗膜形成法を用いて反射樹脂２３を形成しても良い。本実施の形態において、このように、リードフレーム１０と、リードフレーム１０の各パッケージ領域１４の周縁上に配置された反射樹脂２３とを備えた樹脂付リードフレーム３０も提供する。
次に、樹脂付リードフレーム３０の各反射樹脂２３内であって、リードフレーム１０のダイパッド２５上にＬＥＤ素子２１を搭載する。この場合、はんだまたはダイボンディングペーストを用いて、ＬＥＤ素子２１をダイパッド２５上に載置して固定する（ダイアタッチ工程）（図１０（ａ））。
次に、ＬＥＤ素子２１の端子部２１ａと、リード部２６表面とを、ボンディングワイヤ２２によって互いに電気的に接続する（ワイヤボンディング工程）（図１０（ｂ））。
その後、反射樹脂２３の凹部２３ａ内に封止樹脂２４を充填し、封止樹脂２４によりＬＥＤ素子２１とボンディングワイヤ２２とを封止する（図１０（ｃ））。
このようにして、多面付ＬＥＤパッケージ４０が得られる。この多面付ＬＥＤパッケージ４０は、リードフレーム１０と、リードフレーム１０の各パッケージ領域１４周縁上に配置された反射樹脂２３と、各パッケージ領域１４のダイパッド２５上に搭載されたＬＥＤ素子２１と、ＬＥＤ素子２１とリード部２６とを接続するボンディングワイヤ２２と、ＬＥＤ素子２１とボンディングワイヤ２２とを封止する封止樹脂２４とを備えている。本実施の形態において、このような多面付ＬＥＤパッケージ４０も提供する。
次に、多面付ＬＥＤパッケージ４０の反射樹脂２３およびリードフレーム１０のうち、ダイシング領域１５に対応する部分を切断することにより、反射樹脂２３およびリードフレーム１０をＬＥＤ素子２１毎に分離する（ダイシング工程）（図１０（ｄ））。この際、まずリードフレーム１０をダイシングテープ３７上に載置して固定し、その後、例えばダイヤモンド砥石等からなるブレード３８によって、各ＬＥＤ素子２１間の反射樹脂２３、ならびにリードフレーム１０のリード連結部５２、ダイパッド連結部５３、パッケージ領域連結部５４および連結補強片５８を切断する。
この際、図１１（ａ）に示すように、ダイシング領域１５の幅に対応する相対的に厚いブレード３８によってリードフレーム１０を切断しても良い。この場合、１回の切断作業で、隣接するパッケージ領域１４同士を効率良く分離することができる。あるいは、図１１（ｂ）に示すように、ダイシング領域１５の幅より狭い相対的に薄いブレード３８を用い、２回の切断作業によりリードフレーム１０を切断しても良い。この場合、１回の切断作業あたりのブレード３８の送り速度を速くすることができ、またブレード３８の寿命を長くすることができる。
このようにして、図６および図７に示すＬＥＤパッケージ２０を得ることができる（図１０（ｅ））。
以上説明したように本実施の形態によれば、各パッケージ領域１４において、ダイパッド２５の端縁２５ｅに設けられた突出部７３は、リード部２６の端縁２６ｅに設けられた引込み部７６に入り込んでいる。また、リード部２６の端縁２６ｅに設けられた突出部７５は、ダイパッド２５の端縁２５ｅに設けられた引込み部７４に入り込んでいる。このようにダイパッド２５とリード部２６とが互いに入り組んでいることにより、リードフレーム１０の強度、とりわけリードフレーム１０の一辺に対して平行な方向（Ｘ方向）に沿った強度を高めることができる。
また、本実施の形態によれば、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５の突出部７３は、そのパッケージ領域１４の上方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６の突出部７５と連結補強片５８によって連結されている。したがって、リードフレーム１０の上下方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム１０が上下方向にすだれ状になることがない。これにより、取り扱い時にリードフレーム１０に変形が生じることを防止することができる。
また、各パッケージ領域１４内のリード部２６は、隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とリード連結部５２により連結され、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５とダイパッド連結部５３により連結されている。さらに、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５の突出部７３は、そのパッケージ領域１４の上方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６の突出部７５と連結補強片５８によって連結されている。したがって、リードフレーム１０の左右方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム１０が左右方向にすだれ状になることがない。これにより、取り扱い時にリードフレーム１０に変形が生じることを防止することができる。
このように、リードフレーム１０の変形を防止したことにより、リードフレーム１０に反射樹脂２３を形成する際（図９（ｂ）（ｃ））、リードフレーム１０に対する反射樹脂２３の形成位置がずれることがない。したがって、小さなパッケージ領域１４に対して大面積のＬＥＤ素子２１を搭載したり、複数のＬＥＤ素子２１を搭載したり、あるいはＬＥＤ素子２１のほかに静電破壊素子を搭載することも容易になる。
ところで、樹脂付リードフレーム３０の製造工程においては、金型３５内に加熱された熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂を流し込み、その後冷却固化させることにより、リードフレーム１０のめっき層１２上に反射樹脂２３が形成される（図９（ｃ））。このとき、反射樹脂２３とリードフレーム１０との熱膨張係数が異なることにより、反射樹脂２３が冷却された後、リードフレーム１０に反りが生じるおそれがある。リードフレーム１０に反りが生じた場合、ＬＥＤパッケージ２０の製造工程で様々な支障を来すおそれがある。
これに対して本実施の形態によれば、リードフレーム１０の上下方向（Ｙ方向）および左右方向（Ｘ方向）に沿って細長い空間が生じることがないので、リードフレーム１０の変形に対する強度が高められており、Ｘ方向及びＹ方向に対するリードフレーム１０の反りを抑制することができる。
また、本実施の形態によれば、各パッケージ領域１４の周囲に縦横のタイバーを設ける必要がないので、各パッケージ領域１４同士を接近して配置することができ、リードフレーム１０あたりのパッケージ領域１４の取り個数を増やすことができる（高密度面付けが可能となる）。
さらに、本実施の形態によれば、各パッケージ領域１４の角部に吊りリード等のコネクティングバーが存在しないので、ＬＥＤパッケージ２０の角部において、反射樹脂２３がリードフレーム１０から剥離するおそれがなく、ＬＥＤパッケージ２０の信頼性を更に向上させることができる。
リードフレームの変形例
以下、本実施の形態によるリードフレームの各種変形例（変形例１−１〜変形例１−３）について、図１２乃至図１４を参照して説明する。図１２乃至図１４は、それぞれリードフレームの変形例を示す部分拡大平面図（図２に対応する図）である。図１２乃至図１４において、図１乃至図１１に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
変形例１−１
図１２（ａ）は、本実施の形態の一変形例（変形例１−１）によるリードフレーム１０Ａを示す拡大平面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の一部を更に拡大した図である。図１２（ａ）−（ｂ）に示すリードフレーム１０Ａにおいて、図１乃至図１１に示す実施の形態と異なり、ダイパッド２５同士を連結するダイパッド連結部５３は設けられていない。
すなわち各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、当該パッケージ領域１４の上方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６と連結補強片５８によって連結され、右方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とパッケージ領域連結部５４により連結されているが、上方および下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５とは直接連結されていない。
このように、ダイパッド連結部５３を設けないことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図１乃至図１１に示す実施の形態と略同一である。
変形例１−２
図１３（ａ）は、本実施の形態の一変形例（変形例１−２）によるリードフレーム１０Ｂを示す拡大平面図であり、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）の一部を更に拡大した図である。図１３（ａ）−（ｂ）に示すリードフレーム１０Ｂにおいて、図１乃至図１１に示す実施の形態と異なり、リード部２６同士を連結するリード連結部５２は設けられていない。
すなわち各パッケージ領域１４内のリード部２６は、当該パッケージ領域１４の下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５と連結補強片５８によって連結され、左方に隣接する他のパッケージ領域１４内のダイパッド２５とパッケージ領域連結部５４により連結されているが、上方および下方に隣接する他のパッケージ領域１４内のリード部２６とは直接連結されていない。
このように、リード連結部５２を設けないことにより、ダイシング時にブレード３８に加わる負荷を軽減することができる。このほかの構成は、図１乃至図１１に示す実施の形態と略同一である。
変形例１−３
図１４（ａ）は、本実施の形態の一変形例（変形例１−３）によるリードフレーム１０Ｃを示す拡大平面図であり、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）の一部を更に拡大した図である。図１４（ａ）−（ｂ）に示すリードフレーム１０Ｃにおいて、図１乃至図１１に示す実施の形態と異なり、各パッケージ領域１４は、１つのダイパッド２５と、ダイパッド２５の両側に位置する一対のリード部２６ａ、２６ｂ（以下、第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｂともいう）とを有している（３ｐｉｎタイプ）。
図１４（ｂ）に示すように、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、一対の突出部７３ａ、７３ｂと、一対の引込み部７４ａ、７４ｂとを有している。また、第１のリード部２６ａおよび第２のリード部２６ｂは、それぞれ突出部７５ａ、７５ｂと、引込み部７６ａ、７６ｂとを有している。
この場合、ダイパッド２５の一方の突出部７３ａは、第１のリード部２６ａの引込み部７６ａに入り込んでおり、他方の突出部７３ｂは、第２のリード部２６ｂの引込み部７６ｂに入り込んでいる。また、第１のリード部２６ａの突出部７５ａは、ダイパッド２５の一方の引込み部７４ａに入り込んでおり、第２のリード部２６ｂの突出部７５ｂは、ダイパッド２５の他方の引込み部７４ｂに入り込んでいる。
さらに、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５の突出部７３ａと、その上方に隣接する他のパッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａの突出部７５ａとは、連結補強片５８ａによって互いに連結されている。また、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５の突出部７３ｂと、その下方に隣接する他のパッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂの突出部７５ｂとは、連結補強片５８ｂによって互いに連結されている。
また、各パッケージ領域１４内のダイパッド２５は、その上方に隣接するパッケージ領域１４内のダイパッド２５および下方に隣接するパッケージ領域１４内のダイパッド２５と、それぞれダイパッド連結部５３により連結されている。さらに、各パッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａは、その上方および下方に隣接するパッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａと、それぞれ第１リード連結部５２ａによって連結されている。さらにまた、各パッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂは、その上方および下方に隣接するパッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂと、それぞれ第２リード連結部５２ｂによって連結されている。
さらにまた、各パッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂは、その右方に隣接する他のパッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａと、パッケージ領域連結部５４により連結されている。さらに、各パッケージ領域１４内の第１のリード部２６ａは、その左方に隣接する他のパッケージ領域１４内の第２のリード部２６ｂと、パッケージ領域連結部５４により連結されている。
このように、各パッケージ領域１４がダイパッド２５と一対のリード部２６ａ、２６ｂとを有する場合においても、リードフレーム１０Ｃがすだれ状になることを防止し、取り扱い時に変形が生じることを防止することができる。
このように、図１２乃至図１４に示すリードフレーム（変形例１−１〜変形例１−３）についても、上述した図１乃至図１１に示す実施の形態の効果と略同様の効果を得ることができる。
ＬＥＤパッケージの変形例
次に、本実施の形態によるＬＥＤパッケージの変形例（変形例Ａ〜変形例Ｃ）について、図１５乃至図１７を参照して説明する。図１５乃至図１７は、それぞれＬＥＤパッケージの変形例を示す断面図（図６に対応する図）である。図１５乃至図１７において、図６および図７に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
変形例Ａ
図１５は、本実施の形態の一変形例（３ｐｉｎタイプ）によるＬＥＤパッケージ２０Ａを示している。図１５に示すＬＥＤパッケージ２０Ａにおいて、リードフレーム１０は、１つのダイパッド２５と、ダイパッド２５の両側に位置する一対のリード部２６ａ、２６ｂ（第１のリード部２６ａ、第２のリード部２６ｂ）とを有している。
また、ＬＥＤ素子２１は一対の端子部２１ａを有しており、この一対の端子部２１ａは、それぞれボンディングワイヤ２２を介して、第１のリード部２６ａおよび第２のリード部２６ｂに接続されている。この場合、リードフレーム１０としては、例えば図１４に示すもの（リードフレーム１０Ｃ）を用いることができる。このほかの構成は上述した図６および図７に示すＬＥＤパッケージ２０と略同一である。
変形例Ｂ
図１６は、本実施の形態の一変形例（レンズ付一括モールドタイプ）によるＬＥＤパッケージ２０Ｂを示している。図１６に示すＬＥＤパッケージ２０Ｂにおいて、反射樹脂２３は、ダイパッド２５とリード部２６との間に充填されている。他方、図６および図７に示すＬＥＤパッケージ２０と異なり、リードフレーム１０上には反射樹脂２３が設けられていない。
また図１６において、ＬＥＤ素子２１は、ボンディングワイヤ２２に代えて、はんだボール（導電部）４１ａ、４１ｂによってリードフレーム１０に接続されている。すなわち、はんだボール４１ａ、４１ｂのうち、一方のはんだボール４１ａはダイパッド２５に接続され、他方のはんだボール４１ｂはリード部２６に接続されている。さらに、図１６において、封止樹脂２４の表面に、ＬＥＤ素子２１からの光の照射方向を制御するドーム状のレンズ６１が形成されている。なお、レンズ６１は必ずしも設けられていなくても良い。
変形例Ｃ
図１７は、本実施の形態の一変形例（一括モールドタイプ）によるＬＥＤパッケージ２０Ｃを示している。図１７に示すＬＥＤパッケージ２０Ｃにおいて、反射樹脂２３を用いることなく、封止樹脂２４のみによってＬＥＤ素子２１とボンディングワイヤ２２とが一括封止されている。また、ダイパッド２５とリード部２６との間には、封止樹脂２４が充填されている。
（第２の実施の形態）
次に、図１８乃至図２０を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。図１８乃至図２０は本発明の第２の実施の形態を示す図である。図１８乃至図２０に示す第２の実施の形態は、ＬＥＤ素子２１に代えてダイオード等の半導体素子４５を用いる点が主として異なるものであり、他の構成は上述した第１の実施の形態と略同一である。図１８乃至図２０において、第１の実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
リードフレームの構成
図１８は、本実施の形態によるリードフレーム６０を示す断面図である。本実施の形態によるリードフレーム６０は、ＬＥＤ素子２１に代えてダイオード等の半導体素子４５（図１８参照）を搭載するためのものであり、めっき層１２がリード部２６の一部（ボンディングワイヤ２２が接続される部分）のみに形成されている。このほかの構成は、図１乃至図４に示すリードフレーム１０と同一である。
なお、本実施の形態において、リードフレーム６０の平面形状は、図１乃至図５に示すリードフレーム１０の形状からなっていても良く、図１２乃至図１４に示す各リードフレームの形状からなっていても良い。
半導体装置の構成
図１９は、本実施の形態による半導体装置６５を示している。半導体装置６５は、図１８に示すリードフレーム６０を用いて作製されたものであり、（個片化された）リードフレーム６０と、リードフレーム６０のダイパッド２５に載置された半導体素子４５とを備えている。半導体素子４５は、例えばダイオード等のディスクリート半導体素子からなっていても良い。また、半導体素子４５の端子部４５ａと、リード部２６上に設けられためっき層１２とは、ボンディングワイヤ２２によって電気的に接続されている。さらに、半導体素子４５とボンディングワイヤ２２とが封止樹脂２４によって封止されている。
なお、封止樹脂２４としては、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂からなるものを選択することが可能であるが、第１の実施の形態と異なり、必ずしも透明なものでなくても良く、黒色等の不透明な樹脂からなっていても良い。
半導体装置の製造方法
次に、図１９に示す半導体装置６５の製造方法について、図２０（ａ）−（ｆ）を用いて説明する。図２０（ａ）−（ｆ）は、本実施の形態による半導体装置の製造方法を示す図である。
まず、上述した工程（図８（ａ）−（ｆ））と略同様にして、リードフレーム６０を作製する（図２０（ａ））。なお、この場合、めっき層１２を形成する工程（図８（ｆ））において、めっき層１２は、リードフレーム本体１１の全面ではなく、リード部２６の一部にのみ形成される。
次に、リードフレーム６０のダイパッド２５上に半導体素子４５を搭載する。この場合、はんだまたはダイボンディングペーストを用いて、半導体素子４５をダイパッド２５上に載置して固定する（図２０（ｂ））。
次に、半導体素子４５の端子部４５ａと、リード部２６上のめっき層１２とを、ボンディングワイヤ２２によって互いに電気的に接続する（図２０（ｃ））。
その後、封止樹脂２４により、半導体素子４５とボンディングワイヤ２２とを一括封止する（図２０（ｄ））。なお、このとき、リードフレーム６０の裏面に、図示しないバックテープを貼付することにより、封止樹脂２４が第１のアウターリード部２７および／または第２のアウターリード部２８の裏面に回り込むことを防止しても良い。
次に、封止樹脂２４およびリードフレーム６０のうちダイシング領域１５に対応する部分を切断することにより、封止樹脂２４およびリードフレーム６０を半導体素子４５毎に分離する（図２０（ｅ））。この際、まずリードフレーム６０をダイシングテープ３７上に載置して固定し、その後、例えばダイヤモンド砥石等からなるブレード３８によって、各半導体素子４５間の封止樹脂２４、ならびにリードフレーム６０のリード連結部５２、ダイパッド連結部５３、パッケージ領域連結部５４および連結補強片５８を切断する。なお、ブレード３８によってリードフレーム６０を切断する際、上述した図１１（ａ）または図１１（ｂ）に示す方法を用いても良い。
このようにして、図１９に示す半導体装置６５を得ることができる（図２０（ｅ））。
このように、本実施の形態においては、ＬＥＤ素子２１に代えてダイオード等の半導体素子４５を載置しており、リードフレーム６０上には反射樹脂２３が設けられていない。この場合、半導体装置６５を製造する工程において（図２０（ａ）−（ｆ））、その途中で反射樹脂２３によってリードフレーム６０が補強されることがないため、封止樹脂２４によって封止されるまでの間、リードフレーム６０（図２０（ｅ））の変形を防止する必要が生じる。具体的には、半導体素子４５を搭載する際、リードフレーム６０は、その端面を介してレールにより搬送される場合があり、このときリードフレーム６０が変形しないようにする必要がある。また、共晶ボンディングにより半導体素子４５をリードフレーム６０に接合する場合には、リードフレーム６０に熱が加わるため（例えば４００℃で１０分間熱が加わる等）、この熱によってリードフレーム６０の強度が低下することを防止する必要がある。さらに、ワイヤーボンディングの際にもリードフレーム６０に熱および衝撃が加わるため、この熱によってリードフレーム６０の強度が低下することを防止することも必要である。したがって、反射樹脂２３を設ける場合と比べて、より一層リードフレーム６０の強度を高めることが求められる。
これに対して本実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様、リードフレーム６０の上下方向に沿って細長い空間が生じることがなく、リードフレーム６０が上下方向にすだれ状になることがない。これにより、取り扱い時にリードフレーム６０に変形が生じることを防止することができる。
このほか、本実施の形態においても、上述した第１の実施の形態と同様の作用効果を得ることができる。
１０、１０Ａ〜１０Ｃ、６０ リードフレーム
１１ リードフレーム本体
１２ めっき層
１３ 枠体領域
１４ パッケージ領域
１５ ダイシング領域
２０、２０Ａ〜２０Ｃ ＬＥＤパッケージ
２１ ＬＥＤ素子
２２ ボンディングワイヤ（導電部）
２３ 反射樹脂
２４ 封止樹脂
２５ ダイパッド
２５ｅ 端縁
２６ リード部
２６ｅ 端縁
２７ 第１のアウターリード部
２８ 第２のアウターリード部
３０ 樹脂付リードフレーム
４０ 多面付ＬＥＤパッケージ
５２ リード連結部
５３ ダイパッド連結部
５４ パッケージ領域連結部
５８ 連結補強片
６５ 半導体装置
７３、７５ 突出部
７４、７６ 引込み部

Claims (18)

  1. ＬＥＤ素子搭載用リードフレームにおいて、
    枠体領域と、
    枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
    一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、
    一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられていることを特徴とするリードフレーム。
  2. 前記一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、それぞれ突出部および引込み部を有し、前記一のパッケージ領域内のダイパッドの突出部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部の突出部と連結補強片により連結されていることを特徴とする請求項１記載のリードフレーム。
  3. 枠体領域は矩形形状を有し、連結補強片は、枠体領域の一辺に対して平行であることを特徴とする請求項２記載のリードフレーム。
  4. 前記一のパッケージ領域内のリード部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項記載のリードフレーム。
  5. 前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとダイパッド連結部により連結されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項記載のリードフレーム。
  6. 各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれＬ字形状を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項記載のリードフレーム。
  7. 各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれ台形形状を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項記載のリードフレーム。
  8. 樹脂付リードフレームにおいて、
    請求項１乃至７のいずれか一項記載のリードフレームと、
    リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂とを備えたことを特徴とする樹脂付リードフレーム。
  9. 多面付ＬＥＤパッケージにおいて、
    枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを有するリードフレームであって、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられている、リードフレームと、
    リードフレームの各パッケージ領域周縁上に配置された反射樹脂と、
    リードフレームの各パッケージ領域のダイパッド上に搭載されたＬＥＤ素子と、
    ＬＥＤ素子と各パッケージ領域のリード部とを接続する導電部と、
    ＬＥＤ素子と導電部とを封止する封止樹脂とを備えたことを特徴とする多面付ＬＥＤパッケージ。
  10. 樹脂付リードフレームの製造方法において、
    枠体領域と、枠体領域内に多列および多段に配置され、各々がＬＥＤ素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを有するリードフレームであって、一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられている、リードフレームを作製する工程と、
    リードフレームの各パッケージ領域周縁上に反射樹脂を設ける工程とを備えたことを特徴とする樹脂付リードフレームの製造方法。
  11. ＬＥＤパッケージの製造方法において、
    請求項１０記載の樹脂付リードフレームの製造方法により樹脂付リードフレームを作製する工程と、
    樹脂付リードフレームの各ダイパッド上にそれぞれＬＥＤ素子を搭載する工程と、
    各ＬＥＤ素子と各リード部とをそれぞれ導電部により接続する工程と、
    封止樹脂により各ＬＥＤ素子と各導電部とをそれぞれ封止する工程と、
    反射樹脂およびリードフレームを切断することにより、反射樹脂およびリードフレームをＬＥＤ素子毎に分離する工程とを備えたことを特徴とするＬＥＤパッケージの製造方法。
  12. 半導体素子搭載用リードフレームにおいて、
    枠体領域と、
    枠体領域内に多列および多段に配置され、各々が半導体素子が搭載されるダイパッドと、ダイパッドに隣接するリード部とを含むとともに、互いにダイシング領域を介して接続された多数のパッケージ領域とを備え、
    一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、各々互いに向き合う端縁を有し、
    一方の端縁に突出部が設けられ、他方の端縁に突出部が入り込む引込み部が設けられていることを特徴とするリードフレーム。
  13. 前記一のパッケージ領域内のダイパッドとリード部とは、それぞれ突出部および引込み部を有し、前記一のパッケージ領域内のダイパッドの突出部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部の突出部と連結補強片により連結されていることを特徴とする請求項１２記載のリードフレーム。
  14. 枠体領域は矩形形状を有し、連結補強片は、枠体領域の一辺に対して平行であることを特徴とする請求項１３記載のリードフレーム。
  15. 前記一のパッケージ領域内のリード部は、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のリード部とリード連結部により連結されていることを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか一項記載のリードフレーム。
  16. 前記一のパッケージ領域内のダイパッドは、前記一のパッケージ領域に隣接する他のパッケージ領域内のダイパッドとダイパッド連結部により連結されていることを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか一項記載のリードフレーム。
  17. 各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれＬ字形状を有することを特徴とする請求項１２乃至１６のいずれか一項記載のリードフレーム。
  18. 各ダイパッドおよび各リード部は、それぞれ台形形状を有することを特徴とする請求項１２乃至１６のいずれか一項記載のリードフレーム。
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