JP2013231461A - シール材のつぶし量が制御可能なゲートバルブ - Google Patents

Abstract

【課題】シール材のつぶし量を生産中と真空状態維持中のそれぞれの状態において制御することで、シール材の劣化を抑えてシール材の寿命を延ばすことのできるゲートバルブを提供する。
【解決手段】本実施例のゲートバルブは、生産中ＣＬＯＳＥ指令又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令のいずれかの指令を発信する装置制御ユニット１２と、上記各指令に対応した位置データを格納する格納手段１３とからなる制御装置１１を有する。この制御装置１１は、上記各指令のいずれかを受信し、対応する上記位置データを参照して位置信号を生成し、駆動装置２のサーボモータ４が、この位置信号を受信して、受信した位置信号に対応した回転力をアクチュエータ５の動作に変換させ、弁体１のシール材３が上記各指令に対応して動作した弁体１によって弁座１０１に押圧され、つぶし状態として維持される。
【選択図】図１

Description

本発明は、電動で開閉動作を行うゲートバルブに関するものであり、特にシール材のつぶし量が制御可能なゲートバルブに好適に利用できるものである。

従来、半導体製造装置等の真空室内を真空状態に維持するために使用されるゲートバルブとしては、種々の機構のものが提案されている。

例えば、特許文献１には、ガス通路を有するハウジングの内部に円形のバルブプレート（弁体）を収容すると共に、上記ハウジングに、上記バルブプレートに連結されたシャフトとこのシャフトを駆動するアクチュエータとを有する駆動装置を付設し、この駆動装置で上記バルブプレートを直線的に移動させて上記ガス通路を開閉するもので、例えば半導体製造装置における真空チャンバと排気ポンプとの間に設置され、これらの真空チャンバと排気ポンプとを結ぶ上記ガス通路を開閉するゲートバルブが記載されている。即ち、特許文献１のゲートバルブは、電動にて開閉動作を行うものである。尚、上記アクチュエータは、電動モータとこの電動モータで回転されるボールねじとこのボールねじに噛合するボールねじナットとで形成され得ることが記載されている。

また、特許文献２には、弁箱（ハウジング）と、この弁箱内に収納されて弁箱の対向する位置にそれぞれ設けられた開口の開閉を行う弁体アッセンブリと、この弁体アッセンブリの開閉動作を行う第１の駆動装置である第１のシリンダと、弁体アッセンブリのシール動作を行う第２の駆動装置である第２のシリンダとを備え、上記弁箱は、開口が形成されており、第１のシリンダと第２のシリンダとは、上記弁体アッセンブリによる開閉動作とシール動作を独立して行うようにシステムの制御装置によって制御されるゲートバルブが記載されている。尚、上記各シリンダにはＡｉｒ（空気）源からＡｉｒが供給され、この各シリンダのシリンダロッドが動作することになっており、弁体アッセンブリには例えばＯリング等のシールリング（シール材）が設けられることが記載されている。

また、上記各特許文献のゲートバルブは、弁箱に設けられる弁座に対して弁体が対峙して配置され、上記駆動装置が上記弁体を上記弁座方向に駆動し、シール材をこの弁座に押圧し、このシール材をつぶし状態とすることで弁体及び弁座内外の気密状態の確保を行う。以下、この気密状態の確保を単にシールと称する。

特開２００９−２４７８７公報 特開２００７−３０９３３７公報

上記のゲートバルブが使用される製造装置における製品生産製造中（以下、生産中と略称する。）は、このゲートバルブを介した真空室内へのプロセスガスの浸入を遮断すれば十分であり、生産中のシール材のつぶし量は、真空室内の真空状態を維持するのに必要なシール材のつぶし量よりも減らしてもよい。これによれば、生産中においてシール材のつぶし量を低減させることで、このシール材の劣化を抑えてシール材の寿命を延ばすことができる。

しかしながら、上記各特許文献記載のゲートバルブでは、シール材のつぶし量は生産中に係わらず制御されないので、シール材のつぶし量は生産中においても真空室内の真空状態を維持するのに必要なシール材のつぶし量とされてしまい、このシール材の劣化を抑えることができず、シール材の寿命を延ばすことができない。

本発明の目的は、シール材のつぶし量を生産中と真空状態維持中のそれぞれの状態において制御することで、シール材の劣化を抑えてシール材の寿命を延ばすことのできるゲートバルブを提供することにある。

本発明のゲートバルブは、弁座に対して弁体が対峙して配置され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、シール材を該弁座に押圧し、つぶし状態とすることでシールを行うゲートバルブにおいて、前記駆動装置が、サーボモータと、前記弁体に接続され、該サーボモータからの回転力を直線動作に変換して前記弁体を駆動するアクチュエータとから構成され、前記駆動装置には、装置による生産中ＣＬＯＳＥ指令とＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令とからなる指令のいずれかの指令を発信する装置制御ユニットと、生産中ＣＬＯＳＥ位置データ及びＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置データを格納する格納手段とからなる制御装置が接続され、前記制御装置が、前記装置制御ユニットから、装置による生産中ＣＬＯＳＥ指令とＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令とからなる指令のいずれかの指令を受信し、前記格納手段に格納した生産中ＣＬＯＳＥ位置データ又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置データを参照して、生産中ＣＬＯＳＥ位置信号又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号を生成し、前記サーボモータが、生産中ＣＬＯＳＥ位置信号又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号を受信して、これらの信号に対応した該サーボモータの回転力を前記アクチュエータの動作に変換させ、前記シール材が生産中ＣＬＯＳＥ指令又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令に対応して動作した前記弁体によって前記弁座に押圧し、つぶし状態として維持されることを特徴としている。

本発明のゲートバルブは、また、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし状態は該シール材のつぶし量が大きく、生産中ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし状態は、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置より開放方向に前記アクチュエータが動作されることで、前記大きなつぶし量よりも小さいつぶし量に設定されることを特徴とするゲートバルブ。

本発明のゲートバルブは、また、前記制御装置は、前記装置制御ユニットから、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作指令を受信し、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作信号を生成し、前記サーボモータが、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作信号を受信して、この信号に対応した該サーボモータの回転力を前記アクチュエータの動作に変換させ、前記弁体が、該弁体の駆動原点へ等速で駆動され、該駆動原点に所定時間連続で予め設定されたトルク値以上のトルク値で押圧される場合に該弁体の位置がＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置データとして前記格納手段に格納され、前記制御装置は、前記装置制御ユニットから、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作指令を受信し、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作信号を生成し、前記サーボモータが、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作信号を受信して、この信号に対応した該サーボモータの回転力を前記アクチュエータの動作に変換させ、該押圧された弁体が、前記弁座方向に等速で駆動し、前記シール材に所定のつぶし量となるトルク値で押圧され、該押圧されたシール材が所定時間連続で前記つぶし量となるトルク値以上のトルク値で押圧される場合に該弁体の位置がＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置データとして前記格納手段に格納され、前記シール材が前記つぶし量よりも所定の少ないつぶし量となる位置が、生産中ＣＬＯＳＥ位置データとして前記格納手段に格納され、前記ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置からＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置までの距離を前記弁体の駆動量として前記格納手段に格納することを特徴としている。

本発明のゲートバルブは、また、前記ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし量は０．３５ｍｍ以上であり、前記生産中ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし量は０．３５ｍｍ以下であることを特徴としている。

本発明のゲートバルブは、また、前記ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし量は０．３５ｍｍであることを特徴としている。

本発明のゲートバルブは、また、前記生産中ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし量は０．２５ｍｍであることを特徴としている。

本発明のゲートバルブは、また、前記制御装置は、前記シール材が生産中ＣＬＯＳＥ位置指令に対応して動作した前記弁体によって前記弁座が押圧されて、つぶし状態として維持されている時に、前記装置制御ユニットからの前記各指令のいずれかの指令が所定の時間、受信されない場合、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号に切り換えることを特徴としている。

本発明のゲートバルブは、また、前記装置制御ユニットからの前記各指令のいずれかの指令が受信されない時間が４秒以上であることを特徴としている。

本発明のゲートバルブは、また、前記制御装置が、ゲートバルブ前回動作時の帰還トルク値波形とゲートバルブ開度波形との時間経過時の関係を予め帰還トルク値波形として格納する格納手段、及び該ゲートバルブ前回動作時の帰還トルク値波形とゲートバルブ開度波形との時間経過時の関係から検索された帰還トルク値波形を、現在計測されたゲートバルブ動作時の帰還トルク値波形と現在計測されたゲートバルブ開度波形との時間経過時の関係によって生成された帰還トルク値波形に比較することで波形一致性を判定し、波形が一致しないと判定した時に、前記サーボモータの回転力指令方向を所定回転分反転させ、次いで停止させる異常時動作指令手段を有して構成されることを特徴としている。

本発明のゲートバルブは、また、前記制御装置は、画面に前記格納手段に格納された前回動作時の帰還トルク値波形と現在計測された帰還トルク値波形とを時間経過時を合せて表示する画像表示装置を備えることを特徴としている。

本発明のゲートバルブは、上述の如く構成したので、シール材のつぶし量を生産中と真空状態維持中のそれぞれの状態において制御することで、シール材の劣化を抑えてシール材の寿命を延ばすことのできるゲートバルブを提供することにある。

本発明の実施例のゲートバルブを概略で示す図である。 本発明の実施例のゲートバルブの生産中ＣＬＯＳＥ時のシール材のつぶし状態を示す部分断面図である。 本発明の実施例のゲートバルブのＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ時のシール材のつぶし状態を示す部分断面図である。 本発明の実施例の別の適用例のゲートバルブの生産中ＣＬＯＳＥ時のシール材のつぶし状態を示す部分断面図である。 本発明の実施例の別の適用例のゲートバルブのＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ時のシール材のつぶし状態を示す部分断面図である。 本発明の実施例のゲートバルブにおける、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令時又は生産中ＣＬＯＳＥ指令時の動作フローを説明する図である。 本発明の実施例のゲートバルブのシール材のつぶし量とＨｅガスリーク量との関係をグラフで示す図である。 本発明の実施例におけるゲートバルブにおける、自動ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ動作の動作フローを説明する図である。 本発明の実施例の別の適用例のゲートバルブの制御装置の構成をブロック図で示す図である。 本発明の実施例のゲートバルブにおける、バルブ開度と帰還トルク値の関係を時系列波形で示す図である。 図９のゲートバルブにおける、異常動作停止動作の動作フローを説明する図である。 本実施例のゲートバルブにおける初期化動作指令時の初期化動作の手順の説明をする図である。

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

本発明の実施例のゲートバルブについて、以下図１を用いて説明する。図１は、本実施例のゲートバルブの構成を示す概略図である。

本実施例のゲートバルブ１００は、弁座１０１に対して弁体１が対峙して配置され、駆動装置２が弁体１を弁座１０１方向に駆動し、シール材３をこの弁座１０１に押圧し、つぶし状態とすることで弁座１０１の開口部１０３を通過する気体のシールを行うようになっている。

また、上記駆動装置２は、サーボモータ４と、このサーボモータ４からの回転力を直線動作に変換して弁体１を駆動するアクチュエータ５とから構成される。このアクチュエータ５は、弁体１に接続される。

また、上記駆動装置２は、制御装置１１が通信手段１０を介して接続される。また、この制御装置１１には、格納手段１３及び電力源１４が通信手段１０を介して接続される。

また、制御装置１１には、装置制御ユニット１２が設けられている。この装置制御ユニット１２は、半導体製造装置等の装置による生産中ＣＬＯＳＥ指令とＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令とからなる指令のいずれかの指令を受信し、格納手段１３に格納した生産中ＣＬＯＳＥ位置又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置データを参照して、生産中ＣＬＯＳＥ位置信号又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号を生成するようになっている。

また、上記サーボモータ４は、上記生産中ＣＬＯＳＥ位置信号又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号を受信して、これらの信号に対応した回転力を上記アクチュエータ５の動作に変換させる。

そして、上記シール材３は、上記生産中ＣＬＯＳＥ指令又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令に対応して動作した弁体１によって弁座１０１に押圧し、つぶし状態として維持される。本実施例のゲートバルブ１００は、以上のようにして、電動駆動による弁体１の弁座１０１へのシール材３の押圧、即ちシールをすることによってゲートバルブが閉じられて、又は、弁体１が弁座１０１から解離することでゲートバルブが開かれる。以下、この開閉動作を単にバルブの開閉動作若しくはゲートバルブの動作とも称する。

次に、本実施例のゲートバルブ１００の詳細構成について以下説明する。

弁体１にはシール材３が取り付けられる。また、この弁体は、この弁体１を支持するステム２１を介してシャフト２２の上端と接続される。また、これら弁体１、ステム２１及びシャフト２２の上端側は、内部が空洞である筐体状の弁箱１０２内に収容される。

この弁箱１０２には、弁体１のシール材３が押圧される部分である弁座１０１が設けられ、これら弁座１０１及び弁箱１０２にはそれぞれ開口部１０３が設けられる。

また、弁箱の底蓋１０４には貫通孔２５が設けられ、この貫通孔２５をシャフト２２が貫通することで、シャフト２２が上下移動できるようになっている。

また、シャフト２２の下端は内部シリンダ２３と接続され、外部シリンダ２４の内部に配置される。この外部シリンダ２４の上部は、弁箱１０２の底蓋１０４に取り付けられる。

また、シャフト２２の下端部と貫通孔２５の下部との間は、このシャフトと貫通孔２５を覆うようにしてベローズ２６が接続され、これにより弁箱１０２内の気体が外部シリンダ２４内に漏れることが防止されている。

また、シャフト２２の下端側は、駆動装置２のアクチュ―エータ５側へと接続される。このアクチュエータ５は、一方からのモータ等の回転駆動力を直線駆動力に変換する他方へ伝達するボールスクリュー機構３１と、このボールスクリュー機構３１を内包するケース３２とから構成される。

本実施例においては、ボールスクリュー機構３１の上端は、連結部材３０を介してシャフト２２の下端と接続され、ボールスクリュー機構３１の下端は、回転駆動力伝達機構３３の一端と接続される。この回転駆動力伝達機構３３の他端は、サーボモータ４と接続される。尚、この回転駆動力伝達機構３３は、図１に示すようにプーリー機構３４により構成できるが、図示しないカップリングを用いて構成してもよい。

以上により、本実施例のゲートバルブ１００は、サーボモータ４の回転を回転駆動力伝達機構３３を介してボールスクリュー機構３１へと伝達し直線駆動力に変換することにより、電動駆動により弁体１が上下移動してバルブの開閉動作を行う構造となっている。

本実施例のゲートバルブ１００は、上述の制御装置１１をサーボモータ４に接続することで、制御装置１１にてサーボモータ４の高速度・高トルク出力・位置決め高精度に制御することが可能となり、またバルブ動作時のトルク値・回転速度等をコントローラ側で簡単にモニターすることができる。

また、制御装置１１によるサーボモータ４の制御により、高速度への急激な動作開始、高速度からの急停止およびバルブのシール材がシール面と接触する際の振動を最大限抑えるための加減速動作が可能となる。また、加減速の度合いは、制御装置１１側にて加速度の数値を変更することでモータ仕様内において自由に変更できる。更に、電動バルブは、従来のエアー駆動のゲートバルブと比べ、低騒音・電力消費量の低減等により環境への影響が少ない。

以上により、本実施例のゲートバルブ１００は、制御装置１１によりポジション制御が可能であるため弁体シールのつぶし量を制御できる。本実施例においては、例えば、制御装置１１の制御ユニット１２が半導体製造装置等の装置による生産中ＣＬＯＳＥ指令とＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令のいずれかの指令を受信し、格納手段１３に格納した生産中ＣＬＯＳＥ位置又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置データを参照して、生産中ＣＬＯＳＥ位置信号又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号を生成するようになっており、上記サーボモータ４は、上記生産中ＣＬＯＳＥ位置信号又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号を受信して、これらの信号に対応した回転力を上記アクチュエータ５の動作に変換させる。そして、上記シール材３は、上記生産中ＣＬＯＳＥ指令又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令に対応して動作した弁体１によって弁座１０１に押圧し、つぶし状態として維持される。

本実施例のゲートバルブは、上記装置制御ユニット１２が、上記生産中ＣＬＯＳＥ指令とＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令に加えて、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ指令と初期化動作指令のいずれかの指令を受信し、格納手段１３に格納した生産中ＣＬＯＳＥ位置、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置データ、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置データ又は初期化動作データを参照して、生産中ＣＬＯＳＥ位置信号、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置信号又は初期化動作信号を生成するように構成してもよい。この際、上記サーボモータ４は、上記生産中ＣＬＯＳＥ位置信号、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置信号又は初期化動作信号を受信して、これらの信号に対応した回転力を上記アクチュエータ５の動作に変換させる。

ここで、本実施例のゲートバルブ１００は、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ（弁体１の開放方向への最大移動時の位置）からＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥまでの移動（ストローク）を算出して決定している。この移動量の算出処理は、例えば制御装置１１による上記初期化動作指令の発信に基づいて行われる。

また、本実施例のゲートバルブ１００は、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置は、弁体１の初期位置、即ち図１に示すシリンダ２３の端面２３Ａとシリンダ２４の底面２４Ａが当接する位置に相当する座標となるが、弁体１の初期位置が定められる位置であれば別の位置であってもよい。そして、この初期位置をゲートバルブ１００の駆動原点とすることができる。以下、この初期位置を駆動原点とも称する。

また、シリンダ２４の底面２４Ａ上にはハードストッパ４１が設けられており、これによりシリンダ２３の端面２３Ａとシリンダ２４の底面２４Ａの間にハードストッパ４１が介在することによって、シリンダ２３の端面２３Ａとシリンダ２４の底面２４Ａの間の衝突によるそれぞれの破損を防ぐようになっている。

また、上述した弁体１の初期位置は、このハードストッパ４１にシリンダ２３の端面２３Ａが予め設定したトルク値で押圧される際のゲートバルブ１００の座標位置を初期位置とし制御装置１０を介して格納手段１３へと記憶することができる。設定したトルク値の検知はサーボモータ４によるモータトルクの帰還トルクの検知によって行う。

図２は、本発明の実施例のゲートバルブの生産中ＣＬＯＳＥ時のシール材のつぶし状態を示す部分断面図であり、図３は、このゲートバルブのＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ時のシール材のつぶし状態を示す部分断面図である。本実施例では、シャフト２２を上下移動させる、すなわち直線移動させる場合に適用される構造であり、弁体１に取り付けられるシール材は、開口部１０３のシールを完全とするため、弁体１の弁座１０１への接触する端面の２箇所にて弁体１と弁座１０１とのシールが行われる。

図４は、本発明の実施例の別の適用例のゲートバルブの生産中ＣＬＯＳＥ時のシール材のつぶし状態を示す部分断面図であり、図５は、このゲートバルブのＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ時のシール材のつぶし状態を示す部分断面図である。この例では、シャフト２２とアクチュエータ間に設けた図示しないロールカム機構を用いてこのシャフト２２を弁座方向に移動させる場合に適用される構造であり、弁体１に取り付けられるシール材は、開口部１０３のシールを完全とするため、弁体１の弁座１０１への接触する端面の２箇所にて弁体１と弁座１０１とのシールが行われる。

上述の構成とすることで、ゲートバルブの使用における生産中は、弁体１と弁座１０１間を移動するプロセスガスの遮断をすることができる。また、弁体１を介して真空状態を維持するシール材３のつぶし量に比べて、製造生産中のシール材３のつぶし量は低減することができる。

そこで、本実施例のゲートバルブでは、上述の構成であるため、制御装置１１により弁体１の位置制御をしてシール材３のつぶし量を制御できる。そして、生産中のシール材３つぶし量と弁体１を介して真空状態を維持するつぶし量を２点位置、即ち生産中ＣＬＯＳＥ位置及びＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置として制御することができる。

また、ゲートバルブは稼働の多くは製品生産時であるので、生産中のシール材のつぶし量を減らすことで、シール材の劣化を軽減させることが可能である。以下、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令時又は生産中ＣＬＯＳＥ指令時の動作フローを説明する。

図６は、本発明の実施例のゲートバルブにおける、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令時又は生産中ＣＬＯＳＥ指令時の動作フローを説明する図である。まず、装置制御ユニット１２にて、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令又は生産中ＣＬＯＳＥ指令が発信される（Ｓ１）。次に、この発信された指令がＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令か否かが判断される（Ｓ２）。

ＹＥＳである場合、予め格納手段１３に格納されている弁体１のＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置座標が呼び出され（Ｓ３）ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ信号が生成され、このＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ信号に基づいてサーボモータ４が回転し（Ｓ４）この回転に基づいて弁体１が移動されて、弁体１は上記指令により指示した座標への動作が完了する（Ｓ５）。これにより、弁体１のシール材３のつぶし量は、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥに対応するつぶし量となる。

ＮＯである場合、予め格納手段１３に格納されている弁体１の生産中ＣＬＯＳＥ位置座標が呼び出され（Ｓ６）生産中ＣＬＯＳＥ信号が生成され、この生産中ＣＬＯＳＥ信号に基づいてサーボモータ４が回転し（Ｓ７）この回転に基づいて弁体１が移動されて、弁体１は上記指令により指示した座標への動作が完了する（Ｓ８）。これにより、弁体１のシール材３のつぶし量は、生産中ＣＬＯＳＥに対応するつぶし量となる。

従って、本実施例のゲートバルブ１００は、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置に対応した上記シール材のつぶし状態はこのシール材のつぶし量が大きく、生産中ＣＬＯＳＥ位置に対応した上記シール材のつぶし状態は、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置より開放方向に上記アクチュエータが動作されることで、上記大きなつぶし量よりも小さいつぶし量に設定されることを特徴としている。

尚、本発明の実施例のゲートバルブにおいて、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ指令時は、上記のＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令時又は生産中ＣＬＯＳＥ指令時の動作フローに関わらず、弁体１は初期位置まで移動される。

また、本実施例のゲートバルブ１００においては、格納手段１３に上記ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令をした回数を格納することができ、この格納したＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令をした回数を図示しない表示手段に表示することで、容易にＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令をした回数を把握することができる。

これによって、予め設定したシール材の交換に要する回数に達したかを容易に検出することができることになる。これは即ち、シール材のつぶし量を何回ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置にしたかが容易に把握でき、シール材３の劣化状況を容易に推測することができる。これにより、上記表示手段のＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令をした回数を見ることで、予めシール材の交換時期を把握しておくことができ、使用しているシール材を無駄なく使うことができたり、シール材の劣化によるバルブの開閉動作不良に基づく製品生産の妨げとなることを防止したりすることができる。

図７は、本発明の実施例のゲートバルブのシール材のつぶし量とＨｅガスリーク量との関係をグラフで示す図である。この図は、シール材３のつぶし量に対するＨｅリーク量の関係（弁体１の内外が真空−大気状態である時のシールの際の弁体１と弁座１０１間を漏れる（リークする）Ｈｅリーク量）である。

シール材３のつぶし量を増やすことでＨｅリーク量は減少するが、Ｈｅリーク量の仕様を満足すればシール材３を過度につぶす必要はない。Ｈｅリーク量が仕様を満足していれば、シール材３のつぶし量が少ない方がシールの劣化を抑えることができる。また、シール材３のつぶし量が減ることで、サーボモータ４のトルクも減少するため消費電力を抑えることができる。本実施例のゲートバルブによれば、上述の２点位置制御を行うことで、これらの効果を奏することができる。

また、図７のシール材のつぶし量とＨｅガスリーク量との関係により、上記ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし量は０．３５ｍｍ以上であり、上記生産中ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし量は０．３５ｍｍ以下であることが好ましい。

好ましくは、上述の実施例のゲートバルブ１００は、上記ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置に対応した上記シール材のつぶし量は０．３５ｍｍであるか、または、上記生産中ＣＬＯＳＥ位置に対応した上記シール材のつぶし量は０．２５ｍｍであることが好ましい。

また、本実施例のゲートバルブ１００は、上記制御装置１１は、上記シール材が生産中ＣＬＯＳＥ指令に対応して動作した上記弁体１によって上記弁座１０１が押圧されて、つぶし状態として維持されている時に、上記装置制御ユニット１２からの指令が所定の時間、受信されない場合、生産中ＣＬＯＳＥ位置信号をＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号に切り換えることを特徴としている。この生産中ＣＬＯＳＥ位置信号からＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号への切り替えは、制御装置１１によって自動で行われるようになっている。

上述のように、ゲートバルブは稼働の多くは製品生産時であるので、制御装置１１への装置制御ユニット１２からの指令は連続的に継続される。ここで、指令が途絶える場合は、生産中のエラー発生による停止時やメンテナンス時であることが殆どである。本実施例のゲートバルブ１００は、上述の構成により、装置制御ユニット１２より、上記エラー発生による停止時やメンテナンス時を想定して、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥの信号がなくても自動的に弁体１をＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置まで動作させることができる。この動作フローについて、以下説明する。

図８は、本発明の実施例におけるゲートバルブにおける、自動ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ動作の動作フローを説明する図である。まず、弁体１の位置が生産中ＣＬＯＳＥ時位置の保持中である際に（Ｓ１１）、制御手段１１が装置制御ユニット１２からの指令が４秒以上ないかどうかが判断される（Ｓ１２）。

ＹＥＳである場合、予め格納手段１３に格納されている弁体１のＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置座標が呼び出され（Ｓ１３）ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ信号が生成され、このＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ信号に基づいてサーボモータ４が回転し（Ｓ１４）この回転に基づいて弁体１が移動されて、弁体１は上記指令により指示した座標への動作が完了する（Ｓ１５）。これにより、弁体１のシール材３のつぶし量は、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥに対応するつぶし量となる。

ＮＯである場合、即ち、装置制御ユニット１２からの指令が４秒未満にあった場合は、弁体１の位置座標が保持される（Ｓ１６）。

このように、本実施例のゲートバルブ１００は、前記装置制御ユニットからの指令が受信されない時間が４秒以上であることを特徴としている。これは、一回の指令の間のタイムラグは最遅で４秒以上であるため、これ以上のタイムラグは異常動作又は予定生産が終了して装置がアイドル状態となった場合や定期メンテナンスによる装置アイドル状態等の他の意図した動作があったと判断すべきであることから設定されており、このように構成することでバルブの弁体シール部からのプロセスガスのリークを防ぐことができる。

尚、本実施例において、上述した指令は、上記の生産中ＣＬＯＳＥ指令、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令に加え、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ指令及び初期化動作指令を含めて構成してもよい。即ち、本実施例のゲートバルブ１００は、上記制御装置１１は、上記シール材が生産中ＣＬＯＳＥ指令に対応して動作した上記弁体１によって上記弁座１０１が押圧されて、つぶし状態として維持されている時に、上記装置制御ユニット１２からの上記生産中ＣＬＯＳＥ指令、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ指令又は初期化動作指令のいずれかの指令が所定の時間、受信されない場合、生産中ＣＬＯＳＥ位置信号をＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号に切り換えるように構成してもよい。

図９は、上記本発明の実施例の別の適用例のゲートバルブの制御装置の構成をブロック図で示す図である。この図９に示すように、本実施例の別の適用例のゲートバルブ１００は、上記制御装置１１が、ゲートバルブ前回動作時の帰還トルク値波形とゲートバルブ開度波形との時間経過時の関係を予め帰還トルク値波形（以下、前回動作時帰還トルク値波形と称する。）として格納する格納手段５１と、この前回動作時帰還トルク値波形を、現在計測されたゲートバルブ動作時の帰還トルク値波形と現在計測されたゲートバルブ開度波形との時間経過時の関係によって生成された帰還トルク値波形（以下、現計測時動作時帰還トルク値波形と称する。）に比較することで波形一致性を判定し、波形が一致しないと判定した時に、上記サーボモータ４の回転力指令方向を所定回転分反転させ、次いで停止させる異常時動作指令手段５２とを有して構成されることを特徴としている。

図１０は、実施例のゲートバルブ１００における、バルブ開度と帰還トルク値の関係を時系列波形で示す図である。サーボモータ４を使用することで通常動作中の帰還トルク値をモニターすることは容易に行える。本実施例では、図１０に示すような前回動作時帰還トルク値波形を格納手段５１に保存し、これを現計測時動作時帰還トルク値波形に比較することで、原計測時動作時帰還トルク値波形が前回動作時帰還トルク値波形とは異なる場合、これを異常トルク値検知とし、異常時動作指令手段５２によってゲートバルブの動作を緊急停止させ、サーボモータ４を１回転分反転させた後にサーボモータ４のサーボ状態を解除させる。以上の動作フローについて、以下説明する。

図１１は、図９のゲートバルブにおける、異常動作停止動作の動作フローを説明する図である。まず、制御手段１１が、格納手段５１に、測定し、格納された現計測時動作時帰還トルク値波形を呼び出す（Ｓ２１）。次に、前回動作時帰還トルク値波形と現計測時動作時帰還トルク値波形とを比較し、一致するかどうか判断する（２２）。

ＹＥＳである場合、引き続き指令を出し、ゲートバルブの運転を継続する（Ｓ２３）。

ＮＯである場合、サーボモータ４の動作を停止し（Ｓ２４）、サーボモータ４を指令時の方向とは反対方向に１回転分反転させ（Ｓ２５）、またサーボモータ４の動作を停止し（Ｓ２６）、サーボモータ４のサーボ状態を解除する（Ｓ２７）。

本実施例のゲートバルブ１００は、このように構成することで、特に弁体等の部品が装置部品と衝突した場合に自動的に緊急停止するため、このゲートバルブ１００の破損を最小限とすることができる。

また、本実施例のゲートバルブ１００は、図９に示すように、上記制御装置１１は、画面に格納手段５１に格納された前回動作時の帰還トルク値波形と現在計測された帰還トルク値波形とを時間経過時を合せて表示する画像表示装置５３を備えて構成してもよい。

この画像表示装置５３を備えることで、ゲートバルブ１００の運転時に上記格納手段５１に格納された前回動作時の帰還トルク値波形と現在計測された帰還トルク値波形とを時間経過時を合せて表示した画面を視認することができ、ゲートバルブ１００の異常動作状況を速やかに把握することができるようになる。

本発明のゲートバルブは、前記制御装置は、前記装置制御ユニットから、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作指令を受信し、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作信号を生成し、前記サーボモータが、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作信号を受信して、この信号に対応した該サーボモータの回転力を前記アクチュエータの動作に変換させ、前記弁体が、該弁体の駆動原点へ等速で駆動され、該駆動原点に押圧され、該押圧された弁体が所定時間連続で予め設定されたトルク値以上のトルク値で押圧される場合に該弁体の位置がＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置データとして前記格納手段に格納され、前記制御装置は、前記装置制御ユニットから、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作指令を受信し、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作信号を生成し、前記サーボモータが、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作信号を受信して、この信号に対応した該サーボモータの回転力を前記アクチュエータの動作に変換させ、該押圧された弁体が、前記弁座方向に等速で駆動し、前記シール材に所定のつぶし量となるトルク値で押圧され、該押圧されたシール材が所定時間連続で前記つぶし量となるトルク値以上のトルク値で押圧される場合に該弁体の位置がＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置データとして前記格納手段に格納され、前記シール材が前記つぶし量よりも所定の少ないつぶし量となる位置が、生産中ＣＬＯＳＥ位置データとして前記格納手段に格納され、前記ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置からＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置までの距離を前記弁体の駆動量として前記格納手段に格納することを特徴としている。以下、上記の動作の手順について詳述する。

図１２は、本実施例のゲートバルブにおける初期化動作指令時の初期化動作の手順の説明をする図である。図１２に示すように、初期化動作の手順はＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化ステップとＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ、生産中ＣＬＯＳＥ初期化ステップとに分けられるが、これらのステップはどちらから始めてもよく、また本実施例のゲートバルブはどちらのステップから始めてもばらつきの少ない精度の高い初期化動作を行うことができる。以下に、初期化動作の手順の一例を説明する。

まず、制御装置１１の装置制御ユニット１２から、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作指令が出力される（Ｓ３１）。制御装置１１は、このＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作指令を受信し、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作信号を生成する。次に、サーボモータ４が、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作信号を受信して、この信号に対応したサーボモータ４の回転力をアクチュエータ５の動作に変換する。そして、弁体１が駆動原点（例えば、シリンダ２３の端面２３Ａとシリンダ２４の底面２４Ａが当接する位置）へ等速で駆動され、駆動原点に押圧される。尚、等速で弁体１を駆動することで、速度のばらつきに基づくＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置決めのばらつきを防ぐことができる。

次に、この押圧された弁体１が所定時間連続で予め設定されたトルク値以上のトルク値で押圧される場合に該弁体の位置がＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置データとして前記格納手段に格納される。より具体的には、この押圧された弁体１が連続して予め設定されたトルク値（トルク閾値）以上であるかが帰還トルクの検知の算出により判別され（Ｓ３２）、ＮＯである場合は、Ｓ３１の手順に戻るが、ＹＥＳである場合には、タイマーカウントがスタートされる（Ｓ３３）。

次に、タイマーカウントが始まってから所定時間経過したかどうかが制御手段１１によって測定される（Ｓ３４）。この際、タイマーカウントの所定時間内に上記帰還トルク値がトルク閾値未満になる場合はＮＯとなり改めてタイマーカウントが零からスタートされる。

これに対し、タイマーカウントの所定時間を越えて上記期間トルク値がトルク閾値以上である場合はＹＥＳとなり、弁体１の現在位置の座標がＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置データとして格納手段１３に格納される（Ｓ３５）。尚、上記トルク閾値は、例えば、弁体１が完全に初期位置に配置されていると判断できるトルク値を１００％とした時、４０パーセント以上とすることが好ましく、予め設定値が格納手段１３に格納されている。また、所定時間は１秒以上が好ましい。以上でＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化ステップが完了する。

次に、制御装置１１の装置制御ユニット１２から、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作指令が出力される（Ｓ４１）。制御装置１１は、このＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作指令を受信し、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作信号を生成する。次に、サーボモータ４が、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作信号を受信して、この信号に対応したサーボモータ４の回転力をアクチュエータ５の動作に変換する。次に上記押圧された弁体１が、弁座方向に等速で駆動し、シール材３に所定のつぶし量となるトルク値で押圧される。尚、等速で弁体１を駆動することで、速度のばらつきに基づくＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置決めのばらつきを防ぐことができる。

次に、この押圧されたシール材３が所定時間連続で上記つぶし量となるトルク値以上のトルク値で押圧される場合に、弁体１の位置がＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置データとして格納手段１３に格納される。より具体的には、この押圧されたシール材３が連続して予め設定されたトルク値（トルク閾値）以上であるか、即ちこの押圧されたシール材３が連続して予め設定されたつぶし量以上であるかが帰還トルクの検知の算出により判別され（Ｓ４２）、ＮＯである場合は、Ｓ４１の手順に戻るが、ＹＥＳである場合には、タイマーカウントがスタートされる（Ｓ４３）。

次に、タイマーカウントが始まってから所定時間経過したかどうかが制御手段１１によって測定される（Ｓ４４）。この際、タイマーカウントの所定時間内に上記帰還トルク値がトルク閾値未満になる場合はＮＯとなり改めてタイマーカウントが零からスタートされる。

これに対し、タイマーカウントの所定時間を越えて上記期間トルク値がトルク閾値以上である場合はＹＥＳとなり、弁体１の現在位置の座標がＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置データとして格納手段１３に格納される（Ｓ４５）。尚、上記トルク閾値は、シール材３のつぶし量が０．３５ｍｍとなるトルク値が好ましく、予め設定値が格納手段１３に格納されている。また、所定時間は３秒以上が好ましい。

次に、シール材３が前記つぶし量よりも所定の少ないつぶし量となる位置、即ちシール材３が上記トルク閾値よりも所定の少ないトルク値となる位置が制御手段１１によって算出され（Ｓ４６）、生産中ＣＬＯＳＥ位置データとして格納手段１３に格納される。尚、上記トルク閾値は、シール材３のつぶし量が０．３５ｍｍとなるトルク値が好ましい。以上でＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化ステップが完了する。

そして、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置からＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置までの距離を弁体１の駆動量（ストローク量）として格納手段１３に格納される。即ち、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ（弁体１の開放方向への最大移動時の位置）からＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥまでの移動（ストローク）の算出がなされて格納手段１３に格納される。本実施例のゲートバルブ１００は、以上のＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化ステップとＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ、生産中ＣＬＯＳＥ初期化ステップにより、初期化動作が完了する。

従来の初期化動作では、弁体のストロークエンド近傍にリミットスイッチやフォトマイクロセンサー等を設置し、出力された信号により位置出しをしていたために、即ち固定位置にて位置出しをしていたために、シール性がばらついていたが、本発明の実施例のゲートバルブは、以上のように初期化動作を行っているので、バルブの個体差がある場合においても、初期化動作によりＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置を算出・設定をすることができるので、シール性能のばらつきの無く、しかも上記センサー等を要しないので経済的なゲートバルブを提供することができる。

また、本発明の実施例のゲートバルブは、上述の如く構成したので、シール材のつぶし量を生産中と真空状態維持中のそれぞれの状態において制御することで、シール材の劣化を抑えてシール材の寿命を延ばすことのできるゲートバルブを提供することができる。

尚、本発明の実施例のゲートバルブは、上述の構成に限定されず、上述の実施例の効果を奏する範囲において、別の構成を適用することができる。

また、本発明の実施例のゲートバルブは、半導体製造装置、液晶製造装置、有機ＥＬ製造装置、太陽電池製造装置及びハードディスク製造装置に適用でき、その他の製造装置にも適用することができる。

１…弁体、２…駆動装置、３…シール材、４…サーボモータ、５…アクチュエータ、１１…制御装置、１２…装置制御ユニット、１３…格納手段、１００…ゲートバルブ、１０１…弁座。

Claims (10)

1. 弁座に対して弁体が対峙して配置され、駆動装置が前記弁体を前記弁座方向に駆動し、シール材を該弁座に押圧し、つぶし状態とすることでシールを行うゲートバルブにおいて、
   前記駆動装置が、サーボモータと、前記弁体に接続され、該サーボモータからの回転力を直線動作に変換して前記弁体を駆動するアクチュエータとから構成され、
   前記駆動装置には、装置による生産中ＣＬＯＳＥ指令とＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令とからなる指令のいずれかの指令を発信する装置制御ユニットと、生産中ＣＬＯＳＥ位置データ及びＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置データを格納する格納手段とからなる制御装置が接続され、
   前記制御装置が、前記装置制御ユニットから、装置による生産中ＣＬＯＳＥ指令とＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令とからなる指令のいずれかの指令を受信し、前記格納手段に格納した生産中ＣＬＯＳＥ位置データ又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置データを参照して、生産中ＣＬＯＳＥ位置信号又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号を生成し、
   前記サーボモータが、生産中ＣＬＯＳＥ位置信号又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号を受信して、これらの信号に対応した該サーボモータの回転力を前記アクチュエータの動作に変換させ、
   前記シール材が生産中ＣＬＯＳＥ指令又はＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ指令に対応して動作した前記弁体によって前記弁座に押圧し、つぶし状態として維持されること
   を特徴とするゲートバルブ。
2. 請求項１において、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし状態は該シール材のつぶし量が大きく、生産中ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし状態は、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置より開放方向に前記アクチュエータが動作されることで、前記大きなつぶし量よりも小さいつぶし量に設定されることを特徴とするゲートバルブ。
3. 請求項１において、
   前記制御装置は、前記装置制御ユニットから、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作指令を受信し、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作信号を生成し、
   前記サーボモータが、ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ初期化動作信号を受信して、この信号に対応した該サーボモータの回転力を前記アクチュエータの動作に変換させ、
   前記弁体が、該弁体の駆動原点へ等速で駆動され、駆動原点に所定時間連続で予め設定されたトルク値以上のトルク値で押圧される場合に該弁体の位置がＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置データとして前記格納手段に格納され、
   前記制御装置は、前記装置制御ユニットから、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作指令を受信し、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作信号を生成し、
   前記サーボモータが、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ初期化動作信号を受信して、この信号に対応した該サーボモータの回転力を前記アクチュエータの動作に変換させ、
   該押圧された弁体が、前記弁座方向に等速で駆動し、前記シール材に所定のつぶし量となるトルク値で押圧され、該押圧されたシール材が所定時間連続で前記つぶし量となるトルク値以上のトルク値で押圧される場合に該弁体の位置がＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置データとして前記格納手段に格納され、
   前記シール材が前記つぶし量よりも所定の少ないつぶし量となる位置が、生産中ＣＬＯＳＥ位置データとして前記格納手段に格納され、
   前記ＦＵＬＬ ＯＰＥＮ位置からＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置までの距離を前記弁体の駆動量として前記格納手段に格納すること
   を特徴とするゲートバルブ。
4. 請求項２又は３において、前記ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし量は０．３５ｍｍ以上であり、前記生産中ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし量は０．３５ｍｍ以下であることを特徴とするゲートバルブ。
5. 請求項４において、前記ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし量は０．３５ｍｍであることを特徴とするゲートバルブ。
6. 請求項４において、前記生産中ＣＬＯＳＥ位置に対応した前記シール材のつぶし量は０．２５ｍｍであることを特徴とするゲートバルブ。
7. 請求項１において、前記制御装置は、前記シール材が生産中ＣＬＯＳＥ位置指令に対応して動作した前記弁体によって前記弁座が押圧されて、つぶし状態として維持されている時に、前記装置制御ユニットからの前記各指令のいずれかの指令が所定の時間、受信されない場合、ＦＵＬＬ ＣＬＯＳＥ位置信号に切り換えることを特徴とするゲートバルブ。
8. 請求項７において、前記装置制御ユニットからの前記各指令のいずれかの指令が受信されない時間が４秒以上であることを特徴とするゲートバルブ。
9. 請求項１において、前記制御装置が、ゲートバルブ前回動作時の帰還トルク値波形とゲートバルブ開度波形との時間経過時の関係を予め帰還トルク値波形として格納する格納手段、及び該ゲートバルブ前回動作時の帰還トルク値波形とゲートバルブ開度波形との時間経過時の関係から検索された帰還トルク値波形を、現在計測されたゲートバルブ動作時の帰還トルク値波形と現在計測されたゲートバルブ開度波形との時間経過時の関係によって生成された帰還トルク値波形に比較することで波形一致性を判定し、波形が一致しないと判定した時に、前記サーボモータの回転力指令方向を所定回転分反転させ、次いで停止させる異常時動作指令手段を有して構成されること
   を特徴とするゲートバルブ。
10. 請求項９において、前記制御装置は、画面に前記格納手段に格納された前回動作時の帰還トルク値波形と現在計測された帰還トルク値波形とを時間経過時を合せて表示する画像表示装置を備えることを特徴とするゲートバルブ。

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