JP2013230594A - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一形態は、吐出エネルギー発生素子と、液体流路の高さを調整する高さ調整部材とを第一の面側に有し、かつ液体供給口としての貫通口を有する基板を用意する工程と、前記基板及び前記高さ調整用部材の上に第一のネガ型感光性ドライフィルムを用いて第一のネガ型感光性樹脂層を形成し、第一の露光によって第一の潜像を形成する工程と、前記第一の潜像が形成された第一のネガ型感光性樹脂層の上に第二のネガ型感光性ドライフィルムを用いて第二のネガ型感光性樹脂層10を形成し、第二の露光によって第二の潜像を形成する工程と、前記第一の潜像及び前記第二の潜像を現像処理によって除去することにより、液体流路及11び吐出口4を形成する工程と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法。
【選択図】図2
Description
液体を吐出する吐出口と、該吐出口に連通する液体流路と、前記液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子と、前記液体流路に前記液体を供給する液体供給口と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記吐出エネルギー発生素子と、前記液体流路の高さを調整する高さ調整部材とを第一の面側に有し、かつ前記液体供給口としての貫通口を有する基板を用意する工程と、
(2)前記基板及び前記高さ調整用部材の上に第一のネガ型感光性ドライフィルムを用いて第一のネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
(3)前記第一のネガ型感光性樹脂層に第一の露光によって第一の潜像を形成する工程と、
(4)前記第一の潜像が形成された第一のネガ型感光性樹脂層の上に第二のネガ型感光性ドライフィルムを用いて第二のネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
(5)前記第二のネガ型感光性樹脂層に第二の露光によって第二の潜像を形成する工程と、
(6)前記第一の潜像及び前記第二の潜像を現像処理によって除去することにより、前記液体流路及び前記吐出口を形成する工程と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法である。
次に、図1(D)及び(E)に示すように、シリコン基板2上に、インク流路壁部材となる第一のネガ型感光性ドライフィルムを用いて第一のネガ型感光性樹脂層9を形成する。
まず、図1(B)に示すように、高さ調整用部材5をインク流路形成領域外の基板上に形成した。本実施例では、吐出エネルギー発生素子を駆動するための共通配線を高さ調整用部材として形成した。具体的には、高さ調整用部材5を金属を用いて吐出エネルギー発生素子を駆動するための共通配線としても機能するように形成した。
本実施例では、端子上の金メッキを高さ調整用部材に使用した。具体的には、高さ調整用部材5を金属を用いて吐出エネルギー発生素子に電力を供給するための端子としても機能するように形成した。
本発明の比較例として、高さ調整用部材を形成しないこと以外は、実施例と同様な工程でインクジェット記録ヘッドを作製した。
2 シリコン基板
3 インク供給口
4 吐出口
5 共通配線(高さ調整用部材)
6 端子
7 保護膜
8 キャビテーション防止膜
9 第一のネガ型感光性樹脂層
10 第二のネガ型感光性樹脂層
Claims (10)
- 液体を吐出する吐出口と、該吐出口に連通する液体流路と、前記液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子と、前記液体流路に前記液体を供給する液体供給口と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記吐出エネルギー発生素子と、前記液体流路の高さを調整する高さ調整部材とを第一の面側に有し、かつ前記液体供給口としての貫通口を有する基板を用意する工程と、
(2)前記基板及び前記高さ調整用部材の上に第一のネガ型感光性ドライフィルムを用いて第一のネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
(3)前記第一のネガ型感光性樹脂層に第一の露光によって第一の潜像を形成する工程と、
(4)前記第一の潜像が形成された第一のネガ型感光性樹脂層の上に第二のネガ型感光性ドライフィルムを用いて第二のネガ型感光性樹脂層を形成する工程と、
(5)前記第二のネガ型感光性樹脂層に第二の露光によって第二の潜像を形成する工程と、
(6)前記第一の潜像及び前記第二の潜像を現像処理によって除去することにより、前記液体流路及び前記吐出口を形成する工程と、
を有する液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記高さ調整用部材を前記吐出エネルギー発生素子を駆動するための共通配線として機能するように形成する請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記共通配線は金メッキを含んで形成される請求項2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記高さ調整用部材を前記吐出エネルギー発生素子に電力を供給するための端子として機能するように形成する請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記端子は金メッキを含んで形成される請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記工程(2)において、前記第一のネガ型感光性ドライフィルムの未露光時のTG以上の温度で前記第一のネガ型感光性樹脂層を形成する請求項1乃至5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記工程(2)において、前記高さ調整用部材の高さに表面を合わせて前記第一のネガ型感光性樹脂層を形成する請求項1乃至6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第一のネガ型感光性樹脂層及び前記第二のネガ型感光性樹脂層は真空中で形成される請求項1乃至7のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記高さ調整用部材は、前記工程(6)において前記第一のネガ型感光性樹脂層を現像処理することで得られる流路壁部材の内部に配置される位置に形成される請求項1乃至8のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第一の潜像の少なくとも一部は前記液体流路のパターンに形成され、前記第二の潜像の少なくとも一部は前記吐出口のパターンに形成される請求項1乃至9のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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