JP2013227648A - トラップ機構、排気系及び成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被処理体Wの表面に薄膜を形成する成膜装置本体4から排出される排気ガスを流す排気通路60の途中に介設されて排気ガス中に含まれる捕集対象ガスを冷却して液化することにより回収するトラップ機構10において、ガス入口72Aとガス出口72Bとを有する筐体72と、筐体内を複数の滞留空間74A〜74Cに区画する区画部材76と、滞留空間同士を連通する連通路78A,78Bと、排気ガスを冷却するために連通路を冷却する冷却ジャケット部80A,80Bとを備える。これにより、排気ガスを冷却しつつ排気コンダクタンスを変化させて断熱膨張させ、捕集対象ガスを効率的に冷却して液化させる。
【選択図】図2
Description
また、排気ガスを第1トラップの螺旋管内に流しつつ冷却し、液状の反応生成物を冷却フィン付きの第2トラップで捕集するようにしたトラップ機構も知られている(特許文献3)。
請求項1及びこれを引用する請求項に係る発明によれば、排気ガス中に含まれる捕集対象ガスを、ガス入口とガス出口とを有する筐体と、筐体内を複数の滞留空間に区画する区画部材と、滞留空間同士を連通する連通路と、排気ガスを冷却するために連通路を冷却する冷却ジャケット部とを備え、排気ガスを連通路を介して各滞留空間に順次流すことによって排気ガスを冷却しつつ排気コンダクタンスを変化させて断熱膨張させ、これにより捕集対象ガスを効率的に冷却して液化させて捕集対象物を効率的に捕集することができる。
図1は本発明に係る成膜装置の一例を示す概略構成図、図2は本発明に係るトラップ装置の一例を示す縦断面図であり、部分拡大図を併記している。図3はトラップ装置の第1の冷却ジャケットを示す平面図、図4はトラップ装置の第2の冷却ジャケットを示す分解斜視図である。ここでは原料として、Ru(EtCp)2、RuCpBuCp、RuCpPrCp、Ru(nbd)(iHD)2等の 室温で液体の有機金属化合物を用いてこれをガス化して原料ガスを形成し、この原料ガスで金属Ruの薄膜を成膜し、排気ガス中から捕集対象ガスとして未反応の原料ガスを液化して回収する場合を例にとって説明する。
次に、以上のように構成された成膜装置2を用いて行われる成膜方法とトラップ機構の動作について図5も参照して説明する。図5はトラップ機構に貯留液が貯って行く状態を示す断面図である。まず、図1に示すように、この成膜装置2の成膜装置本体4においては、排気系8の真空ポンプ64が継続的に駆動されて、処理容器12内が真空引きされて所定の圧力に維持されており、また載置台構造14に支持された半導体ウエハWは加熱ヒータ18により所定の温度に維持されている。また処理容器12の側壁及びシャワーヘッド26もそれぞれヒータ32、34により所定の温度に維持されている。この温度は原料ガスの液化温度以上の温度範囲である。
次に、本発明に係る排気系の具体的な構成について説明する。実際には、上記処理容器内へはクリーニングガスやパージガス等が必要に応じて導入される。そのため、排気系にはクリーニング時にクリーニングガスがトラップ機構10内を通ることなく迂回して流すためのバイパス通路が設けられており、ガスの流れを開閉弁の操作によって切り替えるようになっている。
4 成膜装置本体
6 ガス供給系
8 排気系
10 トラップ機構
12 処理容器
14 載置台構造
26 シャワーヘッド
30 ガス導入手段
60 排気通路
72 筐体
72A ガス入口
72B ガス出口
74 滞留空間
74A 第1の滞留空間
74B 第2の滞留空間
74C 第3の滞留空間
76 区画部材
78 連通路
78A 第1の連通路
78B 第2の連通路
80 冷却ジャケット部
80A 第1の冷却ジャケット
80B 第2の冷却ジャケット
86,114 冷媒
92 天井区画壁
94 ガス導入筒
100 冷却空間部
102,104 ジャケット筒体
106 ジャケット本体
108 外側筒体
110 内側空間
112 上部空間
120 連絡孔
120A 中段連絡孔
120B 下段連絡孔
120C 最下端連絡孔
124 ガス排出路
124A ガス吸入口
124B ガス排出口
140 貯留液
152 クリーニングガス供給系
162 切り替え弁機構
164 第1の開閉弁
166 第2の開閉弁
170 流入防止用の開閉弁
172 不活性ガス供給手段
174 第1の加圧用ガス通路
176 第2の加圧用ガス通路
178 不活性ガス供給部
180 ガス供給用開閉弁
182 共通ガス通路
192,194 逆流防止用の開閉弁
W 半導体ウエハ(被処理体)
Claims (23)
- 被処理体の表面に薄膜を形成する成膜装置本体から排出される排気ガスを流す排気通路の途中に介設されて前記排気ガス中に含まれる捕集対象ガスを冷却して液化することにより回収するトラップ機構において、
ガス入口とガス出口とを有する筐体と、
前記筐体内を複数の滞留空間に区画する区画部材と、
前記滞留空間同士を連通する連通路と、
前記排気ガスを冷却するために前記連通路を冷却する冷却ジャケット部と、
を備えたことを特徴とするトラップ機構。 - 前記複数の滞留空間は、直列に接続された第1〜第3の3つの滞留空間よりなることを特徴とする請求項1記載のトラップ機構。
- 前記冷却ジャケット部は、第1と第2の冷却ジャケットを有することを特徴とする請求項2記載のトラップ機構。
- 前記第1の冷却ジャケットは、前記第1の滞留空間と前記第2の滞留空間とを連通する第1の連通路を内部に有すると共に、前記筐体内を上部の第1の滞留空間と下部の第2の滞留空間とに区画する前記区画部材を兼用することを特徴とする請求項3記載のトラップ機構。
- 前記第1の冷却ジャケットの天井区画壁は、前記ガス入口に臨ませて設けられていることを特徴とする請求項4記載のトラップ機構。
- 前記ガス入口には、前記第1の冷却ジャケットの天井区画壁に対して延在されてその先端部が前記天井区画壁に接近して前記天井区画壁との間で前記第1の滞留空間に連通する連通隙間を形成するガス導入筒が設けられていることを特徴とする請求項5記載のトラップ機構。
- 前記第1の連通路は屈曲されていることを特徴とする請求項4乃至6のいずれか一項に記載のトラップ機構。
- 前記第1の連通路は複数設けられていることを特徴とする請求項4乃至7のいずれか一項に記載のトラップ機構。
- 前記第2の冷却ジャケットは、前記第2の滞留空間内に設けられており、内部に前記第3の滞留空間を有すると共に外周に前記第2の滞留空間と前記第3の滞留空間とを連通する第2の連通路が形成されて前記区画部材を兼用することを特徴とする請求項3乃至8のいずれか一項に記載のトラップ機構。
- 前記第2の冷却ジャケットは、
所定の幅の冷却空間部を隔てて同心状に配置されて前記冷却空間部に冷媒を流すようにした2つのジャケット筒体を有する筒体状のジャケット本体と、
前記ジャケット本体の外周に、この外周より前記第2の連通路となる所定の隙間を隔てて同心状に配置された有天井の外側筒体とを有し、
前記筒体状のジャケット本体の内側空間と前記外側筒体内の上部空間とで前記第3の滞留空間を形成するようにしたことを特徴とする請求項9記載のトラップ機構。 - 前記外側筒体の側面には、前記第2の滞留空間と前記第2の連通路とを連絡する複数の連絡孔が形成されていることを特徴とする請求項10記載のトラップ機構。
- 前記第3の滞留空間には、上端部のガス吸入口が前記第3の滞留空間内の上部に位置され、下端部が前記ガス出口に連通されたガス排出路が設けられていることを特徴とする請求項9乃至11のいずれか一項に記載のトラップ機構。
- 前記第1から第3の滞留空間内では、前記排気ガスの断熱膨張が行われるようになされていることを特徴とする請求項3乃至12のいずれか一項に記載のトラップ機構。
- 被処理体の表面に薄膜を形成する成膜装置本体からの排気ガスを流す排気系において、
前記成膜装置本体の排気口に接続された排気通路と、
前記排気通路の途中に介設された真空ポンプと、
前記真空ポンプよりも上流側の前記排気通路の途中に介設された請求項1乃至13のいずれか一項に記載のトラップ機構と、
前記トラップ機構を迂回するように前記排気通路の途中に接続されたバイパス通路と、
前記トラップ機構のガス入口と前記バイパス通路の上流側の接続部との間の前記排気通路内と前記トラップ機構のガス出口と前記バイパス通路の下流側の接続部との間の前記排気通路内とに、前記バイパス通路に排気ガスを流す時に前記排気ガスの圧力よりも高い不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、
を備えたことを特徴とする排気系。 - 前記バイパス通路の上流側の接続部には、前記排気通路側と前記バイパス通路側との間で排気ガスの流れを切り替えるための切り替え弁機構が設けられていることを特徴とする請求項14記載の排気系。
- 前記切り替え弁機構は、前記排気通路に設けられた第1の開閉弁と前記バイパス通路に設けられた第2の開閉弁とよりなることを特徴とする請求項15記載の排気系。
- 前記バイパス通路の下流側の接続部よりも上流側の前記排気通路の途中には流入防止用の開閉弁が設けられていることを特徴とする請求項14乃至16のいずれか一項に記載の排気系。
- 前記不活性ガス供給手段は、
前記ガス入口と前記上流側の接続部との間の前記排気通路に接続された第1の加圧用ガス通路と、
前記ガス出口と前記下流側の接続部との間の前記排気通路に接続された第2の加圧用ガス通路と、
前記第1及び第2の加圧用ガス通路に前記不活性ガスを供給する不活性ガス供給部と、
を有していることを特徴とする請求項14乃至17のいずれか一項に記載の排気系。 - 前記第1の加圧用ガス通路の途中には、前記不活性ガスを供給する時に開状態になされ、それ以外の時には閉状態になされるガス供給用開閉弁が設けられていることを特徴とする請求項18記載の排気系。
- 前記第1の加圧用ガス通路と前記第2の加圧用ガス通路とは連通されていることを特徴とする請求項18又は19記載の排気系。
- 前記第1の加圧用ガス通路の前記排気通路に対する接続部より下流側の排気通路の途中と、前記第1の加圧用ガス通路の前記排気通路に対する接続部より上流側の排気通路の途中とには、それぞれ逆流防止用の開閉弁が設けられていることを特徴とする請求項15乃至20のいずれか一項に記載の排気系。
- 前記排気通路の途中には、圧力調整弁と除害装置とが設けられていることを特徴とする請求項14乃至21のいずれか一項に記載の排気系。
- 被処理体の表面に薄膜を形成する成膜装置において、
真空排気が可能になされた処理容器を有する成膜装置本体と、
前記被処理体を載置するための載置台構造と、
前記処理容器内へガスを導入するガス導入手段と、
前記ガス導入手段に接続されてガスを供給するガス供給系と、
前記処理容器内の雰囲気を排気するために請求項14乃至22のいずれか一項に記載の排気系と、
を備えたことを特徴とする成膜装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160053411A (ko) * | 2014-11-04 | 2016-05-13 | 한국생산기술연구원 | 용탕의 가스함유량 측정을 위한 감압장치 |
WO2020131331A1 (en) * | 2018-12-21 | 2020-06-25 | Entegris, Inc. | Bulk process gas purification systems and related methods |
JPWO2020213503A1 (ja) * | 2019-04-15 | 2020-10-22 | ||
JP7479087B2 (ja) | 2022-08-18 | 2024-05-08 | ミラエボ カンパニー リミテッド | 半導体工程用反応副産物捕集装置の迅速交換による工程停止ロス減縮システム |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6684397B2 (ja) * | 2015-04-02 | 2020-04-22 | エムテックスマート株式会社 | 流体の噴出方法および流体の成膜方法 |
US10662529B2 (en) * | 2016-01-05 | 2020-05-26 | Applied Materials, Inc. | Cooled gas feed block with baffle and nozzle for HDP-CVD |
KR102520578B1 (ko) * | 2016-04-13 | 2023-04-10 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 배기 가스 냉각을 위한 장치 |
KR102506309B1 (ko) * | 2016-06-29 | 2023-03-07 | (주)지오엘리먼트 | 케미컬 회수 시스템 |
US20180274615A1 (en) * | 2017-03-27 | 2018-09-27 | Goodrich Corporation | Common vacuum header for cvi/cvd furnaces |
WO2018212940A1 (en) | 2017-05-19 | 2018-11-22 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for collection and subsequent reaction of liquid and solid effluent into gaseous effluent |
JP7042587B2 (ja) * | 2017-11-13 | 2022-03-28 | 昭和電工株式会社 | 化学気相成長装置 |
KR102081864B1 (ko) * | 2018-06-07 | 2020-02-26 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 제조 장비의 파우더 포집 장치 |
US10675581B2 (en) * | 2018-08-06 | 2020-06-09 | Applied Materials, Inc. | Gas abatement apparatus |
KR102154196B1 (ko) * | 2018-11-27 | 2020-09-09 | 주식회사 미래보 | 반도체 공정의 반응부산물 포집장치 |
KR102231250B1 (ko) | 2019-09-10 | 2021-03-24 | (주)지오엘리먼트 | 케미컬 회수용 응축모듈 및 이를 구비한 케미컬 회수 시스템 |
KR20230017157A (ko) * | 2020-06-01 | 2023-02-03 | 이와타니 산교 가부시키가이샤 | 백금족 금속의 회수 방법, 백금족 금속 함유막의 제조 방법 및 성막 장치 |
KR20220091744A (ko) | 2020-12-24 | 2022-07-01 | 삼성전자주식회사 | 파우더 부산물 억제를 위해 흡착제를 포함하는 배기 가스 처리 시스템 |
KR20220095376A (ko) | 2020-12-29 | 2022-07-07 | 삼성전자주식회사 | 반도체 공정 가스 처리 장치 및 반도체 공정 가스 처리 방법 |
KR102228180B1 (ko) * | 2021-01-21 | 2021-03-16 | 주식회사 미래보 | 유기막 증착 공정 시 발생하는 반응 부산물 포집 장치 |
JP2022127071A (ja) * | 2021-02-19 | 2022-08-31 | 三菱重工業株式会社 | 熱交換器及び熱交換コアの交換方法 |
CN115256239B (zh) * | 2022-08-04 | 2024-03-22 | 王宇辰 | 印刷电路板数控水刀铣边机 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0883773A (ja) * | 1994-09-13 | 1996-03-26 | Toshiba Corp | 薄膜形成装置 |
JPH08172083A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-07-02 | Ebara Corp | 副生成物トラップ装置及びその洗浄方法 |
JP2001044185A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置の排気システム |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5422081A (en) * | 1992-11-25 | 1995-06-06 | Tokyo Electron Kabushiki Kaisha | Trap device for vapor phase reaction apparatus |
JP3246708B2 (ja) * | 1995-05-02 | 2002-01-15 | 東京エレクトロン株式会社 | トラップ装置及びこれを用いた未反応処理ガス排気機構 |
US6332925B1 (en) * | 1996-05-23 | 2001-12-25 | Ebara Corporation | Evacuation system |
US6149729A (en) * | 1997-05-22 | 2000-11-21 | Tokyo Electron Limited | Film forming apparatus and method |
JP4162366B2 (ja) | 2000-03-31 | 2008-10-08 | 田中貴金属工業株式会社 | Cvd薄膜形成プロセス及びcvd薄膜製造装置 |
JP2001297988A (ja) | 2000-04-13 | 2001-10-26 | Seiko Epson Corp | 半導体製造装置の排気トラップ機構 |
US20020088398A1 (en) * | 2001-01-09 | 2002-07-11 | Mosel Vitelic Inc. | Teos deposition apparatus for semiconductor manufacture processes |
JP4285108B2 (ja) * | 2003-06-25 | 2009-06-24 | 東京エレクトロン株式会社 | トラップ装置、処理システム及び不純物除去方法 |
US7044997B2 (en) * | 2003-09-24 | 2006-05-16 | Micron Technology, Inc. | Process byproduct trap, methods of use, and system including same |
KR100558562B1 (ko) * | 2005-02-01 | 2006-03-13 | 삼성전자주식회사 | 반도체 설비용 부산물 포집장치 |
GB0506089D0 (en) * | 2005-03-24 | 2005-05-04 | Boc Group Plc | Trap device |
KR100621660B1 (ko) * | 2005-07-01 | 2006-09-11 | 주식회사 뉴프로텍 | 반도체 부산물 트랩장치 |
US7988755B2 (en) * | 2006-05-04 | 2011-08-02 | Milaebo Co., Ltd. | Byproduct collecting apparatus of semiconductor apparatus |
-
2012
- 2012-10-09 JP JP2012223867A patent/JP6007715B2/ja active Active
-
2013
- 2013-03-28 CN CN201380017359.3A patent/CN104246007B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-03-28 KR KR1020147026236A patent/KR101684755B1/ko active IP Right Grant
- 2013-03-28 US US14/386,419 patent/US10036090B2/en active Active
- 2013-03-28 WO PCT/JP2013/059186 patent/WO2013146982A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0883773A (ja) * | 1994-09-13 | 1996-03-26 | Toshiba Corp | 薄膜形成装置 |
JPH08172083A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-07-02 | Ebara Corp | 副生成物トラップ装置及びその洗浄方法 |
JP2001044185A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置の排気システム |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160053411A (ko) * | 2014-11-04 | 2016-05-13 | 한국생산기술연구원 | 용탕의 가스함유량 측정을 위한 감압장치 |
KR101671887B1 (ko) * | 2014-11-04 | 2016-11-04 | 한국생산기술연구원 | 용탕의 가스함유량 측정을 위한 감압장치 |
WO2020131331A1 (en) * | 2018-12-21 | 2020-06-25 | Entegris, Inc. | Bulk process gas purification systems and related methods |
US11052347B2 (en) | 2018-12-21 | 2021-07-06 | Entegris, Inc. | Bulk process gas purification systems |
US11826696B2 (en) | 2018-12-21 | 2023-11-28 | Entegris, Inc. | Bulk process gas purification systems and related methods |
JPWO2020213503A1 (ja) * | 2019-04-15 | 2020-10-22 | ||
WO2020213503A1 (ja) * | 2019-04-15 | 2020-10-22 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | SiCエピタキシャル成長装置 |
CN113260742A (zh) * | 2019-04-15 | 2021-08-13 | 纽富来科技股份有限公司 | SiC外延生长装置 |
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JP2023053959A (ja) * | 2019-04-15 | 2023-04-13 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | SiCエピタキシャル成長装置およびSiCエピタキシャル成長装置の副生成物除去方法 |
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Also Published As
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