JP2013227619A - バッキングプレート及びスパッタリングターゲット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スパッタリングターゲット材2が接合されるバッキングプレート1を、連続した開気孔を持つスケルトン構造を有する第1の材料の前記開気孔に、第2の材料が充填された構造とし、前記第1の材料は、その縦弾性係数が前記第2の材料の縦弾性係数よりも高い材料とし、前記第2の材料は、その熱伝導率が前記第1の材料の熱伝導率よりも高い材料とする。
【選択図】図1
Description
2 ターゲット材
3 被スパッタ部材
4 インジウム接着層
5 接着剤
8 台座
9 冷却水
10 チャンバ
11 ターゲット
12 バルブ
13 真空排気装置
14 ガスノズル
15 流量計
16 ガス源
17 直流電源
Claims (6)
- 一方の面にスパッタリングターゲット材が接合されるバッキングプレートであって、
連続した開気孔を持つスケルトン構造を有する第1の材料の前記開気孔に、第2の材料が充填された構造を有し、
前記第1の材料の縦弾性係数が前記第2の材料の縦弾性係数よりも高く、かつ前記第2の材料の熱伝導率が前記第1の材料の熱伝導率よりも高いバッキングプレート。 - 前記第1の材料と前記第2の材料の体積比率が、20:80〜80:20の範囲にある請求項1に記載のバッキングプレート。
- 前記第1の材料が、タングステン、タングステン合金、炭化タングステン、超硬合金、アルカリ金属ドープタングステン、モリブデン、モリブデン合金、炭化珪素、炭化チタン、窒化チタン、及び炭窒化チタンから選択される1種又は2種以上からなる請求項1又は請求項2に記載のバッキングプレート。
- 前記第2の材料が、純銅、銅合金、純銀、銀合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ベリリウム合金、黄銅、コバルト、コバルト合金、グラファイト、カーボンナノチューブ、ダイヤモンド、及び窒化アルミニウムから選択される1種又は2種以上からなる請求項1から請求項3のいずれかに記載のバッキングプレート。
- 請求項1から請求項4のいずれかに記載のバッキングプレートと、このバッキングプレートの一方の面に接合されたスパッタリングターゲット材とを有するスパッタリングターゲット。
- 前記バッキングプレートの線熱膨張係数をα1(K−1)、前記スパッタリングターゲット材の線熱膨張係数をα2(K−1)と表したとき、
α1>α2
の関係を満たす請求項5に記載のスパッタリングターゲット。
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