JP2007162039A - 真空成膜装置における装置構成部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スパッタリング装置で使用するカソ−ドのバッキングプレ−トに、炭素、酸化物、金属のいずれかでなる心材と、前記心材を包み込む金属とを一体化させた構造を持たせる。このことにより、電気伝導性及び熱伝導性を損なわず、かつ心材の剛性により心材を包み込んでいる冷却板としてのバッキングプレ−トの変形を防止する。
【選択図】図1
Description
今回実験に使用したものは、タ−ゲットの寸法 Φ380mm×6mm
バッキングプレ−トの寸法 Φ520mm×20mm(H2)
心材の寸法 Φ370mm×10mm(H3)
今回実験に使用したしたものでは、削出し後の板材3(Al6061)の厚さ(t)は5mmであった(図7)。
56・・・真空槽、57・・・タ−ゲット材、58・・・マグネット、59・・・マグネトロンカソ−ド、60・・・アノ−ド、61・・・基板、62・・・排気管、63・・・ガス導入管、64・・・透明導電膜、65・・・基板ホルダ−
71・・・バッキングプレ−ト、72・・・板材(モリブデン)、73・・・板材(チタン)、74・・・板材(モリブデン)、75・・・タ−ゲット材
Claims (14)
- 真空成膜装置における装置構成部品であって、炭素、酸化物、金属のいずれかの心材と、前記心材を包み込む板材とを一体化させた構造を有する真空成膜装置における装置構成部品。
- 前記装置構成部品が、スパッタリング装置用のバッキングプレ−トであることを特徴とする請求項1に記載の装置構成部品。
- 前記装置構成部品が、基板ホルダ−であることを特徴とする請求項1に記載の装置構成部品。
- 前記装置構成部品が、基板キャリヤ−であることを特徴とする請求項1に記載の装置構成部品。
- 前記心材は、板及びその繊維及びその海綿状(スポンジ状)のいずれかの形態であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の装置構成部品。
- 前記心材が、セラミックス又はアルミナ、マグネシア、ジルコニア、シリカのいずれかであることを特徴とする請求項5に記載のバッキングプレ−ト。
- 前記心材が、鉄、銅、アルミニウム、チタンのいずれかであることを特徴とする請求項5に記載のバッキングプレ−ト。
- 前記板材が、
アルミニウム及びアルミニウム合金、銅及び銅合金、マグネシウム及びマグネシウム合金のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のバッキングプレ−ト。 - 真空成膜装置における装置構成部品であって、炭素、酸化物、金属のいずれかの心材と心材を包み込む板材とを一体化させるようにした真空成膜装置における装置構成部品の製造方法。
- 前記心材を前記板材で包むのに溶湯鍛造法を用いることを特徴とする請求項9に記載の装置構成部品の製造方法。
- 前記心材は、 板及びその繊維及びその海綿状(スポンジ状)のいずれかの形態であることを特徴とする請求項9又は10のいずれかに記載の装置構成部品の製造方法。
- 前記心材が、
セラミックス又はアルミナ、マグネシア、ジルコニア、シリカのいずれかであることを特徴とする請求項11に記載の装置構成部品の製造方法 - 前記心材が、鉄、銅、アルミニウム、チタンのいずれかであることを特徴とする請求項11に記載の装置構成部品の製造方法。
- 前記板材がアルミニウム及びアルミニウム合金、銅及び銅合金、マグネシウム及びマグネシウム合金であることを特徴とする請求項9乃至13のいずれかに記載の装置構成部品の製造方法。
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