JP2013225674A - 光モジュールへの力の影響を調整しうる光学装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光モジュールの支持区分を支持構造体に連結する複数の連結ユニットは、支持構造体の予め規定しうる位置で支持力を支持区分に与えるように設計する。支持区分は支持構造体により支持された状態で、予め規定しうる所望の幾何学的形状を有する。少なくとも1つの連結ユニットは少なくとも1つの弾性素子を有し、光モジュールが支持された状態で同調支持力を発生する。この同調支持力は、前記少なくとも1つの弾性素子によりこれ以外の残りの連結ユニットの支持力に同調させ、支持区分の点の変形により誘起された最大の位置的なずれが、好ましくは100nm、更に好ましくは10nmよりも小さくなるようにする。これに加え又はこれに代え、支持区分の点の最大の角度的なずれが、好ましくは5mrad、更に好ましくは2mradよりも小さくなるようにする。
【選択図】図1
Description
本発明によるマイクロリソグラフィ用光学撮像装置(マイクロリソグラフィ装置)101に用いる本発明による光学装置の好適実施例を、以下に図1〜4を参照して説明する。
本発明による光学装置201.1の他の好適実施例を、図1及び5を参照して以下に説明する。この光学装置201.1は図1のマイクロリソグラフィ装置101における光学装置101.1の代わりに用いることができる。その構造及びその機能に関しては、光学装置201.1が原理的に第1の実施例の光学装置101.1に相当しており、従って、ここでは主として相違点を説明する。特に、同じ種類の構成素子には同じ参照符号に値100だけ増大させて付してある。以後で別段の指示がない限り、上述した構成素子の特性及び機能に関して前述した説明が参照される。
Claims (23)
- 光モジュールと、
連結装置と
を具える、特にマイクロリソグラフィ用とした光学装置であって、
前記連結装置が、前記光モジュールの支持区分を支持構造体に連結するための複数の連結ユニットを有しており、
各連結ユニットは、前記光モジュールを支持する目的で、前記支持構造体の予め規定しうる位置で支持力を前記支持区分に与えるように設計されており、
前記支持区分は、前記支持構造体により支持された状態で、予め規定しうる所望の幾何学的形状を有するようにした、
光学装置において、
少なくとも1つの連結ユニットが少なくとも1つの弾性素子を有しており、
この少なくとも1つの連結ユニットは、前記光モジュールが支持された状態で同調支持力を発生し、
この少なくとも1つの連結ユニットのこの同調支持力は、前記少なくとも1つの弾性素子により前記連結装置の、この少なくとも1つの連結ユニット以外の残りの連結ユニットの支持力に同調され、前記光モジュールが支持された状態で前記支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、前記支持区分の点の変形により誘起された最大の位置的なずれが1μmよりも小さく、好ましくは100nmよりも小さく、更に好ましくは10nmよりも小さくなるようにすることと、前記光モジュールが支持された状態で前記支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、前記支持区分の点の最大の角度的なずれが10mradよりも小さく、好ましくは5mradよりも小さく、更に好ましくは2mradよりも小さくなるようにすることとの双方又は何れか一方が達成されるようにしたことを特徴とする光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記少なくとも1つの弾性素子は、前記光モジュールが支持されていない第1の状態で実質的に変形されていない第1の幾何学的形状を有するとともに、前記光モジュールが支持された状態で変形された第2の幾何学的形状を有するようになっており、
前記第1の幾何学的形状と前記第2の幾何学的形状との間のずれが、前記少なくとも1つの弾性素子の実効的な変形を規定し、
前記少なくとも1つの弾性素子はこの実効的な変形の方向において実効的な剛性を有しており、
前記実効的な剛性と前記実効的な変形との双方又は何れか一方は、前記光モジュールが支持された状態で、前記少なくとも1つの連結ユニットが同調支持力を発生するように選択されていることを特徴とする光学装置。 - 請求項2に記載の光学装置において、
前記少なくとも1つの連結ユニットが作用点で前記支持区分に作用し、
前記作用点で前記支持区分が変位する場合に、この変位の絶対値が前記最大の位置的なずれに相当し、前記少なくとも1つの連結ユニットの支持力の変化が5%よりも小さく、好ましくは3%よりも小さく、より好ましくは1%よりも小さくなるように、前記少なくとも1つの弾性素子の前記実効的な剛性を低く選択することと、
前記作用点で前記支持区分が角度変化する場合に、この角度変化の絶対値が前記最大の角度的なずれに相当し、前記少なくとも1つの連結ユニットの支持力の変化が5%よりも小さく、好ましくは3%よりも小さく、より好ましくは1%よりも小さくなるように、前記少なくとも1つの弾性素子の前記実効的な剛性を低く選択することとの双方又は何れか一方の選択を行う光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記少なくとも1つの弾性素子は、前記光モジュールが支持されていない第1の状態で第1の実効長を有するとともに、前記光モジュールが支持された状態で第2の実効長を有するようになっており、
前記第1の実効長と前記第2の実効長との間の差が、前記少なくとも1つの弾性素子の実効長の変化を規定し、
前記少なくとも1つの弾性素子は、この実効長の変化の方向における実効的な剛性を有し、
この実効的な剛性と前記実効長の変化との双方又は何れか一方は、前記光モジュールが支持された状態で、前記少なくとも1つの連結ユニットが前記同調支持力を発生するように選択されている光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記少なくとも1つの連結ユニットは、前記光モジュールが支持された状態で第1の同調支持力を発生する第1の連結ユニットであり、
前記連結装置は、前記第1の連結ユニットとは異なる少なくとも1つの第2の連結ユニットを具えており、
この第2の連結ユニットは、前記光モジュールが支持された状態で、前記第1の同調支持力とは異なる第2の支持力を発生するようになっている光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記連結装置の連結ユニットが全て、支持力を同調させるための少なくとも1つの弾性素子を有するようにすることと、
前記連結ユニットの同調支持力をそれぞれの少なくとも1つの弾性素子により同調させ、前記光モジュールが支持された状態で、所望の幾何学的形状からの、前記支持区分のほぼ全体の、変形により誘起されたずれが、1μmよりも小さく、好ましくは100nmよりも小さく、更に好ましくは10nmよりも小さくなるようにすることとの双方又は何れか一方が達成されている光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記連結装置が、少なくとも4つの連結ユニット、好ましくは少なくとも6つの連結ユニット、更に好ましくは少なくとも9つの連結ユニットを有している光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記光モジュールが、少なくとも1つの光学素子と、測定装置の少なくとも1つの構成素子との双方又は何れか一方を有しており、
前記少なくとも1つの光学素子と、前記測定装置の少なくとも1つの構成素子との双方又は何れか一方が少なくとも1つの前記部分区分の領域内で前記支持区分上に支持されているようにすることと、
前記少なくとも1つの光学素子と、前記測定装置の少なくとも1つの構成素子との双方又は何れか一方に対する保持装置が少なくとも1つの前記部分区分の領域内で前記支持区分上に支持されているようにすることとの双方又は何れか一方が達成されており、
前記少なくとも1つの連結ユニットが特に前記少なくとも1つの部分区分の領域内で前記支持区分に係合しているようにした光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記連結装置の少なくとも前記少なくとも1つの連結ユニットを、特に全ての連結ユニットを懸垂連結ユニットとして構成し、この懸垂連結ユニットにより前記光モジュールが支持状態で前記支持構造体上に懸垂されているようにすることと、
少なくとも前記少なくとも1つの連結ユニットを、特に全ての連結ユニットを直立連結ユニットとして構成し、この直立連結ユニットにより前記光モジュールが下側から支持状態に支持されているようにすることとの双方又は何れか一方が達成されている光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記光モジュールが、保持構造体、特にハウジングにより保持されている複数の光学素子を有しており、
前記支持区分は前記保持構造体の一部から形成されているようにした光学装置。 - 請求項1に記載の光学装置において、
前記少なくとも1つの連結ユニットは、少なくとも1つの弾性の第1の区分と、少なくとも1つのほぼ剛性の第2の区分とを有する細長状素子として構成され、前記第1の区分が前記弾性素子を有しているようにした光学装置。 - 照明装置と、
投影パターンを有するマスクを収容するマスク装置と、
複数の光学素子を具える光学素子群を有する投影装置と、
基板を収容する基板装置と
を具える、特にマイクロリソグラフィ用とした光学撮像装置であって、
前記照明装置は、前記投影パターンを照明するように設計されており、
前記光学素子群は、前記投影パターンを前記基板上に結像するように設計されており、
前記投影装置は、前記光学素子群を有する光モジュールと、支持構造体と、連結装置とを具えており、
前記連結装置は、前記光モジュールの支持区分を支持構造体に連結する複数の連結ユニットを具えており、
各連結ユニットは、前記支持構造体の予め規定しうる位置で、前記光モジュールを支持する目的のために支持力を前記支持区分に与えるように設計されており、
前記支持区分は、前記支持構造体により支持された状態で、予め規定しうる所望の幾何学的形状を有しているようにした光学撮像装置において、
少なくとも1つの連結ユニットが少なくとも1つの弾性素子を有しており、
この少なくとも1つの連結ユニットは、前記光モジュールが支持された状態で同調支持力を発生し、
この少なくとも1つの連結ユニットのこの同調支持力は、前記少なくとも1つの弾性素子により前記連結装置の、この少なくとも1つの連結ユニット以外の残りの連結ユニットの支持力に同調され、前記光モジュールが支持された状態で前記支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、前記支持区分の点の変形により誘起された最大の位置的なずれが1μmよりも小さく、好ましくは100nmよりも小さく、更に好ましくは10nmよりも小さくなるようにすることと、前記光モジュールが支持された状態で前記支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、前記支持区分の点の最大の角度的なずれが10mradよりも小さく、好ましくは5mradよりも小さく、更に好ましくは2mradよりも小さくなるようにすることとの双方又は何れか一方が達成されるようにしたことを特徴とする光学撮像装置。 - 支持構造体と、
連結装置と
を具える、特にマイクロリソグラフィ用とした光モジュール操作装置であって、
前記連結装置は、前記光モジュールの支持区分を前記支持構造体に連結する複数の連結ユニットを具えており、
各連結ユニットは、前記支持構造体の予め規定しうる位置で、前記光モジュールを支持する目的のために支持力を前記支持区分上に与えるように設計されており、
前記支持区分は、前記支持構造体により支持された状態で、予め規定しうる所望の幾何学的形状を有しているようにした光モジュール操作装置において、
少なくとも1つの連結ユニットが少なくとも1つの弾性素子を有しており、
この少なくとも1つの連結ユニットは、前記光モジュールが支持された状態で同調支持力を発生し、
この少なくとも1つの連結ユニットのこの同調支持力は、前記少なくとも1つの弾性素子により前記連結装置の、この少なくとも1つの連結ユニット以外の残りの連結ユニットの支持力に同調され、前記光モジュールが支持された状態で前記支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、前記支持区分の点の変形により誘起された最大の位置的なずれが1μmよりも小さく、好ましくは100nmよりも小さく、更に好ましくは10nmよりも小さくなるようにすることと、前記光モジュールが支持された状態で前記支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、前記支持区分の点の最大の角度的なずれが10mradよりも小さく、好ましくは5mradよりも小さく、更に好ましくは2mradよりも小さくなるようにすることとの双方又は何れか一方が達成されるようにしたことを特徴とする光モジュール操作装置。 - 特にマイクロリソグラフィ用とした、光モジュールを支持構造体に連結する連結方法であって、
前記光モジュールは連結装置の複数の連結ユニットにより前記支持構造体に連結され、
各連結ユニットは、前記光モジュールを支持する目的で、前記支持構造体の予め規定しうる位置で支持力を支持区分上に与え、
前記支持区分は、前記支持構造体により支持された状態で、予め規定しうる所望の幾何学的形状を有するようにする連結方法において、
少なくとも1つの連結ユニットが少なくとも1つの弾性素子を有しており、
この少なくとも1つの連結ユニットは、前記光モジュールが支持された状態で同調支持力を発生し、
この少なくとも1つの連結ユニットのこの同調支持力は、前記少なくとも1つの弾性素子により前記連結装置の、この少なくとも1つの連結ユニット以外の残りの連結ユニットの支持力に同調させ、前記光モジュールが支持された状態で前記支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、前記支持区分の点の変形により誘起された最大の位置的なずれが1μmよりも小さく、好ましくは100nmよりも小さく、更に好ましくは10nmよりも小さくなるようにすることと、前記光モジュールが支持された状態で前記支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、前記支持区分の点の最大の角度的なずれが10mradよりも小さく、好ましくは5mradよりも小さく、更に好ましくは2mradよりも小さくなるようにすることとの双方又は何れか一方が達成されるようにすることを特徴とする連結方法。 - 請求項14に記載の連結方法において、
前記支持構造体は、特に前記光モジュールを移送するために、この光モジュールを一時的に支持するのに用いるようにする連結方法。 - 光モジュールと、
連結装置と
を具える、特にマイクロリソグラフィ用とした光学装置であって、
前記連結装置は、長手軸線に沿って細長にされている複数の連結ユニットを有し、これら連結ユニットは、前記光モジュールの支持区分を支持構造体に連結する作用をするものであり、
各連結ユニットは、前記光モジュールを支持する目的で、前記支持構造体の予め規定しうる位置で支持力を前記支持区分上に与え、
少なくとも1つの連結ユニットは、前記長手軸線に沿って第1の剛性を有する少なくとも1つの第1の連結区分と、前記長手軸線に沿って第2の剛性を有する第2の連結区分とを具えているようにした光学装置において、
前記第1の剛性は前記第2の剛性よりも小さくし、
前記第1の剛性は、支持力を予め規定しうる値に制限する目的で、特に前記第2の剛性の50%よりも小さくし、好ましくは前記第2の剛性の30%よりも小さくし、更に好ましくは前記第2の剛性の10%よりも小さくしたことを特徴とする光学装置。 - 請求項16に記載の光学装置において、
前記第1の連結区分と前記第2の連結区分との双方又は何れか一方をほぼ細長状に構成することと、
前記第1の連結区分が弾性素子を有するようにすることと
の双方又は何れか一方が達成されている光学装置。 - 請求項16に記載の光学装置において、
前記連結装置の少なくとも一部の連結ユニットが、特に全ての連結ユニットが、これらの長手軸線に沿って剛性が異なる少なくとも2つの区分を有している光学装置。 - 請求項16に記載の光学装置において、
前記支持区分は、前記支持構造体により支持された状態で、予め規定しうる所望の幾何学的形状を有するようになっており、
前記少なくとも1つの連結ユニットは、前記光モジュールが支持された状態で同調支持力を発生するようになっており、
この少なくとも1つの連結ユニットのこの同調支持力は、少なくとも1つの弾性素子により前記連結装置の、この少なくとも1つの連結ユニット以外の残りの連結ユニットの支持力に同調され、前記光モジュールが支持された状態で前記支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、前記支持区分の点の変形により誘起された最大の位置的なずれが1μmよりも小さく、好ましくは100nmよりも小さく、更に好ましくは10nmよりも小さくなるようにすることと、前記光モジュールが支持された状態で前記支持区分の少なくとも1つの予め規定しうる部分区分における所望の幾何学的形状からの、前記支持区分の点の最大の角度的なずれが10mradよりも小さく、好ましくは5mradよりも小さく、更に好ましくは2mradよりも小さくなるようにすることとの双方又は何れか一方が達成されるようにした光学装置。 - 請求項16に記載の光学装置において、
前記少なくとも1つの連結ユニットは、前記光モジュールの支持状態において第1の支持力を生じる第1の連結ユニットであり、
前記連結装置は、前記第1の連結ユニットとは相違する少なくとも1つの第2の連結ユニットを具えており、
この第2の連結ユニットは、前記光モジュールの支持状態において、前記第1の支持力とは異なる第2の支持力を生じるようになっている光学装置。 - 請求項16に記載の光学装置において、
前記連結装置は、少なくとも4つの連結ユニットを、好ましくは少なくとも6つの連結ユニットを、更に好ましくは少なくとも9つの連結ユニットを有している光学装置。 - 請求項16に記載の光学装置において、
前記連結装置の少なくとも前記少なくとも1つの連結ユニットを、特に全ての連結ユニットを懸垂連結ユニットとして構成し、この懸垂連結ユニットにより前記光モジュールが支持状態で前記支持構造体上に懸垂されているようにした光学装置。 - 請求項16に記載の光学装置において、
前記光モジュールが、保持構造体、特にハウジングにより保持されている複数の光学素子を有しており、
前記支持区分は前記保持構造体の一部から形成されているようにした光学装置。
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