JP2013214723A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基板を載置する保持部材を装着した基板保持具と、複数枚又は一枚の基板を搬送する様に構成された基板搬送部と、前記基板保持具に装着された前記保持部材の状態を検知する検知部と、前記検知部により取得された前記保持部材の状態を示すデータと予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となるマスターデータとを比較して前記保持部材自体の状態を判定する判定部と、前記判定部の判定結果に応じて前記基板搬送部を制御する搬送制御部とを具備する基板処理装置。
2. 基板が載置される保持部材が装着された基板保持具に対して、前記基板を移載する移載工程を少なくとも有する基板移載方法であって、前記保持部材の状態を示すデータと予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となるマスターデータとを比較して前記保持部材自体の状態を判定する判定工程を有し、前記判定工程の判定結果に応じて前記基板保持具に基板を移載する基板移載方法。
3. 基板が載置される保持部材が装着された基板保持具に対して、前記基板を移載する移載工程を少なくとも有する半導体装置の製造方法であって、前記保持部材の状態を示すデータと予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となるマスターデータとを比較して前記保持部材自体の状態を判定する判定工程を有し、前記判定工程の判定結果に応じて前記基板保持具に基板を移載する半導体装置の製造方法。
4. 保持部材の状態を検知する検知部に波形データを取得させ、判定部に前記波形データより前記保持部材の下端と上端を示すデータを取得させると共に、取得した各波形データと予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となるマスターデータとを比較させることで前記保持部材の状態を判定させ、判定により異常が検知された際に処理を中断させる基板処理装置の保持部材状態検知プログラム。
5. 基板を載置する保持部材と、前記保持部材を装着して基板を保持する基板保持具と、前記基板保持具に装着された前記保持部材と前記保持部材に載置された基板の状態を検知する検知部と、前記検知部により取得された検知データと、予め正常な状態の前記保持部材のみを検知して取得した基準となる第１マスターデータ及び該保持部材に載置された基板を検知して取得した基準となる第２マスターデータとを比較して基板の状態を判定する判定部と、前記判定部の判定結果に応じて前記基板保持具への基板の移載を行う基板搬送部と、を具備する基板処理装置。
6. 基板が載置される保持部材が装着された基板保持具に対して、前記基板を移載する移載工程と、前記保持部材の状態を示すデータと予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となる第１マスターデータ及び該保持部材に載置された基板を検知して取得した基準となる第２マスターデータとを比較して前記保持部材自体の状態及び該保持部材に載置された基板の状態を判定する判定工程を有し、前記判定工程の判定結果に応じて前記基板保持具に基板を移載する基板移載方法。
7. 基板が載置される保持部材が装着された基板保持具に対して、前記基板を移載する移載工程と、前記保持部材の状態を示すデータと予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となる第１マスターデータ及び該保持部材に載置された基板を検知して取得した基準となる第２マスターデータとを比較して前記保持部材の状態及び該保持部材に載置された基板の状態を判定する判定工程を有し、前記判定工程の判定結果に応じて前記基板保持具に基板を移載する半導体装置の製造方法。
8. 基板が載置される保持部材が装着された基板保持具に対して、前記基板を移載する手順と、
   前記保持部材の状態を示すデータと予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となる第１マスターデータとを比較して前記保持部材の状態を判定する第１判定手順と、
   該保持部材に載置された基板を検知して取得した基準となる第２マスターデータとを比較して前記保持部材に載置された基板の状態を判定する手順と、
   を有する状態検知プログラム。