JP2013214648A - 光半導体素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 上下がクラッド層(12、16)によって挟まれたストライプ状の活性層(14)と、活性層(14)の両側に配置された電流狭窄構造を備える光半導体素子であって、電流狭窄構造は、一導電型半導体上(12)に設けられた反対導電型電流狭窄層(30)と、反対導電型電流狭窄層(30)上に設けられた一導電型電流狭窄層(32)とを備え、一導電型電流狭窄層(32)の少なくとも一部は、反対導電型電流狭窄層よりもバンドギャップの小さいナローギャップ層で構成されてなることを特徴とする光半導体素子。
【選択図】 図2
Description
この印加電圧は、光半導体素子の発振動作時における典型的な電圧である。p型上部クラッド層16、n型電流狭窄層32、p型電流狭窄層30、及びn型下部クラッド層12のドーピング濃度はそれぞれ1×1018cm−3、1×1019cm−3、1×1018cm−3、1×1018cm−3とし、各層の厚みは0.5μmとした。
12 :n型下部クラッド層
14 :多重量子井戸層
16 :p型上部クラッド層
18 :マスク
20 :メサストライプ
30 :p型電流狭窄層
32 :n型電流狭窄層
32a :ナローギャップ層
40 :p型上部クラッド層
42 :コンタクト層
50 :n側電極
52 :p側電極
Claims (6)
- 上下がクラッド層によって挟まれたストライプ状の活性層と、前記活性層の両側に配置された電流狭窄構造を備える光半導体素子であって、
前記電流狭窄構造は、
一導電型半導体上に設けられた反対導電型電流狭窄層と、
前記反対導電型電流狭窄層上に設けられた一導電型電流狭窄層とを備え、
前記一導電型電流狭窄層の少なくとも一部は、前記反対導電型電流狭窄層よりもバンドギャップの小さいナローギャップ層で構成されてなることを特徴とする光半導体素子。 - 前記一導電型電流狭窄層は、その全てが前記ナローギャップ層で構成されてなることを特徴とする請求項1に記載の光半導体素子。
- 前記ナローギャップ層におけるバンドギャップ波長は、前記光半導体素子の発振波長より短いことを特徴とする請求項1または2に記載の光半導体素子。
- 前記反対導電型電流狭窄層はInPを含み、前記ナローギャップ層はInGaAsPを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光半導体素子。
- 前記ナローギャップ層におけるバンドギャップ・エネルギEgは、0.83eV≦Eg≦1.25eVであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光半導体素子。
- 前記ナローギャップ層における前記反対導電型電流狭窄層との伝導帯のバンドオフセットは、0.026eV以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の光半導体素子。
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