JP2013213790A - 湿度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】湿度センサ1において、透湿層70は、多孔質材料によって感湿膜11を覆うように形成されている。このため、透湿層70によって、感湿膜11に対して回路チップ20から発生する熱が伝わり難くなる。よって、感湿膜11の温度上昇が抑制できる。このため、湿度センサ1において、回路チップ20から発生する熱によって湿度センサ1における湿度の検出誤差が生じることを抑制することができる。
【選択図】図1
Description
なお、図7では、符号aは回路チップ4の温度を示し、符号bはセンサチップ3の温度を示し、室温よりもセンサチップ3の温度の方が高くなり、測定誤差が生じている例を示している。
前記センサチップから出力される検出信号を信号処理する回路チップ(20)と、
前記センシング部を多孔質体によって覆うように形成される透湿層(70)と、を備え、
前記センシング部は、前記透湿層を通過する空気の前記湿度を検出するようになっていることを特徴とする。
図1(a)、(b)に本発明の第1実施形態における湿度センサ1を示す。図1(a)は湿度センサ1の正面図、図1(b)は図1(a)中A−A断面図である。
上述の第1実施形態では、センサチップ10側に多孔質材料を塗布して透湿層70を形成した例について説明したが、これに代えて、本実施形態では、センサチップ10および回路チップ20のそれぞれに多孔質材料を塗布して透湿層70を形成する例について説明する。
本実施形形態では、湿度センサ1は、図5に示すように、センサチップ10、回路チップ20、リードフレーム30の支持部31、複数本の外部接続用端子32の基部側、リードフレーム40の支持部41、複数本のワイヤ50、複数本のワイヤ51、および複数本の外部接続用端子42の基部側のそれぞれの周囲が多孔質材料によって覆われている薄板状の透湿層70を構成している。このため、複数本の外部接続用端子32の先端側、および複数本の外部接続用端子42の先端側がそれぞれ透湿層70から突出することになる。
上記第1〜第3実施形態では、湿度センサ1において相対湿度によって静電容量が変化する容量式センサチップを用いた例について説明したが、これに代えて、湿度センサ1において相対湿度によって電気抵抗が変化する抵抗式センサチップを用いてもよい。
10 センサチップ
20 回路チップ
30 リードフレーム
40 リードフレーム
50 ワイヤ
51 ワイヤ
60 被覆部
70 透湿層
Claims (10)
- 湿度を検出するセンシング部(11)を有してこのセンシング部で検出された湿度を示す検出信号を出力するセンサチップ(10)と、
前記センサチップから出力される検出信号を信号処理する回路チップ(20)と、
前記センシング部を多孔質体によって覆うように形成される透湿層(70)と、を備え、
前記センシング部は、前記透湿層を通過する空気の前記湿度を検出するようになっていることを特徴とする湿度センサ。 - 前記透湿層(70)は、前記センサチップのうち前記センシング部の一部或いは全部を前記多孔質体によって覆うように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の湿度センサ。
- 前記回路チップの周囲をモールド材によって被覆する被覆部(60)を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の湿度センサ。
- 前記被覆部は、前記モールド材によって前記回路チップのうち一部を除いて被覆するようになっており、
前記透湿層は、前記回路チップのうち一部を前記多孔質体によって覆うように形成されていることを特徴とする請求項3に記載の湿度センサ。 - 前記回路チップを支持する支持部(41)と、この支持部から延出して先端側が前記被覆部から突出するように構成されている第1外部接続用端子(42)とを備える第1リードフレーム(40)を備えることを特徴とする請求項3または4のいずれか1つに記載の湿度センサ。
- 前記第1外部接続用端子および前記回路チップの間を接続する第1ワイヤ(51)を備え、
前記被覆部は、前記第1ワイヤを前記モールド材によって被覆していることを特徴とする請求項5に記載の湿度センサ。 - 前記センサチップから出力される検出信号を前記回路チップに伝えるための第2ワイヤ(50)を備え、
前記被覆部は、前記第2ワイヤを前記モールド材によって被覆していることを特徴とする請求項3ないし6のいずれか1つに記載の湿度センサ。 - 前記センサチップを支持する支持部(31)と、この支持部から延出して先端側が前記被覆部から突出するように構成されている第2外部接続用端子(32)とを備える第2リードフレーム(30)を備えることを特徴とする請求項5ないし7のいずれか1つに記載の湿度センサ。
- 前記第1、第2のリードフレームは、互いに離れて配置されていることを特徴とする請求項8に記載の湿度センサ。
- 前記透湿層は、前記センサチップおよび前記回路チップのそれぞれの周囲を前記多孔質体によって覆うように形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の湿度センサ。
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