JP2013210377A - ビーム調整システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、その1つが結晶である2つの光学要素を含んだカークパトリック・バエズ型の回折光学部品を有したX線ビーム調整システムを提供する。要素は、隣り合わせの構成で配置される。結晶は、完全結晶とすることができる。1つ又は両方の回折要素は、モザイク結晶とすることができる。1つの要素は、マルチレイヤ光学部品とすることができる。たとえば、マルチレイヤ光学部品は、格子面間隔が徐々に変わる楕円形ミラー又は放物線状ミラーとすることができる。徐々に変わる格子面間隔は、横方向に徐々に変わる、又は深さ方向に変わる、いずれか又はその両方とすることができる。
【選択図】図2
Description
nλ=2dsinθ (1)
ここで、nは反射次数を記述する整数であり、λはX線の波長であり、dは回折要素の格子構造の空間周期数である。いわゆるヨハンソン型結晶は、楕円形で段階的に変わる格子面間隔のマルチレイヤに類似して、回折面上で正確に合焦させる。
また、本発明は、第1のアクティブ領域(54)を有した結晶である第1の回折要素であって、この結晶が、第1の反射面(46)上でビーム・ラインに沿って配置され、このビーム・ラインが、原点(50)から送出されるX線フィールドによって画定されるようになった、第1の回折要素(42)と、第2のアクティブ領域(56)を有した第2の回折要素(44)であって、この第2の回折要素が、第1の反射面に直角な第2の反射面(48)上で上記ビーム・ラインに沿って配置され、この第2の回折要素が、上記ビーム・ラインに沿って少なくとも部分的に第1の回折要素と重なり、第1のアクティブ領域が、入射ビームを第2のアクティブ領域へ反射するようになった、第2の回折要素(44)とを含むX線ビーム調整システムを提供する。
ε=f・α・β・R (2)
ここで、fは、回折要素が放射源サイズのどの部分からの放射を利用することができるかを記述した係数であり、α及びβは、回折面及び軸平面上のアクセプタンス角であり、Rは要素反射率である。
式(5)は、ヨハンソン型結晶及び楕円形マルチレイヤ両方に適切な表現である。各回折要素は、そのうえ軸平面上に限定されたアクセプタンスを有し、それは、放射線が回折面外で伝播するとき、入射角の変化によって引き起こされる。
d(Δθ)=β・tanθ・dβ (9)
βc=arctan(tanθm・cosθc) (11)、及び
βm=arctan(tanθc・cosθm) (12)
ここで、θm及びθcは、ミラー及び結晶のそれぞれのブラッグ角である。垂直面上での共焦点光学部品のアクセプタンス角は、ミラーの捕捉角及び結晶の軸アクセプタンス角によって定義され、これらの2つの角度の小さい方が効率計算用に使用される。2つの直角な回折面上の類似の又は異なる要素に基づく共焦点光学部品の効率は、上記の式に基づき計算することができる。
Claims (28)
- X線ビーム調整システムであって、
第1の回折要素(42)と、第2の回折要素(44)とを隣り合った構成で含むカークパトリック・バエズの光学部品(40)を含み、
1つの回折要素が結晶である
X線ビーム調整システム。 - 両方の回折要素(42、44)が、約5の分角より大きいモザイク性および約10Åより狭い格子面間隔を有したモザイク結晶である、請求項1に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記第1の回折要素(42)が結晶であり、該結晶が、完全結晶及びモザイク結晶からなる群から選択され、約10Åより狭い格子面間隔を有する、請求項1に記載のX線ビーム誘導システム。
- 前記第2の回折要素(44)がマルチレイヤ光学部品である、請求項3に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記第2の回折要素(44)が、約10Åより広い格子面間隔を有したモザイク結晶である、請求項3に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記第2の回折要素(44)が、楕円形ミラー及び放物線状ミラーからなる群から選択されるマルチレイヤ光学部品であり、段階的に変化する格子面間隔を有する、請求項1に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記段階的に変わる格子面間隔が、格子面に平行な横方向に変わる、請求項6に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記段階的に変わる格子面間隔が、格子面に垂直な深さ方向に変わる、請求項6に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記段階的に変わる格子面間隔が、格子面に平行な横方向に変わり、格子面に垂直な深さ方向に変わる、請求項6に記載のX線ビーム調整システム。
- 少なくとも1つの回折要素が、非対称のヨハンソン型結晶である、請求項1に記載のX線ビーム調整システム。
- 少なくとも1つの回折要素が、ヨハンソン型結晶、ヨハン型結晶、又は対数結晶である、請求項1に記載のX線ビーム調整システム。
- 両方の回折要素(42、44)が、前記X線ビームが放射される原点から等距離にある、請求項1に記載のX線ビーム調整システム。
- 高収束がもたらされる平面上で使用するために、少なくとも1つの回折要素が、約10Åより狭い格子面間隔を有した結晶である、請求項1に記載のX線ビーム調整システム。
- 少なくとも2つの作用コーナをさらに含む、請求項1に記載のX線ビーム調整システム。
- 入射開口部及び出射開口部をさらに含む、請求項1に記載のX線ビーム調整システム。
- X線ビーム調整システムにおいて、
第1の回折要素(42)であって、前記第1の回折要素(42)が、第1の作用面(54)を有した結晶であり、前記結晶が、第1の反射面(46)上でビーム・ラインに沿って配置され、前記ビーム・ラインが、原点(50)から送出されるX線フィールドによって画定される、第1の回折要素(42)と、
第2の作用面(56)を有した第2の回折要素(44)であって、前記第2の回折要素が、前記第1の反射面に直角な第2の反射面(48)上で前記ビーム・ラインに沿って配置され、前記第2の回折要素が、前記ビーム・ラインに沿って少なくとも部分的に前記第1の回折要素と重なり、前記第1の作用面が、入射ビームを前記第2の作用面へ反射する、第2の回折要素(44)と
を含むX線ビーム調整システム。 - 前記第1の回折要素(42)及び前記第2の回折要素(44)が、それぞれ第1の中心点及び第2の中心点を画定する、請求項16に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記第1の中心点及び前記第2の中心点が、前記原点(50)から等距離にある、請求項17に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記第1の中心点が、前記原点(50)から第1の距離に配置され、
前記第2の中心点が、前記原点(50)から第2の距離に配置され、
前記第1の距離が、前記第2の距離より短い、請求項17に記載のX線ビーム調整システム。 - 前記第1の中心点が、前記原点(50)から第1の距離に配置され、
前記第2の中心点が、前記原点(50)から第2の距離に配置され、
前記第1の距離が、前記第2の距離より長い、請求項18に記載のX線ビーム調整システム。 - 前記第2の回折要素(44)が、マルチレイヤ光学部品である、請求項17に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記マルチレイヤ光学部品が、楕円形に湾曲する、請求項21に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記マルチレイヤ光学部品が、放物線状に湾曲する、請求項21に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記マルチレイヤ光学部品が、球面状に湾曲する、請求項21に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記マルチレイヤ光学部品が、段階的に変わる格子面間隔を有する、請求項21に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記段階的に変わる格子面間隔が、格子面に平行な横方向に変化する、請求項25に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記段階的に変わる格子面間隔が、格子面に垂直な深さ方向に変化する、請求項26に記載のX線ビーム調整システム。
- 前記段階的に変わる格子面間隔が、格子面に平行な横方向に変わり、格子面に垂直な深さ方向に変わる、請求項26に記載のX線ビーム調整システム。
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