JP2013207304A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかる基板処理装置は、下部本体の内部下側部位および内部上側部位にそれぞれ存在する異物が、第1の排出管および第2の排出管を介して下部本体の内部下側部位および内部上側部位からそれぞれ排出されるため、下部本体の内部に存在する異物が効果的に外部に排出される。このことにより、異物によって基板が損傷することが防止されるため、基板処理工程の信頼性が向上する効果がある。
【選択図】図1
Description
120:ボート
131:フィルタ
133:第1の排出管
133:第2の排出管
150:上部本体
Claims (4)
- 内部に空間が形成された下部本体と、
前記下部本体の上側に設けられ、内部には基板が処理される空間のチャンバが形成され、前記下部本体に対して連通または遮断される上部本体と、
前記下部本体の内部に昇降可能に設けられ、前記チャンバを出入りし、複数の基板が積載格納されるボートと、
前記下部本体の内部に設けられ、前記下部本体の外部に格納された基板を移送して前記ボートに積載したり、前記ボートに積載された前記基板を前記下部本体の外部に移送したりするロボットと、
前記下部本体に設けられ、前記下部本体の内部下側部位および内部上側部位に存在する異物を前記下部本体の外部にそれぞれ排出する排出手段とを含むことを特徴とする基板処理装置。 - 前記排出手段が、
前記下部本体の一側面に設けられ、前記下部本体の内部に送風する送風機と、
前記送風機が設けられた前記下部本体の内部一側面に設けられたフィルタと、
前記下部本体に設けられ、前記下部本体の内部下側部位および内部上側部位に存在する異物を、前記送風機によって送風された空気と共に、前記下部本体の外部にそれぞれ排出する第1の排出管および第2の排出管とを含むことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記第1の排出管の一端部側が前記下部本体の内部下側部位に位置し、他端部側が前記下部本体の外側に位置し、
前記第2の排出管の一端部側が前記下部本体の内部上側部位に位置し、他端部側が前記下部本体の外側に位置することを特徴とする請求項2記載の基板処理装置。 - 前記第1の排出管の他端部側および前記第2の排出管の他端部側が、前記下部本体の上面外側に位置し、相互連通することを特徴とする請求項3記載の基板処理装置。
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