JP2013201212A - 光電変換装置および光電変換装置の製造方法 - Google Patents

光電変換装置および光電変換装置の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】光電変換装置の信頼性を向上させる。
【解決手段】太陽電池モジュール(光電変換装置)30は、複数の太陽電池セル(太陽電池素子)SCを電気的に接続する複数の配線材32を有する組立体31と、組立体31が搭載される表面33aを有する基板33と、を有する。また、基板33の表面33aには、窪み部33cが形成され、配線材32の一部は、窪み部33c上に配置され、かつ、窪み部33c上で弛んでいる。これにより、温度サイクルが印加された時に各構成部材の線膨張係数に違いに起因して生じる配線材32の損傷を抑制できる。
【選択図】図8

Description

本発明は、光電変換装置に関し、特に、複数の太陽電池セルを、配線材を介して電気的に接続した太陽電池モジュールに適用して有効な技術に関する。
特開2010-157652号公報(特許文献1)には、ガラスエポキシやアルミニウムなどの基板上に複数枚の太陽電池素子を配置して、これらをウレタン樹脂によって封入した太陽電池パネルが記載されている。
また、特開2004-327629号公報(特許文献2)には、3個以上の突起部を設けたケース内の前記突起部上に、太陽電池素子を配置して、さらに充填材を注入して封止した太陽電池モジュールが記載されている。
特開2010-157652号公報 特開2004-327629号公報
太陽電池に代表される光電変換装置では、太陽電池セルと呼ばれる複数の太陽電池素子を電気的に接続してモジュール化することにより要求電力量を出力する構造となっている。太陽電池セルには、入射光を電力に変換する光電変換部を備える。光電変換部の構成材料により分類すると、結晶シリコン系(単結晶または多結晶)、薄膜アモルファス・微結晶シリコン系、CIS(銅インジウムセレナイド)系、CIGS(二セレン化銅インジウムガリウム)系などの化合物系や色素増感・有機薄膜系などがある。
太陽電池モジュールでは、上記のいずれの太陽電池セルを用いても、太陽電池セルおよび複数の太陽電池セルを接続する配線材を保護するため、樹脂などの保護部材で封止する必要がある。また、太陽電池セルの損傷や配線材の断線を防止ないしは抑制する観点からは、樹脂封止された複数の太陽電池セルおよび配線材をガラス基板などの補強部材に固定する必要がある。このような太陽電池モジュールの構造としては、配線材を介して複数の太陽電池セルを電気的に接続した組立体をEVA(エチレンビニルアセテート)樹脂により封止し、樹脂封止体の受光面側にガラス基板を、受光面の反対側にPET(ポリエチレンテレフタレート)樹脂シートを貼り付けた構造体がある(例えば、前記特許文献1の図11参照)。
前記EVA樹脂を用いて封止する太陽電池モジュールは、例えば以下のように組み立てられる。まず、ガラス基板上に架橋前のEVA樹脂シートを載せ、その上に複数の太陽電池が配線材を介して電気的に接続された組立体、架橋前の別のEVA樹脂シート、およびPET樹脂シートを順次積層する。次に、減圧チャンバ(真空チャンバ)内にこの積層物を配置して、減圧状態で積層物を加熱しながら積層物をプレスする、所謂、真空ラミネート加工を施す。これによりEVA樹脂が流動化して前記組立体が封止される。そして、EVA樹脂に架橋処理を施し硬化させることにより、上記した太陽電池モジュールが得られる。
ここで、EVA樹脂シートを用いて封止する太陽電池モジュールの場合、架橋前のEVA樹脂シートを取り扱う機構が煩雑になる。また、真空チャンバが必要になるので、製造装置が大型化し、高価になるという課題がある。また、真空ラミネート加工を施す工程では、単位モジュールごとに真空排気と大気開放を繰り返すバッチ処理が必要となるため、連続処理と比べて製造効率が低下するという課題がある。
そこで、本願発明者は、上記したEVA樹脂シートを用いた太陽電池モジュールに代えて、以下の構成について検討した。すなわち、電気的に接続された複数の太陽電池セルを基板上に配置して、前記複数の太陽電池セル上から塗布装置を用いて液状(ペースト状)の樹脂(例えばウレタン樹脂)を塗布する。そして複数の太陽電池セルおよび配線材が液状の樹脂により覆われた状態で樹脂を硬化させて複数の太陽電池セルおよび配線材を封止する。この方式の場合、架橋前のEVA樹脂シートを取り扱う機構や、真空チャンバがなくても製造することができるので、製造装置をコンパクトにすることができる。また、単位モジュールごとに真空排気と大気開放を繰り返すバッチ処理が不要となるので、製造効率を向上させることができる。また、複数の太陽電池セルを保持する基板をガラス基板ではなく樹脂基板とすれば、太陽電池モジュールを軽量化することができる。
ところが、本願発明者がさらに検討を行った結果、液状(ペースト状)の樹脂を塗布して硬化させた太陽電池モジュールでは、以下の課題が生じることが判った。すなわち、太陽電池モジュールを構成する各部材の線膨張係数の相違に起因して、複数の太陽電池セルを電気的に接続する配線材が損傷し易くなるという課題がある。太陽電池モジュールでは複数の太陽電池セルのそれぞれで生じた電力を、配線材を介して外部に取り出すので、配線材が損傷すると、太陽電池モジュールの光電変換効率の低下、つまり信頼性低下の原因となる。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、光電変換装置の信頼性を向上させる技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的な形態の概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
すなわち、本発明の一実施の形態である光電変換装置は、複数の太陽電池素子を電気的に接続する複数の配線材を有する組立体と、前記組立体が搭載される表面を有する基板と、を有する。また、前記基板の前記表面には、窪み部が形成され、前記複数の配線材の一部は、前記窪み部上に配置され、かつ、前記窪み部上で弛んでいるものである。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下の通りである。
すなわち、光電変換装置を効率的に組み立てることができる。
一実施の形態である光電変換装置に組み込まれる太陽電池セルの基本構造を示す拡大斜視図である。 図1に示す太陽電池の表面側の電極のレイアウトの一例を示す平面図である。 図1に示す太陽電池の裏面側の電極のレイアウトの一例を示す平面図である。 図1〜図3に示す太陽電池セルを複数個組み込んだ太陽電池モジュールの受光面側を示す平面図である。 図4のA−A線に沿った拡大断面図である。 図4のB−B線に沿った拡大断面図である。 図4のC部の拡大平面図である。 図7のA−A線に沿った拡大断面図である。 図7のB−B線に沿った断面図である。 図4〜図9に示す光電変換装置の製造フローの概要を示す説明図である。 図10に示す太陽電池セル連結工程で得られる組立体を示す平面図である。 図10に示す基板準備工程で準備する基板を示す平面図である。 図12に示す基板上に図11に示す組立体を配置した状態を示す拡大断面図である。 図13に示す配線材を窪み部に向かって押し込んだ状態を示す拡大断面図である。 図14に示す基板上に液状の樹脂を塗布した状態を示す断面図である。
以下の実施の形態においては便宜上その必要があるときは、複数のセクションまたは実施の形態に分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらはお互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細、補足説明等の関係にある。
また、以下の実施の形態において、要素の数等(個数、数値、量、範囲等を含む)に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でもよい。
さらに、以下の実施の形態において、その構成要素(要素ステップ等も含む)は、特に明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではない。
同様に、以下の実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうではないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。このことは、上記数値および範囲についても同様である。
また、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。なお、図面をわかりやすくするために平面図であってもハッチングを付す場合がある。
また、本願において用いる用語の意味を説明する。太陽電池セルとは、光エネルギーを電気的エネルギーに変換する光電変換部、および前記光電変換部で発生した電力を外部に取り出すための電極を備えた太陽電池素子である。また、太陽電池モジュールとは、配線材を介して複数の太陽電池セルを電気的に接続された組立体を樹脂封止したモジュールである。また、太陽電池パネルとは、太陽電池モジュールに電力取り出し用の端子群(ジャンクションボックスと呼ばれる)を取り付けたものである。また、光電変換装置、または太陽電池装置と記載した時は、特に異なる意味で用いる旨を記載した場合を除き、太陽電池モジュールまたは太陽電池パネルを意味する。
また、以下の実施の形態では、光電変換装置の適用例として、本願発明者が具体的に検討した単結晶シリコン系または多結晶シリコン系の太陽電池を取り上げて詳しく説明する。
<太陽電池セルの構造>
図1は、本実施の形態の光電変換装置に組み込まれる太陽電池セルの基本構造を示す拡大斜視図である。また、図2は、図1に示す太陽電池セルの表面側の電極のレイアウトの一例を示す平面図、図3は図1に示す太陽電池セルの裏面側の電極のレイアウトの一例を示す平面図である。図1に示すように、本実施の形態の太陽電池セルSCは、表面1a、表面1aの反対側に位置する裏面1bおよび表面1aと裏面1bの間に形成された光電変換部(pn接合部)を有する基板(半導体基板)1を有している。基板1は、例えば単結晶シリコンまたは多結晶シリコン(以下、単にシリコン結晶と呼ぶ)に第1の不純物濃度で第1導電型(例えばp型)とするための不純物がドープされた半導体層(p型半導体層)2を有している。また、半導体層2の表面1a側には、シリコン結晶に第1導電型とは反対の第2導電型(例えばn型)とするための不純物がドープされた半導体層(n型半導体層)3が形成されている。太陽電池セルSCでは、この半導体層2、3のpn接合部で光起電力効果を利用して入力光から電力を発生させる。つまり、半導体層2、3のpn接合部は光電変換部を構成する。また、半導体層3の表面1a側には、反射抑制膜、あるいは保護膜として機能する絶縁膜4が形成されている。この絶縁膜4は、例えば窒化珪素(SiO)から成り、受光面である表面1a側から半導体層2、3に向かって入射した光が反射することを抑制する機能を有している。したがって、半導体層3の表面1a側の面を絶縁膜4で覆うことにより、入射光のエネルギーをpn接合部で効率的に吸収することができる。また、絶縁膜4は、半導体層3を例えば汚染などから保護するパッシベーション膜として機能する。したがって、半導体層3の表面1a側の面を絶縁膜4で覆うことにより、半導体層3の汚染や損傷を防止ないしは抑制することができる。一方、半導体層2の裏面1b側には、第1の不純物濃度よりも高い第2の不純物濃度で第1導電型(例えばp型)の不純物がドープされた半導体層(p型半導体層、逆電界領域)5が形成されている。なお、半導体層5は、半導体層5の裏面1b側に形成された面電極20aに含まれる例えばアルミニウムが熱拡散により半導体層2に分散することで形成される。この半導体層5は、pn接合部で発生したキャリアが裏面1bで再結合により消失することを抑制するための逆電界領域であり、BSF(Back Surface Field)層と呼ばれる。
また、基板1の表面1aには表面電極(電極)10が、基板1の裏面1bには裏面電極(電極)20がそれぞれ形成されている。表面電極10には、ある方向(例えば図1、図2ではY方向)に沿って延びる複数(多数)のフィンガ電極(電極、電極配線)10aと、フィンガ電極10aが延びる方向と交差(直交)する方向(例えば図1、図2ではX方向)に沿って延びるバス電極10bを含んでいる。フィンガ電極10aは、裏面電極20との間で発生した電力を取り出すための電極であって、図2に示すように表面1a全体に分布するように略等間隔で配置されている。一方、バス電極10bはフィンガ電極10aが取り出した電力を集約して外部に伝送するための集合配線(集合電極)であって、図2に示すように、複数のフィンガ電極10aと接続され、フィンガ電極10aよりも太い線幅で形成されている。例えば本実施の形態では、複数のフィンガ電極10aはそれぞれ50μm〜100μm程度の線幅で形成され、バス電極10bは1.5mm〜3mm程度の線幅で形成されている。集合配線であるバス電極10bの線幅を太くすることにより、伝送経路の内部インピーダンスを低減できるので電力伝送時の損失を低減することができる。また、伝送経路の内部インピーダンスを低減する観点から複数のバス電極10bを配置することが好ましい。図2に示す例では、複数(例えば2本)のバス電極10bが形成されている。
一方、裏面電極20には、ある方向(例えば図1、図3ではX方向)に沿って延びる複数(図3では3個)の面電極(電極)20aと、複数の面電極20aの間に配置され、面電極20aと同じ方向(例えば図1、図3ではX方向)に沿って延びるバス電極20bを含んでいる。面電極20aは、複数のフィンガ電極10aとの間で発生した電力を取り出すための電極であって、図3に示すようにバス電極20bが配置された領域を除き、裏面1bの全体を覆うように配置されている。一方、バス電極20bは面電極20aが取り出した電力を集約して外部に伝送するための集合配線(集合電極)であって、図3に示すように、複数の面電極20aと接続され、フィンガ電極10a(図2参照)よりも太い線幅で形成されている。例えば本実施の形態では、バス電極20bは2mm〜4mm程度の線幅で形成されている。また、伝送経路の内部インピーダンスを低減する観点から複数のバス電極20bを配置することが好ましい。図3に示す例では、複数(例えば2本)のバス電極20bが形成されている。
<光電変換装置>
次に、上記の太陽電池セルSCを複数個組み込んだ光電変換装置の構造について説明する。図4は図1〜図3に示す太陽電池セルを複数個組み込んだ太陽電池モジュールの受光面側を示す平面図、図5は図4のA−A線に沿った拡大断面図、図6は図4のB−B線に沿った拡大断面図である。
上記のように太陽電池セルSCは、受光面である表面1a側から受光し、その光のエネルギーを光電変換部であるpn接合部で吸収して電力を生成する。言い換えれば、光エネルギーを電気的エネルギーに変換する。そして、生成した電力を表面電極10および裏面電極20を介して取り出して太陽電池セルSCの外部に伝送する。また、図4〜図6に示すように、複数の太陽電池セルSCを直列接続あるいは並列接続で電気的に接続し、モジュール化して、太陽電池モジュール(光電変換装置)30とする。このように複数の太陽電池セルSCをモジュール化することで、所望の電力量を得ることができる。図4では、行方向に4個、列方向に4個、合計16個の太陽電池セルSCを行列状(マトリクス状)に配置して、それぞれ直列接続により電気的に接続した例を示している。
図4〜図6に示す太陽電池モジュール30は、配線材32を介して複数の太陽電池セルSCを電気的に接続した組立体31を備えている。この組立体31は構造的に損傷し易いので、太陽電池モジュール30は、組立体31が樹脂封止されることにより形成されている。詳しくは、図5および図6に示すように、組立体31は、樹脂封止面である表面33aおよび表面33aの反対側の裏面33bを有する基板33上(基板33の表面33a側)に配置され、基板33の表面33a側を覆うように形成された樹脂体34により封止されている。複数の太陽電池セルSCを樹脂封止することで、太陽電池セルSCが外力により損傷することを防止ないしは抑制することができる。
組立体31を構成する配線材32は、複数の太陽電池セルSCを電気的に接続する帯状の導体膜であって、例えば銅膜の表面に接合部材として半田膜が形成されて成る。また、配線幅(配線材32の延在方向に対して直交する方向の長さ)は例えば2mm〜4mm程度、厚さは例えば100μm〜200μm程度である。図5、図6に示すように複数の太陽電池セルSCを直列接続する場合、一つの太陽電池セルSCの裏面電極20を他の太陽電池セルSCの表面電極10と接続し、これを順次繰り返す必要がある。このため、配線材32は隣り合う太陽電池セルSCの間で傾斜させる必要がある。配線材32に薄い導体膜を用いれば、配線材32を変形させ易くすることができるので、容易に直列接続することができる。また、基材導体膜である銅膜の表面に接合部材として半田膜を形成することで、太陽電池セルSCのバス電極10b、20bと容易に接合することができる。また、半田膜を溶融させてバス電極10b、20bと接合すれば、配線材32がバス電極10b、20bから剥離し難くなるので、電気的接続信頼性を向上させることができる。
また、図4〜図6に示すように複数の太陽電池セルSCは、複数の配線材32を介して電気的に接続され、複数の太陽電池セルSCおよび複数の配線材32により形成される通電経路は、通電経路中に設けられた配線引出部32aにおいて、導体柱35と電気的に接続されている。導体柱35は、複数の太陽電池セルSCおよび複数の配線材32により形成される通電経路を太陽電池モジュール30の外部に引き出すための引出配線であって、太陽電池モジュール30には、2個以上の導体柱35が形成されている。そして、導体柱35の一方を正極、他方を負極の引き出し配線とすることで、複数の太陽電池セルSCで生成した電力を太陽電池モジュール30の外部に取り出すことができる。導体柱35は、配線材として用いるので導電性が要求されるため、例えば、銅や鉄などの金属材料で形成する。
また、太陽電池モジュール30の基板33は、組立体31を樹脂封止する際に用いる基材であって、例えば、樹脂から成る。基板33はガラス基板とすることもできるが、樹脂製の基板33とすることで、太陽電池モジュール30を軽量化することができる。図5、図6に示すように本実施の形態では複数の太陽電池セルSCは、受光面とは反対側に配置される裏面電極20が基板33と対向するように配置するので、基板33には光(太陽光)の透過性は要求されず、太陽電池モジュール30の強度や軽量化を図る観点から好ましい材料を選択することができる。ただし、裏面33bからの視認性が要求される場合には、基板33として、可視光に対して透明、または半透明な材料を選択することが好ましい。また、太陽電池セルSCに照射される光が基板33の表面33aで散乱して光電変換装置の光電変換効率に悪影響を及ぼすことを抑制する観点からは基板33は照射される太陽光に対して透明であることが好ましい。本実施の形態では、例えば、アクリル、またはポリカーボネート樹脂を板状に成形し、基板33としている。これらの材料で基板33を形成すれば、ガラス材料を用いる場合よりも軽量化できる。また、太陽光に対する透明度は、ガラス材料を用いた場合と同等にすることができる。さらに、ガラス板よりも樹脂板の方が加工性に優れているので、基板33に加工を施す場合にはこれらの樹脂材料を用いる方が有利である。
また、基板33には複数の導体柱35を挿入するための複数の貫通孔35aが形成されている。貫通孔35aは、基板33の表面33aおよび裏面33bのうちの一方から他方までを貫通するように形成され、貫通孔35aの開口部に導体柱35が埋め込まれている。貫通孔35aは導体柱35の形状に倣って形成され、本実施の形態では、円柱形の導体柱35に対して貫通孔35aは円筒形に形成される。また導体柱35の円の直径は貫通孔35aの円の直径に対して同じ、あるいは僅かに大きくなるように形成され、貫通孔35a内に導体柱35が圧入されることで挿入されている。言い換えれば、導体柱35は所謂、嵌め合い構造により貫通孔35a内に保持される。
また基板33の表面33a側には組立体31が配置され、表面33a側には複数の太陽電池セルSCと複数の配線材32を覆うように樹脂体34が形成されている。樹脂体34は、組立体31と基板33の間にも廻り込んでおり、組立体31は樹脂体34により封止されている。なお、図示は省略したが、組立体31と基板33の間に確実に樹脂体34を廻り込ませるため、太陽電池セルSCよりも平面積が小さいスペーサ部材(図示は省略)を組立体31と基板33の間に配置することができる。
図5、図6に示すように本実施の形態では樹脂体34は複数の太陽電池セルSCの受光面を覆うように形成される。このため、樹脂体34の光の透過特性が太陽電池モジュール30の光電変換効率に大きな影響を与える。また、太陽電池モジュール30の組立効率の観点から、樹脂体34は容易、かつ、確実に組立体31を封止できる材料で構成することが好ましい。そこで、本実施の形態では、ウレタン樹脂、詳しくは、主剤としてのポリオール化合物と、硬化剤としてのイソシアネート化合物を混合することで硬化させたウレタン樹脂で、樹脂体34を構成している。上記のウレタン樹脂で樹脂体34を構成することで、太陽電池セルSCの受光面を樹脂体34で覆うことによる光電変換効率の低下を抑制することができる。また、詳細は後述するが、主剤と硬化剤を混合して硬化させる樹脂を用いることで、容易、かつ、確実に組立体31を封止することができるので、太陽電池モジュール30の組立効率を向上させることができる。
このように太陽電池モジュール30は基板33を受光面の反対側に配置することで、基板33の材料選択の自由度を向上させることができる。この結果、太陽電池モジュール30の軽量化、あるいは強度向上を図ることができる。
<配線材の詳細>
ここで、太陽電池モジュール30は、太陽光を受光部に照射する必要があるので、屋外に設置される。このため、太陽電池モジュール30には、温度サイクル(高温域から低温域までの繰り返しの温度変化)が印加される。
配線材32を樹脂封止する太陽電池モジュール30に温度サイクルが印加されると、配線材32、太陽電池セルSC、基板33および樹脂体34を構成する材料の線膨張係数の違いに起因して、構成部材の一部(特に配線材32)に応力が加わる。そして、この応力により配線材32が損傷し易くなり、損傷の程度によっては、配線材32が破断する原因になる。配線材32は、太陽電池セルSCのそれぞれで発生した電力を外部に取り出す導電経路となるため、配線材32が損傷すれば、電気の伝送効率が低下する。また、配線材32が破断すれば、外部への電力の取り出しが阻害される。つまり、太陽電池モジュール30の信頼性低下の原因になる。
この温度サイクルが印加された時の太陽電池モジュール30の各構成部材の挙動について詳しく説明する。太陽電池モジュール30に温度サイクルが印加されると、太陽電池モジュール30の各構成部材の線膨張係数に応じて膨張(または収縮)する。本実施の形態では、太陽電池セルSC、配線材32、基板33、樹脂体34の順で線膨張係数が大きくなる。太陽電池セルSCおよび配線材32の周囲は樹脂体34が密着しているので、太陽電池セルSCおよび配線材32と樹脂体34の密着界面において、線膨張係数差に起因する応力が発生する。ただし、本実施の形態では、樹脂体34を例えばウレタン樹脂など、基板33よりも柔らかい樹脂材料で形成している。例えば、25℃でのヤング率を比較すると、アクリル樹脂からなる基板33のヤング率は3GPa(3×10Pa)以上であり、ウレタン樹脂からなる樹脂体34のヤング率は、20MPa(20×10Pa)程度である。つまり、常温環境下では、樹脂体34のヤング率は、基板33のヤング率に対して1/100以下である。このように樹脂体34が柔らかい場合には、樹脂体34自身が弾性変形し易いので、太陽電池セルSCおよび配線材32と樹脂体34の線膨張係数差に起因する応力は小さくなる。
一方、基板33は、太陽電池モジュール30を支持する基材となるため、太陽電池セルSCの損傷を防止する観点から、樹脂体34のように極端に柔らかくすることはできない。本実施の形態のように少なくとも、25℃における基板33のヤング率は3GPa以上にすることが好ましい。このため、特に基板33を樹脂で形成した場合には、太陽電池セルSCおよび配線材32と基板33の線膨張係数差に起因する応力が問題となる。
詳しくは、基板33の線膨張係数は、太陽電池セルSCおよび配線材32の線膨張係数よりも大きいため、太陽電池モジュール30に温度サイクルが印加されると、基板33は、太陽電池セルSCおよび配線材32よりも膨張(または収縮)する。基板33と組立体31の間には樹脂体34が配置されるので、樹脂体34が弾性変形することにより、応力はある程度吸収される。しかし、組立体31は柔らかい樹脂体34に支持された状態なので、複数の太陽電池セルSCのそれぞれが基板33の変形力(膨張しようとする力)によって外周側に引っ張られる。この結果、隣り合う太陽電池セルSCを接続する配線材32に余裕がない場合には、配線材32に応力が集中する。そして、このような応力が配線材32に対して繰り返し印加されることで、配線材32が損傷し、損傷の程度によっては破断してしまう。
そこで、本実施の形態では、配線材32の損傷または破断を抑制する観点から、図7〜図9に拡大して示すように、隣り合う太陽電池セルSCの間に配置される配線材32を弛ませる。図7は図4のC部の拡大平面図である。また、図8は図7のA−A線に沿った拡大断面図、図9は図7のB−B線に沿った拡大断面図である。
図7〜図9に拡大して示すように、基板33には、組立体31を搭載する搭載面である表面33aに、窪み部33cが形成される。図7および図8に示すように、平面視において、窪み部33cは、複数の太陽電池セルSCの間に配置される。また、複数の太陽電池セルSCを電気的に接続する配線材32の一部が、窪み部33c上に配置され、窪み部33c上で弛んでいる。言い換えれば、複数の配線材32は、隣り合う太陽電池セルSCの間に弛み変形(曲げ変形)することで張力を緩和する張力緩和部(曲げ変形部)32bを有し、張力緩和部32bは、基板33の表面33aに形成された窪み部33c上に配置される。
このように隣り合う太陽電池セルSCの間で、配線材32に弛み(張力緩和部32b、曲げ変形部)を形成することで、配線材32の損傷を低減できる。この結果、太陽電池モジュール30の信頼性を向上させることができる。詳しくは、太陽電池モジュール30に温度サイクルが印加されると、太陽電池セルSCのそれぞれが基板33の膨張力により移動する。しかし、本実施の形態によれば、隣り合う太陽電池セルSCの間に配置される配線材32は、張力緩和部(曲げ変形部、弛み部)32bを有しているので、この緊張緩和部32bにより配線材32に印加される力を緩和することができる。
また、本実施の形態では、配線材32に弛み(張力緩和部32b、曲げ変形部)を形成する方法として、基板33の表面33aに窪み部33cを形成し、窪み部33c上に配線材32の一部を配置している。そして、窪み部33c上で配線材32が弛んでいる。言い換えれば、配線材32の張力緩和部32bは、基板33の表面33aに形成された窪み部33c上に配置される。このように組立体31を搭載する基板33に窪み部33cを形成し、窪み部33c上に張力緩和部32bを設けることで、配線材32に形成する弛みの方向および程度を安定的に制御することができる。詳しくは、後述する光電変換装置の製造方法で説明するが、本実施の形態では、窪み部33c上に配線材32を配置した後、配線材32の上方から窪み部33cに向かって配線材32を押し込むことで、弛み(張力緩和部32b、曲げ変形部)を形成している。つまり、配線材32は窪み部33cに向かって変形することで弛みが形成される。このように、窪み部33cに配線材32を押し込んで弛みを形成する場合、窪み部33cの深さによって弛み量を制御することができる。
配線材32に弛みを形成する場合、弛み量が小さすぎると前記した応力低減の効果が小さくなる。一方、弛み量が大きくなると、配線材32に形成される弛みの方向が安定しない。例えば配線材32が基板33の表面33aとは反対側に向かって弛んだ場合、配線材32の一部が樹脂体34から露出する懸念がある。また、無作為な方向に弛むことにより、例えば隣り合う配線材32同士が接触する懸念が生じる。しかし、本実施の形態によれば、窪み部33cを利用して弛みを形成するので、弛みの方向を制御することができる。このため、前記したように、配線材32の一部が樹脂体34から露出すること、あるいは、隣り合う配線材32同士が接触することを、防止または抑制できる。
また、適切な弛み量を確保することができれば、配線材32の張力緩和部32bは、窪み部33cの窪んだ領域の外側に配置されていても良い。しかし、本実施の形態では、配線材32の一部は、窪み部33cの窪んだ領域内に配置され、かつ、窪んだ領域内で弛んでいる。言い換えれば、配線材32の張力緩和部(弛み部、曲げ変形部)32bは、窪み部33cの窪んだ領域内に配置される。このように、配線材32の張力緩和部(弛み部、曲げ変形部)32bを窪み部33c内に配置することで、組立体31と基板33の距離を近づけることができる。そして組立体31と基板33の距離を近づける事で、組立体31を封止する樹脂体34の量を低減することができる。つまり、配線材32の張力緩和部(弛み部、曲げ変形部)32bは、窪み部33cの窪んだ領域内に配置する構成は、太陽電池モジュール30全体の重さを低減できる点で好ましい。
また、図8に示す窪み部33cの深さD1は、少なくとも配線材32の厚さよりも深いことが好ましい。また、より好ましい値は、以下に例示するように、太陽電池モジュールを構成する部材の線膨張係数の差、隣り合う太陽電池セルSCの平面寸法および配置間隔、および想定される温度変化の範囲に基づいて算出することができる。
例えば、主としてシリコンから成る太陽電池セルSCの線膨張係数は、約2〜3ppm/℃程度である。また、配線材32が例えば銅(Cu)から成る場合には、線膨張係数は12ppm/℃程度である。また、基板33の線膨張係数は、基板33を構成する樹脂材料がポリカーボネートの場合は約70ppm/℃程度、アクリル樹脂の場合には70〜80ppm/℃程度である。また、樹脂体34を構成するウレタン樹脂の線膨張係数は200ppm/℃程度である。
また、太陽電池セルSCの平面寸法および配置間隔として、例えば太陽電池セルSCの一辺の長さが6インチ(約152.4mm)、隣り合う太陽電池セルSCの間の間隔(図8に示す長さL1)が10.6mmとする。この場合、隣り合う太陽電池セルSCの間に弛みなく配線材32を配置したと仮定すると、太陽電池セルSC間に配置される配線材32の長さは10.6mmとなる。また、太陽電池モジュール30に印加される温度サイクルとしては、太陽電池モジュールに対する熱サイクル試験の規格を適用すると、例えば、−40〜+85℃とする。
上記の条件(基板33はアクリル樹脂として計算した)で、基板33の熱変形量(長手方向の変形量)と、太陽電池セルSCおよび配線材32の合計熱変形量(長手方向の変形量)を計算すると約1.6mmの差があることが判る。つまり、上記条件の場合には、約1.6mmの熱変形量差を緩和すれば良いので、この値に、公差およびクリアランスを考慮して、窪み部33cの深さD1の好ましい値を決定することができる。ただし、上記の正確な数値は、構成する材料によって変化する。本願発明者が、上記の通り例示した各材料の組み合わせについて検討した所、窪み部33cの深さD1を3mm以上とすれば、どの組み合わせにおいても、十分な弛み量を確保できることが判った。
また、配線材32を窪み部33cに確実に押し込むため、図7および図9に示すように、窪み部33cの幅W1は配線材32の幅W2よりも広くすることが好ましい。ここで、窪み部33cの幅W1および配線材32の幅W2は、配線材32の延在方向に対して直交する方向の長さとして規定される。
また、窪み部33cの周縁部は屈折部(変局点、エッジ部)を形成せず、図8および図9に示すようになだらかな曲線を成すことが好ましい。屈折部を形成せず、なだらかな曲線を成すようにすれば、窪み部33cに照射された光の散乱を抑制できるので、太陽電池モジュール30の光電変換効率を向上させることができる。
また、図7に示す例では、互いに電気的に接続され、かつ、隣り合う全ての太陽電池セルSCの間に、窪み部33cを設けた例を示しているが、一部の間に窪み部33cを設ける構成とすることもできる。例えば、基板33の表面33aにおいて、温度サイクルが印加された時に、太陽電池セルSCの移動量が特に大きくなる領域に窪み部33cを形成すれば、当該領域における配線材32の損傷を抑制できる。
ただし、配線材32の損傷をより確実に抑制する観点からは、図7に示すように、平面視において、隣り合う複数の太陽電池セルSCの間に、それぞれ窪み部33cを形成し、各窪み部33c上で配線材32が弛んでいることが特に好ましい。言い換えれば、各窪み部33c上(特に好ましくは、各窪み部33cの窪んだ領域内)に配線材32の張力緩和部(弛み部、曲げ変形部)32bを配置することが好ましい。
<光電変換装置の製造方法>
次に、前記した太陽電池モジュール30の製造方法について説明する。前記した太陽電池モジュール30は、図10に示すフローに沿って製造される。図10は、図4〜図9に示す光電変換装置の製造フローの概要を示す説明図である。以下フローの概要について説明する。なお、光電変換装置の製造方法は、太陽電池セルSCを製造する工程、および複数の太陽電池セルSCをモジュール化する工程に大別されるが、太陽電池セルSCの製造工程は図1を用いて簡単に説明する。
<太陽電池セル形成工程>
まず、太陽電池セル形成工程では、表面1a(図1参照)、表面1aの反対側に位置する裏面1b(図1参照)、および表面1aと裏面1bの間に形成された太陽電池本体(pn接合部)を有する基板1を準備する。本工程において準備する基板1は、図1に示す半導体層2、3および絶縁膜4が形成されている。ただし、本実施の形態では、図1に示す半導体層5は図7に示す裏面電極形成工程に含まれる焼成工程(裏面電極焼成工程)においてアルミニウムが熱拡散することで形成されるため、基板準備工程の段階では、図1に示す半導体層5が配置される領域にも半導体層2が配置されている。なお、基板1を準備する、とは、基板1を製造するという意味の他、外部で製造された基板1を購入し、準備することも含んでいる。
基板1の製造方法について簡単に説明すると、例えば以下の工程で製造される。基板1の製造工程には、まず、半導体層2を構成する半導体基板を準備する。本実施の形態では、例えば導電型がp型の結晶シリコン基板を準備する。次に、p型の結晶シリコン基板の一方の面にn型の半導体層3を堆積させてpn接合部を形成する。さらに、半導体層3の表面1a側(pn接合部の反対面側)に例えば窒化珪素(SiO)から成る絶縁膜4を堆積させて半導体層3を覆うことで、図1に示す基板1(但し、半導体層5は除く)が形成される。
次に、裏面電極形成工程では、基板1の裏面1bに面電極20aの原料ペースト(面電極材、アルミニウムペースト)およびバス電極20bの原料ペースト(バス電極材、銀ペースト)を塗布した後、焼成(アニール)することで、図1に示す面電極20aおよびバス電極20bを形成する。またこの時、面電極材中のアルミニウムが基板1(詳しくは半導体層2)に熱拡散してP層となり半導体層(BSF層)5が形成される。
次に、裏面電極20が形成された基板1を反転させた(反転工程)後、表面電極形成工程では図1に示すフィンガ電極10aおよびバス電極10bを形成する。本工程では、基板1の表面1aにフィンガ電極10aの原料ペースト(フィンガ電極材、銀ペースト)およびバス電極20bの原料ペースト(バス電極材、銀ペースト)を塗布した後、焼成(アニール)することで、図1に示すフィンガ電極10aおよびバス電極10bを形成する。以上の工程により、図1〜図3に示す太陽電池セルSCが得られる。
<太陽電池セルモジュール化工程>
次に、複数の太陽電池セルSCをモジュール化する工程について説明する。まず、図10に示す太陽電池セル連結工程では、図11に示すように複数の太陽電池セルSCを、複数の配線材32を介して電気的に接続し、組立体31を形成する。図11は、図10に示す太陽電池セル連結工程で得られる組立体を示す平面図である。
本工程では、太陽電池セルSCのバス電極10b、20b(図1参照)のうちの一方(例えば表面電極10のバス電極10b)に、帯状に延びる導電膜である配線材32の一端部を接合する。配線材32の表面には、半田材からなるめっき膜(半田めっき膜)が形成されており、この半田めっき膜を介して、バス電極10b、20bと配線材32を電気的に接続することができる。次に、太陽電池セルSCのバス電極10b、20b(図1参照)のうちの一方(例えば表面電極10のバス電極10b)に配線材32の一端部が接合された状態で、太陽電池セルSCを整列配置し、太陽電池セルSCのバス電極10b、20b(図1参照)のうちの他方(例えば裏面電極20のバス電極20b)に配線材32の他端部を接合する。これにより、複数の太陽電池セルSCが直列に接続される。図8に示すように行列状に太陽電池セルSCを配置する場合には、例えば行毎に直列接続した複数の中間組立体31aを形成し、この複数の中間組立体31aの配線材32同士を接続することで、組立体31が得られる。この時、隣り合う太陽電池セルSCの間に配置される配線材32の長さは、図10に示す張力緩和部形成工程で、配線材32に曲げ加工を施すことを考慮して、長めに形成しておく。したがって、本工程の時点では、隣り合う太陽電池セルSCの配置間隔は、図4に示す完成品の配置間隔よりも広くなっている。また、複数の太陽電池セルSCおよび複数の配線材32により形成される通電経路と外部とを電気的に接続するための配線引出部32aも本工程で形成される。
また、図10に示す基板準備工程では、図12に示すように複数の窪み部33cが形成された表面33a、表面33aの反対側に位置する裏面、表面33aおよび裏面のうち一方から他方まで貫通する複数の貫通孔35a、および複数の貫通孔35aに挿入されて基板33に保持される複数の導体柱35を有する基板33を準備する。図12は、図10に示す基板準備工程で準備する基板を示す平面図である。
本実施の形態では、基板33の表面33aに予め複数の窪み部33cを形成しておく。窪み部33cの形成方法は、特に限定されないが、樹脂からなる基板33を成形する際に用いる成形型により形成すれば、安定的に同じ形状の窪み部33cを形成出来る点で好ましい。また、本工程では、複数の貫通孔35aに予め導体柱35を挿入し、固定しておくことが好ましい。また、本実施の形態では、太陽電池セルSC(図8参照)と基板33の表面33aの間に確実に樹脂体34(図8参照)を介在させるため、太陽電池セルSCの配置領域にそれぞれ突出部(スペーサ)33dを設けている。
次に、図10に示す連結セル配置工程では、図13に示すように基板33の表面33a上に組立体31を配置(搭載)する。図13は、図12に示す基板上に図11に示す組立体を配置した状態を示す拡大断面図である。
本工程では、図13に示すように配線材32の一部が窪み部33c上に位置するように基板33の表面33a側に組立体31を配置する。この時点では、窪み部33c上に配置される配線材32が弛んでいるかどうかは限定されない。例えば、図13に示す例では、隣り合う太陽電池セルSCを接続する配線材32は、窪み部33c上に曲げ変形部を有さず、緊張した状態で配置されている。また、太陽電池セルSCのそれぞれは、突出部33d上に配置される。これにより、太陽電池セルSCと基板33の表面33aの間には隙間が形成される。
また、本工程では、太陽電池セルSCの受光面の反対側に位置する裏面が、それぞれ基板33の表面33aと対向するように配置する。言い換えれば、本工程では複数の太陽電池セルSCの受光面が基板33とは反対側を向くように基板33上に組立体31を配置する。このように、複数の太陽電池セルSCの受光面が基板33の反対側を向くように組立体31を配置すれば、基板33には光透過性が要求されないため、強度や軽量化を図る観点、あるは製造コストの観点から好ましい材料を選択することができる。
次に、図10に示す張力緩和部形成工程では、図14に示すように、配線材32の一部を窪み部33cに向かって押し込むことで、配線材32の張力を緩和する張力緩和部(弛み部、曲げ変形部)32bを形成する。図14は、図13に示す配線材を窪み部に向かって押し込んだ状態を示す拡大断面図である。なお、図14では、配線材32を押し込む方向を、矢印を付して模式的に示している。
図14に示す例では、例えば棒状の押し込み治具36を用いて、窪み部33cの上方から窪み部33cに向かって配線材32を押し付ける。これにより配線材32には窪み部33cに向かって曲げ変形が生じ、張力緩和部32bが形成される。押し込み治具36の形状は特に限定されないが、配線材32を窪み部33cの窪んだ領域内まで確実に押し込む観点からは、窪み部33cの幅W1(図7参照)よりも径が小さい棒状部材を用いることが好ましい。また、押し込み治具36の材料も特に限定されないが、押し込む際の配線材32の損傷を低減する観点からは、配線材32との当接面には配線材32よりも柔らかい材料を用いることが好ましい。
また、図13に示すように、連結セル配置工程において、隣り合う太陽電池セルSCを接続する配線材32が緊張するように配置された場合には、本工程では隣り合う太陽電池セルSCの離間距離が小さくなる。つまり、配線材32を窪み部33cに押し込むことによって隣り合う太陽電池セルSCの距離が近づき、続いて図14に示す押し込み治具36を取り外すと、配線材32が弛んだ状態となる。
ところで、図13に対する変形例として、配線材32を予め弛ませた状態で、組立体31を配置することもできる。ただし、この場合、配線材32に形成される曲げ変形の方向が一定にならない。したがって、予め配線材32を予め弛ませた状態で、組立体31を配置した場合であっても、図14に示すように、窪み部33cの上方から窪み部33cに向かって配線材32を押し付け、曲げ変更の方向を窪み部33cに向かわせることが好ましい。また、窪み部33cの深さにより、張力緩和部32bの弛み量を許容範囲内で制御する観点からは、図13に示すように、緊張した状態の配線材32を窪み部33cに押し込むことが好ましい。また、窪み部33cの底に配線材32が接触するまで押し込めば、さらに張力緩和部32bの弛み量を制御し易くなる。
次に、図10では図示を省略したが、張力緩和部形成工程の後、図12に示す導体柱35と図11に示す配線材32を接合し、電気的に接続する。本工程では、例えば配線材32の表面に形成された半田膜を溶融させて導体柱35と接合する。また、予め導体柱35に半田膜を形成しておけば、導体柱35と配線材32の電気的接続信頼性をさらに向上させることができる。
次に、図10に示す樹脂塗布工程では、図15に示すように基板33の表面33a側に液状の樹脂34aを塗布し、組立体31を封止する。図15は、図14に示す基板上に液状の樹脂を塗布した状態を示す断面図である。本工程では、塗布装置41を用いて基板33の表面33a上に樹脂34aを塗布する。塗布装置41は、例えば塗布ヘッドに形成された開口部(吐出口)41aから塗布材料を吐出しながら、基板と開口部41aの相対的位置関係を移動させることにより塗布する吐出装置であって、例えばスリットコータと呼ばれる装置を用いることができる。また、組立体31を樹脂34aで封止するためには、組立体31と基板33の間にも樹脂34aを回り込ませる必要があるので、塗布する段階では樹脂34aの粘度が低いことが好ましい。樹脂34aを低粘度とすることで、組立体31と基板33の間に樹脂34aを回り込ませることができる。本実施の形態では、例えば主剤としてのポリオール化合物と硬化剤としてのイソシアネート化合物を混合して塗布し、塗布後に硬化させてウレタン樹脂を形成する方法を適用している。このように複数液(例えば主剤と硬化剤)を混合させる複数液混合方式で樹脂体34(図5参照)を形成する場合、硬化前の樹脂34aの粘度を低く抑えることができる。
次に、図10に示す樹脂硬化工程では、基板33上で組立体31を封止する樹脂34aを硬化させて、図4から図9に示す太陽電池モジュール30を取得する。本工程では、樹脂34aを硬化温度(例えば30℃〜80℃程度)まで加熱した後、放置することで樹脂34aが硬化して、図5および図6に示す樹脂体34(本実施の形態ではウレタン樹脂)にする。硬化後の樹脂体34は、基板33上で封止された組立体31を外力の印加から保護するために必要な強度を備えている。また、複数の太陽電池セルSCの受光面に太陽光を到達させるために必要な透明度(太陽光に対する透過性)を備えている。
図4〜図9に示す太陽電池モジュール30は、上記の工程により取得できるが、太陽電池パネル(光電変換装置、図示は省略)の製造方法では、上記により得られた太陽電池モジュール30の導体柱35に電力取り出し用の配線(図示は省略)を接合し、ジャンクションボックスと呼ばれる端子群と電気的に接続する。これにより、太陽電池モジュール30内で変換された電力を外部に取り出すことが可能となる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
例えば、前記実施の形態では、光電変換装置の例として太陽電池モジュールに適用した実施態様について説明したが、太陽電池パネルなど、他の光電変換装置にも広く適用することができる。
また例えば、前記実施の形態で説明した各変形例を適宜組み合わせて適用することができる。
本発明は、例えば、太陽電池や太陽電池を組み込んだ電気製品に幅広く利用可能である。
1 基板
1a 表面
1b 裏面
1c アライメントマーク
2、3 半導体層
4 絶縁膜(絶縁体)
5 半導体層(BSF層)
10 表面電極
10a フィンガ電極
10b バス電極
20 裏面電極
20a 面電極
20b バス電極
30、50 太陽電池モジュール(光電変換装置)
31 組立体
31a 中間組立体
32 配線材
32a 配線引出部
32b 張力緩和部(弛み部、曲げ変形部)
33 基板
33a 表面
33b 裏面
33c 窪み部
33d 突出部
34 樹脂体
34a 樹脂
35 導体柱
35a 貫通孔
36 押し込み治具
41 塗布装置
41a 開口部
SC 太陽電池セル(太陽電池素子)
D1 深さ
W1、W2 幅
L1 長さ

Claims (13)

  1. 光電変換部を備える複数の太陽電池素子、および前記複数の太陽電池素子を電気的に接続する複数の配線材を有する組立体と、
    前記組立体が搭載される表面、および前記表面の反対側に位置する裏面を有する基板と、
    前記基板の前記表面側に形成され、前記組立体を封止する樹脂体と、
    を有し、
    前記基板の前記表面には、窪み部が形成され、
    前記複数の太陽電池素子は、平面視において、隣り合う前記複数の太陽電池素子の間に前記窪み部が位置するように配置され、
    前記複数の配線材の一部は、前記窪み部上に配置され、かつ、前記窪み部上で弛んでいることを特徴とする光電変換装置。
  2. 請求項1に記載の光電変換装置において、
    前記基板は樹脂から成ることを特徴とする光電変換装置。
  3. 請求項2に記載の光電変換装置において、
    前記複数の配線材の一部は、前記窪み部の窪んだ領域内に配置され、かつ、前記窪んだ領域内で弛んでいることを特徴とする光電変換装置。
  4. 請求項1に記載の光電変換装置において、
    前記配線材の延在方向に対して直交する第1方向における前記窪み部の幅は、前記第1方向における前記配線材の幅よりも広いことを特徴とする光電変換装置。
  5. 請求項1に記載の光電変換装置において、
    平面視において、隣り合う前記複数の太陽電池素子の間には、それぞれ前記窪み部が形成され、
    複数の前記窪み部上には、隣り合う前記太陽電池素子を電気的に接続する前記複数の配線材の一部がそれぞれ配置され、かつ、前記窪み部上で弛んでいることを特徴とする光電変換装置。
  6. 光電変換部を備える複数の太陽電池素子、および前記複数の太陽電池素子を電気的に接続する複数の配線材を有する組立体と、
    前記組立体が搭載される表面、および前記表面の反対側に位置する裏面を有する基板と、
    前記基板の前記表面側に形成され、前記組立体を封止する樹脂体と、
    を有し、
    前記基板の前記表面には、窪み部が形成され、
    前記複数の太陽電池素子は、平面視において、隣り合う前記複数の太陽電池素子の間に前記窪み部が位置するように配置され、
    前記複数の配線材は、隣り合う前記太陽電池素子の間で弛み変形することで張力を緩和する張力緩和部を有し、
    前記張力緩和部は、前記基板の前記窪み部上に配置されることを特徴とする光電変換装置。
  7. 請求項6に記載の光電変換装置において、
    前記基板は樹脂から成ることを特徴とする光電変換装置。
  8. 請求項7に記載の光電変換装置において、
    前記複数の配線材の前記張力緩和部は、前記窪み部の窪んだ領域内に配置されることを特徴とする光電変換装置。
  9. 請求項6に記載の光電変換装置において、
    前記配線材の延在方向に対して直交する第1方向における前記窪み部の幅は、前記第1方向における前記配線材の幅よりも広いことを特徴とする光電変換装置。
  10. 請求項6に記載の光電変換装置において、
    平面視において、隣り合う前記太陽電池素子の間には、それぞれ前記窪み部が形成され、
    複数の前記窪み部上には、前記複数の配線材の前記張力緩和部がそれぞれ配置されることを特徴とする光電変換装置。
  11. (a)光電変換部を備える複数の太陽電池素子を、複数の配線材を介して電気的に接続し、組立体を形成する工程、
    (b)窪み部が形成された表面および前記表面の反対側に位置する裏面を有する基板を準備して、前記複数の配線材の一部が前記窪み部上に位置するように、前記表面側に前記組立体を配置する工程、
    (c)前記複数の配線材の一部を前記窪み部に向かって押し込むことで、前記配線材の張力を緩和する張力緩和部を形成する工程、
    (d)前記(c)工程の後、前記基板の前記表面側に液状の樹脂を塗布し、前記組立体を封止する工程、
    (e)前記液状の樹脂を硬化させる工程、
    を有することを特徴とする光電変換装置の製造方法。
  12. 請求項11に記載の光電変換装置の製造方法において、
    前記基板は樹脂から成ることを特徴とする光電変換装置の製造方法。
  13. 請求項12に記載の光電変換装置の製造方法において、
    前記(c)工程では、棒状の押し込み治具により前記配線材を前記窪み部の窪んだ領域内にまで押し込むことを特徴とする光電変換装置の製造方法。
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