JP2013199681A - アクチュエータアーム及びその製造方法並びに表面処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アルミニウム合金製のアクチュエータアーム1の表面Sには酸化物粒子30による突起が存在せず、その酸化物粒子30が除去された痕跡からなる窪み40の平均径Dが1μm以上5μm以下であるアクチュエータアーム。このとき、窪み40のうち平均径の1/2倍〜2倍の窪み40が、縦横20μmの測定領域に10個以上100個以下の範囲で存在し、アクチュエータアーム1の表面Sの反射率が波長500nm〜600nmの範囲で10%以上40%以下であることが好ましい。こうしたアクチュエータアーム1は、化学研磨した後にフッ化物イオンを含む溶液に接触させて製造できる。
【選択図】図2
Description
本発明に係るアクチュエータアーム1は、図1〜図3に示すように、アルミニウム合金製であり、そのアクチュエータアーム1の表面Sには、アクチュエータアーム1の母相Bに含まれる酸化物粒子30による突起50が存在せず、その酸化物粒子30が除去された痕跡からなる窪み40の平均径Dが1μm以上5μm以下であることに特徴がある。
アクチュエータアーム1には、高速での駆動に耐える強度、弾性、及び軽量化が要求され、その成形材料としてアルミニウム合金が用いられている。アクチュエータアーム用のアルミニウム合金としては、通常、JIS A6063やJIS A6061等のアルミニウム合金が好ましく用いられている。これらのアルミニウム合金は、少量のケイ素を少なくとも含有し、そのケイ素等が酸化物粒子30(図2及び図5を参照)としてアルミニウム合金の表面S及び母相Bに存在している。本発明に係るアクチュエータアーム1では、母相Bに存在する酸化物粒子30の粒径は特に限定されないが、前記したアルミニウム合金を用いた場合、そのアルミニウム合金は、通常、1μm〜5μm程度の平均粒径の酸化物粒子30を含むものが多い。本発明に係るアクチュエータアーム1は、こうした平均粒径の酸化物粒子30を母相Bに含むものが好ましく適用される。
アクチュエータアーム1の表面Sは、図2及び図5に示すように、アクチュエータアーム1の母相Bに含まれる酸化物粒子30による突起50が存在せず、その酸化物粒子30が除去された痕跡からなる窪み40の平均径が1μm以上5μm以下であるという形態上の特徴がある。そのため、アクチュエータアーム1の表面Sに存在又は露出する酸化物粒子30が極めて少ないものとなっている。
本発明に係るアクチュエータアーム1の製造方法は、上記した本発明に係るアクチュエータアーム1を製造する方法である。その特徴は、図5に示すように、アルミニウム合金製のアクチュエータアーム1’を化学研磨してそのアクチュエータアーム1の形状を決定する形状決定工程と、その形状決定工程後に前記アクチュエータアーム1とフッ化物イオンを含む溶液とを接触させてそのアクチュエータアーム1の表面に露出する酸化物粒子30を選択的に溶解する酸化物粒子溶解工程とを有している。そして、その酸化物粒子溶解工程が、アクチュエータアーム1の表面Sを、酸化物粒子30による突起が存在せず、その酸化物粒子30が除去された痕跡からなる窪み40を形成する工程である。以下、各工程について説明する。
形状決定工程は、図5(A)(B)に示すように、表面処理対象として準備されたアクチュエータアーム1’を化学研磨液に接触させて、アクチュエータアーム1の母相Bを積極的に溶解して、アクチュエータアーム1の形成時に発生したアーム表面Sのバリ20や微細なキズ21を溶解除去するための工程である。この工程では、化学研磨により、アクチュエータアーム1の母相Bが積極的に溶解されるので、アクチュエータアーム1の全体寸法が決まる。言い換えれば、アクチュエータアーム1の全体寸法は、化学研磨を行う形状決定工程で決まり、その後の酸化物粒子溶解工程では、アクチュエータアーム1の全体寸法が変動しないことを意味している。
酸化物粒子溶解工程は、図5(C)に示すように、形状決定工程後にアクチュエータアーム1とフッ化物イオンを含む溶液とを接触させて、アクチュエータアーム1の表面Sに露出する酸化物粒子30を選択的に溶解する工程である。この工程では、前記した形状決定工程とは異なり、アクチュエータアーム1の寸法に影響を与える工程ではなく、アクチュエータアーム1の表面Sの存在又は露出している酸化物粒子30を選択的に溶解する工程である。
本発明に係るアルミニウム合金製部材の表面処理方法は、アルミニウム合金製部材を化学研磨してその部材の形状を決定する形状決定工程と、その形状決定工程後に前記部材とフッ化物イオンを含む溶液とを接触させて該部材の表面に露出する酸化物粒子30を選択的に溶解する酸化物粒子溶解工程とを有する。そして、酸化物粒子溶解工程が、前記部材の表面を、酸化物粒子30による突起が存在せず、その酸化物粒子30が除去された痕跡からなる窪み40を形成することに特徴がある。
図1に示す形状に押出成形されたアルミニウム合金(JIS A6061 T6、三菱金属株式会社)製のアクチュエータアーム1を準備した。そのアクチュエータアーム1を、形状決定工程で化学研磨処理を行い、酸化物粒子溶解工程で酸性水溶液処理を行った。
酸性水溶液の温度を25℃とし、酸性水溶液中の浸漬時間を80秒間とした以外は、実施例1と同様にして、実施例2のアクチュエータアームを得た。
酸性水溶液中に含まれるフッ化物イオンの濃度を0.8mol/Lとし、酸性水溶液の温度を15℃とした以外は、実施例1と同様にして、実施例3のアクチュエータアームを得た。
酸性水溶液中に含まれるフッ化物イオンの濃度を1.6mol/Lとし、酸性水溶液の温度を20℃とした以外は、実施例1と同様にして、実施例4のアクチュエータアームを得た。
酸性水溶液中に含まれるフッ化物イオンの濃度を0.6mol/Lとした以外は、実施例1と同様にして、比較例1のアクチュエータアームを得た。
酸性水溶液中に含まれるフッ化物イオンの濃度を0.6mol/Lとし、酸性水溶液の温度を30℃とした以外は、実施例1と同様にして、比較例2のアクチュエータアームを得た。
酸性水溶液中に含まれるフッ化物イオンの濃度を0.8mol/Lとし、酸性水溶液の温度を30℃とした以外は、実施例1と同様にして、比較例3のアクチュエータアームを得た。
酸性水溶液中にフッ化物イオンを含有させず、その酸性水溶液の温度を30℃とした以外は、実施例1と同様にして、比較例4のアクチュエータアームを得た。
実施例1〜4及び比較例1〜4で得たアクチュエータアームについて、(1)その表面Sの反射率、(2)表面Sに形成された窪み40の平均径、(3)窪み40のうちその平均径の1/2倍〜2倍の窪みの存在数、(4)脱落した粒子の個数、を測定した。
2 アーム部
3 コイル部
4 支持部
5 駆動コイル保持枠
6 駆動コイル
7 永久磁石
8 連結部
9 スライダー
10 スイング部
20 キズ
21 バリ
30 酸化物粒子
40 窪み
50 酸化物粒子の突起
100 ハードディスクドライブ
101 磁気ディスク
102 磁気ヘッド
103 アクチュエータ
S 表面
B 母相
D,D1〜D4 窪みの径
Claims (6)
- アルミニウム合金製のアクチュエータアームであって、該アクチュエータアームの表面には酸化物粒子による突起が存在せず、該酸化物粒子が除去された痕跡からなる窪みの平均径が1μm以上5μm以下であることを特徴とするアクチュエータアーム。
- 前記窪みのうち前記平均径の1/2倍〜2倍の窪みが、縦横20μmの測定領域に10個以上100個以下の範囲で存在する、請求項1に記載のアクチュエータアーム。
- 前記アクチュエータアームの表面の反射率が、波長500nm〜600nmの範囲で10%以上40%以下である、請求項1又は2に記載のアクチュエータアーム。
- アルミニウム合金製のアクチュエータアームを化学研磨して該アクチュエータアームの形状を決定する形状決定工程と、前記形状決定工程後に前記アクチュエータアームとフッ化物イオンを含む溶液とを接触させて該アクチュエータアームの表面に露出する酸化物粒子を選択的に溶解する酸化物粒子溶解工程とを有し、
前記酸化物粒子溶解工程が、前記アクチュエータアームの表面を、前記酸化物粒子による突起が存在せず、該酸化物粒子が除去された痕跡からなる窪みを形成することを特徴とするアクチュエータアームの製造方法。 - 前記酸化物粒子溶解工程を、前記フッ化物イオンの濃度が0.8mol/L以上1.6mol/L以下で液温が15℃〜25℃の溶液で行う、請求項4に記載のアクチュエータアームの製造方法。
- アルミニウム合金製部材を化学研磨して該部材の形状を決定する形状決定工程と、前記形状決定工程後に前記部材とフッ化物イオンを含む溶液とを接触させて該部材の表面に露出する酸化物粒子を選択的に溶解する酸化物粒子溶解工程とを有し、
前記酸化物粒子溶解工程が、前記部材の表面を、酸化物粒子による突起が存在せず、該酸化物粒子が除去された痕跡からなる窪みを形成することを特徴とする表面処理方法。
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