JP2013197386A - ホール素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】GaAs基板と、GaAs基板上に設けられた、量子井戸構造をした化合物半導体積層膜からなる、磁気に感応する感磁部と、感磁部と電気的に接続された電極とを備え、樹脂モールドされ、GaAs基板の厚さが300μm以上であることを特徴とする。GaAs基板の厚さを300μm以上にすることにより、モールド樹脂から感磁部へ印加される応力を抑制することで、ホール素子の特性変動を低減できる。
【選択図】図1
Description
2 感磁膜
3 電極
4 保護膜
4a 第1保護膜
4b 第2保護膜
5 リードフレーム
6 モールド樹脂
7 ワイヤー
Claims (6)
- GaAs基板と、
前記GaAs基板上に設けられた、量子井戸構造をした化合物半導体積層膜からなる、磁気に感応する感磁部と、
前記感磁部と電気的に接続された電極と
を備え、樹脂モールドされ、前記GaAs基板の厚さが300μm以上であることを特徴とするホール素子。 - 前記感磁部は化合物半導体を前記GaAs基板上にヘテロエピタキシャル成長させて形成していることを特徴とする請求項1に記載のホール素子。
- 前記感磁部の前記化合物半導体はInAsであることを特徴とする請求項1に記載のホール素子。
- 前記感磁部上に、無機物からなる第1保護層と、該第1保護層上に有機物ポリイミド、またはポリアミドからなる第2保護層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のホール素子。
- シリコンICが同一パッケージ内に樹脂モールドされたことを特徴とする請求項1に記載のホール素子。
- ホール素子の作製方法であって、
GaAs基板上に化合物半導体をエピタキシャル成長させて量子井戸構造からなる感磁膜を形成するステップと、
前記感磁膜のパターンを形成するステップと、
前記感磁膜と電気的に接続する電極を形成するステップと、
前記感磁膜上に無機物からなる第1保護膜を形成するステップと、
前記第1保護膜上に有機物からなる第2保護膜を形成するステップと、
前記GaAs基板の裏面を、前記GaAs基板の厚さが300μm以上になるように研磨するステップと、
前記GaAs基板を一辺0.2〜0.4mm程度の正方形に切断するステップと、
切断した前記GaAs基板をリードフレーム上にマウントするステップと、
前記リードフレームと前記電極とを接続するステップと、
前記基板と、前記感磁膜と、前記第1保護膜と、前記第2保護膜と、前記リードフレームと、前記電極とをモールドするステップと
を備えたことを特徴とするホール素子の製造方法。
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- 2012-03-21 JP JP2012064046A patent/JP2013197386A/ja active Pending
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