JP2013197354A - 光電変換素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】特性低下の発生を抑制しつつ容易に短時間で特性検査する。
【解決手段】基板1上に互いに組成の異なる複数の化合物半導体を積層して光電変換層を形成する工程と、光電変換層を形成した基板1の下面に裏面電極20を形成する工程と、裏面電極20を形成した基板1の下面に、複数の開口部39および粘着性を有するシート30を貼り付ける工程とを備える。また、シート30を貼り付けた基板1を複数の光電変換素子に分割するためにダイシングする工程と、測定用プローブ41,42を互いに分割された複数の光電変換素子の各々の上方およびシートの開口部39を通過させて下方から接触させることにより、複数の光電変換素子の特性を測定する工程と、上記測定する工程の後、複数の光電変換素子をシート30から剥離させる工程とを備える。
【選択図】図11
【解決手段】基板1上に互いに組成の異なる複数の化合物半導体を積層して光電変換層を形成する工程と、光電変換層を形成した基板1の下面に裏面電極20を形成する工程と、裏面電極20を形成した基板1の下面に、複数の開口部39および粘着性を有するシート30を貼り付ける工程とを備える。また、シート30を貼り付けた基板1を複数の光電変換素子に分割するためにダイシングする工程と、測定用プローブ41,42を互いに分割された複数の光電変換素子の各々の上方およびシートの開口部39を通過させて下方から接触させることにより、複数の光電変換素子の特性を測定する工程と、上記測定する工程の後、複数の光電変換素子をシート30から剥離させる工程とを備える。
【選択図】図11
Description
本発明は、光電変換素子の製造方法に関する。
光電変換素子の製造方法を開示した先行文献として、特開2007−42739号公報(特許文献1)がある。特許文献1に記載された光電変換素子の製造方法は、基板上に互いに組成の異なる複数の化合物半導体層を順次積層して積層体を形成する工程と、積層体上に保護膜を形成する工程と、積層体の一部を機械的に除去することにより溝を形成する工程と、保護膜および溝の形成後にエッチング液を用いて溝の側壁をエッチングする工程と、溝に対応する箇所を切断することによって複数の光電変換素子に分離する工程とを含む。
光電変換素子の小型化に伴って、素子分離工程以降の光電変換素子の取り扱いが難しくなってきている。一般に、個片化された光電変換素子は、実装される前に特性検査される。特性検査の際の光電変換素子の取り扱いが容易でない場合、検査時間が長くなるとともに、光電変換層のpn接合部に機械的ダメージを与えて光電変換素子の特性低下を生じさせる可能性が高くなる。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、特性低下の発生を抑制しつつ容易に短時間で特性検査可能な光電変換素子の製造方法を提供することを目的とする。
本発明に基づく光電変換素子の製造方法は、基板上に互いに組成の異なる複数の化合物半導体を積層して光電変換層を形成する工程と、光電変換層を形成した基板の下面に裏面電極を形成する工程と、裏面電極を形成した基板の下面に、複数の開口部および粘着性を有するシートを貼り付ける工程とを備える。また、光電変換素子の製造方法は、シートを貼り付けた基板を複数の光電変換素子に分割するためにダイシングする工程と、測定用プローブを互いに分割された複数の光電変換素子の各々の上方およびシートの開口部を通過させて下方から接触させることにより、複数の光電変換素子の特性を測定する工程と、上記測定する工程の後、複数の光電変換素子をシートから剥離させる工程とを備える。
本発明の一形態においては、上記シートを貼り付ける工程において、織物からなるシートを用いる。上記測定する工程において、測定用プローブを、上記開口部である織物の織目を通過させる。
本発明の一形態においては、上記測定する工程において、シートを面内で広げるように引っ張って光電変換素子同士の間隔を広げた状態で測定用プローブを複数の光電変換素子の各々に接触させる。
本発明によれば、特性低下の発生を抑制しつつ容易に短時間で特性検査できる。
以下、本発明の実施形態1に係る光電変換素子の製造方法について図を参照して説明する。以下の実施形態の説明においては、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰り返さない。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1において、基板上に光電変換層を形成した状態を示す断面図である。図1に示すように、本実施形態においては、基板1上に、互いに組成の異なる複数の化合物半導体を積層して、バッファ層2、ベース層3およびエミッタ層4を含む光電変換層を形成する。
図1は、本発明の実施形態1において、基板上に光電変換層を形成した状態を示す断面図である。図1に示すように、本実施形態においては、基板1上に、互いに組成の異なる複数の化合物半導体を積層して、バッファ層2、ベース層3およびエミッタ層4を含む光電変換層を形成する。
基板1は、ウエハ状の形態を有している。基板1としては、InGaAs、InGaP、Ge、GaPもしくはGaAsのいずれかからなる半導体基板、または、InGaAs、InGaP、Ge、GaPもしくはGaAsの群から選択された少なくとも2種以上の層を積層した半導体基板などを用いることができる。
基板1の厚さは特に限定はされず、実用上問題のない厚さのものを用いることができる。また、基板1は、pn接合部を有していてもよい。
バッファ層2、ベース層3およびエミッタ層4のそれぞれは、周知のプロセスで基板1上に形成することができる。本実施形態においては、光電変換層は、バッファ層2、ベース層3およびエミッタ層4からなる3層構造を有しているが、光電変換層の構造はこれに限られず、たとえば、2層構造または4層構造などのように化合物半導体層を2層以上含むものであればよい。
光電変換層は、バッファ層2、ベース層3およびエミッタ層4の他に、BSF(Back Surface Field)層、窓層、多接合型光電変換素子のトンネル接合層、多接合型光電変換素子の他のベース層および他のエミッタ層などの少なくとも1種以上の化合物半導体層を含んでいてもよい。
ここで、化合物半導体として、たとえば、GaAs、InGaAs、InAlP、InGaPまたはGaPなどを用いることができる。
光電変換層は、複数の化合物半導体によって形成されたpn接合部を含む。pn接合部は、p型の化合物半導体とn型の化合物半導体とを接合することにより形成することができる。
図2は、本実施形態において、光電変換層上に保護膜を形成した状態を示す断面図である。図2に示すように、エミッタ層4上に保護膜5を形成する。
保護膜5としては、後の工程でバッファ層2、ベース層3およびエミッタ層4をエッチングするエッチング液のそれぞれに対して耐性を有するものであればよい。エッチングにより後述する溝形成を行なう場合には、パターニングしたフォトレジストを保護膜5として用いることができる。
図3は、本実施形態において、基板の下面に基板保持シートを貼り付けた状態を示す断面図である。図3に示すように、基板1の光電変換層側とは反対側の面に、粘着性を有する基板保持シート7を貼り付ける。
基板保持シート7としては、基板1の強度を保持できるシートであればよい。なお、この基板保持シート7の貼り付けは、後述する溝形成の実施方法によっては行なわなくてもよい。たとえば、エッチングまたはスクライビングにより溝形成を行なう場合には、基板保持シート7を貼り付けなくてもよい。
図4は、本実施形態において、ダイシングして機械的に溝を形成した状態を示す断面図である。図4に示すように、基板1、バッファ層2、ベース層3、エミッタ層4および保護膜5の一部をダイシングにより機械的に除去して、保護膜5側から基板1に達する溝8を形成する。この溝8の形成は、光電変換素子の最終の所定形状を考慮して実施することが好ましい。
また、光電変換素子の分離を確実に行なう観点から、溝8の形成時において、最も基板1側に位置しているpn接合部よりも深く溝8を形成することが好ましい。ここで、最も基板1側に位置しているpn接合部とは、基板1がpn接合部を有していない場合には、光電変換層が有しているpn接合部のうち最も基板1に近い位置にあるpn接合部であり、基板1がpn接合部を有している場合には、基板1の下面に最も近い位置にあるpn接合部である。
すなわち、光電変換層および基板1に含まれるpn接合部は、この溝8によって切断される。ただし、溝8を深くしすぎると基板1の強度が低下して、個々の光電変換素子を互いに連結した状態を維持することが難しくなるため、たとえば、基板1の厚さが100μm以上200μm以下程度である場合には、基板1の切断深さを20μm以上50μm以下とすることが好ましいことが実験により確認されている。
なお、この溝8の形成によって、バッファ層2、ベース層3およびエミッタ層4からなる光電変換層は複数の領域に分割される。また、保護膜5も平面視において、光電変換層と同様の形状に分割される。
図4に示す溝8の幅9は、後述するように複数の光電変換素子に分割する際に行なうダイシングにより、光電変換素子のpn接合部が影響を受けない程度の幅にしておくことが好ましい。つまり、最も基板1側に位置しているpn接合部における溝8の幅9が、後述する図8に示す素子分割用ダイシングの切断幅19より広いことが好ましい。
たとえば、後述する素子分割用ダイシングする際に幅が20μmのダイシングブレードを使用する場合、ダイシング装置のアライメント精度などを考慮して、溝8の幅9を40μm以上とすることが好ましいことを実験により確認している。
なお、溝8の形成方法として、本実施形態においてはダイシングを用いたが、他の方法として、スクライビング、ドライエッチング、ウエットエッチングまたはレーザスクライビングなどを用いることができる。
溝8の側壁には、後述のエッチングによりエッチングされるべきエッチング領域10が存在する。エッチング領域10は、溝8の形成時に、機械的または熱的に影響を受けて結晶欠陥を多く含む領域であり、キャリアの再結合中心となり、光電変換素子の特性を低下させる要因になる。
図5は、本実施形態において、エッチングした状態を示す断面図である。図5に示すように、基板1から基板保持シート7を剥離させた後、光電変換層が形成された基板1をエッチング液に浸漬し、保護膜5をエッチングマスクとしてエッチング領域10をエッチングにより除去する。
なお、上記のエッチングにおいては、エッチング領域10に存在する化合物半導体および基板の種類に応じてエッチング液の組成およびエッチング処理時間を適宜選択することが好ましい。
たとえば、化合物半導体がInGaAsまたはGaAsなどである場合、または、基板がInGaAs基板、GaAs基板もしくはGe基板などである場合は、エッチング液として、アンモニアを含むアルカリ性水溶液および硫酸を含む酸性水溶液の少なくとも一方含むエッチング液を用いることが好ましい。
ここで、アンモニアを含むアルカリ性水溶液の組成は、たとえば、体積比においてNH4OH:H2O2:H2O=1:1:10とすることができ、アンモニアを含むアルカリ性水溶液を用いたときのエッチング処理時間は、たとえば60秒以上90秒以下とすることができる。
また、硫酸を含む酸性水溶液の組成は、たとえば、体積比においてH2SO4:H2O2:H2O=1:1:10とすることができ、硫酸を含む酸性水溶液を用いたときのエッチング処理時間は、60秒以上90秒以下とすることができる。
さらに、化合物半導体がInGaPまたはGaPなどである場合、または、基板がInGaP基板もしくはGaP基板などである場合には、エッチング液として塩酸を含む酸性水溶液を用いることが好ましい。
ここで、塩酸を含む酸性水溶液の組成は、たとえば、体積比においてHCl:H2O2:H2O=1:1:10とすることができ、塩酸を含む酸性水溶液の組成を用いたときのエッチング処理時間は、たとえば60秒以上90秒以下とすることができる。
図6は、本実施形態において、保護膜を剥離させた状態を示す断面図である。図6に示すように、エッチング後に保護膜5を光電変換層上から剥離させる。
図7は、基板の下面に裏面電極を形成した状態を示す断面図である。図7に示すように、基板1の下面全体に蒸着などにより裏面電極20を形成した後、基板1と裏面電極20との物理的な密着力の向上および電気抵抗の低減を目的として熱処理する。なお、裏面電極の形成および熱処理を上記の保護膜の形成前に行なってもよい。
図8は、本実施形態において、基板の下面に素子保持シートを貼り付けた後、溝の位置をダイシングした状態を示す断面図である。図8に示すように、裏面電極20を形成した基板1の下面に、複数の開口部39および粘着性を有する素子保持シート30を貼り付ける。
素子保持シート30を基板1に貼り付ける際に、両者をアライメント調整しつつ貼り付ける必要はなく、基板1の下面全体が素子保持シート30と接着するように貼り付ければよい。
図9は、本実施形態に係る素子保持シートの外観を示す平面図である。図10は、図9のX−X線矢印方向から見た断面図である。図9,10に示すように、素子保持シート30は、表裏面に貫通して互いに所定の間隔を置いて全面に略均等に位置する複数の開口部39を有している。開口部39は、たとえば、平面視において直径が1mmの円形状を有している。ただし、開口部39は円形に限られず、楕円形または多角形であってもよい。
素子保持シート30は、基材31と、基材31上に塗布された粘着性を有する接着剤32とから構成されている。基材31は、絶縁性を有する材料で形成されており、たとえば、ポリ塩化ビニルまたはポリオレフィンなどから形成されている。
ただし、素子保持シート30は上記の構成に限られず、基材31が電気導電性を有していてもよい。また、複数の開口部39が接着剤32によって塞がれていてもよい。
素子保持シート30を貼り付けた後、複数の光電変換素子に分割するためにダイシングする。本実施形態においては、ダイシングブレードを用いてダイシングする。この素子分割用ダイシングにより、図8に示すように、切断幅19の溝が形成される。ここで、上述したように、切断幅19は溝8の幅9よりも狭いことが好ましい。
分割されて個片化された複数の光電変換素子は、素子保持シート30に保持されているため一体性を維持している。このとき、たとえば、直径100mmの1つの基板1から、5mm角の光電変換素子が200個形成される。
図11は、本実施形態において、光電変換素子の特性を測定している状態を示す断面図である。図11に示すように、測定用プローブを互いに分割された複数の光電変換素子の各々の上方および素子保持シート30の開口部39を通過させて下方から接触させることにより、複数の光電変換素子の特性を測定する。
本実施形態においては、測定用プローブは、上方から光電変換素子に接触する第1プローブ41、および、下方から光電変換素子に接触する第2プローブ42から構成されている。第1プローブ41および第2プローブ42のそれぞれの先端部における直径は、たとえば、数10μm以上数100μm以下である。なお、複数の開口部39が接着剤32によって塞がれている場合には、第2プローブ42の先端により接着剤32の層を突き破るようにして、第2プローブ42を光電変換素子の下方から接触させる。
第1プローブ41は、エミッタ層4上のいずれかに接触するように位置合わせされる。通常、エミッタ層4上に図示しない表面電極が形成されているため、第1プローブ41は、表面電極に接触されるように位置合わせされる。なお、エミッタ層4と表面電極との間にコンタクト層が形成されていてもよい。
光電変換素子の下面の全面に裏面電極20が形成されているため、第2プローブ42は、光電変換素子の下方に位置する複数の開口部39のうちのいずれかを通過するように位置合わせされる。
エミッタ層4または表面電極は、第1プローブ41の先端部との接触面積より十分大きな平面視における面積を有している。また、開口部39は、裏面電極20と第2プローブ42の先端部との接触面積より十分大きな開口面積を有している。そのため、第1プローブ41および第2プローブ42に高い位置合わせ精度は求められず、容易に位置合わせ可能である。
よって上述の通り、素子保持シート30を基板1に貼り付ける際に、両者をアライメント調整しつつ貼り付ける必要はなく、基板1の下面全体が素子保持シート30と接着するように貼り付ければよい。
なお、素子保持シート30は伸縮性を有しているため、素子保持シート30を面内で広げるように引っ張って光電変換素子同士の間隔を広げた状態で測定用プローブを複数の光電変換素子の各々に接触させるようにしてもよい。このようにすることにより、測定用プローブの位置合わせをさらに容易にすることができる。
複数の光電変換素子の各々の特性を測定し、その中の不良品は除外し、正常品は発電力の違いによりランク分けする。その特性測定結果を識別可能なように、各光電変換素子にマーキングを施してもよい。
本実施形態においては、特性検査の際の複数の光電変換素子は素子保持シート30に保持されているため一体性を維持しており、取り扱いが容易で検査時間の短縮を図ることができる。また、取り扱いが容易になることにより、特性検査時に光電変換層のpn接合部に機械的ダメージを与えて光電変換素子の特性低下を生じさせる可能性を低減することができる。
図12は、光電変換素子を素子保持シートから剥離させた状態を示す断面図である。図12に示すように、特性検査後に、複数の光電変換素子を素子保持シート30から剥離させる。その結果、所定の形状に切断された個々の光電変換素子を得ることができる。
この光電変換素子の外周部は、エッチングにより形成された溝8の側壁21と、ダイシングにより形成された側壁22とから構成されている。溝8の側壁21の方が、側壁22より内側に位置している。光電変換層のpn接合部は、溝8の側壁21のいずれかの部分の高さに位置している。
よって、光電変換層のpn接合部は、平面視において側壁22より内側に位置しているため、ハンドリングなどによって機械的ダメージを受ける可能性が少なくなる。そのため、光電変換素子の特性の低下を生じさせる可能性を低減できる。
なお、本実施形態においては、素子保持シート30を光電変換素子の受光面側とは反対側の裏面に貼り付けている。そのため、受光面側から疑似太陽光を光電変換素子に照射しつつ測定用プローブを光電変換素子に接触させて、光電変換素子の特性測定を行なうことができる。
以下、本発明の実施形態2に係る光電変換素子の製造方法について説明する。なお、本実施形態に係る光電変換素子の製造方法は、素子保持シートの構成のみ実施形態1に係る光電変換素子の製造方法と異なるため、他の構成については説明を繰り返さない。
(実施形態2)
図13は、本発明の実施形態2に係る素子保持シートの外観を示す平面図である。図14は、図13のXIV−XIV線矢印方向から見た断面図である。
図13は、本発明の実施形態2に係る素子保持シートの外観を示す平面図である。図14は、図13のXIV−XIV線矢印方向から見た断面図である。
図13,14に示すように、本実施形態においては、素子保持シート50は、織物からなる。素子保持シート50は、表裏面に貫通して互いに所定の間隔を置いて全面に略均等に位置する複数の開口部である織目59を有している。
素子保持シート50は、基材51と、基材51上に塗布された粘着性を有する接着剤52とから構成されている。基材51は、絶縁性を有する繊維からなり、たとえば、ポリ塩化ビニルまたはポリオレフィンなどからなる繊維からなる。
ただし、素子保持シート50は上記の構成に限られず、基材51が電気導電性を有していてもよい。また、織目59が接着剤52によって塞がれていてもよい。
光電変換素子の特性測定する際には、測定用プローブを織物の織目59を通過させる。具体的には、第1プローブ41を上方から光電変換素子に接触させる。第2プローブ42を複数の織目59のうちのいずれかを通過させて下方から光電変換素子に接触させる。なお、複数の織目59が接着剤52によって塞がれている場合には、第2プローブ42の先端により接着剤52の層を突き破るようにして、第2プローブ42を光電変換素子の下方から接触させる。
このように、織物からなる素子保持シート50を用いた場合には、複数の開口部を形成する工程が必要ないため、製造工程を削減することができる。
また、織物である素子保持シート50自体が伸縮性を有するため、素子保持シート50を面内で広げるように引っ張って光電変換素子同士の間隔を広げた状態で測定用プローブを複数の光電変換素子の各々に接触させるようにしてもよい。このようにすることにより、測定用プローブの位置合わせをさらに容易にすることができる。
本実施形態においても、特性検査の際の複数の光電変換素子は素子保持シート50に保持されているため一体性を維持しており、取り扱いが容易で検査時間の短縮を図ることができる。また、取り扱いが容易になることにより、特性検査時に光電変換層のpn接合部に機械的ダメージを与えて光電変換素子の特性低下を生じさせる可能性を低減することができる。
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 基板、2 バッファ層、3 ベース層、4 エミッタ層、5 保護膜、7 基板保持シート、8 溝、9 幅、10 エッチング領域、19 切断幅、20 裏面電極、21,22 側壁、30,50 素子保持シート、31,51 基材、32,52 接着剤、39 開口部、41 第1プローブ、42 第2プローブ、59 織目。
Claims (3)
- 基板上に互いに組成の異なる複数の化合物半導体を積層して光電変換層を形成する工程と、
前記光電変換層を形成した前記基板の下面に裏面電極を形成する工程と、
前記裏面電極を形成した前記基板の下面に、複数の開口部および粘着性を有するシートを貼り付ける工程と、
前記シートを貼り付けた前記基板を複数の光電変換素子に分割するためにダイシングする工程と、
測定用プローブを互いに分割された前記複数の光電変換素子の各々の上方および前記シートの前記開口部を通過させて下方から接触させることにより、前記複数の光電変換素子の特性を測定する工程と、
前記測定する工程の後、前記複数の光電変換素子を前記シートから剥離させる工程と
を備える、光電変換素子の製造方法。 - 前記シートを貼り付ける工程において、織物からなる前記シートを用い、
前記測定する工程において、前記測定用プローブを、前記開口部である前記織物の織目を通過させる、請求項1に記載の光電変換素子の製造方法。 - 前記測定する工程において、前記シートを面内で広げるように引っ張って前記光電変換素子同士の間隔を広げた状態で前記測定用プローブを前記複数の光電変換素子の各々に接触させる、請求項1または2に記載の光電変換素子の製造方法。
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