JP2013190345A - 磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板上に磁性層と非磁性層とが積層されて成る磁気抵抗効果を発揮する複数の磁気抵抗効果素子S1〜S4と、垂直磁界成分を水平方向への水平磁界成分に変換する軟磁性体3とを有する。軟磁性体は、X1−X2方向に延出する複数の第1軟磁性部3aと、Y1−Y2方向に延出する複数の第2軟磁性部3bとが一体となって格子状に形成されている。磁気抵抗効果素子は、Y2方向に感度軸方向Pを備えており、第1軟磁性部3aのY1側部側に位置してY1方向からの水平磁界成分を受ける磁気抵抗効果素子と、前記軟磁性体のY2側部側に位置してY2方向からの水平磁界成分を受ける磁気抵抗効果素子を有する。
【選択図】図1
Description
基板上に磁性層と非磁性層とが積層されて成る磁気抵抗効果を発揮する磁気抵抗効果素子と、外部から進入する前記基板に垂直な方向からの垂直磁界成分を前記基板に対して水平な方向への水平磁界成分に変換し、前記水平磁界成分を前記磁気抵抗効果素子に与える軟磁性体と、を有し、
前記軟磁性体は、前記磁気抵抗効果素子と高さ方向にて間隔を空けて配置されており、
前記基板のなす面に水平な面内にて直交する2方向を、X1−X2方向とY1−Y2方向としたとき、
前記磁気抵抗効果素子は、X1−X2方向に延出して形成されるとともに、Y1−Y2方向に感度軸を備えており、
前記軟磁性体は、X1−X2方向に延出する第1軟磁性部と、前記Y1−Y2方向に延出する第2軟磁性部とが一体となって形成されており、
前記磁気抵抗効果素子は、前記第1軟磁性部からY1−Y2方向の水平磁界成分を受けることが可能な位置に配置されることを特徴とするものである。
前記磁気抵抗効果素子は、前記垂直な方向からの矢視にて、前記第1軟磁性部のY1側部側に位置してY1方向からの水平磁界成分を受ける第1磁気抵抗効果素子と、前記軟磁性体のY2側部側に位置してY2方向からの水平磁界成分を受ける第2磁気抵抗効果素子とを有している構成にできる。
このように、実施例のほうが比較例に比べて感度変化を小さくできることがわかった。
H2、H3 水平磁界成分
H4、H5 外乱磁界
P 感度軸方向
S1〜S4 磁気抵抗効果素子
1 Z軸磁気センサ
3 軟磁性体
3a 第1軟磁性部
3b 第2軟磁性部
3c Y1側部
3d Y2側部
4 絶縁層
16 導電層
18 電極層
61 固定磁性層
61a、61b 磁性層
62 非磁性層
63 フリー磁性層
64 保護層
Claims (4)
- 基板上に磁性層と非磁性層とが積層されて成る磁気抵抗効果を発揮する磁気抵抗効果素子と、外部から進入する前記基板に垂直な方向からの垂直磁界成分を前記基板に対して水平な方向への水平磁界成分に変換し、前記水平磁界成分を前記磁気抵抗効果素子に与える軟磁性体と、を有し、
前記軟磁性体は、前記磁気抵抗効果素子と高さ方向にて間隔を空けて配置されており、
前記基板のなす面に水平な面内にて直交する2方向を、X1−X2方向とY1−Y2方向としたとき、
前記磁気抵抗効果素子は、X1−X2方向に延出して形成されるとともに、Y1−Y2方向に感度軸を備えており、
前記軟磁性体は、X1−X2方向に延出する第1軟磁性部と、前記Y1−Y2方向に延出する第2軟磁性部とが一体となって形成されており、
前記磁気抵抗効果素子は、前記第1軟磁性部からY1−Y2方向の水平磁界成分を受けることが可能な位置に配置されることを特徴とする磁気センサ。 - 前記磁気抵抗効果素子には、前記第2軟磁性部と高さ方向にて対向する位置、あるいは前記第1軟磁性部と前記第2軟磁性部との交差部と高さ方向にて対向する位置に電流をバイパスする電極層が配置されている請求項1記載の磁気センサ。
- 前記軟磁性体は、X1−X2方向に延出しY1−Y2方向に間隔を空けた複数の前記第1軟磁性部と、Y1−Y2方向に延出しX1−X2方向に間隔を空けた複数の前記第2軟磁性部とが一体となって構成されており、
前記磁気抵抗効果素子は、前記垂直な方向からの矢視にて、前記第1軟磁性部のY1側部側に位置してY1方向からの水平磁界成分を受ける第1磁気抵抗効果素子と、前記軟磁性体のY2側部側に位置してY2方向からの水平磁界成分を受ける第2磁気抵抗効果素子とを有している請求項1記載の磁気センサ。 - 前記第1磁気抵抗効果素子、前記第2磁気抵抗効果素子、前記第2磁気抵抗効果素子と同じ構成の第3磁気抵抗効果素子、及び、前記第1磁気抵抗効果素子と同じ構成の第4磁気抵抗効果素子とを備えて、ブリッジ回路が構成されている請求項3記載の磁気センサ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016188774A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | アルプス電気株式会社 | 磁界検知装置 |
JP2017534855A (ja) * | 2014-09-28 | 2017-11-24 | 江▲蘇▼多▲維▼科技有限公司Multidimension Technology Co., Ltd. | シングルチップ型差動自由層プッシュプル磁界センサブリッジおよび製造方法 |
JP2019035686A (ja) * | 2017-08-18 | 2019-03-07 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103901363B (zh) | 2013-09-10 | 2017-03-15 | 江苏多维科技有限公司 | 一种单芯片z轴线性磁电阻传感器 |
CN103995240B (zh) * | 2014-05-30 | 2017-11-10 | 江苏多维科技有限公司 | 一种磁电阻z轴梯度传感器芯片 |
JP6482023B2 (ja) * | 2015-05-22 | 2019-03-13 | アルプスアルパイン株式会社 | 磁気センサ |
WO2017094889A1 (ja) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | アルプス電気株式会社 | 磁気検知装置およびその製造方法 |
US10261138B2 (en) | 2017-07-12 | 2019-04-16 | Nxp B.V. | Magnetic field sensor with magnetic field shield structure and systems incorporating same |
US10718825B2 (en) | 2017-09-13 | 2020-07-21 | Nxp B.V. | Stray magnetic field robust magnetic field sensor and system |
US10955494B2 (en) * | 2018-09-26 | 2021-03-23 | Apple Inc. | Magnetic field sensor in a portable electronic device |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004533120A (ja) * | 2001-06-01 | 2004-10-28 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 第2の磁気素子に対して第1の磁気素子の磁化軸を配向する方法、センサを実現するための半製品、および、磁界を測定するためのセンサ |
WO2011068146A1 (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-09 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
WO2011089978A1 (ja) * | 2010-01-20 | 2011-07-28 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
US20110309829A1 (en) * | 2009-02-10 | 2011-12-22 | Uwe Loreit | Assembly for measuring at least one component of a magnetic field |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7599156B2 (en) * | 2004-10-08 | 2009-10-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetoresistive element having specially shaped ferromagnetic layer |
WO2009084434A1 (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-09 | Alps Electric Co., Ltd. | 磁気センサ及び磁気センサモジュール |
JP5500785B2 (ja) * | 2008-05-14 | 2014-05-21 | 新科實業有限公司 | 磁気センサ |
WO2010010872A1 (ja) * | 2008-07-22 | 2010-01-28 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ及び磁気センサモジュール |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004533120A (ja) * | 2001-06-01 | 2004-10-28 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 第2の磁気素子に対して第1の磁気素子の磁化軸を配向する方法、センサを実現するための半製品、および、磁界を測定するためのセンサ |
US20110309829A1 (en) * | 2009-02-10 | 2011-12-22 | Uwe Loreit | Assembly for measuring at least one component of a magnetic field |
WO2011068146A1 (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-09 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
WO2011089978A1 (ja) * | 2010-01-20 | 2011-07-28 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017534855A (ja) * | 2014-09-28 | 2017-11-24 | 江▲蘇▼多▲維▼科技有限公司Multidimension Technology Co., Ltd. | シングルチップ型差動自由層プッシュプル磁界センサブリッジおよび製造方法 |
JP2016188774A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | アルプス電気株式会社 | 磁界検知装置 |
JP2019035686A (ja) * | 2017-08-18 | 2019-03-07 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
Also Published As
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