JP2013180354A - ワイヤソーおよびワイヤソー用ダクト装置 - Google Patents

Abstract

【課題】加工液の周囲への飛散を防止するとともに、加工液を切断部分に十分に供給して切断性能を向上させることが可能なワイヤソーおよびワイヤソー用のダクト装置を提供する。
【解決手段】ワイヤソー２０は、加工液Ｓを供給する加工液供給装置２９と、走行中のワイヤ２６に対してワークＷを相対的に移動させるシリンダ３７と、加工液供給装置２９に接続されワークＷに近接配置されておりワイヤ２６が通過する第２加工液供給空間Ｓ２を有するとともにワイヤ２６の走行方向における上流側からワークＷが切断される部分に向けて加工液Ｓを供給して第２加工液供給空間Ｓ２におけるワークＷ近傍に静圧を生じさせるダクト部材４０と、を備えている。
【選択図】図５

Description

本発明は、半導体材料等を切断するために用いられるワイヤソーおよびワイヤソー用ダクト装置に関する。

近年、例えば、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よりなるワークを、走行するワイヤにより切断するワイヤソーが用いられている。
例えば、特許文献１には、走行中のワイヤに遊離砥粒を油剤に混ぜた加工液を供給して付着させたワイヤをワークに押し当てることで半導体材料等の被切断部材を所望の形状に切断するワイヤソーにおいて、ワイヤソーの切断精度および切断能率を向上させるために、加工液供給ノズルの真下に縦形の加工液貯蔵部と水平方向に加工液を流出させるスリット状の流出孔とを有する水平な整流部が連続した逆Ｔ字形のスリットノズルをワイヤが被切断部材に入る直前に配置した脆性材料の切断装置について開示されている。

特開平５−２１２７２０号公報（平成５年８月２４日公開）

しかしながら、上記従来の切断装置では、以下に示すような問題点を有している。
上記公報に開示された切断装置では、単に、逆Ｔ字状のスリットノズルをワイヤが被切断部材に入る直前に配置することで、ワイヤが被切断部材に入っていく直前まで確実に加工液をワイヤに付着させ、ワイヤによって切断部に加工液を引き込むことを意図して構成されたものである。このため、ワイヤに付着した加工液が被切断部材の対向面に衝突して周囲に飛散してしまうことについては何ら考慮されておらず、こういった加工液の飛散や、ワイヤの走行によって切断部に加工液を引き込むだけでは引き込み力が充分でないといった理由により、充分な量の加工液が切断部に入らないという問題点がある。

また、引用文献１では、逆Ｔ字状のスリットノズル内の空間の圧力を上昇させることまでは想定されていない。
本発明の課題は、加工液の周囲への飛散を防止するとともに、加工液をワークの切断溝に十分に供給して切断性能を向上させることが可能なワイヤソーおよびワイヤソー用のダクト装置を提供することにある。

第１の発明に係るワイヤソーは、走行するワイヤに加工液を供給しながら、ワークを前記ワイヤに押し付けて切断するワイヤソーであって、加工液供給部と、移動機構と、を備えている。加工液供給部は、ワイヤの走行方向における上流側から走行中のワイヤに対して加工液を供給する。移動機構は、走行中のワイヤに対してワークを相対的に移動させる。加工液供給部は、加工液圧送装置と、ダクト部材と、を有している。加工液圧送装置は、加工液を圧送する。ダクト部材は、ワイヤがその内部を通過するとともに、その先端部がワークに近接して配置され、接続された加工液圧送装置から圧送された加工液をワイヤとワークの対向面との接触部に供給する。

ここでは、走行中のワイヤに加工液を供給して付着させた状態でワイヤとワークとを接触させてワークを切断するワイヤソーにおいて、加工液圧送装置とダクトとによって加工液を、ワイヤがワークの対向面と接触し、ワークに引き込まれて切断を開始する切断開始点に供給することで、切断開始点の周囲に圧力をかける構造を採用している。

さらに、走行するワイヤに付着した加工液がワークの対向面と衝突した際に、ダクト部材内部を圧送されて供給される加工液によって飛散を抑えられ、ダクト部材の内部空間内へ閉じ込められる。

これにより、切断開始点近傍に、局所的に加工液の圧力の高い局所圧上昇部分が形成される。
この結果、ワイヤがワークの切断を開始する切断開始点の周囲にかけられた圧力と、切断開始点近傍に生じた局所圧によって、切断開始点近傍の加工液は、ワイヤによって形成されるワークの切断溝内に押し込まれ、従来よりも多くの加工液を効果的に供給することができ、切断性能を向上させることができる。さらに、加工液の周囲への飛散が抑制され、ワークや加工室内が汚損したりすることもない。

第２の発明に係るワイヤソーは、第１の発明に係るワイヤソーであって、ダクト部材の先端部から突出したフランジ部を、さらに備えている。
ここでは、ダクト部材におけるワークとの近接部分に、ダクト部材の先端部から突出したフランジ部を設けている。

これにより、ワークとダクト部材との間からの加工液の漏れが抑制され、切断開始点付近における加工液の圧力が高まるので、従来のワイヤソーよりも効果的に加工液を、ワークの切断溝の内部まで入り込ませることができる。この結果、加工液の周囲への飛散を防止するとともに、加工液を切断溝に十分に供給することで切断性能を向上させることができる。

また、ワークとダクト部材との間から漏れ出した加工液はフランジの背後（上流側）に落下してワイヤ列の外側から回収され、ワークや加工室内が汚損することを防止することができる。

第３の発明に係るワイヤソーは、第２の発明に係るワイヤソーであって、フランジ部は、ワークの対向面に対して平行に配置されている。
ここでは、加工液の漏れ出しを防止するためにダクト部材の先端部に設けられたフランジ部を、ワークの対向面に対して平行に設けている。
これにより、ダクト部材の先端とワークがダクト部材に対向する対向面との隙間から加工液がより漏れにくくなり、加工液の飛散をより効果的に抑制することができる。

第４の発明に係るワイヤソーは、第２または第３の発明に係るワイヤソーであって、フランジ部は、ダクト部材と同一の素材によって形成されている。
これにより、ダクト部材の先端部を折り曲げることによってフランジを形成可能であり、製造が容易となる。

第５の発明に係るワイヤソーは、第１から第４の発明のいずれか１つに係るワイヤソーであって、ダクト部材の先端部に、弾性体あるいはベローズ（蛇腹）からなるシール部材を設けている。
ここでは、加工液の漏れ出しをさらに抑制するために、ダクト部材の先端部に設けたシール部材を、ゴム等の弾性部材あるいはベローズ（蛇腹）によって形成している。

これにより、ワークの多少の形状変化等にも対応可能となり、ダクト部材の先端部とワークの対向面との間の隙間から加工液が漏れ出してしまうことをより効果的に抑制することができる。また、ワークに対してダクト部材を設置する際に、ワークの対向面とダクト部材の先端部との距離を厳密に合わせなくても、シール部材やベローズによって設置後に調整することができる。

第６の発明に係るワイヤソーは、第５の発明に係るワイヤソーであって、シール部材はワークに接触している。
接触により、ダクト部材の先端部とワークの対向面との間の隙間から加工液が漏れ出してしまうことをさらに効果的に抑制することができる。

第７の発明に係るワイヤソーは、第１から第６の発明のいずれか１つに係るワイヤソーであって、ダクト部材の先端部とワークの対向面との間の隙間の大きさは可変である。
これにより、隙間を調整することにより、切断開始点近傍に生じる圧力を変えることができるので、より切断に適した量の加工液を、切断溝に供給することができる。

第８の発明に係るワイヤソーは、第１から第７の発明のいずれか１つに係るワイヤソーであって、ダクト部材の先端部とワークの対向面との間の隙間は、９ｍｍ以下である。
ここでは、ワークとダクト部材との近接部分におけるダクト部材の先端とワーク対向面との距離が９ｍｍ以下になるように、ダクト部材を配置している。

これにより、ダクト部材の先端とワークの対向面との間の隙間から加工液が漏れ出してしまうことを効果的に抑制して、ワークの内部まで十分に加工液を供給することでワイヤソーの切断効率を向上させることができる。この結果、例えば、ワイヤの消費量を１０％程度低減することができる。

第９の発明に係るワイヤソーは、第１から第７の発明のいずれか１つに係るワイヤソーであって、ダクト部材の先端部とワークの対向面との間の隙間は、７ｍｍ以下である。
ここでは、ワークとダクト部材との近接部分におけるダクト部材の先端とワーク対向面との距離が７ｍｍ以下になるように、ダクト部材を配置している。

これにより、ダクト部材の先端とワークの対向面との間の隙間から加工液が漏れ出してしまうことを効果的に抑制して、ワークの内部まで十分に加工液を供給することでワイヤソーの切断効率をより向上させることができる。

第１０の発明に係るワイヤソーは、第１から第９の発明のいずれか１つに係るワイヤソーであって、加工液供給部は、ワイヤの走行方向におけるワークの上流側のみ、あるいは上流側および下流側に設けられている。

ここでは、上述した加工液供給部を上流側のみに設けることにより、例えば、常時、一定の方向にワイヤを走行させながらワークの切断を行うワイヤソーにおいて、ワイヤを一方向に走行させた場合、切断部分付近における加工液の圧力を上昇させて、効果的にワークの切断効率を向上させることができる。

また、ワークに対して走行するワイヤの走行方向における上流側と下流側とにそれぞれダクト部材を設けることにより、例えば、ワイヤの走行方向を切り換えてワイヤを往復移動させながらワークの切断を行うワイヤソーにおいても、ワイヤを両方向どちら側に走行させた場合でも、切断開始点付近における加工液の圧力を上昇させて、効果的にワークの切断効率を向上させることができる。

第１１の発明に係るワイヤソー用ダクト装置は、走行するワイヤに加工液を供給しながら、ワークをワイヤに押し付けて切断するワイヤソーに装着されるダクト装置であって、加工液を供給する加工液圧送装置に接続される接続部と、ワークに近接配置される開口部と、ワイヤが通過する内部空間と、を備え、ワイヤの走行方向における上流側からワークが切断される部分に向けて加工液を圧送する。

ここでは、走行中のワイヤに加工液を供給して付着させた状態でワイヤとワークとを接触させてワークを切断するワイヤソーに装着されるダクト装置において、接続された加工液圧送装置によって加工液をワイヤとワークの対向面との接触する切断開始点に供給することで、切断開始点近傍に圧力をかける構造を採用している。さらに、従来は、走行するワイヤに付着した加工液がワークの対向面と衝突した際に周辺に飛び散っていたが、本発明によれば、ダクト部材内部を圧送されて供給される加工液によって飛散を抑えられ、ダクト部材の内部空間内へ閉じ込められる。

これにより、切断開始点近傍に局所的に加工液の圧力の高い局所圧上昇部分が形成される。
この結果、上記の切断開始点の周囲にかけられた圧力と、切断開始点近傍に生じた局所圧によって、切断開始点近傍の加工液は、ワイヤによって形成されるワークの切断溝内に押し込まれ、従来よりも多くの加工液を効果的に供給することができ、切断性能を向上させることができる。

本発明に係るワイヤソーによれば、加工液の周囲への飛散を防止するとともに、加工液を切断溝に十分に供給して切断性能を向上させることができる。

本発明の一実施形態に係るワイヤソーの構成を示す全体斜視図。 図１のワイヤソーの全体斜視図。 図１のワイヤソーに搭載されたワイヤ供給機構の構成を示す模式図。 図１のワイヤソーに搭載された切断機構周辺の構成を示す模式図。 図１のワイヤソーに搭載された加工液供給装置の構成を示す断面図。 （ａ）は、従来のワイヤソーのワイヤ断面における切断溝付近の加工液分布を示す模式図。（ｂ）は、図１のワイヤソーのワイヤ断面における切断溝付近の加工液分布を示す模式図。 本発明の一実施例に係るワイヤソーに搭載されたダクト部材の構成を示す模式図。図。 図７の実施例に係る実験条件を示す説明図。 図７の実施例に係る実験結果を示すグラフ。 図７の実施例に係る実験結果を示すグラフ。 本発明の他の実施例に係るワイヤソーに搭載されたダクト部材を、複数種類用意して実施した実験について説明する図。 （ａ）〜（ｃ）は、図１１に対応するダクト部材の構成を示す模式図。 図１１に対応する実験条件を示す図。 図１１の実施例に係る実験結果を示すグラフ。 図１１の実施例に係る実験結果を示すグラフ。 ダクト先端部とワークの対向面との距離とワイヤ消費量低減割合との関係を示すグラフ。 （ａ）〜（ｄ）は、本発明に係るワイヤソーに搭載されたダクト部材において、加工液の流量を変化させた際の第２加工液供給空間内の圧力の変化を示すシミュレーション結果を示す図。 （ａ）〜（ｃ）は、本発明に係るワイヤソーに搭載されたダクト部材において、ワイヤの走行速度を変化させた際の、第２加工液供給空間内における加工液の圧力を示すシミュレーション結果を示す図。 図１８のシミュレーション結果を示すグラフ。 （ａ）〜（ｃ）は、本発明に係るワイヤソーに搭載されたダクト部材において、ダクト部材の先端とワーク対向面との距離を変化させた際の第２加工液供給空間内の圧力の変化を示すシミュレーション結果を示す図。 ダクト部材の先端とワーク対向面との距離を変化させた際の第２加工液供給空間内の圧力の変化を示すグラフ。 （ａ），（ｂ）は、本発明の他の実施形態に係るダクト部材の構成を示す模式図。 （ａ）〜（ｄ）は、本発明のさらに他の実施形態に係るダクト部材の構成を示す模式図。

本発明の一実施形態に係るワイヤソー２０について、図１〜図６（ｂ）を用いて説明すれば以下の通りである。
［ワイヤソー２０の構成］
本実施形態に係るワイヤソー２０は、複数のワイヤを平行に走行させて走行中のワイヤに対してワークＷを押し当てることで、ワークＷを同時に複数枚のウエハに切断する装置であって、図１および図２に示すように、制御盤１０と、加工液タンク１１と、熱交換器１２と、操作盤１３と、基台２１と、基台２１上に設けられた加工室２２と、加工室２２内に対して取り付けられた切断機構２３と、を備えている。また、本実施形態では、ワイヤソー２０は、シリコン等の硬脆性の材料からなるワークＷの切断を行う。

制御盤１０は、ワイヤソー２０に搭載された切断機構２３等を制御する。
加工液タンク１１は、切断機構２３において用いられている切断用のワイヤ２６（図３等参照）に付着させる加工液Ｓが貯留されている。加工液タンク１１に貯留された加工液Ｓは、メインポンプ５０によって接続配管５１を介して、ワイヤソー２０の装置内の切断機構２３に設けられた加工液供給装置（加工液圧送装置）２９（図４参照）からワイヤ２６によるワークＷの切断開始点４７（図５参照）付近に供給される。

熱交換器１２は、接続配管５１中に設けられ、ワイヤ２６によってワークＷを切断時に発生する熱によって温度が上昇した加工液Ｓを、加工液タンク１１から再び加工液供給装置２９に送る途中に冷却するために、空気または水との間で熱交換を行う。

操作盤１３は、ワイヤソー２０内における切断機構２３等の制御内容が設定入力される。
切断機構２３は、ワイヤ２６を用いてワークＷをワイヤ２６のピッチ間隔に基づく所定の厚さに切断する。なお、切断機構２３の詳細な構成については、後段にて詳述する。

（切断機構２３）
切断機構２３は、所定の間隔を空けて互いに平行に配置された一対の加工用ローラ２４ａ，２４ｂと、ワイヤ供給機構２５（図２等参照）と、加工液供給装置２９と、を有している。

加工用ローラ２４ａ，２４ｂの外周には、複数の環状溝１９が一定の間隔を空けて形成されている。そして、この環状溝１９には、ワークＷを切断するためのワイヤ２６が、加工用ローラ２４ａ，２４ｂ間に連続的に巻回されている。これにより、加工用ローラ２４ａ，２４ｂ間には、平行に並んだ複数のワイヤ２６からなるワイヤ列が形成される（図３においては、中間部を一部省略）。そして、ワイヤ供給機構２５の図示しないリールモータおよび切断機構２３の図示しない走行用モータによってワイヤ２６が搬送されることで、ワイヤ２６が加工用ローラ２４ａ，２４ｂ間において走行する。

このとき、ワイヤ２６は、一定量前進して一定量後退するという動作を繰り返して全体として少しずつ前送りされながら、ワークＷの切断を行う。なお、ワイヤ２６を一方向に連続して送りながら、ワークWの切断を行ってもよい。

なお、加工用ローラ２４ａ，２４ｂは、少なくとも一対設けられていればよい。また、所定の間隔を空けて互いに平行に配置される構成であれば、３本以上の加工用ローラを設けてもよい。

切断機構２３における上部には、加工液供給装置２９が配置されている。また、切断機構２３の上方の加工室２２には、ワークＷを支持するためのワーク支持装置２８が昇降可能に取り付けられている。

加工液供給装置２９は、加工用ローラ２４ａ，２４ｂ間を走行するワイヤ２６に対して、オイルに遊離砥粒を混合させた加工液Ｓを供給する。なお、加工液供給装置２９の詳細な構成については後段にて詳述する。

ワイヤ供給機構２５は、例えば、リールボビン２７ａに巻回されたワイヤ２６を、ワークＷの切断を行う加工用ローラ２４ａ，２４ｂへ繰り出すとともに、リールボビン２７ｂにおいて回収させる装置であって、図３に示すように、トラバーサ２５ａ、テンション付与機構２５ｂ、複数のガイドローラ２５ｃを有している。

トラバーサ２５ａは、リールボビン２７ａ，２７ｂの近傍に配置されており、リールボビン２７ａ，２７ｂの軸方向に移動してワイヤ２６を常に所定角度で引き出す。
テンション付与機構２５ｂは、リールボビン２７ａ，２７ｂと加工用ローラ２４ａ，２４ｂ間において搬送されるワイヤ２６に一定の張力が付与されるように調整する。

複数のガイドローラ２５ｃは、ワイヤ２６を所望の方向へ誘導する補助的なローラであって、ワイヤソー２０の装置内におけるリールボビン２７ａ，２７ｂと加工用ローラ２４ａ，２４ｂとの間の搬送経路上に複数配置されている。

ワイヤ２６は、基台２１上に設けられた一対のリールボビン２７ａ，２７ｂのうち、例えば、一方のリールボビン２７ａにその一端が接続されて巻回されている。そして、ワイヤ２６は、ワイヤ２６にテンションを付与するテンション付与機構２５ｂ、複数のガイドローラ２５ｃを介して加工用ローラ２４ａ，２４ｂの表面に形成された環状溝に巻回される。そして、ワイヤ２６の他端は、加工用ローラ２４ａ，２４ｂからテンションを付与するテンション付与機構２５ｂを介して、他方のリールボビン２７ｂに接続されて巻回される。この状態で、走行用モータおよび走行用モータに追従制御されるリールモータが駆動することで、加工用ローラ２４ａ，２４ｂ間においてワイヤ２６を走行させることができる。

ワークＷは、加工用ローラ２４ａ，２４ｂ間で走行するワイヤ列に押し当てられることで、ワイヤ２６のピッチ間隔に応じた厚さに切断され、複数枚のウエハが同時に形成される。具体的には、加工液供給装置２９から走行中のワイヤ２６上に加工液Ｓが供給された状態で、ワーク支持装置２８によって切断機構２３に向かってワークＷが下降していく。これにより、ワークＷは、加工用ローラ２４ａ，２４ｂ間において走行中のワイヤ２６に押し付けられて切断される。

（ワークＷの保持機構）
次に、ワイヤソー２０に含まれるワークＷの保持機構について詳細に説明する。
本実施形態では、図４に示すように、ガラスプレート３１および金属プレート３２がワークＷの上面に接着固定されている。

金属プレート３２の上面には、金属製の被保持体３３が図示しない複数のボルトによって着脱可能に取り付けられている。
被保持体３３の上面には、複数の被保持片３４が突設されている。各被保持片３４の頂壁上面には、被規制面３４ａが形成されている。

ワーク支持部材３５は、ワークＷを支持するための保持手段であって、図示しないフィード用モータやリニアガイド等からなる移動機構によって加工用ローラ２４ａ，２４ｂ間に張られたワイヤ２６に対して昇降可能な状態で加工室２２内に配置されている。ワーク支持部材３５の下面には、被保持体３３上の係合部に係合可能な正面形ほぼ逆Ｔ字状をなす保持手段としての複数の保持部材３６が支持されている。また、ワーク支持部材３５の上面には、複数のシリンダ３７が配置されている。そして、シリンダ３７が保持部材３６を引き上げることにより、保持部材３６と係合状態の被保持体３３が係合部を介して引き上げられ、被保持体３３上の被規制面３４ａがワーク支持部材３５の下面の規制面３５ａに対して圧接される。その結果、ワークＷは、ワーク支持部材３５の規制面３５ａに吊り下げ状態で保持される。

（加工液供給装置２９）
本実施形態の加工液供給装置２９は、ワークＷの切断溝内に効果的に加工液Ｓを入り込ませて効率よく切断を行うために、以下のような構成を採用している。

すなわち、加工液供給装置２９は、図４に示すように、切断時に互いに平行に配置された加工用ローラ２４ａ，２４ｂの間の空間に降下してくるワークＷを、ワイヤ２６の走行方向において挟み込むようにワークＷの両側に設けられた、例えば、金属製のダクト部材（ワイヤソー用ダクト装置）４０，４０を有している。

なお、図４におけるワークＷの下方の縦方向の矢印は、ワークＷの移動方向を示している。また、加工液供給装置２９は、メインポンプ５０と、メインポンプ５０とダクト部材４０，４０とを接続する接続配管５１とを有している。

ダクト部材４０は、加工用ローラ２４ａ，２４ｂの外周面における上部同士の間を走行するワイヤ２６に沿って、ワイヤ列の幅全体にわたって設けられており、ワークＷの切断を行う部分に向かって走行するワイヤ２６に対して加工液Ｓを供給する。図５における横方向の一点鎖線の矢印Ａ１は、ワイヤ２６の走行の向きを示している。

なお、以下では、説明の便宜上、図４においてワークＷの右側に配置されたダクト部材４０の構成について説明するが、ワークＷの左側に配置されたダクト部材４０の構成も同様である。

ダクト部材４０は、図５に示すように、加工液貯留部４１（接続部）、第１ダクト４２、下部部材４３、および先端部材４４を有している。
加工液貯留部４１は、メインポンプ５０に接続配管５１によって接続されており、メインポンプ５０によって圧送されてきた加工液Ｓを一旦貯留し、下孔４１ａを介して、接続された第１ダクト４２へ圧送する。

第１ダクト４２は、加工液貯留部４１から送られてきた加工液Ｓをワイヤ２６に対して略平行な方向に沿って、切断開始点４７まで送るための第１加工液供給空間Ｓ１を内部に有している。なお、図５における二点鎖線の矢印Ａ２は、加工液Ｓが圧送される向きを示している。

第１ダクト４２には、ワークW側の先端に、弾性体、または他の材料からなるスペーサ４５を介して、後述する板状の先端部材４４が取り付けられている。このため、スペーサ４５を交換することで、先端部材４４とワークＷの対向面Ｗ１との間の隙間の大きさを変更することができる。また、下部部材４３は、第１ダクト４２の下方に設けられており、ワイヤ２６の走行方向に移動することができ、下部部材４３とワークＷの対向面Ｗ１との間の隙間の大きさを変更することができる。

第２ダクト４６は、下部部材４３の上面４３ａと、第１ダクト４２の下面４２ａおよび先端部材４４の下面４４ｂとにより、構成されている。
先端部材４４の下面４４ｂと、下部部材４３の上面４３ａと、ワークＷの対向面Ｗ１とによって囲まれた空間を、第２加工液供給空間Ｓ２（内部空間）という。加工液供給空間Ｓ２は、切断開始点４７の周囲にある。また、第１ダクト４２の下面４２ａと下部部材４３の上面４３ａによって挟まれた空間を、第３加工液供給空間Ｓ３（内部空間）と言う。第２加工液供給空間Ｓ２および第３加工液供給空間Ｓ３の内部を、ワイヤ２６が走行する。先端部材４４の下面４４ｂは、第２加工液供給空間Ｓ２の上面を形成する上板として機能する。そして、下部部材４３の上面４３ａは、第２加工液供給空間Ｓ２を形成する下板として機能する。さらに、第１ダクト４２の下面４２ａは、第３加工液供給空間Ｓ３の上面を形成する上板として機能し、下部部材４３の上面４３ａは、第３加工液供給空間Ｓ３を形成する下板として機能する。さらに、先端部材４４と下部部材４３とによって、開口部がワークＷに向けて形成されている。

先端部材４４は、ダクト部材４０と同様の材料、例えば、金属によって形成されている。先端部材４４の先端は、屈曲して鍔状のフランジ部４４ａとなっている。フランジ部４４ａは、加工用ローラ２４ａ，２４ｂの間の空間において移動するワークＷの対向面Ｗ１に対して略平行に設けられている。なお、フランジ部４４ａは、別部材として先端部材４４に取り付けられていてもよい。

これにより、ダクト部材４０の先端とワークＷの対向面Ｗ１との間の隙間から加工液Ｓが漏れ出してしまう量を抑制して、第２加工液供給空間Ｓ２内における加工液の圧力をより効果的に高めることができる。

第２加工液供給空間Ｓ２は、ダクト部材４０内において、ワイヤ２６の走行方向におけるワークＷの直上流側に配置されており、ワークＷと接触してワークＷを切断していくワイヤ２６に対して加工液Ｓを供給する。また、第２加工液供給空間Ｓ２は、上述したように、第１ダクト４２の下面４２ａと下部部材４３の上面４３ａと、ワークＷの対向面Ｗ１とによって囲まれて形成されている。さらに、第２加工液供給空間Ｓ２は、ワイヤ２６との接触によって形成されたワークＷの切断溝内に効果的に加工液Ｓを入り込ませるために、圧力が付与されている。

第２加工液供給空間Ｓ２内に生じる圧力は、上述した加工液供給装置２９に含まれるメインポンプ５０によって圧送された加工液Ｓが、第１ダクト４２および下部部材４３によって形成される第１・第２加工液供給空間Ｓ１，Ｓ２内に閉じ込められたまま切断開始点４７に近接した直上流側まで送られることによって生じる。

さらに、第２加工液供給空間Ｓ２内では、表面に加工液Ｓが付着したワイヤ２６が高速走行しており、ワイヤ２６の表面に付着した加工液ＳがワークＷの対向面Ｗ１と衝突する。このとき、上述したように第２加工液供給空間Ｓ２内には圧力が生じており、従来はワークＷの対向面Ｗ１と衝突して周辺に飛散していた加工液Ｓが第２加工液供給空間Ｓ２に閉じ込められ、周辺に飛散せずに保持される。

これにより、切断開始点４７を中心に局所的に圧力の高い局所圧上昇部分が生じる。この局所圧上昇部分は、ワークＷの切断溝付近に形成されるため、加工液Ｓは切断溝の奥まで入り込むことができる。この結果、本実施形態のワイヤソー２０では、従来よりもワークＷの切断溝の奥まで加工液Ｓを供給して、ワイヤ２６による切断効率を向上させることができる。

さらに、従来のワイヤソーにおいては、ワークを切断する直前のワイヤ周辺の圧力を十分に高くすることができないため、図６（ａ）に示すように、ワークの切断溝内における加工液Ｓはワイヤ２６の周辺にだけ存在するだけで、量としては少なくなってしまう。このため、従来のワイヤソーでは、ワークＷを切断する際に、ワークＷの切断溝においてワイヤ２６の走行方向における最下流側にまで十分な量の加工液Ｓを供給することができずに、十分な切断性能を確保することができないおそれがある。

これに対し、本実施形態のワイヤソー２０では、上述した第２加工液供給空間Ｓ２を形成するダクト部材４０を設けたことにより、ワークの切断溝内における加工液Ｓはワイヤ２６の周辺だけでなく、切断溝内に広く存在する。

この結果、本実施形態のワイヤソー２０では、ワークＷを切断する際に、ワークＷの切断溝においてワイヤ２６の走行方向における最下流側にまで十分な量の加工液Ｓを供給することができる。よって、従来のワイヤソーと比較して、大幅にワークＷの切断性能を向上させて、例えば、切断効率の向上、加工液供給量の低減等の効果を得ることができる。

以下、各実施例において、ダクト部材４０を持たない従来のワイヤソー（以下、従来の構成という）と本実施形態のワイヤソー２０（以下、本実施形態の構成という）とを用いて切断実験を行い、本実施形態の構成を採用したことによる各種効果の検証を行う。

＜実施例１＞
本実施例では、図７に示すようなダクト部材４０を用いてワークＷの切断を実施する際に、ワークＷのワイヤ２６に対するフィード速度（以下、ワークＷのフィード速度と言う。）、ワイヤ２６の走行速度、加工液Ｓの供給量を変化させた各条件における切断性能を確認する実験を行った。

なお、図７のダクト部材４０においては、図５に示したダクト部材４０と先端部材４４との構造が異なっており、開口部が広い形状となっている。
なお、本実施例では、図７に示すように、第１ダクト４２の先端部材４４とワークＷの対向面Ｗ１との距離を７ｍｍ、下部部材４３とワークＷの対向面Ｗ１との間の距離を５ｍｍ、第２加工液供給空間Ｓ２の上板と下板との間の距離を１１ｍｍに設定されたダクト部材４０を使用した。

具体的な実験条件としては、図８に示すように、まず、あるワークＷのフィード速度を基準速度Ｖ１、ある加工液Ｓの流量を基準流量Ｑ１とし、これを条件１とした。そして、条件２は、条件１に対してワークＷのフィード速度を１５％ＵＰさせた。条件３は、条件１に対してワークＷのフィード速度を１５％ＵＰさせ加工液Ｓの流量を半減させた。条件４は、条件１に対してワイヤ２６の送り速度を１５％ｄｏｗｎさせた。

（ワイヤ断面積減少率）
まず、切断の前後で、ワイヤ２６の断面積がどの程度減少したかを、従来の構成と本実施形態の構成とで比較した。

その結果、図９に示すように、条件１においては、従来のワイヤソーでは減少率が１７％であった。以下、これを基準減少率とする。これに対して、本実施形態の構成では、ワイヤ断面積が１５％しか減少せず、ワイヤ断面積の減少率（摩耗量）を２％減らすことができた。つまり、上記実施形態に係るダクト部材４０を用いることにより、ワイヤ２６の寿命を延長することができることが分かった。

条件２においては、条件１に対してワークＷのフィード速度を１５％ＵＰさせているが、従来の構成ではワイヤ断面積減少率が１９％と、基準減少率（１７％）から２％増加してしまった。これに対して、本実施例では、ワークＷのフィード速度を１５％ＵＰさせた場合でも、ワイヤ断面積減少率が１７％と、基準減少率と同等であった。換言すれば、上記実施形態に係る構成では、従来と同じワイヤの送り速度、加工液Ｓの供給量、ワイヤ２６の断面積減少率（１７％）を維持しつつ、ワークＷのフィード速度を１５％向上させることができる。これは、ワークＷの切断効率を１５％向上させられることに相当する。

条件３においては、条件２に対してワークＷのフィード速度は同等（条件１から１５％ＵＰ）のまま加工液Ｓの供給量を半減させている。従来の構成ではワイヤ断面積減少率が多少減少し、上記実施形態に係る構成では、ワイヤ２６の断面積減少率がやや増加した。

条件４においては、条件１に対してワークＷのフィード速度を１５％ｄｏｗｎさせているが、従来の構成では、ワイヤ断面積減少率が約１９．５％と、基準減少率（１７％）から２．５％増加してしまうのに対して、上記実施形態に係る構成では、ワイヤ２６の断面積減少率は約１７．５％と、基準減少率（１７％）から０．５％増加しており、ワークＷのフィード速度１５％向上程の効果は得られないものの、ワイヤ２６の使用量の低減を図れることが分かった。

（走行用モータの出力）
次に、各条件１〜４において、切断加工中におけるワイヤ２６を走行させる走行用モータの出力（切断抵抗の大きさ）の変化について調べた結果について、図１０を用いて説明する。

各条件１〜４とも、図１０に示すように、本実施形態の構成における走行用モータ出力の切断時増加分は、従来の構成と比較して、２０％以上低減された。すなわち、本発明によれば、切断抵抗の大きさが小さくなることが分かった。

この要因としては、本実施例の場合、ワークＷの切断溝内に十分な量の加工液Ｓが供給された状態で切断することができているため、加工液切れ等に起因する切断抵抗の増加がなく、切断抵抗の小さい状態で切断を行うことができているためと考えられる。

以上のことから、本実施例によれば、従来と比較して、ワイヤ断面積減少率の低減、切断抵抗の低減等の効果を得ることができ、従来よりも切断性能を向上させることができることが分かった。

＜実施例２＞
本実施例では、図１１および図１２（ａ）〜図１２（ｃ）に示すような３種類のダクト部材４０を用いてワークＷの切断を実施する際に、ワークＷのフィード速度、加工液Ｓの供給量を変化させた各条件における切断性能を確認する実験を行った。

（ダクト）
具体的には、図１１に示すように、ダクト１としては、第１ダクト４２の先端部材４４とワークＷの対向面Ｗ１との距離を７ｍｍ、下部部材４３とワークＷの対向面Ｗ１との間の距離を５ｍｍ、第３加工液供給空間Ｓ３の上板と下板との間の距離を１１ｍｍ、ワークＷの対向面Ｗ１に面する第２加工液供給空間Ｓ２の先端開口の高さ距離を２３ｍｍ、にそれぞれ設定されたダクト部材４０を使用した。

また、ダクト２としては、第１ダクト４２の先端部材４４とワークＷの対向面Ｗ１との距離を２ｍｍ、下部部材４３とワークＷの対向面Ｗ１との間の距離を２ｍｍ、第２加工液供給空間Ｓ２の上板と下板との間の距離を１１ｍｍ、ワークＷの対向面Ｗ１に面する第２加工液供給空間Ｓ２の先端開口部の高さ距離を１１ｍｍ、にそれぞれ設定されたダクト部材４０を使用した。

ダクト３としては、第１ダクト４２の先端部材４４とワークＷの対向面Ｗ１との距離を３ｍｍ、下部部材４３とワークＷの対向面Ｗ１との間の距離を２ｍｍ、第３加工液供給空間Ｓ３の上板と下板との間の距離を１１ｍｍ、ワークＷの対向面Ｗ１に面する第２加工液供給空間Ｓ２の先端開口部の高さ距離を２３ｍｍ、にそれぞれ設定されたダクト部材４０を使用した。

（実験条件）
各ダクト１〜３に対する実験条件としては、図１３に示すように、あるワークＷのフィード速度を基準速度Ｖ２、ある加工液Ｓの流量を基準流量Ｑ２とし、これを条件１１とした。そして、条件１２は、条件１１に対してワークＷのフィード速度を１５％ＵＰさせて加工液Ｓの流量を半減させた。

（ワイヤ断面積減少率とダクト）
図１４は、条件１１および条件１２において、従来の構成及び各ダクト１〜３を用いた構成で切断実験を行なった際のワイヤ断面積減少率の比較である。条件１１においては、従来の構成では減少率が１７％であった。以下、これを基準減少率とする。

条件１１においては、従来の構成に比べてダクト１，２を用いた構成の方が、ワイヤ断面積減少率が小さく、ワイヤの摩耗量が抑えられた。ダクト１を用いた構成のワイヤ断面積減少率は、基準減少率（１７％）と比較して約１．７％減少し、ダクト２を用いた構成のワイヤ断面積減少率は、基準減少率（１７％）と比較して約１．３％減少した。

また、加工液Ｓの供給量を半減させてワークＷのフィード速度を１５％ＵＰさせた条件１２においては、従来の構成ではワイヤ断面積減少率が約１８．８％であったのに対し、ダクト１を用いた構成では約１７．３％、ダクト２を用いた構成では約１８．４％と、ワイヤ断面積減少率が小さく、ワイヤの摩耗量が抑えられた。ダクト３では、従来とほぼ同等の結果であった。

（走行用モータ出力増加分）
次に、各ダクト１〜３について、条件１１および条件１２において、切断加工中におけるワイヤ２６を走行させる走行用モータの出力（切断抵抗の大きさ）の変化について調べた結果について、図１５を用いて説明する。

ここでは、ワークＷをワイヤ２６に押し当てない状態の運転を空運転と定義し、この空運転時に対して、従来のワイヤソー装置および各ダクト１〜３を使用したワイヤソー装置においてワークＷをワイヤ２６に押し当てて切断を行なった場合の、走行用モータの出力の増加分を調べた。

図１５に示すように、条件１１では、従来のワイヤソー装置における、空運転時に対する走行用モータの出力の増加分が、約５．２kwなのに対し、ダクト１，２では、それぞれ約３．９ｋｗ、約５ｋｗとなっており、従来と比較して、走行用モータ出力の増加分（空運転時との差）を低減できることが分かった。

また、条件１２（ワークＷのフィード速度１５％ＵＰ＋加工液Ｓの供給量半減）においては、従来のワイヤソー装置における、空運転時に対する走行用モータの出力の増加分が、約５．３ｋｗとなっているのに対し、ダクト１〜３では、それぞれ約４ｋｗ、約４．７ｋｗ、約４．７ｋｗとなっており、各ダクト１〜３ともに、従来と比較して、走行用モータ出力の増加分（空運転時との差）を低減できることが分かった。

さらに、ダクト１〜３の中では、ダクト１の結果が最も走行用モータ出力の増加分（空運転時との差）を低減できることが分かった。
以上の結果から、本実施例のダクト１〜３を用いた場合には、従来よりも切断時の抵抗を低減することができ、中でもダクト１を用いた場合には最も切断時の抵抗を低減することができることが分かった。

＜ダクト先端部とワーク対向面との距離＞
ここでは、上述した本実施形態に係るダクト部材４０を搭載したワイヤソー２０において、ダクト部材４０の先端部分（フランジ部４４ａ）とワークＷの対向面Ｗ１との距離に対するワイヤ消費量の低減割合について実験した結果について、図１６を用いて説明する。

この結果、図１６に示すように、ダクト先端とワーク対向面Ｗ１との距離が小さいほど、ワイヤ消費量の低減割合は大きくなることが分かった。
例えば、ダクト先端とワーク対向面Ｗ１との距離を９ｍｍ以下に設定した場合には、ワイヤ消費低減量の割合を１０％以上に増加させることができるため好ましい。

特に、ダクト先端とワーク対向面Ｗ１との距離を７ｍｍ以下に設定した場合には、ワイヤ消費低減量の割合を約１３％以上に増加させることができるためより好ましい。
＜第２加工液供給空間Ｓ２内における加工液圧力のシミュレーション＞
ここでは、上述したダクト部材４０を搭載したワイヤソー２０における第２加工液供給空間Ｓ２内における加工液Ｓの圧力をシミュレーションによって調べた結果について、図１７（ａ）〜図２１を用いて説明する。

（加工液流量と加工液圧力）
まず、図１７（ａ）〜図１７（ｄ）は、加工液供給装置２９のメインポンプ５０による加工液Ｓの供給量を標準流量、２倍流量、４倍流量、８倍流量と変化させた際の第２加工液供給空間Ｓ２内における加工液Ｓの圧力を示している。なお、この場合の標準流量は、実験条件における基準流量とは無関係である。

これによれば、図２６（ａ）に示すように、加工液Ｓの流量が標準流量でも、ワイヤ２６付近に圧力の高い部分（局所圧上昇部）が生じていることが分かる。これは、ワイヤ２６に付着した加工液をワークＷの対向面Ｗ１に衝突した際に周囲に飛散しないように第２加工液供給空間Ｓ２内に閉じ込めているため、加工液Ｓの圧力が局所的に高い値となっていることを示している。

また、図１７（ｂ）〜図１７（ｄ）に示すように、加工液Ｓの流量が２倍流量、４倍流量、８倍流量になると、ワイヤ２６付近に生じる圧力の高い部分の範囲が大きくなっていることが分かる。

以上の結果から、加工液供給装置２９のメインポンプ５０による加工液Ｓの流量を上昇させると、ワイヤ２６による切断開始点４７付近における加工液Ｓの圧力を局所的に高めることができる。この結果、ワイヤ２６による切断溝内に、従来よりも大量の加工液Ｓを効果的に押し込むことができるため、加工液Ｓ切れによる切断不良やワイヤ２６の摩耗量増加を防止して、切断性能を向上させることができる。

（ワイヤ速度と加工液圧力）
次に、図１８（ａ）〜図１８（ｃ）は、ワイヤ２６の走行速度を、標準速度、５倍速度、１０倍速度と変化させた際の、第２加工液供給空間Ｓ２内における加工液Ｓの圧力を示している。なお、この場合の標準速度は、実験条件における基準速度とは、無関係である。

図１９は、図１８（ａ）〜図１８（ｃ）の結果を数値化したグラフである。このグラフから分かるように、ワイヤ２６の走行速度が大きいほど、第２加工液供給空間Ｓ２内における加工液Ｓの圧力が高くなっている。

（ダクト先端とワーク対向面との距離と加工液圧力）
次に、図２０（ａ）〜図２０（ｃ）に、ダクト先端とワーク対向面Ｗ１との距離を０ｍｍ、１ｍｍ、２ｍｍと変化させた際の第２加工液供給空間Ｓ２内における加工液Ｓの圧力を示している。また、図２１に、ダクト先端とワーク対向面Ｗ１との距離と、切断開始点４７近傍の加工液圧力との関係を示している。

これによれば、図２０（ｃ）、図２０（ｂ）に示すように、ダクト先端とワークＷの対向面Ｗ１との距離が２ｍｍ、１ｍｍの場合には、切断開始点４７の周囲に、局所的な圧力（以下、局所圧と言う。）の高い局所圧上昇部が形成される。また、図２１に示すように、上記距離が２ｍｍの場合よりも、より距離が小さい１ｍｍの場合の方が、局所圧が大きくなっている。

一方、図２０（ａ）および図２１に示すように、ダクト先端とワークの対向面Ｗ１との距離がほぼ０の場合には、距離が１ｍｍの場合よりも局所圧が小さくなっている。これは、ワイヤ２６に付着した加工液ＳがワークＷの対向面Ｗ１に衝突した際に、第２加工液供給空間Ｓ２近傍において逆流して渦を巻き、静圧に変らないことを示している。

すなわち、ダクト先端とワークＷの対向面Ｗ１との距離が約１mmまでは、ダクト先端とワークＷの対向面Ｗ１との距離が小さいほど切断開始点４７における加工液Ｓの圧力は大きくなるものの、距離を０にしてしまうと局所圧が高くならないことが分かった。

［他の実施形態］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

（Ａ）
上記実施形態では、ダクト部材４０の先端部（先端部材４４のワークＷに最も近い部分）とワークＷの対向面Ｗ１との距離を含む各部の寸法について、一例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、図２２（ａ）に示すように、ダクト部材４０の先端部（先端部材４４のワークＷに最も近い部分）とワークＷの対向面Ｗ１との距離δ、先端部材４４においてワイヤ２６と平行となる部分の長さＬ１、下部部材４０の長さＬ２、第１ダクト４２が第２ダクト４６に合流して加工液が流れ込む部分の長さＬ３、第２加工液供給空間Ｓ２の上板と下板との距離ｄ１、第２加工液供給空間Ｓ２の上板とワイヤ２６との距離ｄ２等の寸法については、例えば、ワイヤの送り速度、加工液の材質や粘度、ワークの種類等に応じて適宜最適な寸法に変更すればよい。

また、図２２（ｂ）に示すように、ダクト部材１４０を、加工液貯留部１４１、第１ダクト１４２、および第２ダクト１４３を有する逆Ｔ字形状としてもよい。このとき、第１ダクト１４２と第２ダクト１４３とは、略垂直とは限らない。このようにしても、加工液Ｓをメインポンプ５０から圧送することによって第２加工液供給空間Ｓ２の圧力は上昇し、加えてワイヤ２６の引き込みによって局所圧上昇部が切断開始点４７の近傍に生じて、加工液は好適に切断溝に供給される。

なお、この場合には第１ダクト１４２には先端部材が設けられていないが、第２ダクト１４３の上辺の最もワークＷに近い位置１４３ａが、先端部となる。
さらに、第１ダクト１４２の先端を屈曲させてフランジ部を設けてもよく、第１ダクト１４２の先端に別部材のフランジ部を取り付けてもよい。

（Ｂ）
上記実施形態では、第２加工液供給空間Ｓ２内の圧力を保持するために、ダクト部材４０の先端部材４４の先端に、ワークＷの対向面Ｗ１に対して略平行にフランジ部４４ａを設けた例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、図２３（ａ）に示すように、上記フランジ部４４ａの代わりに、ワークＷの対向面Ｗ１に略垂直な方向に沿って配置されたゴム等の弾性部材からなるシール部材２４４ａをダクト部材１４０の先端に設けてもよい。なお、シール部材２４４ａは、ワークＷに接触してもよく、ワークＷに非接触としてもよい。

また、図２３（ｂ）に示すように、シール部材２４４ａは、ワークＷの対向面Ｗ１に対して略垂直な方向とは限らず、斜めになっていてもよい。
さらに、シール部材２４４ａは、図２３（ｃ）に示すように、フランジ部４４ａの先端に略垂直に設けられていてもよいし、フランジ部４４ａに被せてフランジ部４４ａを延長するようにしてもよい。さらには、フランジ部４４ａを、そのままシール部材２４４ａに置き換えてもよい。

あるいは、シール部材２４４ａの代わりに、弾性部材または金属材料等からなるベローズ等のように、ワークの形状変化に対応して形状が変わりやすい部材を用いてもよい。
このときシール部材２４４ａやベローズを用いるメリットは、ワークＷに対してダクト部材１４０を設置する際に、ワークＷの対向面Ｗ１とダクト部材４４の先端部との距離を厳密に合わせなくても、シール部材２４４ａやベローズによって設置後に調整が可能になるという点である。シール部材２４４ａやベローズは、図２２（ｂ）に示したようなダクト部材１４０の先端に取り付けてもよい。

また、図２３（ｄ）に示すように、フランジ部４４ａがワークＷの対向面Ｗ１に対して斜めに設けられていてもよい。さらには、フランジ部４４ａがなくてもよく、フランジ部４４ａを別部材として第１ダクト４２の先端に取り付けてもよい。

いずれの場合でも、ダクト部材１４０の先端とワークＷの対向面Ｗ１との間の隙間から加工液Ｓが漏れ出してしまう量を抑制して、第２加工液供給空間Ｓ２内における加工液の圧力をより高めることができる。

（Ｃ）
上記実施形態では、ワイヤ２６の走行方向を切り替えながらワークＷの切断を行うワイヤソー２０において、ワイヤ２６の走行方向において、加工液供給装置２９がワークＷを挟み込むように、ワークＷの両側に設けられている例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。

例えば、ワイヤを一方向に走行させた状態でワークの切断を行うワイヤソーの場合には、ワークの上流側にのみ加工液供給装置２９を設けてもよい。
言い換えれば、本発明は、ワイヤを一方向に走行させながらワークの切断を行うワイヤソー、ワイヤの走行方向を切り替えながらワークの切断を行うワイヤソーの双方に対して適用可能である。

（Ｄ）
上記実施形態では、ダクト部材の材質として金属を用いた例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、加工液Ｓが圧送される際の圧力に耐えるものであればよく、樹脂や高分子化合物等の非金属材料でもよい。

（Ｅ）
上記実施形態では、加工液圧送装置として、メインポンプ５０を用いた例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、メインポンプ５０とは別にサブポンプを設け、ワークＷの対向面Ｗ１とワイヤ２６との接触部に加工液を圧送するようにしてもよい。

（Ｆ）
また、上記実施形態では、遊離砥粒を油剤に混ぜた加工液を用いるタイプのワイヤソーの例を挙げて説明したが、これに限定されるものではない。

例えば、ダイヤモンド等の砥粒を予めワイヤに付着させ、加工液として遊離砥粒を混ぜない油剤を用いるタイプのワイヤソーに対しても用いることができる。

本発明のワイヤソーは、加工液の周囲への飛散を防止するとともに、加工液を切断溝に十分に供給して切断性能を向上させることができるという効果を奏することから、各種被切断材を切断するためのワイヤソーに対して広く適用可能である。

１０ 制御盤
１１ 加工液タンク
１２ 熱交換器
１３ 操作盤
２０ ワイヤソー
２１ 基台
２２ 加工室
２３ 切断機構
２４ａ，２４ｂ 加工用ローラ
２５ ワイヤ供給機構
２６ ワイヤ
２７ａ，２７ｂ リールボビン
２８ ワーク支持装置
２９ 加工液供給装置（加工液圧送装置）
３１ ガラスプレート
３２ 金属プレート
３３ 被保持体
３４ 被保持片
３４ａ 被規制面
３５ ワーク支持部材
３５ａ 規制面
３６ 保持部材
３７ シリンダ
４０ ダクト部材（ワイヤソー用ダクト装置）
４１ 加工液貯留部
４２ 第１ダクト
４２ａ 下面
４３ 下部部材
４３ａ 上面
４４ 先端部材
４４ａ フランジ部
４４ｂ 下面
５０ メインポンプ
５１ 接続配管
１４０ ダクト部材
１４１ 加工液貯留部
１４２ 第１ダクト
１４３ 第２ダクト
２４４ａ シール部材
Ｓ 加工液
Ｓ１ 第１加工液供給空間
Ｓ２ 第２加工液供給空間（内部空間）
Ｓ３ 第２加工液供給空間（内部空間）
Ｗ ワーク
Ｗ１ 対向面

Claims (11)

1. 走行するワイヤに加工液を供給しながら、ワークを前記ワイヤに押し付けて切断するワイヤソーであって、
   前記ワイヤの走行方向における上流側から走行中の前記ワイヤに対して前記加工液を供給する加工液供給部と、
   走行中の前記ワイヤに対して前記ワークを相対的に移動させる移動機構と、
   を備え、
   前記加工液供給部は、
   前記加工液を圧送する加工液圧送装置と、
   前記ワイヤがその内部を通過するとともに、その先端部が前記ワークに近接して配置され、接続された前記加工液圧送装置から圧送された前記加工液を前記ワイヤと前記ワークの対向面との接触部に供給するダクト部材と、
   を有しているワイヤソー。
2. 前記ダクト部材の先端部から突出したフランジ部を、さらに備えている、
   請求項１に記載のワイヤソー。
3. 前記フランジ部は、前記ワークの対向面に対して平行に配置されている、
   請求項２に記載のワイヤソー。
4. 前記フランジ部は、前記ダクト部材と同一素材によって形成されている、
   請求項２または３に記載のワイヤソー。
5. 前記ダクト部材の先端部には、弾性部材、あるいはベローズからなるシール部材が設けられている、
   請求項１から４のいずれか１つに記載のワイヤソー。
6. 前記シール部材は、前記ワークに接触している、
   請求項５に記載のワイヤソー。
7. 前記ダクト部材の先端部と前記ワークの対向面との間の隙間の大きさは、可変である、
   請求項１から６のいずれか１項に記載のワイヤソー。
8. 前記ダクト部材の先端部と前記ワークの対向面との間の隙間は、９ｍｍ以下である、
   請求項１から７のいずれか１項に記載のワイヤソー。
9. 前記ダクト部材の先端部と前記ワークの対向面との間の隙間は、７ｍｍ以下である、
   請求項１から７のいずれか１項に記載のワイヤソー。
10. 前記加工液供給部は、前記ワイヤの走行方向における前記ワークの上流側のみ、あるいは上流側および下流側に設けられている、
    請求項１から９のいずれか１項に記載のワイヤソー。
11. 走行するワイヤに加工液を供給しながら、ワークを前記ワイヤに押し付けて切断するワイヤソーに装着されるダクト装置であって、
    前記加工液を圧送する加工液供給部に接続される接続部と、
    前記ワークに近接配置される開口部と、
    前記ワイヤが通過する内部空間と、
    を備え、
    前記ワイヤの走行方向における上流側から前記ワークが切断される部分に向けて前記加工液を圧送する、
    ワイヤソー用ダクト装置。

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