JP2013178378A - 光電変換モジュールおよび光伝送ユニット - Google Patents

光電変換モジュールおよび光伝送ユニット Download PDF

Info

Publication number
JP2013178378A
JP2013178378A JP2012042058A JP2012042058A JP2013178378A JP 2013178378 A JP2013178378 A JP 2013178378A JP 2012042058 A JP2012042058 A JP 2012042058A JP 2012042058 A JP2012042058 A JP 2012042058A JP 2013178378 A JP2013178378 A JP 2013178378A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photoelectric conversion
hole
substrate
protrusion
conversion element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012042058A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013178378A5 (ja
JP5996215B2 (ja
Inventor
Hiroyuki Motohara
寛幸 本原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Priority to JP2012042058A priority Critical patent/JP5996215B2/ja
Priority to PCT/JP2013/052391 priority patent/WO2013129026A1/ja
Publication of JP2013178378A publication Critical patent/JP2013178378A/ja
Priority to US14/466,246 priority patent/US9625664B2/en
Publication of JP2013178378A5 publication Critical patent/JP2013178378A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5996215B2 publication Critical patent/JP5996215B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/4236Fixing or mounting methods of the aligned elements
    • G02B6/4245Mounting of the opto-electronic elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
    • G01J1/0219Electrical interface; User interface
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
    • G01J1/04Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
    • G01J1/0407Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
    • G01J1/0425Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings using optical fibers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4202Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/4236Fixing or mounting methods of the aligned elements
    • G02B6/4239Adhesive bonding; Encapsulation with polymer material
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4251Sealed packages
    • G02B6/4253Sealed packages by embedding housing components in an adhesive or a polymer material
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4256Details of housings
    • G02B6/4257Details of housings having a supporting carrier or a mounting substrate or a mounting plate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0225Out-coupling of light
    • H01S5/02251Out-coupling of light using optical fibres
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0233Mounting configuration of laser chips
    • H01S5/0234Up-side down mountings, e.g. Flip-chip, epi-side down mountings or junction down mountings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1515Shape
    • H01L2924/15151Shape the die mounting substrate comprising an aperture, e.g. for underfilling, outgassing, window type wire connections
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/02218Material of the housings; Filling of the housings
    • H01S5/02234Resin-filled housings; the housings being made of resin
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0235Method for mounting laser chips
    • H01S5/02355Fixing laser chips on mounts
    • H01S5/0237Fixing laser chips on mounts by soldering
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/10Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
    • H01S5/18Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
    • H01S5/183Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

【課題】光電変換素子と該光電変換素子を実装する基板との接合強度を向上させることができるとともに、光電変換素子と光ファイバとの光結合率の低下を防止することができる光電変換モジュールおよび光伝送ユニットを提供する。
【解決手段】基板のスルーホールと連通する孔部が形成され、基板および光電変換素子の一方が有する主面のうち他方と対向する主面から突起する突起部と、基板と光電変換素子との間の領域であって突起部の内縁よりも外側の領域の一部に充填されて基板と光電変換素子とを接着する接着剤とを備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、光信号と電気信号との間の変換を行う光電変換素子を備えた光電変換モジュールおよび該光電変換モジュールを備えた光伝送ユニットに関する。
従来、受光部または発光部を有する光電変換素子と光ファイバとを備えた光伝送ユニットにおいては、光電変換素子と光ファイバとの間の光結合率を向上させるために様々な工夫が施されている。例えば、下記特許文献1では、光電変換素子を実装する基板に形成されたスルーホールに光ファイバを挿通して接着剤で固定するとともに、発光素子(LD素子)の発光部を光ファイバの端面と対向するように位置合わせして実装する技術が開示されている。この技術では、光電変換素子と基板の接合強度を向上させるために、樹脂等からなる接着剤を基板と光電変換素子との間に充填することもある。
特開2009−47937号公報
しかしながら、上述した従来技術では、光電変換素子と基板の接合部を接着剤によって補強する場合、スルーホールの周辺に樹脂が入り込んで光ファイバが位置ずれを生じ、光電変換素子と光ファイバとの光結合率が低下してしまうおそれがあった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、光電変換素子と該光電変換素子を実装する基板との接合強度を向上させることができるとともに、光電変換素子と光ファイバとの光結合率の低下を防止することができる光電変換モジュールおよび光伝送ユニットを提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る光電変換モジュールは、配線層を有するとともにスルーホールが形成された基板と、発光部または受光部を有し、該発光部または受光部が前記スルーホールと対向するように前記基板に実装された光電変換素子とを備えた光電変換モジュールにおいて、前記スルーホールと連通する孔部が形成され、前記基板および前記光電変換素子の一方が有する主面のうち他方と対向する主面から突起した突起部と、前記基板と前記光電変換素子との間の領域であって前記孔部の内周面よりも外側の領域の一部に充填されて前記基板と前記光電変換素子とを接着する接着剤と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換モジュールは、上記発明において、前記突起部は前記基板の主面に設けられ、該突起部の一部は、前記基板の主面に投影した前記光電変換素子の実装領域の外部に位置することを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換モジュールは、上記発明において、前記突起部は、前記実装領域の内部で、少なくとも一部の外縁が、前記基板上における所定の方向に沿って徐々に幅広となる形状をなすことを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換モジュールは、上記発明において、前記突起部は、前記実装領域の一部を露出させる中空部が形成されていることを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換モジュールは、上記発明において、前記突起部は、前記基板の主面上で、前記孔部および前記中空部によってそれぞれ露出する部分を除く領域を被覆することを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換モジュールは、上記発明において、前記突起部は、前記基板および前記光電変換素子の他方の主面に当接することを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換モジュールは、上記発明において、前記突起部は、前記配線層の上に形成されたことを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換モジュールは、上記発明において、前記孔部の径は、前記スルーホールの径と等しいことを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換モジュールは、上記発明において、前記孔部および前記スルーホールは、内周面同士が滑らかにつながっており、前記孔部側から前記スルーホール側へ向けて徐々に径が大きくなるテーパ状の断面を有することを特徴とする。
また、本発明に係る光電変換モジュールは、上記発明において、前記突起部は、レジストによって形成されたことを特徴とする。
また、本発明に係る光伝送ユニットは、上記発明に記載の光電変換モジュールと、一方の端面が、前記スルーホールを含むとともに該スルーホールの中心軸に沿って延びる3次元領域内で前記発光部または受光部と対向するように配置された光ファイバと、を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、基板のスルーホールと連通する孔部が形成され、基板および光電変換素子の一方が有する主面のうち他方と対向する主面から突起する突起部と、基板と光電変換素子との間の領域であって突起部の内縁よりも外側の領域の一部に充填されて基板と光電変換素子とを接着する接着剤とを備えているため、接着剤がスルーホールの内部に到達していない構成を有する。したがって、光電変換素子と該光電変換素子を実装する基板との接合強度を向上させることができるとともに、光電変換素子と光ファイバとの光結合率の低下を防止することができる。
図1は、本発明の実施の形態1に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図である。 図2は、本発明の実施の形態1に係る光伝送ユニットが備える基板の主面のうち面発光レーザと対向する側の主面の構成を示す図である。 図3は、本発明の実施の形態1に係る光伝送ユニットが備える面発光レーザの主面のうち基板と対向する側の主面の構成を示す図である。 図4は、本発明の実施の形態1の変形例1に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を示す図である。 図5は、本発明の実施の形態1の変形例2に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を示す図である。 図6は、本発明の実施の形態1の変形例3に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を示す図である。 図7は、本発明の実施の形態1の変形例4に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を示す図である。 図8は、本発明の実施の形態1の変形例5に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を示す図である。 図9は、本発明の実施の形態2に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図である。 図10は、本発明の実施の形態2の変形例に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図である。 図11は、本発明の実施の形態3に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図である。 図12は、本発明の実施の形態3に係る光伝送ユニットが備える基板の主面のうち面発光レーザと対向する側の主面の構成を示す図である。 図13は、本発明の実施の形態3の変形例に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を示す図である。 図14は、本発明の実施の形態4に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図である。 図15は、本発明の実施の形態4に係る光伝送ユニットが備える基板の主面のうち面発光レーザと対向する側の主面の構成を示す図である。 図16は、本発明の実施の形態5に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図である。 図17は、本発明の実施の形態5の変形例に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図である。
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態(以下、「実施の形態」という)を説明する。なお、以下の説明で参照する図面は模式的なものであって、同じ物体を異なる図面で示す場合には、寸法や縮尺等が異なる場合もある。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図である。同図に示す光伝送ユニット1は、平板状をなし、板厚方向に貫通するスルーホールTHが形成された基板2と、基板2に実装され、電気信号を光信号に変換して出射する光電変換素子である面発光レーザ3と、基板2の電極と面発光レーザ3の電極とを接続するバンプ4と、基板2と面発光レーザ3との間の一部の領域に充填されて両者を接着する接着剤5と、基板2の主面のうち面発光レーザ3と対向する主面から突起する突起部6と、スルーホールTHに一端部が挿通され、面発光レーザ3が出射した光を伝送する光ファイバ7と、スルーホールTHに挿通された光ファイバ7を基板2に接着する接着剤8と、を備える。光伝送ユニット1の構成要素のうち、光ファイバ7および接着剤8以外の構成要素は、本実施の形態1に係る光電変換素子モジュールを構成する。
図2は、基板2の主面のうち面発光レーザ3と対向する側(図1の上面側)の主面の構成を示す図である。図2に示すA−B−C線は、図1の切断面を示している。すなわち、図1は、図2のA−B−C線組合せ断面図である。基板2は、平板状の絶縁性材料を母材とするベース部21と、ベース部21の主面に設けられて電気信号の経路をなす配線層22とを有する。配線層22は、スルーホールTHおよび突起部6が形成されていない領域に形成される。配線層22は、金(Au)または銅(Cu)などの金属を用いて構成される。長方形状の破線領域DMは、面発光レーザ3が基板2に対して重ねられる領域を基板2の主面上に投影した領域(以下、実装領域DMという)を示している。基板2は、FPC基板、セラミック基板等である。
図3は、面発光レーザ3の主面のうち基板2と対向する側(図1の下面側)の主面の構成を示す図である。面発光レーザ3は、基板2の配線層22に含まれる電極(図示せず)とバンプ4を介して接続する電極31と、電気信号を光信号に変換して発光する発光部32とを有する。面発光レーザ3は、発光部32が基板2のスルーホールTHに挿通された光ファイバ7の端面と対向するようにフリップチップ実装される。光伝送ユニット1を製造する際の発光部32と光ファイバ7の端面の位置合わせは、例えば二視野光学系を用いることによって行われる。面発光レーザ3は、基板2から送られてくる電気信号に応じて発光部32が点滅することによってデータを伝送する。
バンプ4は、例えば金または金合金からなる。基板2と面発光レーザ3を接合する際には、面発光レーザ3の電極31にバンプ4を形成した後、基板2の所定の電極にバンプ4を載置して超音波接合する。
なお、バンプ4として半田バンプを適用することも可能である。この場合には、リフロー等の方法によって半田を溶融して接合すればよい。
接着剤5、8は、例えば熱硬化性樹脂または紫外線硬化性樹脂からなるアンダーフィル剤またはサイドフィル剤からなる。接着剤5は、基板2と面発光レーザ3との間の領域であって突起部6の外周側の隙間に充填される。
突起部6は、基板2の主面のうち面発光レーザ3と対向する主面からスルーホールTHの周囲を囲むように形成される。突起部6は、面発光レーザ3の実装領域DM内から基板2の一辺にいたる領域に設けられる。突起部6の主面の外縁は、矩形および該矩形の一辺の長さに等しい径を有する半円をつなげた形状をなしている。このうちの半円形状は、基板2の短辺方向(図2の上下方向)に沿って徐々に幅広となる形状に他ならない。基板2の略中央部において、突起部6の主面の外縁は半円弧状をなす。
突起部6には、スルーホールTHと連通し、突起部6の厚さ方向に貫通する孔部61が形成されている。孔部61は、スルーホールTHと中心軸が一致するとともにスルーホールTHの径よりも大きい径を有する。突起部6は、例えばレジストにより形成される。なお、孔部61とスルーホールTHとは連通していればよく、互いの中心軸は一致していなくてもよい。
突起部6の大きさおよび基板2の主面からの高さは、実装領域DMの面積との比率、接着剤5の種類や注入量、要求される接合強度等の各種条件に応じて設定される。
光ファイバ7の先端部は、スルーホールTHおよび突起部6の孔部61に挿通される。光ファイバ7は、基板2の主面のうち面発光レーザ3と対向していない主面側で、接着剤8によって基板2に接着固定されている。光ファイバ7は、図示しないもう一方の端部で、光ファイバ7が伝送する光信号を受信して電気信号に変換するフォトダイオード等の光電変換素子を備えた光電変換素子モジュールに接続する。
なお、光ファイバ7の端面の位置は、図1に示す位置に限定されるわけではない。例えば、光ファイバ7の端面と発光部32との距離を図1に示す場合よりも大きくして、端面を面発光レーザ3と対向しない側の基板2の主面側(図1の下面側)に位置させてもよい。この場合には、基板2に固設した光ファイバ保持部材によって光ファイバ7を保持するようにすればよい。この意味で、光ファイバ7の一方の端面は、基板2のスルーホールTHを含むとともにスルーホールTHの中心軸に沿って延びる3次元領域内で面発光レーザ3と対向するように配置されていればよい。
以上の構成を有する光伝送ユニット1を製造する際、面発光レーザ3を基板2に接合した後に両者の隙間から接着剤5を注入する方向は、突起部6と対向する側の基板2の端部からスルーホールTHの中心へ向かう方向(図2の矢印D方向)である。
この注入方向に沿って接着剤5を注入すると、突起部6の外縁は、矢印D方向に沿って徐々に幅広となっているため、接着剤5は突起部6の外縁に沿って実装領域DM内で広がっていき、突起部6の矩形状の外縁に沿って基板2の端部に到達する。したがって、突起部6が接着剤5が流れる際の障害物として機能し、孔部61およびスルーホールTHに接着剤5が流れ込むことがない。
加えて、接着剤5は、注入方向の上流側から見て突起部6の裏側に回り込んで合流することがない。このため、注入方向の上流側で障害物によって分岐して下流側へ流れ込んでいった接着剤5が、その障害物の下流側で合流する場合に起こり得る接着ムラ等の不具合の発生を防止することができる。
以上説明した本発明の実施の形態1によれば、基板のスルーホールと連通する孔部が形成され、基板および光電変換素子(面発光レーザ)の一方が有する主面のうち他方と対向する主面から突起する突起部と、基板と光電変換素子との間の領域であって突起部の内縁よりも外側の領域の一部に充填されて基板と光電変換素子とを接着する接着剤とを備えているため、接着剤がスルーホールの内部に到達していない構成を有する。したがって、光電変換素子と該光電変換素子を実装する基板との接合強度を向上させることができるとともに、光電変換素子と光ファイバとの光結合率の低下を防止することができる。
また、本実施の形態1によれば、突起部が実装領域から実装領域外の基板上にかけて形成されるため、接着ムラ等の不具合の発生を防止することができる。この結果、本実施の形態1によれば、製品ごとの光電変換素子と光ファイバとの光結合率のばらつきを抑制することも可能となる。
なお、本実施の形態1において、突起部の構成は上述したものに限られるわけではない。以下、本実施の形態1の変形例に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を説明する。
図4は、本実施の形態1の変形例1に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を示す図であり、基板2の主面のうち面発光レーザ3と対向する側の主面の構成を示す図である。図4に示す突起部11は、基板2の略中央部における主面の外縁が、略V字状をなしている。略V字の頂点は、接着剤5の注入方向であって接着剤5の注入位置とスルーホールTHの中心とを結ぶ直線上に位置する。また、略V字形状は、基板2の短辺方向(接着剤5の注入方向)に沿って徐々に幅広となる形状に他ならない。また、突起部11には、スルーホールTHと中心軸が一致するとともにスルーホールTHの径よりも大きい径を有する孔部111が形成されている。
この変形例1によれば、突起部11の略V字の頂点と対向する基板2の端部から突起部11へ向かう方向(図4の矢印D方向)へ接着剤5を注入することにより、実施の形態1の突起部6と同様、接着剤5の孔部111およびスルーホールTHへの流入を確実に防止することができるとともに、接着ムラ等の不具合の発生を防止することができる。
なお、本変形例1において、略V字の斜面を階段状にしたり、曲線状にしたりすることも可能である。
図5は、本実施の形態1の変形例2に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を示す図であり、基板2の主面のうち面発光レーザ3と対向する側の主面の構成を示す図である。図5に示す突起部12の主面の外縁は、実装領域DM内に配置される円と、この円に連なって基板2の端部まで延びる略矩形とをつなげた形状をなしている。また、突起部12には、スルーホールTHと中心軸が一致するとともにスルーホールTHの径よりも大きい径を有する孔部121が形成されている。
この変形例2によれば、接着剤5が注入方向(図5の矢印D方向)の上流側から見て突起部12の裏側に回り込んで合流することがない。したがって、接着ムラ等の不具合の発生を防止することができる。
図6は、本実施の形態1の変形例3に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を示す図であり、基板2の主面のうち面発光レーザ3と対向する側の主面の構成を示す図である。図6に示す突起部13の主面の外縁は、実装領域DM内に配置される円弧と、この円弧に接する二つの接線によって形成される二辺が基板2の端部付近まで達する三角形とをつなげた形状をなしている。また、突起部13には、スルーホールTHと中心軸が一致するとともにスルーホールTHの径よりも大きい径を有する孔部131が形成されている。
この変形例3によれば、接着剤5が注入方向(図6の矢印D方向)の上流側から見て、少なくとも実装領域DM内で突起部13の裏側に回り込んで合流することがないため、接着ムラ等の不具合の発生を防止することができる。
図7は、本実施の形態1の変形例4に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を示す図であり、基板2の主面のうち面発光レーザ3と対向する側の主面の構成を示す図である。図7に示す突起部14の主面の外縁は、実装領域DMの内部に中心を有する円形をなしており、その一部は実装領域DMの外部に位置する。この円の中心は、スルーホールTHの中心と一致する。また、突起部14には、外縁をなす円の中心と一致する中心を有し、スルーホールTHの径よりも大きい径を有する孔部141が形成されている。
この変形例4によれば、接着剤5は注入方向(図7の矢印D方向)に対して突起部14の裏側(下流側)に回り込む可能性があるが、その裏側は面発光レーザ3の実装領域DM外にあるため、基板2と面発光レーザ3との接着に対して影響を及ぼすことがない。したがって、接着ムラ等の不具合の発生を防止することができる。
図8は、本実施の形態1の変形例5に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を示す図であり、基板2の主面のうち面発光レーザ3と対向する側の主面の構成を示す図である。図8に示す突起部15の主面の外縁は、長方形をなしている。この長方形の各辺は、実装領域DMの境界をなす長方形のいずれかの辺と平行に配置されている。突起部15の外縁をなす長方形のうち隣接する2辺の各々は、その一部が実装領域DM内に位置するのに対し、残りの2辺は実装領域DMの外部に位置する。このため、突起部15の外縁をなす長方形の頂点のうち実装領域DM内に位置する頂点は一つだけである。また、突起部15には、スルーホールTHと中心軸が一致するとともにスルーホールTHの径よりも大きい径を有する孔部151が形成されている。
本変形例5において、基板2と面発光レーザ3とを接着する際に接着剤5を注入する方向は、突起部15の外縁をなす長方形の対角線と略平行な方向であり、かつ突起部15の頂点であって実装領域DM内に位置する頂点に向かう方向である。具体的には、図8に示す場合、接着剤5は、基板2の左上端部付近から注入される(図8の矢印E方向)。この意味で、突起部15は、接着剤5の注入方向に沿って徐々に幅広となる形状をなしている。
この変形例5によれば、接着剤5の孔部151およびスルーホールTHへの流入を確実に防止することができるとともに、接着ムラ等の不具合の発生を防止することができる。
(実施の形態2)
図9は、本発明の実施の形態2に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図であり、実施の形態1における図1に相当する断面図である。図9に示す光伝送ユニット41は、突起部の構成を除いて、実施の形態1で説明した光伝送ユニット1と同様の構成を有する。
突起部42は、基板2の主面上に設けられ、上端面(主面)が面発光レーザ3の主面に当接している。また、突起部42には、スルーホールTHと中心軸が一致するとともにスルーホールTHの径よりも大きい径を有する孔部421が形成されている。突起部42の主面の形状は、例えば実施の形態1で説明した突起部6、11〜15のいずれかと同様である。このような突起部42は、基板2と面発光レーザ3との実装時の間隔に基づいて突起部42の高さをあらかじめ調整することによって実現される。
以上説明した本発明の実施の形態2によれば、上述した実施の形態1と同様に、光電変換素子(面発光レーザ)と該光電変換素子を実装する基板との接合強度を向上させることができるとともに、光電変換素子と光ファイバとの光結合率の低下を防止することができる。また、製品ごとの光電変換素子と光ファイバとの光結合率のばらつきを抑制することもできる。
さらに、本実施の形態2によれば、基板と光電変換素子との隙間において、突起部がスルーホールに連通する部分を完全に包囲するため、スルーホールへの接着剤の流入を一段と確実に防止することができる。このため、特に粘度が低い接着剤を使用する場合に好適である。
図10は、本実施の形態2の変形例に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図である。同図に示す光伝送ユニット43において、突起部44の上端面(主面)が面発光レーザ3の主面に当接している点は実施の形態2と同じである。これに対し、本変形例では、バンプ4を2段重ねることによって面発光レーザ3の位置を突起部44の高さに対応させている。また、突起部44には、スルーホールTHと中心軸が一致するとともにスルーホールTHの径よりも大きい径を有する孔部441が形成されている。
本実施の形態2の変形例によれば、突起部44の高さを調整することが難しい場合、バンプ4の段数を変えることによって高さを調整することができる。
なお、本変形例におけるバンプ4の段数は2段に限られるわけでなく、突起部44の高さに応じて適宜変更可能であることはもちろんである。
(実施の形態3)
図11は、本発明の実施の形態3に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図である。同図に示す光伝送ユニット51は、平板状をなし、板厚方向に貫通するスルーホールTHが形成された基板52と、基板52に実装される面発光レーザ3と、基板52の電極と面発光レーザ3の電極とを接続するバンプ4と、基板52と面発光レーザ3との間の一部の領域に充填されて両者を接着する接着剤5と、基板52の主面のうち面発光レーザ3と対向する主面からスルーホールTHの周囲を囲んで突起する突起部6と、一端部がスルーホールTHに挿通される光ファイバ7と、光ファイバ7を基板52に接着する接着剤8と、を備える。
図12は、基板52の主面のうち面発光レーザ3と対向する側(図12の上面側)の主面の構成を示す図である。図12に示すF−G−H線は、図11の切断面を示している。すなわち、図11は、図12に示すF−G−H線組合せ断面図である。基板52は、平板状の絶縁性材料を母材とするベース部521と、ベース部521の主面に設けられる配線層522とを有する。配線層522は、ベース部521の主面の略全面にわたって形成されている。このため、上述した実施の形態1と異なり、突起部6は配線層522の上に形成されている。
以上説明した本発明の実施の形態3によれば、上述した実施の形態1と同様に、光電変換素子(面発光レーザ)と該光電変換素子を実装する基板との接合強度を向上させることができるとともに、光電変換素子と光ファイバとの光結合率の低下を防止することができる。また、製品ごとの光電変換素子と光ファイバとの光結合率のばらつきを抑制することもできる。
さらに、本実施の形態3によれば、突起部の直下にある配線層によって基板と面発光レーザとを電気的に接続することができるため、小型の光電変換素子を実装するのに好適である。
図13は、本実施の形態3の変形例に係る光伝送ユニットが備える突起部の構成を示す図であり、基板52の主面のうち面発光レーザ3と対向する側の主面の構成を示す図である。突起部53には、スルーホールTHと中心軸が一致するとともにスルーホールTHよりも大きい径を有する孔部531が形成されている。また、突起部53には、実装領域DMの一部であって実装領域DMの境界をなす長方形の4辺のうち隣接する2辺とその近傍領域を含み、略L字状をなす領域を露出させる中空部532が形成されている。突起部53は、基板52の主面上で、孔部531および中空部532によってそれぞれ露出される部分を除く領域を被覆している。なお、中空部532の大きさは、実装領域DMの面積との比率、接着剤5の種類や注入量、要求される接合強度等の各種条件に応じて設定される。
基板52と面発光レーザ3とを接着する際に接着剤5を注入する方向は、基板52の端部であって中空部532が設けられた実装領域DMの頂点の近くの端部からこの頂点とスルーホールTHの中心とを結ぶ直線と略平行な方向である。具体的には、図13に示す場合、接着剤5は、基板52の左上端部付近から注入される(図13の矢印I方向)。このようにして注入された接着剤5は、中空部532へ溜まることによって基板52と面発光レーザ3とを接着する。
この変形例によれば、孔部531およびスルーホールTHへの接着剤5の流入を確実に防止することができるとともに、接着ムラ等の不具合の発生を防止することができる。また、突起部をレジストパターンによって簡単に作成することができる。さらに、中空部の大きさを調整するだけで接着剤の注入量を容易に調整することができる。
(実施の形態4)
図14は、本発明の実施の形態4に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図である。同図に示す光伝送ユニット71は、実施の形態3で説明した光伝送ユニット51と突起部の構成が異なる。
光伝送ユニット71が備える突起部72には、スルーホールTHと連通し、突起部72の厚さ方向に貫通する孔部721が形成されている。孔部721は、スルーホールTHと中心軸が一致するとともにスルーホールTHの径と同じ径を有する。突起部72の孔部721以外の構成は、上述した突起部6と同様である。
図15は、基板52の主面のうち面発光レーザ3と対向する側(図14の上面側)の基板52の主面の構成を示す図である。図15に示すJ−K−L線は、図14の切断面を示している。すなわち、図14は、図15に示すJ−K−L線組合せ断面図である。図15に示すように、突起部72が設けられた側から基板52を見た場合、孔部721の内側に配線層522は見えない。
以上の構成を有する突起部72は、ベース部521に配線層522を形成し、その配線層522の所定位置に突起部72の母材をレジストによって形成する。その後、ドリル等の手段によって孔部721とスルーホールTHを一括して形成する。
以上説明した本発明の実施の形態4によれば、上述した実施の形態1と同様に、光電変換素子(面発光レーザ)と該光電変換素子を実装する基板との接合強度を向上させることができるとともに、光電変換素子と光ファイバとの光結合率の低下を防止することができる。また、製品ごとの光電変換素子と光ファイバとの光結合率のばらつきを抑制することもできる。
また、本実施の形態4によれば、上述した実施の形態3と同様に、突起部の直下にある配線層によって基板と面発光レーザとを電気的に接続することができるため、小型の光電変換素子を実装するのに好適である。
また、本実施の形態4によれば、基板のスルーホールと突起部の孔部の内径が同じであるため、両者を一括して形成することができ、製造が容易である。
(実施の形態5)
図16は、本発明の実施の形態5に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図であり、実施の形態4における図14に相当する断面図である。図16に示す光伝送ユニット81は、平板状をなし、板厚方向に貫通するスルーホールTH’が形成された基板82と、基板82に実装される面発光レーザ3と、基板82の電極と面発光レーザ3の電極とを接続するバンプ4と、基板82と面発光レーザ3との間の一部の領域に充填されて両者を接着する接着剤5と、基板82の主面のうち面発光レーザ3と対向する主面からスルーホールTH’の周囲を囲んで突起する突起部83と、一端部がスルーホールTH’に挿通される光ファイバ7と、光ファイバ7を基板82に固着する接着剤8と、を備える。
基板82は、平板状のベース部821と、ベース部821の主面に設けられる配線層822とを有する。配線層822は、ベース部821の主面の略全面にわたって形成されている。このため、突起部83は、配線層822の上に形成されている。
突起部83には、スルーホールTH’と連通し、突起部83の厚さ方向に貫通する孔部831が形成されている。孔部831とスルーホールTH’は、内周面同士が厚さ方向に沿って滑らかに連なっており、孔部831の側からスルーホールTH’の側へ向けて徐々に径が大きくなるテーパ状の断面をなしている。孔部831以外の突起部83の構成は、上述した突起部の構成と同様である。
以上の構成を有する突起部83を形成する際には、まずベース部821に配線層822を形成し、その配線層822の所定位置に突起部83の母材をレジストによって形成する。その後、レーザ等の手段によって孔部831とスルーホールTH’を一括して形成する。これにより、突起部83が形成される。
以上説明した本発明の実施の形態5によれば、上述した実施の形態1と同様に、光電変換素子(面発光レーザ)と該光電変換素子を実装する基板との接合強度を向上させることができるとともに、光電変換素子と光ファイバとの光結合率の低下を防止することができる。また、製品ごとの光電変換素子と光ファイバとの光結合率のばらつきを抑制することもできる。
また、本実施の形態5によれば、上述した実施の形態4と同様に、基板のスルーホールと突起部の孔部とを一括して形成することができるので、製造が容易である。
さらに、本実施の形態5によれば、光ファイバの端面を最初に挿入する側のスルーホールの径が光ファイバの径よりも若干大きいため、光ファイバの挿通が容易である。
図17は、本実施の形態5の変形例に係る光伝送ユニットの要部の構成を示す断面図である。同図に示す光伝送ユニット84は、平板状をなし、板厚方向に貫通するスルーホールTH’’が形成された基板85と、基板85に実装される面発光レーザ3と、基板85の電極と面発光レーザ3の電極とを接続するバンプ4と、基板85と面発光レーザ3との間の一部の領域に充填されて両者を接着する接着剤5と、基板85の主面のうち面発光レーザ3と対向する主面からスルーホールTH’’の周囲を囲んで突起する突起部86と、一端部がスルーホールTH’’に挿通される光ファイバ7と、光ファイバ7を基板85に固着する接着剤8と、を備える。
基板85は、平板状のベース部821と、ベース部821の主面に設けられる配線層851とを有する。ベース部821にはスルーホールTH’’が形成されている。配線層851には、スルーホールTH’’と同軸でスルーホールTH’’よりも大きい径を有する孔部852が形成されている。
突起部86には、スルーホールTH’’と連通し、突起部86の厚さ方向に貫通する孔部861が形成されている。突起部86は、ベース部821と配線層851の段差部分を充填している。このため、孔部861とスルーホールTH’’は、内周面同士が厚さ方向に沿って滑らかに連なっており、孔部861の側からスルーホールTH’’の側へ向けて徐々に径が大きくなるテーパ状の断面形状をなしている。孔部861とスルーホールTH’’は、実施の形態5と同様に、レーザ等の手段によって一括して形成される。
以上説明した本実施の形態5の変形例に係る光伝送ユニット84によれば、孔部861とスルーホールTH’’を一括して形成する際、配線層851の孔部852の内周面がスルーホールTH’’の一部を構成しないため、配線層851を構成する金または銅などの金属が飛散してしまうおそれがない。
(その他の実施の形態)
ここまで、本発明を実施するための形態を説明してきたが、本発明は上述した実施の形態1〜5によってのみ限定されるべきものではない。例えば、本発明において、突起部を面発光レーザの表面であって基板と対向する表面に形成することも可能である。
また、本発明は、面発光レーザの代わりに受光部を有するフォトダイオード等の光電変換素子を備えた光電変換モジュールおよび光伝送ユニットにも適用可能である。
また、本発明において、基板と光電変換素子の間の領域に充填されて両者を接着する接着剤の充填領域は、突起部が有する孔部の内周面よりも外側の領域であればよく、突起部の上端面に達していてもかまわない。
本発明は、例えば医療用または工業用の内視鏡、デジタルカメラなど、高画素数の撮像素子を有し、高速での信号伝送が求められる電子機器へ適用することが可能である。
このように、本発明は、ここでは記載していない様々な実施の形態等を含みうるものであり、特許請求の範囲に記載された技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の設計変更等を行うことが可能である。
1、41、43、51、71、81、84 光伝送ユニット
2、52、82、85 基板
3 面発光レーザ
4 バンプ
5、8 接着剤
6、11〜15、42、44、53、72、83、86 突起部
7 光ファイバ
21、521、821 ベース部
22、522、822、851 配線層
31 電極
32 発光部
61、111、121、131、141、151、421、441、531、721、831、852、861 孔部
532 中空部
DM 実装領域
TH、TH’、TH’’ スルーホール

Claims (11)

  1. 配線層を有するとともにスルーホールが形成された基板と、発光部または受光部を有し、該発光部または受光部が前記スルーホールと対向するように前記基板に実装された光電変換素子とを備えた光電変換モジュールにおいて、
    前記スルーホールと連通する孔部が形成され、前記基板および前記光電変換素子の一方が有する主面のうち他方と対向する主面から突起した突起部と、
    前記基板と前記光電変換素子との間の領域であって前記孔部の内周面よりも外側の領域の一部に充填されて前記基板と前記光電変換素子とを接着する接着剤と、
    を備えたことを特徴とする光電変換モジュール。
  2. 前記突起部は前記基板の主面に設けられ、該突起部の一部は、前記基板の主面に投影した前記光電変換素子の実装領域の外部に位置することを特徴とする請求項1に記載の光電変換モジュール。
  3. 前記突起部は、前記実装領域の内部で、少なくとも一部の外縁が、前記基板上における所定の方向に沿って徐々に幅広となる形状をなすことを特徴とする請求項2に記載の光電変換モジュール。
  4. 前記突起部は、前記実装領域の一部を露出させる中空部が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の光電変換モジュール。
  5. 前記突起部は、前記基板の主面上で、前記孔部および前記中空部によってそれぞれ露出する部分を除く領域を被覆することを特徴とする請求項4に記載の光電変換モジュール。
  6. 前記突起部は、前記基板および前記光電変換素子の他方の主面に当接することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の光電変換モジュール。
  7. 前記突起部は、前記配線層の上に形成されたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の光電変換モジュール。
  8. 前記孔部の径は、前記スルーホールの径と等しいことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の光電変換モジュール。
  9. 前記孔部および前記スルーホールは、内周面同士が滑らかにつながっており、前記孔部側から前記スルーホール側へ向けて徐々に径が大きくなるテーパ状の断面を有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の光電変換モジュール。
  10. 前記突起部は、レジストによって形成されたことを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の光電変換モジュール。
  11. 請求項1〜10のいずれか一項に記載の光電変換モジュールと、
    一方の端面が、前記スルーホールを含むとともに該スルーホールの中心軸に沿って延びる3次元領域内で前記発光部または受光部と対向するように配置された光ファイバと、
    を備えたことを特徴とする光伝送ユニット。
JP2012042058A 2012-02-28 2012-02-28 光電変換モジュールおよび光伝送ユニット Expired - Fee Related JP5996215B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012042058A JP5996215B2 (ja) 2012-02-28 2012-02-28 光電変換モジュールおよび光伝送ユニット
PCT/JP2013/052391 WO2013129026A1 (ja) 2012-02-28 2013-02-01 光電変換モジュールおよび光伝送ユニット
US14/466,246 US9625664B2 (en) 2012-02-28 2014-08-22 Photoelectric conversion module and optical transmission unit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012042058A JP5996215B2 (ja) 2012-02-28 2012-02-28 光電変換モジュールおよび光伝送ユニット

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013178378A true JP2013178378A (ja) 2013-09-09
JP2013178378A5 JP2013178378A5 (ja) 2015-04-02
JP5996215B2 JP5996215B2 (ja) 2016-09-21

Family

ID=49082230

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012042058A Expired - Fee Related JP5996215B2 (ja) 2012-02-28 2012-02-28 光電変換モジュールおよび光伝送ユニット

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9625664B2 (ja)
JP (1) JP5996215B2 (ja)
WO (1) WO2013129026A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021157472A1 (ja) * 2020-02-04 2021-08-12 パナソニックIpマネジメント株式会社 サイドフィル用樹脂組成物、半導体装置、及びサイドフィル材の除去方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6230388B2 (ja) * 2013-11-28 2017-11-15 オリンパス株式会社 内視鏡
US10025044B1 (en) * 2017-01-17 2018-07-17 International Business Machines Corporation Optical structure
JP6641330B2 (ja) * 2017-08-31 2020-02-05 株式会社フジクラ 撮像モジュール付きカテーテル
DE102017123798B4 (de) * 2017-10-12 2022-03-03 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Halbleiterlaser und Herstellungsverfahren für optoelektronische Halbleiterbauteile

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0312613A (ja) * 1989-05-30 1991-01-21 Hughes Microelectronics Ltd 光電部品及びその製造方法
JPH04361211A (ja) * 1991-02-08 1992-12-14 Alcatel Nv オプトエレクトロニックデバイス
JPH0915459A (ja) * 1995-06-27 1997-01-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体レーザ実装体およびその製造方法
JPH11121653A (ja) * 1997-07-31 1999-04-30 Fuji Film Microdevices Co Ltd 半導体装置とその製造方法
JP2001250889A (ja) * 2000-03-06 2001-09-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光素子の実装構造体およびその製造方法
JP2003046096A (ja) * 2001-04-18 2003-02-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体モジュールとその製造方法および回路基板ならびに半導体装置
JP2003140008A (ja) * 2001-11-06 2003-05-14 Seiko Epson Corp 光モジュール及びその製造方法並びに光伝達装置
JP2003209332A (ja) * 2002-01-11 2003-07-25 Fujikura Ltd プリント配線基板、プリント配線基板の製造方法、及び実装基板
JP2004258528A (ja) * 2003-02-27 2004-09-16 Seiko Epson Corp 光通信モジュールの製造方法および電子機器
JP2004317627A (ja) * 2003-04-14 2004-11-11 Fujikura Ltd マウント、光モジュールおよび送受信モジュール
JP2005268567A (ja) * 2004-03-19 2005-09-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 基板およびその製造方法
JP2005286284A (ja) * 2004-02-03 2005-10-13 Sony Chem Corp 機能素子実装モジュール並びに光機能素子実装モジュール及びその製造方法
JP2007103555A (ja) * 2005-10-03 2007-04-19 Texas Instr Japan Ltd 半導体チップ、半導体装置およびそれらの製造方法
JP2008182026A (ja) * 2007-01-24 2008-08-07 Sony Chemical & Information Device Corp 機能素子実装モジュールの製造方法
JP2009251224A (ja) * 2008-04-04 2009-10-29 Sumitomo Electric Ind Ltd 光モジュール及びその組立方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001059923A (ja) * 1999-06-16 2001-03-06 Seiko Epson Corp 光モジュール及びその製造方法、半導体装置並びに光伝達装置
JP2009047937A (ja) 2007-08-20 2009-03-05 Sony Corp 光送信/光受信モジュール及び光モジュールの製造方法並びに光通信モジュール
JP5809866B2 (ja) * 2011-07-21 2015-11-11 オリンパス株式会社 光素子モジュール、光伝送モジュール、および光伝送モジュールの製造方法

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0312613A (ja) * 1989-05-30 1991-01-21 Hughes Microelectronics Ltd 光電部品及びその製造方法
JPH04361211A (ja) * 1991-02-08 1992-12-14 Alcatel Nv オプトエレクトロニックデバイス
JPH0915459A (ja) * 1995-06-27 1997-01-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体レーザ実装体およびその製造方法
JPH11121653A (ja) * 1997-07-31 1999-04-30 Fuji Film Microdevices Co Ltd 半導体装置とその製造方法
JP2001250889A (ja) * 2000-03-06 2001-09-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光素子の実装構造体およびその製造方法
JP2003046096A (ja) * 2001-04-18 2003-02-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体モジュールとその製造方法および回路基板ならびに半導体装置
JP2003140008A (ja) * 2001-11-06 2003-05-14 Seiko Epson Corp 光モジュール及びその製造方法並びに光伝達装置
JP2003209332A (ja) * 2002-01-11 2003-07-25 Fujikura Ltd プリント配線基板、プリント配線基板の製造方法、及び実装基板
JP2004258528A (ja) * 2003-02-27 2004-09-16 Seiko Epson Corp 光通信モジュールの製造方法および電子機器
JP2004317627A (ja) * 2003-04-14 2004-11-11 Fujikura Ltd マウント、光モジュールおよび送受信モジュール
JP2005286284A (ja) * 2004-02-03 2005-10-13 Sony Chem Corp 機能素子実装モジュール並びに光機能素子実装モジュール及びその製造方法
JP2005268567A (ja) * 2004-03-19 2005-09-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 基板およびその製造方法
JP2007103555A (ja) * 2005-10-03 2007-04-19 Texas Instr Japan Ltd 半導体チップ、半導体装置およびそれらの製造方法
JP2008182026A (ja) * 2007-01-24 2008-08-07 Sony Chemical & Information Device Corp 機能素子実装モジュールの製造方法
JP2009251224A (ja) * 2008-04-04 2009-10-29 Sumitomo Electric Ind Ltd 光モジュール及びその組立方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021157472A1 (ja) * 2020-02-04 2021-08-12 パナソニックIpマネジメント株式会社 サイドフィル用樹脂組成物、半導体装置、及びサイドフィル材の除去方法

Also Published As

Publication number Publication date
US9625664B2 (en) 2017-04-18
US20140361153A1 (en) 2014-12-11
WO2013129026A1 (ja) 2013-09-06
JP5996215B2 (ja) 2016-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5809866B2 (ja) 光素子モジュール、光伝送モジュール、および光伝送モジュールの製造方法
JP4793169B2 (ja) 接続体および光送受信モジュール
JP5996215B2 (ja) 光電変換モジュールおよび光伝送ユニット
JP4768384B2 (ja) 光伝送路保持部材及び光モジュール
JP5757852B2 (ja) 撮像モジュールおよび撮像ユニット
US9615464B2 (en) Method of mounting semiconductor element, and semiconductor device
JP2012009782A (ja) 半導体パッケージの製造方法
JP6600546B2 (ja) 光モジュール
JP2009163178A (ja) 光素子と基板との接合構造及び光送受信モジュール並びに光モジュールの製造方法
JP4406447B2 (ja) 光モジュールおよびその製造方法
JP5078021B2 (ja) 光導波路モジュール、光導波路モジュールの製造方法
JP2015188004A (ja) パッケージ、半導体装置及び半導体モジュール
JP6933794B2 (ja) 光モジュール及び光モジュールの製造方法
US20050013557A1 (en) Optical packages and methods for controlling a standoff height in optical packages
TW202121626A (zh) 接合結構以及製造接合結構之方法
JP4960519B2 (ja) 光伝送路保持部材及び光モジュール
JPWO2016143044A1 (ja) 光ファイバ保持構造体、光伝送モジュール、および光ファイバ保持構造体の製造方法
JP2013125768A (ja) はんだ接合デバイス及び受信モジュール
JP6089732B2 (ja) 導電性部材の接続構造、導電性部材の接続方法、及び光モジュール
JP2005311109A (ja) 光デバイスの実装方法及び光モジュール
JP2018137305A (ja) 電子装置及び電子装置の製造方法
JP3726718B2 (ja) 半導体装置
JP2017079258A (ja) 電子部品搭載用基板および電子装置
JP2005321655A (ja) 光部品、光通信モジュール、電子機器、並びに、光部品の製造方法、及び光通信モジュールの製造方法
KR100818095B1 (ko) 플립 칩 패키지 및 그의 형성방법

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150210

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150210

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160119

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160311

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160802

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160824

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5996215

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees