JP2013171824A - 試料ホルダー保管装置 - Google Patents
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Abstract
本発明は、化学吸着及び/又は物理吸着等による汚れをも除去可能な保存装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダー保管装置は、チャンバーと、前記チャンバーに設けられた真空排気口と、前記真空排気口から真空引きすることにより前記チャンバー内を真空にする真空手段と、化学吸着及び/又は物理吸着物の離脱及び吸着防止用光源と、前記チャンバーに設けられた試料ホルダー挿入口とからなることを特徴とする。また、本発明の試料ホルダー保管装置の好ましい実施態様において、前記チャンバーが、ガラス製であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
2 チャンバー
3 Oリング
4 チャンバー保護スリーブ
5 試料ホルダー
6 チャンバー固定フレーム
7 台座
8 真空排気口
9 真空引き口ニップル
10 Oリング
11 真空領域
20 フレーム
Claims (8)
- チャンバーと、前記チャンバーに設けられた真空排気口と、前記真空排気口から真空引きすることにより前記チャンバー内を真空にする真空手段と、化学吸着及び/又は物理吸着物の離脱及び吸着防止用光源と、前記チャンバーに設けられた試料ホルダー挿入口とからなる試料ホルダー保管装置。
- 前記チャンバーが、ガラス製である請求項1記載の装置。
- 前記チャンバーが、筒状構造である請求項1又は2項に記載の装置。
- 前記光源が、ハロゲン電球、又は赤外灯である請求項1又は2項に記載の装置。
- 前記真空手段と前記チャンバーとをつなぐ真空配管が、メタル製である請求項1〜4項のいずれか1項に記載の装置。
- 前記光源部分が、フレキシブルなフレームを有する請求項1〜5項のいずれか1項に記載の装置。
- さらに、装置内の温度調整をするための温度調整手段を有する請求項1〜6項のいずれか1項に記載の装置。
- さらに、装置内を冷却する冷却手段を有する請求項1〜7項のいずれか1項に記載の装置。
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JP2001066231A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-16 | Hitachi Ltd | 試料作成装置および試料作成方法 |
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