JP2013170568A5 - - Google Patents

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同様にして、制御部１００は、２段ステージ２４の温度を目標温度にするよう冷凍機１６を制御する、いわば「２段温度制御」を実行することもできる。制御部１００は例えば、クライオポンプ１０の真空排気を開始するための前処理であるクールダウン工程において２段温度制御をしてもよい。クールダウン工程においては急速にクライオパネルを冷却することが好ましい。このため、制御部１００は、クールダウン工程においては２段温度制御を実行し、２段パネル１８が目標温度近傍まで冷却されたときに１段温度制御に切り替えるようにしてもよい。
制御部１００は、機種名と昇温完了判定のための温度センサ設定とを関連づけて記憶する。機種名は、（口径ごとに機種が１つの場合には、または複数あっても昇温順序が共通の場合には）口径でもよい。こうした設定はクライオポンプ１０の製造段階（または設計段階、または使用場所への据付段階）で行われる。クライオポンプ１０の使用中には設定は変更されない。
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TW101147462A TWI534349B (zh) 2012-02-23 2012-12-14 Cryogenic pump, cryogenic pump regeneration method and cryogenic pump control device
KR1020130000885A KR101440714B1 (ko) 2012-02-23 2013-01-04 크라이오펌프, 크라이오펌프의 재생방법, 크라이오펌프의 제어장치
US13/771,858 US9415325B2 (en) 2012-02-23 2013-02-20 Cryopump, method of regenerating cryopump, and control device for cryopump
CN201310059563.3A CN103291584B (zh) 2012-02-23 2013-02-25 低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制装置

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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6253464B2 (ja) * 2014-03-18 2017-12-27 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ、及びクライオポンプの再生方法
JP6410590B2 (ja) 2014-12-17 2018-10-24 住友重機械工業株式会社 コールドトラップ及びコールドトラップの制御方法
CN104806500A (zh) * 2015-04-23 2015-07-29 安徽万瑞冷电科技有限公司 一种低温泵再生控制器
JP6534358B2 (ja) * 2016-03-22 2019-06-26 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ、クライオポンプ制御装置及びクライオポンプ制御方法
KR20180061742A (ko) * 2016-11-30 2018-06-08 재단법인 한국섬유기계융합연구원 크라이오 펌프용 극저온 온도 제어 시스템
JP6734817B2 (ja) * 2017-06-23 2020-08-05 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ及びクライオポンプ制御方法
JP6929601B2 (ja) * 2018-02-21 2021-09-01 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ
TWI796604B (zh) * 2019-10-29 2023-03-21 日商住友重機械工業股份有限公司 低溫泵、低溫泵系統及低溫泵的運轉開始方法
KR102554000B1 (ko) * 2022-09-08 2023-07-18 크라이오에이치앤아이(주) 크라이오 펌프 시스템
KR102536330B1 (ko) * 2022-09-08 2023-05-26 크라이오에이치앤아이(주) 크라이오 펌프의 재생 방법
KR102541712B1 (ko) * 2022-10-17 2023-06-13 크라이오에이치앤아이(주) 크라이오 펌프를 통한 진공 배기 방법
KR102661608B1 (ko) * 2023-09-25 2024-05-02 크라이오에이치앤아이(주) 크라이오 펌프

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4667477A (en) * 1985-03-28 1987-05-26 Hitachi, Ltd. Cryopump and method of operating same
JPS634380U (ja) 1986-06-27 1988-01-12
US6318093B2 (en) * 1988-09-13 2001-11-20 Helix Technology Corporation Electronically controlled cryopump
JPH0295779A (ja) * 1988-09-30 1990-04-06 Aisin Seiki Co Ltd クライオポンプの再生方法
US5211022A (en) * 1991-05-17 1993-05-18 Helix Technology Corporation Cryopump with differential pumping capability
JPH0861232A (ja) * 1994-08-24 1996-03-08 Ebara Corp クライオポンプの再生方法及び再生装置
JPH08135570A (ja) * 1994-11-11 1996-05-28 Ebara Corp クライオポンプ及びコールドトラップ
EP0684382B1 (en) * 1994-04-28 2000-03-22 Ebara Corporation Cryopump
JP3022200B2 (ja) 1994-08-30 2000-03-15 三洋電機株式会社 クライオポンプの再生方法
US5687575A (en) * 1996-04-29 1997-11-18 Regents Of The University Of California Miniature thermo-electric cooled cryogenic pump
JPH11141460A (ja) * 1997-11-11 1999-05-25 Daikin Ind Ltd クライオポンプの再生装置およびクライオポンプの再生方法
JP2000018158A (ja) * 1998-06-30 2000-01-18 Daikin Ind Ltd クライオポンプおよびクライオポンプによるキセノンガスの凝縮方法
US6116032A (en) * 1999-01-12 2000-09-12 Applied Materials, Inc. Method for reducing particulate generation from regeneration of cryogenic vacuum pumps
US6257001B1 (en) * 1999-08-24 2001-07-10 Lucent Technologies, Inc. Cryogenic vacuum pump temperature sensor
JP2004027866A (ja) 2002-06-21 2004-01-29 Aisin Seiki Co Ltd クライオポンプ装置及びクライオポンプ装置の運転方法
WO2005052369A1 (ja) * 2003-11-28 2005-06-09 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. 水の再生方法及び装置
JP4150745B2 (ja) * 2006-05-02 2008-09-17 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ及びその再生方法
JP2008035604A (ja) * 2006-07-27 2008-02-14 Sumitomo Heavy Ind Ltd Ｇｍ冷凍機、パルス管冷凍機、クライオポンプ、ｍｒｉ装置、超電導磁石装置、ｎｍｒ装置および半導体冷却用冷凍機
JP4642156B2 (ja) * 2008-09-30 2011-03-02 キヤノンアネルバ株式会社 真空排気システム、真空排気システムの運転方法、冷凍機、冷凍機の運転方法、基板処理装置、電子デバイスの製造方法
JP5084794B2 (ja) 2009-07-22 2012-11-28 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ、及びクライオポンプの監視方法

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