JP2013168609A - トレンチダイオード及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板1の表面に受光面3が形成され、受光面3の一部を開口部とし受光面3に対して略垂直方向に基板1内に延びるトレンチ4が形成され、基板1のトレンチ4の内壁側に前記内壁に沿ってpn接合が形成されてなり、トレンチ4の内壁の略全面に、受光面3からの光により基板1内で発生した電荷を前記pn接合を介して収集する低抵抗膜又は金属膜7が形成されているトレンチダイオード、及びその製造方法。
【選択図】図1
Description
(1)高アスペクト比トレンチの内壁への低抵抗膜又は金属膜の作製
(2)トレンチ内壁の低抵抗膜又は金属膜をエッチングしない、基板表面に対するリソグラフィー技術
(3)近赤外光がシリコン内部へ効率的に侵入できるような受光面を形成するための配線エッチング技術
2 シリコン酸化膜
3 受光面
4 トレンチ
5 n型層
6 空乏層
7 Al膜
7a Al配線膜
11 フォトレジスト
Claims (6)
- 半導体基板の表面に受光面が形成され、前記受光面の一部を開口部とし前記受光面に対して略垂直方向に前記基板内に延びるトレンチが形成され、前記基板の前記トレンチの内壁側に前記内壁に沿ってpn接合が形成されてなるトレンチダイオードであって、
前記トレンチの内壁の略全面に、前記受光面からの光により前記基板内で発生した電荷を前記pn接合を介して収集する低抵抗膜又は金属膜が形成されている、ことを特徴とするトレンチダイオード。 - 請求項1のトレンチダイオードの製造方法であって、
前記トレンチ内壁の略全面及び前記基板表面に、前記受光面からの光により前記基板内で発生した電荷を前記pn接合を介して収集する電極とするための及び配線とするための、厚さが約100nm以上の低抵抗膜又は金属膜を形成する工程を含むことを特徴とするトレンチダイオードの製造方法。 - 請求項2において、
前記トレンチ内壁の略全面及び前記基板表面に前記低抵抗膜又は金属膜が形成された後、前記基板表面の低抵抗膜又は金属膜をエッチングする前に、前記トレンチの開口部及びその周辺に、粘度が約10Pa・s以上のフォトレジストを塗布して前記トレンチの開口部を塞ぐ工程を含むことを特徴とするトレンチダイオードの製造方法。 - 請求項2において、
垂直エッチングにより、前記基板表面の低抵抗膜又は金属膜を、その中の前記トレンチ内壁の低抵抗膜又は金属膜と接続する部分を除き、除去する工程と、
等方性エッチングにより、前記垂直エッチング工程において除去されなかった前記受光面上の低抵抗膜又は金属膜を、その中の前記トレンチ内壁の低抵抗膜又は金属膜との接続のために必要な部分を除き、除去する工程と、を含むことを特徴とするトレンチダイオードの製造方法。 - 請求項2において、
前記トレンチ内壁の略全面及び前記基板表面に前記低抵抗膜又は金属膜が形成された後、前記基板表面の低抵抗膜又は金属膜をエッチングする前に、前記トレンチの開口部及びその周辺に、粘度が約10Pa・s以上のフォトレジストを塗布して前記トレンチの開口部を塞ぐ工程と、
垂直エッチングにより、前記基板表面の低抵抗膜又は金属膜を、その中の前記トレンチ内壁の低抵抗膜又は金属膜と接続する部分を除き、除去する工程と、
等方性エッチングにより、前記垂直エッチング工程において除去されなかった前記受光面上の低抵抗膜又は金属膜を、その中の前記トレンチ内壁の低抵抗膜又は金属膜との接続のために必要な部分を除き、除去する工程と、を含むことを特徴とするトレンチダイオードの製造方法。 - 請求項4又は5において、
前記トレンチは開口部の直径が約10μm以下でアスペクト比が約5以上であり、
前記垂直エッチングはRIE(Reactive Ion Etching)によるものであり、
前記等方性エッチングはリン酸を含む溶液を使用して行うものである、ことを特徴とするトレンチダイオードの製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102020213385A1 (de) | 2020-10-23 | 2022-04-28 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zum Herstellen einer Buried-Layer-Schichtstruktur und entsprechende Buried-Layer-Schichtstruktur |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH11510318A (ja) * | 1995-08-03 | 1999-09-07 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | ホトダイオード及びその製造方法 |
JP2004511106A (ja) * | 2000-10-03 | 2004-04-08 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2005158834A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 光半導体装置 |
JP2010219089A (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Kyushu Institute Of Technology | 光発電素子 |
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2012
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