JP2013168459A - 基板基準孔の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1導体パターン6a側から第1導体層6をマスクとして第1開口パターン8より露出する充填剤層5にレーザー光Lを当該第1開口パターン8のエッジ部8aに沿って走査させて照射することにより除去し、第2導体層7を底部とする有底溝11を形成し、有底溝11で囲まれた充填剤層5及び第2導体層7が積層された基板不要部分12を押圧して除去し基板基準孔13を形成する。
【選択図】図1
Description
即ち、絶縁樹脂基材の両面に導電層を有する基板に貫通孔を穿孔する孔開け工程と、前記貫通孔を埋める充填剤を充填して当該貫通孔を閉塞する工程と、前記充填剤を研磨して前記基板両面に形成された導電層と面一に平坦化する工程と、前記基板両面に無電解金属めっき及び電界金属めっきを連続して行い前記充填剤を覆う第1,第2導体層を形成する工程と、前記充填剤層に積層する前記第1導体層をエッチングにより除去することで第1導体パターンの形成と同時に第1開口パターンを形成して下地の前記充填剤層を露出させる工程と、前記第2導体層をエッチングにより除去することで下地の前記充填剤層を露出させた第2開口パターンを形成して前記第1開口パターンと対向する第2導体パターンを形成する工程と、前記第1導体層側から当該第1導体層をマスクとして前記第1開口パターンより露出する前記充填剤層にレーザー光を当該第1開口パターンのエッジ部に沿って走査させて照射することにより除去し、前記第2導体層を底部とする有底溝を形成する工程と、前記有底溝で囲まれた少なくとも前記充填剤層及び前記第2導体層が積層された基板不要部分を押圧して除去し基板基準孔を形成する工程と、を含み、前記基板基準孔の寸法と位置は前記充填剤層を除去した前記有底溝の前記第1開口パターンが形成された前記第1導体層の孔の寸法と位置で決まることを特徴とする。
また、第1導体層側から当該第1導体層をマスクとして第1開口パターンより露出する充填剤層にレーザー光を第1開口パターンのエッジ部に沿って走査させて照射することにより除去するだけで有底溝を形成し、該有底溝で囲まれた少なくとも充填剤層及び第2導体層が積層された基板不要部分を押圧して除去して基板に所望の形状の孔を形成することができるので、レーザー光のスポット径よりも大きな丸孔、長孔等を効率良く形成することができる。
また、第1開口パターンが形成された第1導体層をマスクとしてレーザー光を照射して有底溝を形成し、該有底溝で囲まれた基板不要部分を押圧して除去し基板基準孔を形成することで、加工形状が設計値とほとんど同じ孔開け加工を、金型を使わずに簡単に行うことができる。また、レーザー加工しやすい充填剤層を形成することで基板基準孔の孔壁面が荒れたりすることがなく、配線パターンの形成と共に位置精度及び仕上がりの良い基板基準孔を形成することができる。
また、第2導体パターンを有底溝の底部とすることにより、レーザー加工を行っても有底溝で囲まれた充填剤層が基板から脱落しないので、脱落した充填剤層がゴミとなって次にレーザー加工する基板の加工位置へのセットに悪影響を及ぼすことがない。
即ち、レーザーの加工条件を調整して第1開口パターンが形成された第1導体層の孔の寸法を基板基準孔の最小寸法として形成することにより、基板基準孔にピンを挿入する際に最小寸法である第1開口パターンの開口部が基準となるので、基板を固定するピンに対して基板に形成された第1導体パターンを高精度に位置決めすることができる。
これにより、第2導体パターンと充填剤層又は充填剤層及び絶縁樹脂基材の接着を剥がすだけで有底溝に囲まれた基板不要部分を容易に除去することができる。ここで外形寸法は、導体パターン若しくは開口パターンの外側の輪郭線で囲まれた形状の対比する部分の長さをいう。
これにより、第1開口パターンの周囲の導体層の反射率が向上するため、レーザー光照射部の第1導体層およびその下の充填剤層のダメージが小さくなり第1導体層を薄くすることができる。
図1(A)〜(J)を参照してパッケージ用基板に基準孔を形成する加工方法についてその製造工程と共に説明する。
尚、充填剤としては、熱硬化型穴埋めインキを用いたが、粒径の細かいフィラーが高充填された貫通孔充填性、研磨性及びレーザー加工性が良い絶縁樹脂材であれば、他の部材であってもよい。
Claims (6)
- 絶縁樹脂基材の両面に導電層を有する基板に貫通孔を穿孔する孔開け工程と、
前記貫通孔を埋める充填剤を充填して当該貫通孔を閉塞する工程と、
前記充填剤を研磨して前記基板両面に形成された導電層と面一に平坦化する工程と、
前記基板両面に無電解金属めっき及び電界金属めっきを連続して行い前記充填剤を覆う第1,第2導体層を形成する工程と、
前記充填剤層に積層する前記第1導体層をエッチングにより除去することで第1導体パターンの形成と同時に第1開口パターンを形成して下地の前記充填剤層を露出させる工程と、
前記第2導体層をエッチングにより除去することで下地の前記充填剤層を露出させた第2開口パターンを形成して前記第1開口パターンと対向する第2導体パターンを形成する工程と、
前記第1導体層側から当該第1導体層をマスクとして前記第1開口パターンより露出する前記充填剤層にレーザー光を当該第1開口パターンのエッジ部に沿って走査させて照射することにより除去し、前記第2導体層を底部とする有底溝を形成する工程と、
前記有底溝で囲まれた少なくとも前記充填剤層及び前記第2導体層が積層された基板不要部分を押圧して除去し基板基準孔を形成する工程と、を含み、
前記基板基準孔の寸法と位置は前記充填剤層を除去した前記有底溝の前記第1開口パターンが形成された前記第1導体層の孔の寸法と位置で決まることを特徴とする基板基準孔の加工方法。 - 前記充填剤はフィラー入りの熱硬化型穴埋めインキがスクリーン印刷により塗布され、加熱硬化して充填剤層を形成する請求項1記載の基板基準孔の加工方法。
- 前記基板基準孔は、前記第1開口パターンが形成された前記第1導体層の孔の寸法が最小寸法となるように形成される請求項1又は請求項2記載の基板基準孔の加工方法。
- 前記有底溝の底部を形成する前記第2導体パターンの外形寸法は対向する前記第1開口パターンの外形寸法より大きく形成される請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の基板基準孔の加工方法。
- 前記基板不要部分は、押圧部材による押圧、エアー圧の印加、或いは振動を含むいずれかの外力を加えることにより前記第2導体パターンと前記充填剤層又は前記充填材層及び絶縁樹脂基材とが剥離して除去される請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の基板基準孔の加工方法。
- 前記第1開口パターンおよび第2導体パターンを形成した後、少なくとも前記第1導体層にニッケルめっき層及び金めっき層を各々積層形成してから前記第1開口パターンを通じて前記充填剤層にレーザー光を照射する請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の基板基準孔の加工方法。
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