JP2013161050A - 光学素子ホルダ - Google Patents
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Abstract
【課題】光学素子とベースへの取付部とのオフセットを解消し、装置の設定時における光学素子の固定位置の割出しが不要、かつ設置時の調整工数の少なく、小型・安定性の高い光学素子ホルダを提供する。
【解決手段】本体12の薄肉部17と光学素子保持部材15の板状部20とを対向配置すると共に、本体12の円筒状の孔16にミラー等の光学素子13を保持する円筒部21を嵌入する。本体12をベースに取付けるための取付部11は、その中心線の延長線a−a上に光学素子13が位置するように配置される。
【選択図】図1
【解決手段】本体12の薄肉部17と光学素子保持部材15の板状部20とを対向配置すると共に、本体12の円筒状の孔16にミラー等の光学素子13を保持する円筒部21を嵌入する。本体12をベースに取付けるための取付部11は、その中心線の延長線a−a上に光学素子13が位置するように配置される。
【選択図】図1
Description
本発明は、光学系に備えられて、ミラー等の光学素子を、その傾動角度を調整可能に保持する光学素子ホルダに関する。
一般に、干渉計や他の光学装置においては、レーザ光等の光を反射して光路を変更するミラーが配置され、該ミラーが光を適切な角度で反射するためにその傾動角度を調整可能な状態でミラーを保持するミラーホルダが知られている(特許文献1,2参照)。
上記特許文献1,2記載のミラーホルダ1は、図4(a)及び(b)に示すように、防振台等のベースに取付けるための取付部である固定軸2を有する本体3と、ミラー5を一体的に保持するミラー保持部材6とが対向配置され、これら本体3及びミラー保持部材6の間に配置される引張コイルばね7の付勢力に抗して調整ネジ8,8を進退させることで、支点部9を中心として上記本体3に対するミラー5の傾動角を調整する。
しかしながら、上記特許文献1,2記載のものでは、ミラー5の反射面5aと固定軸2が所定量eオフセットしており、そのために装置の設定時におけるミラーの固定位置の割出しが必要であると共に、設置時のミラーの傾動角の調整にも調整工数が余分にかかってしまうという問題があった。また、このようなミラーと取付部のオフセットを解消するために、ベースとミラーホルダの間にプレートを追加して、該プレートに上記所定量eだけずらしてミラーホルダを固定することでオフセットを解消する方法が考えられるが、プレートの厚みの分光軸が高くなり安定性が低下すると共に、大型化と高コスト化を伴ってしまう。
そこで、本発明は、部材を追加することなくベースへの固定軸と光学素子とのオフセットを解消し、もって上述の課題を解決した光学素子ホルダを提供することを目的とするものである。
本発明は、ベースに取付けるための取付部(11)を有する本体(12)と、
前記本体(12)に対向配置され、光学素子(13)を一体的に保持する光学素子保持部材(15)と、
前記光学素子保持部材(15)を前記本体(12)に対して傾動自在に支持する支点部(27)と、
前記光学素子保持部材(15)及び前記本体(12)のいずれか一方に螺合され、他方に先端(29a,29a)が当接して、前記本体(12)に対する前記光学素子保持部材(15)の傾動角を調整する調整ネジ(29,29)と、
前記光学素子保持部材(15)と前記本体(12)とが、前記支点部(27)及び前記調整ネジ(29,29)を介して当接するように付勢する付勢部材(30,30)と、を備え、
前記取付部(11)の中心線の延長線(a−a)上に前記光学素子(13)を位置するように、前記取付部(11)および前記光学素子保持部材(15)が配置されてなる、
ことを特徴とする。
前記本体(12)に対向配置され、光学素子(13)を一体的に保持する光学素子保持部材(15)と、
前記光学素子保持部材(15)を前記本体(12)に対して傾動自在に支持する支点部(27)と、
前記光学素子保持部材(15)及び前記本体(12)のいずれか一方に螺合され、他方に先端(29a,29a)が当接して、前記本体(12)に対する前記光学素子保持部材(15)の傾動角を調整する調整ネジ(29,29)と、
前記光学素子保持部材(15)と前記本体(12)とが、前記支点部(27)及び前記調整ネジ(29,29)を介して当接するように付勢する付勢部材(30,30)と、を備え、
前記取付部(11)の中心線の延長線(a−a)上に前記光学素子(13)を位置するように、前記取付部(11)および前記光学素子保持部材(15)が配置されてなる、
ことを特徴とする。
例えば図1(f)を参照して、前記光学素子がミラー(13)であり、
前記取付部(11)の中心線の延長線(a−a)上に、前記ミラー(13)の反射面(13a)が実質的に位置する。
前記取付部(11)の中心線の延長線(a−a)上に、前記ミラー(13)の反射面(13a)が実質的に位置する。
例えば図1を参照して、前記取付部(11)と前記付勢部材(30,30)とが、前記光学素子(13)を間にして反対側に配置されてなる。
例えば図1を参照して、前記本体(12)は、正面視矩形状からなり、その中央部に円筒状の孔(16)を有すると共に、前記矩形状の対角線に対して一方側に薄肉部(17)を形成し、
前記光学素子保持部材(15)は、前記薄肉部(17)に対向するように配置される板状部(20)と、前記円筒状の孔(16)に嵌入するように前記光学素子(13)を保持した円筒部(21)と、を有し、
前記本体(12)と前記光学素子保持部材(15)とは、組み合わされて直方体形状を構成し、
前記本体(12)の薄肉部(17)以外の肉厚部分(19)に前記取付部(11)を配置してなる。
前記光学素子保持部材(15)は、前記薄肉部(17)に対向するように配置される板状部(20)と、前記円筒状の孔(16)に嵌入するように前記光学素子(13)を保持した円筒部(21)と、を有し、
前記本体(12)と前記光学素子保持部材(15)とは、組み合わされて直方体形状を構成し、
前記本体(12)の薄肉部(17)以外の肉厚部分(19)に前記取付部(11)を配置してなる。
例えば図1(a)又は(b)を参照して、前記調整ネジ(29,29)は、前記本体(12)に螺合されてなる。
なお、上述カッコ内の符号は、図面と対照するものであるが、何ら特許請求の範囲に記載される構成に影響を及ぼすものではない。
請求項1に係る本発明によると、ベースに取付ける取付部の中心線の延長線上に光学素子が配置され、取付部と光学素子の光路上の設置位置が一致するので、光学装置の設定時に光学素子の固定位置を割出して光路算出する必要がなく、かつ光学素子の傾動角の調整工数も少なくて済み、簡便に光学素子を光学装置に配置することができる。また、本体の取付部においてベースに直接取付けるため、小型・低光軸かつ高い安定度を維持したまま、光学素子を配置することができる。
請求項2に係る本発明によると、取付部の中心線の延長線上に、ミラーの反射面が実質的に位置し、取付部とミラーの反射面の光路上の設置位置が一致するので、光学装置の設定時にミラーの固定位置を割出して光路算出する必要がなく、かつミラーの傾動角の調整工数も少なくて済み、簡便にミラーを光学装置に配置することができる。
請求項3に係る本発明によると、取付部と付勢部材とが、光学素子を間にして反対側に配置されるので、取付部と付勢部材とが干渉することがなく、装置を小型化することができる。
請求項4に係る本発明によると、本体の薄肉部と光学素子保持部材の板状部とを対向配置すると共に、本体の薄肉部以外の肉厚部分に取付部を配置したので、光学素子ホルダを、全体で直方体形状からなるコンパクトな構成とすることができる。光学素子ホルダを小型化することで、光学素子がベースから近い位置に配置され、安定性を向上することができる。
請求項5に係る本発明によると、調整ネジが本体に螺合されるので、本体に調整ネジの質量が作用し、光学素子の傾動角を安定的に保持することができる。
以下、図面に沿って、本発明の実施の形態について説明する。ミラーホルダ(光学素子ホルダ)10は、図1に示すように、例えば干渉計における防振台等のベース(不図示)に取付けるための取付部11を有する本体12と、該本体12に対向配置され、光学素子であるミラー13を一体的に保持するミラー保持部材(光学素子保持部材)15と、を備える。
上記本体12は、正面視矩形状からなり、その中央部に円筒状の孔16を有すると共に、上記矩形状の対角線に対して一方側に配置されて略々直角3角形状に切欠かれた薄肉部17と、該薄肉部17以外の肉厚部分19と、からなる。なお、上記略々直角3角形状とは、正確な3角形に限定するものではなく、正面視矩形状の1個の角部を挟む2辺と、該2辺先端の角部分を含み、残る1個の角部側を肉厚部分として残して削った変形5角形状等の形状を含むものである。
上記ミラー保持部材15は、正面視又は平面視において、略々3角形状の板状部20と、該板状部20と一体に形成されて背面方向に延びる円筒部21と、を備えている。上記板状部20の上記円筒部21と反対側には、円周に一部が切欠かれたテーパー状の拡がり面22aを有するように孔22が形成され、該孔22の上記拡がり面22a側が段部22bになっていて、上記円筒部21に接続している。上記円筒部21の上部には、雌ネジ23を有する凸部25が軸方向に突出して設けられる。上記ミラー13は、上記円筒部21に嵌合されて、かつその反射面13a側を上記段部22bに位置決めされて、更に上記雌ネジ23に螺合される固定ネジ26によって上記ミラー保持部材15に固定される。
上記本体12と上記ミラー保持部材15は、上記本体12の円筒状の孔16に上記ミラー保持部材15の円筒部21が嵌入すると共に、上記本体12の薄肉部17に対向するように上記ミラー保持部材15の板状部20が配置されて、全体では正面視において略々正方形からなる直方体形状に構成されている。上記薄肉部17及び板状部20における直角3角形の頂角(直角)部分には、上記ミラー保持部材15を上記本体12に対して傾動自在に支持する支点部27が配置され、該支点部27は、例えば上記本体12とミラー保持部材15にすり鉢形状からなり互いに対向配置される凹部を形成し、該凹部にボールを挟持する構成からなる。
上記本体12の薄肉部17の上記支点部27が配置される頂角部分を挟む2辺の上記頂角部分と離れた側の角部分には、上記ミラー保持部材15の反対側から調整ネジ29,29が螺合され、上記調整ネジ29,29は、先端29a,29aが上記ミラー保持部材15の上記板状部20に当接して押圧する。正面視又は背面視において(図1(d)(b)参照)、上記支点部27と上記調整ネジ29,29との間には、上記本体12と上記ミラー保持部材15とが、上記支点部27および上記調整ネジ29,29を介して当接するように付勢する引張コイルばね(付勢部材)30,30が配置されている。
上記本体12の肉厚部分19には、ベースに取付けるための上記取付部11,11が配置され、2つの取付部11,11は、水平方向及び垂直方向の両方に取付けられるように設けられたものであり、それらの中心線の延長線は上記ミラー13の中心Dにおいて直交する。上記取付部11,11は、正面視又は背面視において(図1(d)(b)参照)、上記ミラー13を間にして、上記引張コイルばね30,30と反対側に配置されている。上記取付部11,11と引張コイルばね30,30とは干渉することがなく、上述の上記本体12と上記ミラー保持部材15が組み合わされて全体で直方体形状に構成されることと相俟って、ミラーホルダ10を小型化することができ、小型化に伴って上記ミラー13がベースから近い位置に配置されるため、安定的に上記ミラー13を保持することができる。
上記取付部11の中心線の延長線a−a上に、上記ミラー13の反射面13aの中心Dが実質的に位置するように配置され、反射面13aによる光の反射位置が、取付部11の中心線の延長線a−a上に実質的に位置する(図1(f)参照)。
本実施の形態は、以上のような構成からなるので、ミラーホルダ10は、引張コイルばね30,30が、ミラー保持部材15を本体12に螺合する調整ネジ29,29の先端29a,29a及び支点部27に付勢し、これら3点において本体12はミラー保持部材15を支持する。ミラー保持部材15に装着されるミラー13の反射面13aが調整ネジ29,29に対して垂直な状態を中立位置とすると、ミラー13が該中立位置にある状態で、ミラーホルダ10は、図2に示すように、取付部11に下方からロッド31を螺合して固定されるか、若しくは図3に示すように、上方から取付ネジ32によって様々な光学装置のベースに取付けられて、光学装置における光路上に配置される。この状態では、取付部11,ロッド31,又は取付ネジ32の中心線の延長線a−a上にミラー13の反射面13aの中心Dが位置するため、取付部11とミラー13の反射面13aの設置位置は光路上における同一平面にある。
次に、引張コイルばね30,30の付勢力に抗して、本体12に螺合する調整ネジ29,29を回転してミラー保持部材15の板状部20を押圧し、支点部27を支点として本体12に対するミラー保持部材15及びミラー13の傾動角を所望の角度に調整する。上記中立位置からミラー13の傾動角を変更しても、取付部11の中心線の延長線a−aに対するミラー13の反射面13aの中心Dの移動は微小であって、上記延長線a−aと中心Dが同軸上に位置するように近似され、また、2本の調整ネジ29,29の互いの進退位置によっては、取付部11と反射面13aの中心Dの位置を同軸上にすることが可能である。
したがって、ミラー13の本体12に対する傾動角を上記中立位置から変更しても、取付部11の中心線の延長線a−aが、ミラー13の反射面13aの中心D近傍に位置するので、光学装置の設定時にミラー13の固定位置を割出して光路算出する必要はなく、簡便に光学素子を光学装置に配置することができ、かつミラーホルダ10によるミラー13の傾動角の調整を容易に行うことができる。
なお、上述のミラー保持部材15は、ミラー13に限らず、レンズ,プリズム,光学フィルタ等の他の光学素子を保持してもよく、例えば凸レンズの場合では、その中心面が上述のミラーの反射面の位置に対応するように配置する。
また、上述した実施の形態は、調整ネジ29,29を本体12に螺合して配置したが、これら調整ネジ29,29をミラー保持部材15に螺合して、先端を本体12に当接してミラー保持部材15及びミラー13の傾動角を調整自在に設けても良い。
また、本体12にミラー保持部材15を付勢する手段として、引張コイルばね30,30ではなく、本体12及びミラー保持部材15のそれぞれに互いに吸着する磁石を配置しても良い。
また、上記薄肉部17及び該薄肉部17に対向配置される板状部20は、直角3角形状に限らず、例えば上記支点部27が配置される頂角部分の対辺側が直線状でなく、階段形状や曲線形状になってもよく、上記本体12と上記ミラー保持部材15が組み合わされて略直方体形状となればどんな形状でも良い。
10 ミラーホルダ(光学素子ホルダ)
11 取付部
12 本体
13 ミラー(光学素子)
15 ミラー保持部材(光学素子保持部材)
16 孔
17 薄肉部
19 肉厚部分
20 板状部
21 円筒部
27 支点部
29,29 調整ネジ
29a,29a 先端
30,30 引張コイルばね(付勢部材)
a−a 中心線の延長線
11 取付部
12 本体
13 ミラー(光学素子)
15 ミラー保持部材(光学素子保持部材)
16 孔
17 薄肉部
19 肉厚部分
20 板状部
21 円筒部
27 支点部
29,29 調整ネジ
29a,29a 先端
30,30 引張コイルばね(付勢部材)
a−a 中心線の延長線
Claims (5)
- ベースに取付けるための取付部を有する本体と、
前記本体に対向配置され、光学素子を一体的に保持する光学素子保持部材と、
前記光学素子保持部材を前記本体に対して傾動自在に支持する支点部と、
前記光学素子保持部材及び前記本体のいずれか一方に螺合され、他方に先端が当接して、前記本体に対する前記光学素子保持部材の傾動角を調整する調整ネジと、
前記光学素子保持部材と前記本体とが、前記支点部及び前記調整ネジを介して当接するように付勢する付勢部材と、を備え、
前記取付部の中心線の延長線上に前記光学素子を位置するように、前記取付部および前記光学素子保持部材が配置されてなる、
ことを特徴とする光学素子ホルダ。 - 前記光学素子がミラーであり、
前記取付部の中心線の延長線上に、前記ミラーの反射面が実質的に位置する、
請求項1記載の光学素子ホルダ。 - 前記取付部と前記付勢部材とが、前記光学素子を間にして反対側に配置されてなる、
請求項1又は2記載の光学素子ホルダ。 - 前記本体は、正面視矩形状からなり、その中央部に円筒状の孔を有すると共に、前記矩形状の対角線に対して一方側に薄肉部を形成し、
前記光学素子保持部材は、前記薄肉部に対向するように配置される板状部と、前記円筒状の孔に嵌入するように前記光学素子を保持した円筒部と、を有し、
前記本体と前記光学素子保持部材とは、組み合わされて直方体形状を構成し、
前記本体の薄肉部以外の肉厚部分に前記取付部を配置してなる、
請求項1ないし3のいずれか記載の光学素子ホルダ。 - 前記調整ネジは、前記本体に螺合されてなる、
請求項1ないし4のいずれか記載の光学素子ホルダ。
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