JP2013158848A - ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基端部が、アーム支軸を介して回転可能に設けられる一方、先端部には出力軸が設けられ、内部には出力軸を減速駆動する駆動機構が配設されたアームを備える。駆動機構は、少なくともモータ軸と、モータ軸に設けられた駆動側プーリと、所定の減速比を有し、出力軸に直接設けられた従動側プーリと、従動側プーリと駆動側プーリとを連動連結するベルトとを備える。かかる構成により、アームの軽量化を図ることができる。
【選択図】図2
Description
次に、図7、図8Aおよび図8Bを参照して、他の実施形態に係るロボット1のハンド駆動機構8について説明する。図7は、他の実施形態に係るロボット1のアームの側断面視による模式的説明図、図8Aは、同ロボット1のアームの側断面視による第1駆動機構を示す模式的説明図、図8Bは、同ロボット1のアームの側断面視による第2駆動機構を示す模式的説明図である。
2 胴体部
3 アーム部
4 ハンド部
4a 第1ハンド
4b 第2ハンド
7 第2アーム
8 ハンド駆動機構
8a 第1駆動機構
8b 第2駆動機構
9a 第1モータ
9b 第2モータ
81a 第1駆動側プーリ
81b 第2駆動側プーリ
82a 第1従動側プーリ
82b 第2従動側プーリ
83a 第1中間プーリ
83b 第2中間プーリ
84a 第1ベルト
84b 第2ベルト
84aF 第1前段伝動ベルト
84bF 第2前段伝動ベルト
84aM 第1中段伝動ベルト
84bM 第2中段伝動ベルト
84aR 第1後段伝動ベルト
84bR 第2後段伝動ベルト
91a 第1駆動軸
91b 第2駆動軸
103 ハンド支軸(出力軸)
831a 第1駆動側中間プーリ
831b 第2駆動側中間プーリ
832a 第1駆動側サブプーリ
832b 第2駆動側サブプーリ
833a 第1従動側中間プーリ
833b 第2従動側中間プーリ
834a 第1従動側サブプーリ
834b 第2従動側サブプーリ
835a 第1駆動側ベースプレート
835b 第2駆動側ベースプレート
836a 第1駆動側連結部材
836b 第2駆動側連結部材
837a 第1駆動側支持プレート
837b 第2駆動側支持プレート
838a 第1従動側ベースプレート
838b 第2従動側ベースプレート
839a 第1従動側連結部材
839b 第2従動側連結部材
840a 第1従動側支持プレート
840b 第2従動側支持プレート
1031 第1ハンド支軸
1032 第2ハンド支軸
Claims (11)
- 基端部が、アーム支軸を介して回転可能に設けられる一方、先端部には出力軸が設けられ、内部には前記出力軸を減速駆動する駆動機構が配設されたアームを備え、
前記駆動機構は、
少なくともモータ軸と、
前記モータ軸に設けられた駆動側プーリと、
所定の減速比を有し、前記出力軸に直接設けられた従動側プーリと、
前記駆動側プーリと前記従動側プーリとの間に、所定の減速比を有する少なくとも1つの中間プーリと、
前記駆動側プーリと前記従動側プーリとを、前記中間プーリを介して連動連結する複数のベルトと、
を備えることを特徴とするロボット。 - 前記アームの先端部に設けられた出力軸は、ハンド部を回転可能に支持するハンド支軸であること
を特徴とする請求項1に記載のロボット。 - 前記中間プーリは、
前記駆動側プーリに、前段伝動ベルトを介して連動連結される駆動側中間プーリと、
当該駆動側中間プーリと同軸に設けた駆動側サブプーリと
を有する前段中間プーリと、
前記従動側プーリに、後段伝動ベルトを介して連動連結される従動側中間プーリと、
当該従動側中間プーリと同軸に設けられ、前記前段中間プーリの前記駆動側サブプーリに中段伝動ベルトを介して連動連結される従動側サブプーリと
を有する後段中間プーリと、
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のロボット。 - 前記前段中間プーリの前記駆動側中間プーリおよび前記駆動側サブプーリと、
前記後段中間プーリの前記従動側中間プーリおよび前記従動側サブプーリとは、
それぞれ、ベースプレートに連結部材を介して連結した支持プレートとの間に、同軸上に重ねて配設されること
を特徴とする請求項3に記載のロボット。 - 前記駆動側プーリが取付けられたモータ、前記前段中間プーリ、および前記後段中間プーリは、前記ベルトの巻装方向に移動自在に取り付けられており、
前記後段中間プーリ、前記前段中間プーリ、および前記モータと順次移動させることによって前記複数のベルトの張力をそれぞれ調整可能に構成したこと
を特徴とする請求項3または4に記載のロボット。 - 前記前段伝動ベルトよりも前記中段伝動ベルトが、当該中段伝動ベルトよりも前記後段伝動ベルトが、より広幅に形成されていること
を特徴とする請求項3、4または5に記載のロボット。 - 前記ハンド部は、
前記ハンド支軸に沿って所定間隔をあけて設けられた複数のハンドを備え、
前記駆動機構は、
各前記ハンドにそれぞれ対応して設けられること
を特徴とする請求項2〜6のいずれか1つに記載のロボット。 - 前記複数のハンドは、
第1ハンド支軸に取付けられた第1ハンド、および第2ハンド支軸に取付けられた第2ハンドであり、
前記駆動機構は、
前記第1ハンドに対応する第1駆動機構と、前記第2ハンドに対応する第2駆動機構とであり、
前記第1駆動機構は、
第1モータと、
当該第1モータの駆動軸に設けられた第1駆動側プーリと、
所定の減速比を有し、前記第1ハンド支軸に直接設けられた第1従動側プーリと、
前記第1駆動側プーリと前記第1従動側プーリとの間に設けられた所定の減速比を有する少なくとも1つの第1中間プーリと
を備え、
前記第2駆動機構は、
第2モータと、
当該第2モータの駆動軸に設けられた第2駆動側プーリと、
所定の減速比を有し、前記第2ハンド支軸に直接設けられた第2従動側プーリと、
前記第2駆動側プーリと前記第2従動側プーリとの間に設けられた所定の減速比を有する少なくとも1つの第2中間プーリと
を備え、
筒状に形成した前記第2ハンド支軸には前記第1ハンド支軸が挿嵌され、当該第1ハンド支軸と前記第2ハンド支軸とは、互いの軸心が同一となるように構成され、
前記第1モータと前記第2モータとは、前記アームの幅方向に並設されること
を特徴とする請求項7に記載のロボット。 - 前記アームは、
基端部が、設置面に設けられた胴体部に第1アーム支軸を介して回転可能に設けられた第1アームと、
当該第1アームの先端部に、基端部が第2アーム支軸を介して回転可能に設けられる一方、先端部には、前記ハンド部が前記ハンド支軸を介して回転可能に設けられた第2アームとからなり、
前記駆動機構は、
前記第2アーム内に配設されること
を特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載のロボット。 - 前記第1中間プーリは、
前記第1駆動側プーリに、第1前段伝動ベルトを介して連動連結される第1駆動側中間プーリと、当該第1駆動側中間プーリと同軸に設けられた第1駆動側サブプーリとを有する第1前段中間プーリと、
前記第1前段中間プーリの前記第1駆動側サブプーリに、第1中段伝動ベルトを介して連動連結される第1従動側サブプーリと、当該第1従動側サブプーリと同軸に設けられ、第1後段伝動ベルトを介して前記第1従動側プーリに連動連結される第1従動側中間プーリとを有する第1後段中間プーリと
を備え、
前記第2中間プーリは、
前記第2駆動側プーリに、第2前段伝動ベルトを介して連動連結される第2駆動側中間プーリと、当該第2駆動側中間プーリと同軸に設けられた第2駆動側サブプーリとを有する第2前段中間プーリと、
前記第2前段中間プーリの前記第2駆動側サブプーリに、第2中段伝動ベルトを介して連動連結される第2従動側サブプーリと、当該第2従動側サブプーリと同軸に設けられ、第2後段伝動ベルトを介して前記第2従動側プーリに連動連結される第2従動側中間プーリとを有する第2後段中間プーリと
を備え、
前記第1前段中間プーリと前記第2前段中間プーリとは、
前記第1駆動側中間プーリと前記第2駆動側中間プーリとが、同一高さに配置されており、
前記第1後段中間プーリと前記第2後段中間プーリとは、
互いに天地逆向きに配設され、前記第1従動側サブプーリと前記第2従動側サブプーリとが、平面視で一部重合するように配置され、
前記第1モータと前記第2モータとは、少なくともモータの基端部が前記第1アーム内に配置されること
を特徴とする請求項9に記載のロボット。 - 前記第1中間プーリは、
前記第1駆動側プーリに、第1前段伝動ベルトを介して連動連結される第1駆動側中間プーリと、当該第1駆動側中間プーリと同軸に設けられた第1駆動側サブプーリとを有する第1前段中間プーリと、
前記第1前段中間プーリの前記第1駆動側サブプーリに、第1中段伝動ベルトを介して連動連結される第1従動側サブプーリと、当該第1従動側サブプーリと同軸に設けられ、第1後段伝動ベルトを介して前記第1従動側プーリに連動連結される第1従動側中間プーリとを有する第1後段中間プーリと
を備え、
前記第2中間プーリは、
前記第2駆動側プーリに、第2前段伝動ベルトを介して連動連結される第2駆動側中間プーリと、当該第2駆動側中間プーリと同軸に設けられた第2駆動側サブプーリとを有する第2前段中間プーリと、
前記第2前段中間プーリの前記第2駆動側サブプーリに、第2中段伝動ベルトを介して連動連結される第2従動側サブプーリと、当該第2従動側サブプーリと同軸に設けられ、第2後段伝動ベルトを介して前記第2従動側プーリに連動連結される第2従動側中間プーリとを有する第2後段中間プーリと
を備え、
前記第1モータと前記第2モータとは、それぞれの駆動軸の突出方向が互いに逆向きになるように前記第2アーム内に配設されており、
前記第1前段中間プーリと前記第2前段中間プーリとは、
互いに天地逆向きに配設され、前記第1駆動側中間プーリと前記第2駆動側中間プーリとが、平面視で一部重合するように配置されること
を特徴とする請求項9に記載のロボット。
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---|---|---|---|
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TW101150142A TWI487606B (zh) | 2012-02-01 | 2012-12-26 | 機器人 |
CN201210592401.1A CN103240732B (zh) | 2012-02-01 | 2012-12-31 | 机器人 |
KR1020130001905A KR20130089181A (ko) | 2012-02-01 | 2013-01-08 | 로봇 |
US13/739,271 US9028197B2 (en) | 2012-02-01 | 2013-01-11 | Robot with plurality of belts and intermediate pulley |
KR1020140162422A KR20140140534A (ko) | 2012-02-01 | 2014-11-20 | 로봇 |
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---|---|
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104669277A (zh) * | 2015-03-11 | 2015-06-03 | 宿州学院 | 一种双臂型写字机器人及其控制方法 |
CN109746905A (zh) * | 2017-11-06 | 2019-05-14 | 精工爱普生株式会社 | 机器人及机器人系统 |
JP2020009818A (ja) * | 2018-07-03 | 2020-01-16 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5423910B1 (ja) * | 2013-01-17 | 2014-02-19 | 株式会社安川電機 | ロボット |
WO2015103089A1 (en) * | 2014-01-05 | 2015-07-09 | Applied Materials, Inc | Robot apparatus, drive assemblies, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing |
EP3484397B1 (en) | 2016-07-14 | 2024-07-24 | Intuitive Surgical Operations, Inc. | Multi-cable medical instrument |
JP6605432B2 (ja) * | 2016-12-07 | 2019-11-13 | 株式会社神戸製鋼所 | 産業用ロボット |
CN108007209A (zh) * | 2017-11-28 | 2018-05-08 | 乐山新天源太阳能科技有限公司 | 用于硅片烧结炉的上料装置 |
CN108426008A (zh) * | 2018-04-27 | 2018-08-21 | 太仓维高模塑有限公司 | 一种减速机构 |
JP7078479B2 (ja) * | 2018-07-13 | 2022-05-31 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボットおよびロボットシステム |
JP2023174279A (ja) * | 2022-05-27 | 2023-12-07 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボットおよびロボットシステム |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6048284A (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-15 | 株式会社日立製作所 | ロボットの動力伝動装置構造 |
JP2001113489A (ja) * | 1999-10-18 | 2001-04-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 産業用ロボット |
JP2009058870A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Sony Corp | レンズ鏡筒回転駆動機構及びレンズ鏡筒回転型撮像装置 |
JP2011000659A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Sinfonia Technology Co Ltd | ダブルハンドロボットの減速機構 |
JP2011224743A (ja) * | 2010-04-21 | 2011-11-10 | Yaskawa Electric Corp | 水平多関節ロボットおよびそれを備えた基板搬送システム |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6048284B2 (ja) * | 1979-01-30 | 1985-10-26 | 日立精機株式会社 | 工作機械のチャック装置 |
JP5134182B2 (ja) * | 2001-07-13 | 2013-01-30 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 独立多エンドエフェクタを備えた基板移送装置 |
JP2003170384A (ja) | 2001-12-04 | 2003-06-17 | Rorze Corp | 平板状物の搬送用スカラ型ロボットおよび平板状物の処理システム |
US8573919B2 (en) * | 2005-07-11 | 2013-11-05 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
EP2520398A4 (en) * | 2009-12-28 | 2014-10-29 | Ulvac Inc | DRIVE DEVICE AND CONVEYOR |
-
2012
- 2012-02-01 JP JP2012020239A patent/JP5729319B2/ja active Active
- 2012-12-26 TW TW101150142A patent/TWI487606B/zh not_active IP Right Cessation
- 2012-12-31 CN CN201210592401.1A patent/CN103240732B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-01-08 KR KR1020130001905A patent/KR20130089181A/ko active Application Filing
- 2013-01-11 US US13/739,271 patent/US9028197B2/en active Active
-
2014
- 2014-11-20 KR KR1020140162422A patent/KR20140140534A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6048284A (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-15 | 株式会社日立製作所 | ロボットの動力伝動装置構造 |
JP2001113489A (ja) * | 1999-10-18 | 2001-04-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 産業用ロボット |
JP2009058870A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Sony Corp | レンズ鏡筒回転駆動機構及びレンズ鏡筒回転型撮像装置 |
JP2011000659A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Sinfonia Technology Co Ltd | ダブルハンドロボットの減速機構 |
JP2011224743A (ja) * | 2010-04-21 | 2011-11-10 | Yaskawa Electric Corp | 水平多関節ロボットおよびそれを備えた基板搬送システム |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104669277A (zh) * | 2015-03-11 | 2015-06-03 | 宿州学院 | 一种双臂型写字机器人及其控制方法 |
CN109746905A (zh) * | 2017-11-06 | 2019-05-14 | 精工爱普生株式会社 | 机器人及机器人系统 |
CN109746905B (zh) * | 2017-11-06 | 2023-11-03 | 精工爱普生株式会社 | 机器人及机器人系统 |
JP2020009818A (ja) * | 2018-07-03 | 2020-01-16 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP7191564B2 (ja) | 2018-07-03 | 2022-12-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130195600A1 (en) | 2013-08-01 |
CN103240732B (zh) | 2015-07-15 |
TW201343344A (zh) | 2013-11-01 |
JP5729319B2 (ja) | 2015-06-03 |
CN103240732A (zh) | 2013-08-14 |
US9028197B2 (en) | 2015-05-12 |
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