KR20140140534A - 로봇 - Google Patents

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KR20140140534A
KR20140140534A KR1020140162422A KR20140162422A KR20140140534A KR 20140140534 A KR20140140534 A KR 20140140534A KR 1020140162422 A KR1020140162422 A KR 1020140162422A KR 20140162422 A KR20140162422 A KR 20140162422A KR 20140140534 A KR20140140534 A KR 20140140534A
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pulley
driven
drive
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arm
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KR1020140162422A
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마사토시 후루이치
오사무 고미야지
마사유키 스즈키
히로키 사네마사
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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

로봇은 기단부가, 관절부를 개재(介在)해서 회전 가능하게 설치되는 한편, 선단부에는 출력축이 설치되고, 내부에는 출력축을 감속 구동하는 구동 기구가 배치된 아암을 구비하고 있다. 구동 기구는, 적어도 모터 축과, 모터 축에 설치된 구동측 풀리와, 소정의 감속비를 갖고, 출력축으로 직접 설치된 종동측 풀리와, 종동측 풀리와 구동측 풀리를 연동 연결하는 벨트를 구비하고 있다. 그러한 구성에 의해, 아암의 경량화를 도모할 수 있다.

Description

로봇{Robot}
본원 개시의 실시 형태는, 로봇에 관한 것이다．
종래, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 반송하는 로봇으로서, 이른바 수평 다관절 로봇이 알려져 있다. 수평 다관절 로봇은, 선회 가능한 아암의 선단부에 엔드 이펙터가 되는 핸드를, 아암에 대하여 수평 회전 가능하게 설치하고, 이 핸드로 기판을 유지 가능하게 하고 있다(예를 들면, 특허 문헌 1을 참조).
그러한 로봇에서는, 통상, 핸드를 구동하는 핸드 구동 기구를 아암의 하우징 내에 배치하고 있다. 핸드 구동 기구로서는, 예를 들면, 하모닉 드라이브(등록 상표) 감속 기구와 같이 기어 기구를 이용한 감속 장치가 일반적으로 이용되고 있다.
(특허 문헌 1) 일본 특허 공개 공보 제 2011-224743 호
상술한 종래의 구성과 같이, 핸드 구동 기구에 종래의 기어 기구를 이용한 감속 장치를 채용하면, 아무래도 아암 중량이 증가한다. 또한, 아암의 슬림화도 어렵게 된다.
실시 형태의 일 형태는, 아암의 경량화나 슬림화를 실현 가능하게 한 구동 기구를 가지는 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.
실시 형태의 일 형태에 관한 로봇은, 기단부가 관절부를 개재해서 회전 가능하게 설치되는 한편, 선단부에는 출력축이 설치되는 아암과, 상기 아암의 내부에 배설되고, 상기 출력축을 감속 구동하는 구동 기구를 구비하고 있다. 상기 구동 기구는, 모터 축과, 상기 모터축에 설치된 구동측 풀리와, 상기 출력축에 직접 설치된 종동측 풀리와, 상기 구동측 풀리와 상기 종동측 풀리와의 사이에 마련된 적어도 하나의 중간 풀리와, 상기 구동측 풀리와 상기 종동측 풀리를, 상기 중간 풀리를 개재하여 연동 연결하는 복수의 벨트를 구비하고 있다.
실시 형태의 일 형태에 의하면, 출력축을 개재해서, 예를 들면, 엔드 이펙터 등을 구동 가능하게 한 아암의 경량화 및 슬림화를 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 로봇의 모식적 설명도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 로봇의 아암의 평면시에 의한 모식적 설명도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 로봇의 아암의 측단면시에 의한 제 1 구동 기구를 도시하는 모식적 설명도이다.
도 4a는 본 발명의 실시 형태에 따른 제 1 구동 기구의 제 1 전단 중간 풀리의 모식적 설명도이다.
도 4b는 본 발명의 실시 형태에 따른 제 1 구동 기구의 제 1 후단 중간 풀리의 모식적 설명도이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태에 따른 로봇의 아암의 측단면시에 의한 제 2 구동 기구를 도시하는 모식적 설명도이다.
도 6a는 본 발명의 실시 형태에 따른 제 2 구동 기구의 제 2 전단 중간 풀리의 모식적 설명도이다.
도 6b는 본 발명의 실시 형태에 따른 제 2 구동 기구의 제 2 후단 중간 풀리의 모식적 설명도이다.
도 7은 다른 실시 형태에 따른 로봇의 아암의 사시도에 의한 모식적 설명도이다.
도 8a는 다른 실시 형태에 따른 로봇의 아암의 사시도에 의한 제 1 구동 기구를 도시하는 모식적 설명도이다.
도 8b는 다른 실시 형태에 따른 로봇의 아암의 사시도에 의한 제 2 구동 기구를 도시하는 모식적 설명도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 본원이 개시하는 로봇의 실시 형태를 상세하게 설명한다. 또, 이하에서는, 로봇을 수평 다관절 타입의 로봇으로서 설명하지만, 이하에 기술하는 실시 형태에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.
우선, 본 실시 형태에 따른 수평 다관절 타입의 로봇(이하, 간단히 「로봇(1)」이라고 한다)의 개략 구성에 대해서, 도 1을 이용하여 설명한다. 도 1은 본 실시 형태에 따른 로봇(1)의 모식적 설명도이다.
또, 이하에 있어서, 로봇(1)의 각 구성 요소의 상대적인 위치 관계를 설명할 경우, 상하, 좌우, 및 전후 혹은 전방, 안쪽으로 방향을 나타낼 경우가 있다. 그 경우, 도 1에 나타낸 3차원 직교 좌표계를 기준으로 해서 Z 방향을 상 방향, X 방향을 수평 우 방향, Y 방향을 안쪽 방향이라고 한다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 로봇(1)은, 바닥면 등의 소정의 설치면에 설치된 동체부(2)와, 동체부(2)에 대하여 수평 방향으로 회전 자유롭게 설치되고, 선단부에, 역시 수평 방향으로 회전 자유롭게 설치된 핸드부(4)를 구비하는 아암부(3)를 구비하고 있다.
동체부(2)는, 로봇(1)의 기대(基台)이며, 세로로 긴 상자 모양으로 형성되고, 아암부(3)를 승강시키기 위한 승강부(5)를 구동하는 승강 기구(도시하지 않음) 등을 내장하고 있다. 또, 승강 기구로서는, 예를 들면, 모터와 볼 나사를 이용한 주지 구조의 기구를 이용할 수 있다.
아암부(3)는, 기둥 모양으로 형성된 전술의 승강부(5)를 개재해서 동체부(2)의 상면으로부터 연직 방향(Z축 방향)으로 슬라이드 가능하게 설치되어 있다(도면 중의 양쪽 화살표(100a) 참조).
또한, 아암부(3)는, 제 1 아암(6)과 제 2 아암(7)으로 구성되고, 제 1 아암(6)은, 기단부가 승강부(5)의 상단에 제 1 관절부(61)의 제 1 아암 지축을 개재해서 회전 가능하게 설치되어 있다. 또한, 제 2 아암(7)은, 제 1 아암(6)의 선단부에, 기단부가 제 2 관절부(62)의 제 2 아암 지축을 개재해서 회전 가능하게 설치되어 있다.
그리고, 제 2 아암(7)의 단부에 핸드부(4)가 제3 관절부(63)의 핸드 지축(103)(도 2, 도 3 및 도 5를 참조)을 개재해서 회전 가능하게 설치되어 있다. 도 1 중, 부호 101a는 제 1 관절부(61)의 축심, 부호 102a는 제 2 관절부(62)의 축심, 부호(103a)는 제3 관절부(63)(핸드 지축(103))의 축심을 나타낸다.
핸드부(4)는, 웨이퍼를 유지하는 엔드 이펙터이며, 포크 형상으로 형성된 제 1 핸드(4a)와, 제 2 핸드(4b)로 구성되어 있다.
제 1 핸드(4a) 및 핸드(4b) 제 2 핸드(4b)는, 출력축이 되는 핸드 지축(103)을 따라 소정 간격을 두고 설치되어 있다. 즉, 제 1 핸드(4a) 및 제 2 핸드(4b)는, 핸드 지축(103)을 같은 축으로 해서 상하로 겹쳐진 상태로, 또한, 각각 소정의 회동 범위에서 독립해서 회전 가능하게 설치되어 있다.
또, 제 1 핸드(4a) 및 제 2 핸드(4b)는, 각각 자유롭게 수평 방향으로 회전 할 수 있지만, 무한히 회전하는 것은 아니고, 각각 필요한 회전량으로 회전 동작을 규제하는 스토퍼 기구(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 스토퍼 기구로서는, 주지 구조의 것을 적절히 채용하면 된다.
또한, 제 1 핸드(4a) 및 제 2 핸드(4b)에는, 예를 들면, 탑재하는 기판의 유무를 검출하는 센서 등이 설치되어 있고, 그러한 센서에는 케이블(11a, 11b)이 접속되어 있다. 그리고, 그러한 케이블(11a, 11b)은, 제 1 아암(6)과 제 2 아암(7) 내를 통해 동체부(2) 내로 신연(伸延)하고 있다(도 3을 참조).
또, 도시하는 바와 같이, 제 1 핸드(4a) 및 제 2 핸드(4b)는, 양쪽 모두 동일한 구성을 하고 있지만, 양쪽이 다른 구성을 해도 좋다. 또한, 본 실시 형태에서는, 핸드부(4)가 2개의 핸드로 이루어지는 구성으로 했지만, 개수를 한정하는 것은 아니다.
상술한 로봇(1)은, 예를 들면, 도시하지 않은 기판 반송 시스템 등에 설치되어, 웨이퍼 등의 기판을 반송하는 데 적절히 이용할 수 있다. 기판 반송 시스템은, 예를 들면, 세정, 에칭, 애싱, CVD, 노광 등의 처리를 기판에 실시하는 처리 장치에 병설된다. 또, 당연한 것이기는 하지만, 로봇(1)은, 여러 개소에 설치되어 기판 등과 같은 판 형상체를 소망하는 위치 사이에서 반송할 수 있다.
다음은, 도 2~도 6b를 참조하면서, 본 실시 형태에 따른 로봇(1)의 주요부가 되는 핸드 구동 기구(8)에 대해서 설명한다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 핸드 구동 기구(8)는, 전술한 출력축이 되는 핸드 지축(103)을 감속 구동하는 구동 기구로서, 제 1 모터(9a) 및 제 2 모터(9b)를 구동원(9)으로 해서, 제 2 아암(7)을 구성하는 아암 하우징(70) 내부에 설치되어 있다.
도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 핸드 지축(103)은, 제 1 핸드(4a)를 연결하는 제 1 핸드 지축(1031)과, 제 2 핸드(4b)를 연결하는 제 2 핸드 지축(1032)을 조합한 구성을 가진다.
즉, 도 3에 도시하는 바와 같이, 내경이 제 1 핸드 지축(1031)의 외경 보다 큰 통 모양으로 형성한 제 2 핸드 지축(1032)에, 역시 통 모양으로 형성된 제 1 핸드 지축(1031)이 삽입되어 구성되고, 제 1 핸드 지축(1031)과 제 2 핸드 지축(1032)은, 서로의 축심(103a)이 동일하게 된다.
그리고, 핸드 구동 기구(8)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 제 1 핸드(4a)에 대응하는 제 1 구동 기구(8a)와, 제 2 핸드(4b)에 대응하는 제 2 구동 기구(8b)로 구성된다.
즉, 제 1 구동 기구(8a)는, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 제 1 모터(9a)와, 이 제 1 모터(9a)의 모터 축인 제 1 구동축(91a)에 설치된 제 1 구동측 풀리(81a)와, 소정의 감속비를 갖고, 제 1 핸드 지축(1031)에 직접 설치된 제 1 종동측 풀리(82a)를 구비하고 있다. 또한, 제 1 구동 기구(8a)는, 제 1 구동측 풀리(81a)와 제 1 종동측 풀리(82a)와의 사이에, 소정의 감속비를 갖는 적어도 1개의 제 1 중간 풀리(83a)와, 이 제 1 중간 풀리(83a)를 개재해서 제 1 구동측 풀리(81a)와 제 1 종동측 풀리(82a)를 연동 연결하는 복수의 제 1 벨트(84a)를 구비하고 있다.
도시하는 바와 같이, 제 1 중간 풀리(83a)로서, 제 1 구동 기구(8a)는, 제 1 전단 중간 풀리(830aF)(도 4a 참조)와, 제 1 후단 중간 풀리(830aR)(도 4b 참조)를 구비하고 있다. 후술하는 제 1 전단 중간 풀리(830aF)의 제 1 구동축 중간 풀리(831a)는 제 1 구동축 풀리(81a)보다 큰 직경을 가지며, 제 1 구동측 풀리(81a)에 대하여 소정의 감속비를 가진다. 또한, 제 1 후단 중간 풀리(830aR)는 제 1 전단 중간 풀리(830aF)보다 큰 직경을 가지며, 제 1 전단 중간 풀리(830aF)에 대하여 소정의 감속비를 가진다. 또한, 제 1 종동측 풀리(82a)는, 제 1 후단 중간 풀리(830aR)보다 큰 직경을 가지며, 제 1 후단 중간 풀리(830aR)에 대하여 소정의 감속비를 가진다.
제 1 전단 중간 풀리(830aF)는, 도 4a에 도시하는 바와 같이, 제 1 구동측 풀리(81a)에, 제 1 전단 전동 벨트(84aF)를 개재해서 연동 연결되는 제 1 구동측 중간 풀리(831a)와, 해당 제 1 구동측 중간 풀리(831a)보다 작은 직경을 가지며, 또한 해당 제 1 구동측 중간 풀리(831a)와 같은 축에 설치된 제 1 구동측 서브 풀리(832a)를 가진다.
도 4a에 도시하는 바와 같이, 제 1 전단 중간 풀리(830aF)의 제 1 구동측 중간 풀리(831a) 및 제 1 구동측 서브 풀리(832a)는, 제 1 구동측 베이스 플레이트(835a)에 제 1 구동측 연결 부재(836a)를 개재해서 연결한 제 1 구동측 지지 플레이트(837a)와의 사이에 배치되어 있다. 그리고, 제 1 구동측 중간 풀리(831a)와 제 1 구동측 서브 풀리(832a)는, 각각 같은 축 위에 서로 근접한 상태에서 상하로 포개어 배치되어 있다.
또한, 제 1 후단 중간 풀리(830aR)는, 도 4b에 도시하는 바와 같이, 제 1 전단 중간 풀리(830aF)의 제 1 구동측 서브 풀리(832a)에, 제 1 중단 전동 벨트(84aM)를 개재해서 연동 연결되는 제 1 종동측 서브 풀리(834a)를 가진다. 또한, 제 1 후단 중간 풀리(830aR)는, 제 1 종동측 서브 풀리(834a)보다 작은 직경을 갖고, 또한 해당 제 1 종동측 서브 풀리(834a)와 같은 축에 설치되며, 제 1 후단 전동 벨트(84aR)를 개재해서 제 1 종동측 풀리(82a)에 연동 연결되는 제 1 종동측 중간 풀리(833a)를 가진다.
도 4b에 도시하는 바와 같이, 제 1 후단 중간 풀리(830aR)의 제 1 종동측 중간 풀리(833a) 및 제 1 종동측 서브 풀리(834a)는, 제 1 종동측 베이스 플레이트(838a)에 제 1 종동측 연결 부재(839a)를 개재해서 연결한 제 1 종동측 지지 플레이트(840a)와의 사이에 배치되어 있다. 그리고, 제 1 종동측 중간 풀리(833a)와 제 1 종동측 서브 풀리(834a)는, 각각 같은 축 위에 서로 근접한 상태에서 상하로 포개어 배치되어 있다.
한편, 제 2 구동 기구(8b)는, 도 2 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 제 1 모터(9a)와 제 2 아암(7)의 폭 방향으로 병설된 제 2 모터(9b)와, 이 제 2 모터(9b)의 모터 축인 제 2 구동축(91b)에 설치된 제 2 구동측 풀리(81b)를 구비하고 있다. 또한, 제 2 구동 기구(8b)는, 소정의 감속비를 갖고, 제 2 핸드 지축(1032)에 직접 설치된 제 2 종동측 풀리(82b)를 구비하고 있다. 또한, 제 2 구동 기구(8b)는, 제 2 구동측 풀리(81b)와 제 2 종동측 풀리(82b)와의 사이에, 소정의 감속비를 갖는 적어도 1개의 제 2 중간 풀리(83b)와, 제 2 구동측 풀리(81b)와 제 2 종동측 풀리(82b)를, 제 2 중간 풀리(83b)를 개재해서 연동 연결하는 복수의 제 2 벨트(84b)를 구비하고 있다.
그리고, 제 2 중간 풀리(83b)로서, 제 2 구동 기구(8b)는, 제 2 전단 중간 풀리(830bF)(도6A 참조)와, 제 2 후단 중간 풀리(830bR)(도 6b 참조)를 구비하고 있다. 후술하는 제 2 전단 중간 풀리(830bF)의 제 2 구동축 중간 풀리(831b)는 제 2 구동축 풀리(81b)보다 큰 직경을 가지며, 제 2 구동측 풀리(81b)에 대하여 소정의 감속비를 가진다. 또한, 제 2 후단 중간 풀리(830bR)는 제 2 전단 중간 풀리(830bF)보다 큰 직경을 가지며, 제 2 전단 중간 풀리(830bF)에 대하여 소정의 감속비를 가진다. 또한, 제 2 종동측 풀리(82b)는, 제 2 후단 중간 풀리(830bR)보다 큰 직경을 가지며, 제 2 후단 중간 풀리(830bR)에 대하여 소정의 감속비를 가진다.
제 2 전단 중간 풀리(830bF)는, 도 6a에 도시하는 바와 같이, 제 2 구동측 풀리(81b)에, 제 2 전단 전동 벨트(84bF)를 개재해서 연동 연결되는 제 2 구동측 중간 풀리(831b)와, 해당 제 2 구동측 중간 풀리(831b)와 같은 축에 설치된 제 2 구동측 서브 풀리(832b)를 가진다.
도 6a에 도시하는 바와 같이, 제 2 전단 중간 풀리(830bF)의 제 2 구동측 중간 풀리(831b) 및 제 2 구동측 서브 풀리(832b)는, 제 2 구동측 베이스 플레이트(835b)에 제 2 구동측 연결 부재(836b)를 개재해서 연결한 제 2 구동측 지지 플레이트(837b)와의 사이에 배치되어 있다. 그리고, 제 2 구동측 중간 풀리(831b)와 제 2 구동측 서브 풀리(832b)는, 각각 같은 축 위에, 제 1 전단 중간 풀리(830aF)와 비교해, 상대적으로 격리한 상태에서 포개어 배치되어 있다.
또한, 제 2 후단 중간 풀리(830bR)는, 도 6b에 도시하는 바와 같이, 제 2 전단 중간 풀리(830bF)의 제 2 구동측 서브 풀리(832b)에, 제 2 중단 전동 벨트(84bM)를 개재해서 연동 연결되는 제 2 종동측 서브 풀리(834b)를 가진다. 또한, 제 2 후단 중간 풀리(830bR)는, 제 2 종동측 서브 풀리(834b)보다 작은 직경을 갖고, 또한 해당 제 2 종동측 서브 풀리(834b)와 같은 축에 설치되며, 제 2 후단 전동 벨트(84bR)를 개재해서 제 2 종동측 풀리(82b)에 연동 연결되는 제 2 종동측 중간 풀리(833b)를 갖는다.
도 6b에 도시하는 바와 같이, 제 2 후단 중간 풀리(830bR)의 제 2 종동측 중간 풀리(833b) 및 제 2 종동측 서브 풀리(834b)는, 제 2 종동측 베이스 플레이트(838b)에 제 2 종동측 연결 부재(839b)를 개재해서 연결한 제 2 종동측 지지 플레이트(840b)와의 사이에 배치되어 있다. 그리고, 제 2 종동측 중간 풀리(833b)와 제 2 종동측 서브 풀리(834b)는, 각각 같은 축 위에 서로 근접한 상태에서 포개어 배치되어 있다.
이와 같이, 본 실시 형태에 따른 로봇(1)은, 제 1 핸드(4a)나 제 2 핸드(4b)를 소정의 토크로 구동시키는 핸드 구동 기구(8)를, 제 2 아암(7)의 아암 하우징(70)의 내부에 배치하고 있다.
그러나, 그러한 핸드 구동 기구(8)는, 종래의 구성과 같이, 기어 기구를 이용한 감속 장치를 이용하지는 않는다. 즉, 종래의 기어 기구 등보다 경량의 풀리나 벨트를 이용하여 감속 기구를 구성하고 있다. 따라서, 본 실시 형태에 따른 로봇(1)에서는, 제 2 아암(7)의 경량화를 실현할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 핸드 구동 기구(8)는, 도 3 내지 도 6b로부터 알 수 있는 바와 같이, 제 1 전단 중간 풀리(830aF)와 제 2 전단 중간 풀리(830bF)에 있어서, 제 1 구동측 중간 풀리(831a)와 제 2 구동측 중간 풀리(831b)가, 동일 높이에 배치되어 있으며,제 1 전단 중간 풀리(830aF)와 제 2 전단 중간 풀리(830bF)는 서로 상하가 같은 방향으로 배치되어 있다. 그리고, 제 1 후단 중간 풀리(830aR)와 제 2 후단 중간 풀리(830bR)는, 서로 상하 반대 방향으로 배치되어 있다.
즉, 제 1 종동측 서브 풀리(834a)가 상측에, 제 2 종동측 서브 풀리(834b)가 하측에 위치하게 되고, 양자는 평면에서 볼 때 일부 겹치도록 배치되게 된다(도 2 참조).
따라서, 제 1 구동측 중간 풀리(831a)의 바로 아래에 근접해서 배치된 제 1 구동측 서브 풀리(832a)와, 제 1 후단 중간 풀리(830aR)의 제 1 종동측 서브 풀리(834a)는, 수평으로 권장된 제 1 중단 전동 벨트(84aM)를 개재해서 지장 없게 연동 연결된다. 한편, 제 2 구동측 중간 풀리(831b)의 아래쪽에 격리해서 배치된 제 2 구동측 서브 풀리(832b)와, 제 2 후단 중간 풀리(830bR)의 제 2 종동측 서브 풀리(834b)에 대해서도, 수평으로 권장된 제 2 중단 전동 벨트(84bM)를 개재해서 지장 없게 연동 연결된다.
이렇게 해서, 연직 방향에 있어서, 각각 같은 높이로 배치된 제 1 구동측 풀리(81a) 및 제 2 구동측 풀리(81b)로부터, 연직 방향에 있어서, 각각 상하 높이 차이로 배치된 제 1 종동측 풀리(82a) 및 제 2 종동측 풀리(82b)까지를, 제 1 중간 풀리(83a) 및 제 2 중간 풀리(83b)와, 수평으로 권장된 복수의 제 1 벨트(84a) 및 복수의 제 2 벨트(84b)에 의해 지장 없게 연동 연결할 수 있다.
그런데, 본 실시 형태에 따른 핸드 구동 기구(8)의 제 1 모터(9a) 및 제 2 모터(9b)는, 각각 모터 기단부(90a, 90b)가 제 1 아암(6) 내에 배치되고, 제 1 구동축(91a, 9lb)으로부터 상방이 제 2 아암(7)의 아암 하우징(70) 내에 임하고 있다.
또한, 본 실시 형태에 따른 핸드 구동 기구(8)는, 통 모양으로 형성한 제 2 핸드 지축(1032)에는 제 1 핸드 지축(1031)이 삽입되고, 해당 제 1 핸드 지축(1031)과 제 2 핸드 지축(1032)이 서로 동일한 축심(103a)을 공유하는 한편, 제 1 모터(9a)와 제 2 모터(9b)는, 제 2 아암(7)의 폭 방향으로 병설되어 있다.
그러한 구성으로 함으로써, 제 2 아암(7)의 아암 하우징(70)을 박형화하는 동시에, 폭 방향으로도 슬림화할 수 있고, 제 2 아암(7)의 소형 경량화를 실현하는 것에 기여한다. 특히, 제 1 모터(9a) 및 제 2 모터(9b)는, 각각 모터 기단부(90a, 90b)가 제 1 아암(6) 내에 배치되어 있기 때문에, 제 2 아암(7)의 기단부측의 두께를 얇게 할 수 있다.
또, 아암 하우징(70)의 박형화를 도모하지 않으면, 반드시 제 1 모터(9a) 및 제 2 모터(9b)의 각 모터 기단부(90a, 90b)를 제 1 아암(6) 내에 배치하지 않아도 된다. 즉, 제 1 모터(9a) 및 제 2 모터(9b) 모두 제 2 아암(7) 내에 배치해도 상관없다.
또한, 제 1, 제 2 구동측 풀리(81a, 81b)가 설치된 제 1, 제 2 모터(9a, 9b), 제 1, 제 2 전단 중간 풀리(830aF, 830bF), 및 제 1, 제 2 후단 중간 풀리(830aR, 830bR)는, 제 1, 제 2 벨트(84a, 84b)의 권장 방향, 즉 제 2 아암(7)의 길이 방향에 대하여 이동 자유롭게 부착되어 있다.
한편, 제 2 아암(7)의 선단부에 설치된 핸드부(4)는 고정되어 있다. 따라서, 제 1, 제 2 후단 중간 풀리(830aR, 830bR), 제 1, 제 2 전단 중간 풀리(830aF, 830bF), 및 제 1, 제 2 모터(9a, 9b)를, 순차적으로 이동시킴으로써, 각각 복수로 이루어지는 제 1, 제 2 벨트(84a, 84b)의 장력을 각각 용이하게 조정할 수 있다.
또한, 도 4a,4b 및 도 6a, 6b로부터도 알 수 있는 바와 같이, 제 1, 제 2 전단 전동 벨트(84aF, 84bF)보다 제 1, 제 2 중단 전동 벨트(84aM, 84bM)가, 해당 제 1, 제 2 중단 전동 벨트(84aM, 84bM)보다 제 1, 제 2 후단 전동 벨트(84aR, 84bR)가, 보다 광폭으로 형성되어 있다.
즉, 제 1, 제 2 모터(9a, 9b) 측보다 토크가 높아지는 제 1, 제 2 종동측 풀리(82a, 82b) 측에 걸쳐서, 점차 벨트 폭을 넓혀서 강도 증가를 도모함으로써, 벨트의 절단 파열 등을 미연에 방지하고 있다.
그런데, 도 3에 도시하는 바와 같이, 핸드 구동 기구(8)와 아암 하우징(70)의 상면 사이에는, 도시하지 않은 케이블 권취 기구가 설치된 케이블 처리 공간(10)이 설치되어 있다. 그리고, 이 케이블 처리 공간(10) 내에 제 2 핸드(4b)로부터 신연하는 제 2 케이블(11b)이 도입되어 있다. 또한, 제 1 핸드(4a)로부터 신연하는 제 1 케이블(11a)에 대해서는, 통 모양의 제 1 핸드 지축(1031)의 내부를 통해 제 1 아암(6) 측으로 신연한다.
(다른 실시 형태)
다음은, 도 7, 도 8a 및 도 8b를 참조하여, 다른 실시 형태에 따른 로봇(1)의 핸드 구동 기구(8)에 대해서 설명한다. 도 7은, 다른 실시 형태에 따른 로봇(1)의 아암의 사시도에 의한 모식적 설명도, 도 8a는, 동 로봇(1)의 아암의 사시도에 의한 제 1 구동 기구를 도시하는 모식적 설명도, 도 8b는, 동 로봇(1)의 아암의 사시도에 의한 제 2 구동 기구를 도시하는 모식적 설명도이다.
또, 이하의 설명에 있어서, 앞의 실시 형태와 같은 기능을 가지는 구성 요소에 대해서는 동일한 부호를 이용한다. 그리고, 앞의 실시 형태에 대하여, 구성 등의 차이가 있으면 그 설명을 실행하는 것으로 하고 상세한 설명에 대해서는 생략한다.
도 7로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 실시 형태가 앞의 실시 형태와 크게 다른 것은, 이하의 두 가지 점이다.
(1) 제 1 모터(9a)와 제 2 모터(9b)가, 각각의 구동축(제 1 구동축(91a), 제 2 구동축(91b))의 돌출 방향이 서로 반대 방향으로 되도록 제 2 아암(7) 내에 배치되어 있다.
(2) 제 1 전단 중간 풀리(830aF)와 제 2 전단 중간 풀리(830bF)는, 서로 상하 반대 방향으로 배치되어 있다. 그리고, 제 1 전단 중간 풀리(830aF)의 제 1 구동측 중간 풀리(831a)와 제 2 전단 중간 풀리(830bF)의 제 2 구동측 중간 풀리(831b)가, 평면에서 볼 때 일부 겹치도록 배치되어 있다.
즉, 본 실시 형태에 따른 핸드 구동 기구(8)에서는, 도 8a에 도시하는 바와 같이, 제 1 중간 풀리(83a)의 제 1 전단 중간 풀리(830aF)는, 제 1 구동측 풀리(81a)에, 제 1 전단 전동 벨트(84aF)를 개재해서 연동 연결되는 제 1 구동측 중간 풀리(831a)를 구비하고 있다.
또한, 제 1 전단 중간 풀리(830aF)는, 제 1 구동측 중간 풀리(831a)보다 작은 직경을 갖고, 또한 해당 제 1 구동측 중간 풀리(831a)와 같은 축에 설치된 제 1 구동측 서브 풀리(832a)를 구비하고 있다.
또한, 제 1 중간 풀리(83a)의 제 1 후단 중간 풀리(830aR)는, 제 1 전단 중간 풀리(830aF)의 제 1 구동측 서브 풀리(832a)에, 제 1 중단 전동 벨트(84aM)를 개재해서 연동 연결되는 제 1 종동측 서브 풀리(834a)를 구비하고 있다. 또한, 제 1 후단 중간 풀리(830aR)는, 제 1 종동측 서브 풀리(834a)보다 작은 직경을 갖고, 또한 해당 제 1 종동측 서브 풀리(834a)와 같은 축에 설치되며, 제 1 후단 전동 벨트(84aR)를 개재해서 제 1 종동측 풀리(82a)에 연동 연결되는 제 1 종동측 중간 풀리(833a)를 구비하고 있다.
한편, 제 2 중간 풀리(83b)의 제 2 전단 중간 풀리(830bF)는, 도 8b에 도시하는 바와 같이, 제 2 구동측 풀리(81b)에, 제 2 전단 전동 벨트(84bF)를 개재해서 연동 연결되는 제 2 구동측 중간 풀리(831b)를 구비하고 있다. 또한, 제 2 전단 중간 풀리(830bF)는, 제 2 구동측 중간 풀리(831b)보다 작은 직경을 갖고, 또한 해당 제 2 구동측 중간 풀리(831b)와 같은 축에 설치된 제 2 구동측 서브 풀리(832b)를 구비하고 있다.
또한, 제 2 중간 풀리(83b)의 제 2 후단 중간 풀리(830bR)는, 제 2 전단 중간 풀리(830bF)의 제 2 구동측 서브 풀리(832b)에, 제 2 중단 전동 벨트(84bM)를 개재해서 연동 연결되는 제 2 종동측 서브 풀리(834b)를 구비하고 있다. 또한, 제 2 후단 중간 풀리(830bR)는, 제 2 종동측 서브 풀리(834b)보다 작은 직경을 갖고, 또한 해당 제 2 종동측 서브 풀리(834b)와 같은 축에 설치되며, 제 2 후단 전동 벨트(84bR)를 개재해서 제 2 종동측 풀리(82b)에 연동 연결되는 제 2 종동측 중간 풀리(833b)를 구비하고 있다. 또, 도 7~도 8b에 있어서, 부호 700은, 핸드 구동 기구(8)를 배치하기 위한 베이스 플레이트를 나타낸다.
상술한 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 핸드 구동 기구(8)에서는, 제 1 모터(9a)와 제 2 모터(9b)를, 또한 제 1 전단 중간 풀리(830aF)와 제 2 전단 중간 풀리(830bF)를, 각각 서로 상하 반대 방향으로 배치하고 있다. 또한, 제 1 구동측 중간 풀리(831a)와 제 2 구동측 중간 풀리(831b)를, 평면에서 볼 때 일부 겹치도록 배치하고 있다.
이렇게, 제 2 아암(7) 내에 모두 수납한 상술한 구성으로 이루어지는 핸드 구동 기구(8)에 있어서도, 중량이 큰 기어 기구로 이루어지는 감속 장치를 이용할 필요가 없기 때문에, 제 2 아암(7)의 경량화를 도모할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따른 핸드 구동 기구(8)에 있어서도, 각각 서로 반대 방향으로 배치된 제 1 구동측 풀리(81a) 및 제 2 구동측 풀리(81b)로부터, 제 1 종동측 풀리(82a) 및 제 2 종동측 풀리(82b)까지를, 제 1 중간 풀리(83a) 및 제 2 중간 풀리(83b)와, 수평으로 권장된 복수의 제 1 벨트(84a) 및 복수의 제 2 벨트(84b)에 의해 지장 없게 연동 연결할 수 있다.
실시 형태를 통해 설명한 바와 같이, 로봇(1)을, 기단부가, 아암 지축을 개재해서 회전 가능하게 설치되는 한편, 선단부에는 출력축으로서 핸드 지축(103)이 설치되고, 내부에는 핸드 지축(103)을 감속 구동하는 핸드 구동 기구(8)가 배치된 제 2 아암(7)을 구비하는 구성으로 하여 설명했다.
그러나, 출력축으로서는 핸드 지축(103)에 한정되는 것은 아니고, 당연한 것이지만 핸드 구동 기구(8)는 상기 출력축을 구동하는 구동 기구이면 된다. 그리고, 그러한 구동 기구를 내장하는 아암도 제 2 아암(7)에 한정되는 것은 아니다.
상술한 구성에 의해, 실시 형태에 따른 로봇(1)에서는, 아암의 경량화를 도모할 수 있다.
또한, 또 다른 효과나 변형예는, 당업자에 의해 용이하게 이끌어 낼 수 있다. 이 때문에, 본 발명의 보다 광범한 형태는, 이상과 같이 나타내고 기술한 특정한 상세 및 대표적인 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 첨부의 특허 청구의 범위 및 그 균등물에 의해 정의되는 총괄적인 발명 개념의 정신 또는 범위로부터 일탈하는 일 없이, 여러 가지 변경이 가능하다.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
1: 로봇 2: 동체부
3: 아암부 4: 핸드부
4a: 제 1 핸드 4b: 제 2 핸드
7: 제 2 아암 8: 핸드 구동 기구
8a: 제 1 구동 기구 8b: 제 2 구동 기구
9a: 제 1 모터 9b: 제 2 모터
81a: 제 1 구동측 풀리 81b: 제 2 구동측 풀리
82a: 제 1 종동측 풀리 82b: 제 2 종동측 풀리
83a: 제 1 중간 풀리 83b: 제 2 중간 풀리
84a: 제 1 벨트 84b: 제 2 벨트
84aF: 제 1 전단 전동 벨트 84bF: 제 2 전단 전동 벨트
84aM: 제 1 중단 전동 벨트 84bM: 제 2 중단 전동 벨트
84aR: 제 1 후단 전동 벨트 84bR: 제 2 후단 전동 벨트
91a: 제 1 구동축 91b: 제 2 구동축
103: 핸드 지축(출력축) 831a: 제 1 구동측 중간 풀리
831b: 제 2 구동측 중간 풀리 832a: 제 1 구동측 서브풀리
832b: 제 2 구동측 서브풀리 833a: 제 1 종동측 중간 풀리
833b: 제 2 종동측 중간 풀리 834a: 제 1 종동측 서브풀리
834b: 제 2 종동측 서브풀리
835a: 제 1 구동측 베이스 플레이트
835b: 제 2 구동측 베이스 플레이트
836a: 제 1 구동측 연결 부재
836b: 제 2 구동측 연결 부재 837a: 제 1 구동측 지지 플레이트
837b: 제 2 구동측 지지 플레이트
838a: 제 1 종동측 베이스 플레이트
838b: 제 2 종동측 베이스 플레이트
839a: 제 1 종동측 연결 부재
839b: 제 2 종동측 연결 부재
840a: 제 1 종동측 지지 플레이트
840b: 제 2 종동측 지지 플레이트
1031: 제 1 핸드 지축 1032: 제 2 핸드 지축

Claims (11)

  1. 기단부가 관절부를 개재(介在)해서 회전 가능하게 설치되어 있고, 선단부에는 출력축이 설치되는 아암과,
    상기 아암의 내부에 배설되고, 상기 출력축을 감속 구동하는 구동 기구를 구비하고,
    상기 구동 기구는,
    모터 축을 가진 모터와,
    상기 모터축에 설치된 구동측 풀리와,
    상기 출력축에 설치된 종동측 풀리와,
    상기 구동측 풀리와 상기 종동측 풀리와의 사이에 마련된 적어도 하나의 중간 풀리와,
    상기 구동측 풀리와 상기 종동측 풀리를, 상기 중간 풀리를 개재(介在)하여 연동 연결하는 복수의 벨트를 구비하는 것을 특징으로 하는 로봇.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 아암의 선단부에 설치된 출력축은, 핸드부를 회전 가능하게 지지하는 핸드 지축인 것을 특징으로 하는 로봇.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 중간 풀리는,
    상기 구동측 풀리에, 상기 복수의 벨트 중 제 1 벨트를 개재(介在)해서 연동 연결되는 구동측 중간 풀리와, 해당 구동측 중간 풀리와 같은 축에 설치한 구동측 서브 풀리를 가지는 전단 중간 풀리와,
    상기 종동측 풀리에, 상기 복수의 벨트 중 제 2 벨트를 개재(介在)해서 연동 연결되는 종동측 중간 풀리와, 해당 종동측 중간 풀리와 같은 축에 설치되고, 상기 전단 중간 풀리의 상기 구동측 서브 풀리에 상기 복수의 벨트 중 제 3 벨트를 개재해서 연동 연결되는 종동측 서브 풀리를 가지는 후단 중간 풀리를 구비하는 것을 특징으로 하는 로봇.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 전단 중간 풀리의 상기 구동측 중간 풀리 및 상기 구동측 서브 풀리는 제 1 베이스 플레이트와 이것에 연결 부재를 개재(介在)해서 연결한 지지 플레이트 사이에 같은 축 위에 포개어 배치되고,
    상기 후단 중간 풀리의 상기 종동측 중간 풀리 및 상기 종동측 서브 풀리는, 제 2 베이스 플레이트와 이것에 연결 부재를 개재(介在)해서 연결한 지지 플레이트와의 사이에, 같은 축 위에 포개어 배치되는 것을 특징으로 하는 로봇.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 구동측 풀리가 설치된 상기 모터 축을 가진 모터, 상기 전단 중간 풀리, 및 상기 후단 중간 풀리는, 상기 복수의 벨트의 감는 방향을 따라 이동 자유롭게 부착되어 있고,
    상기 후단 중간 풀리, 상기 전단 중간 풀리, 및 상기 모터를 이동시킴으로써 상기 복수의 벨트의 장력을 각각 조정 가능하게 구성한 것을 특징으로 하는 로봇.
  6. 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 벨트보다 상기 제 3 벨트가 폭이 더 크고, 해당 제 3 벨트보다 상기 제 2 벨트가 폭이 더 큰 것을 특징으로 하는 로봇.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 핸드부는, 상기 핸드 지축을 따라 소정 간격을 두고 설치된 복수의 핸드를 구비하고,
    상기 구동 기구는, 상기 복수의 핸드에 각각 대응해서 설치되는 것을 특징으로 하는 로봇.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 복수의 핸드는, 제 1 핸드 지축에 설치된 제 1 핸드, 및 제 2 핸드 지축에 설치된 제 2 핸드를 포함하고,
    상기 구동 기구는, 상기 제 1 핸드에 대응하는 제 1 구동 기구와, 상기 제 2 핸드에 대응하는 제 2 구동 기구를 포함하고,
    상기 제 1 구동 기구는, 제 1 모터와, 해당 제 1 모터의 구동축에 설치된 제 1 구동측 풀리와, 소정의 감속비를 갖고, 상기 제 1 핸드 지축에 설치된 제 1 종동측 풀리와, 상기 제 1 구동측 풀리와 상기 제 1 종동측 풀리와의 사이에 설치된 소정의 감속비를 가지는 적어도 1개의 제 1 중간 풀리를 구비하고,
    상기 제 2 구동 기구는, 제 2 모터와, 해당 제 2 모터의 구동축에 설치된 제 2 구동측 풀리와, 소정의 감속비를 갖고, 상기 제 2 핸드 지축에 설치된 제 2 종동측 풀리와, 상기 제 2 구동측 풀리와 상기 제 2 종동측 풀리와의 사이에 설치된 소정의 감속비를 가지는 적어도 1개의 제 2 중간 풀리를 구비하고,
    통 모양으로 형성한 상기 제 2 핸드 지축에는 상기 제 1 핸드 지축이 삽입되고, 해당 제 1 핸드 지축과 상기 제 2 핸드 지축은, 서로의 축심이 동일하도록 구성되고,
    상기 제 1 모터와 상기 제 2 모터는, 상기 아암의 폭 방향으로 병설되는 것을 특징으로 하는 로봇.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 아암은,
    기단부가, 설치면에 설치된 동체부에 제 1 관절부를 개재(介在)해서 회전 가능하게 설치된 제 1 아암과,
    해당 제 1 아암의 선단부에, 기단부가 제 2 관절부를 개재(介在)해서 회전 가능하게 설치되는 한편, 선단부에는, 상기 핸드부가 상기 핸드 지축을 개재(介在)해서 회전 가능하게 설치된 제 2 아암으로 이루어지고,
    상기 구동 기구는, 상기 제 2 아암 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 로봇.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 중간 풀리는, 상기 제 1 구동측 풀리에, 제 1 전단 전동 벨트를 개재(介在)해서 연동 연결되는 제 1 구동측 중간 풀리와, 해당 제 1 구동측 중간 풀리와 같은 축에 설치된 제 1 구동측 서브 풀리를 가지는 제 1 전단 중간 풀리와, 상기 제 1 전단 중간 풀리의 상기 제 1 구동측 서브 풀리에, 제 1 중단 전동 벨트를 개재(介在)해서 연동 연결되는 제 1 종동측 서브 풀리와, 해당 제 1 종동측 서브 풀리와 같은 축에 설치되고, 제 1 후단 전동 벨트를 개재(介在)해서 상기 제 1 종동측 풀리에 연동 연결되는 제 1 종동측 중간 풀리를 가지는 제 1 후단 중간 풀리를 구비하고,
    상기 제 2 중간 풀리는, 상기 제 2 구동측 풀리에, 제 2 전단 전동 벨트를 개재(介在)해서 연동 연결되는 제 2 구동측 중간 풀리와, 해당 제 2 구동측 중간 풀리와 같은 축에 설치된 제 2 구동측 서브 풀리를 가지는 제 2 전단 중간 풀리와, 상기 제 2 전단 중간 풀리의 상기 제 2 구동측 서브 풀리에, 제 2 중단 전동 벨트를 개재(介在)해서 연동 연결되는 제 2 종동측 서브 풀리와, 해당 제 2 종동측 서브 풀리와 같은 축에 설치되고, 제 2 후단 전동 벨트를 개재(介在)해서 상기 제 2 종동측 풀리에 연동 연결되는 제 2 종동측 중간 풀리를 가지는 제 2 후단 중간 풀리를 구비하고,
    상기 제 1 전단 중간 풀리의 상기 제 1 구동축 중간 풀리와 상기 제 2 전단 중간 풀리의 상기 제 2 구동축 중간 풀리는, 동일 높이로 배치되고,
    상기 제 1 후단 중간 풀리와 상기 제 2 후단 중간 풀리는, 서로 상하 반대 방향으로 배치되고, 상기 제 1 종동측 서브 풀리와 상기 제 2 종동측 서브 풀리가, 평면에서 볼 때 일부 겹치도록 배치되고,
    상기 제 1 모터와 상기 제 2 모터는, 적어도 모터의 기단부가 상기 제 1 아암 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 로봇.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 중간 풀리는, 상기 제 1 구동측 풀리에, 제 1 전단 전동 벨트를 개재(介在)해서 연동 연결되는 제 1 구동측 중간 풀리와, 해당 제 1 구동측 중간 풀리와 같은 축에 설치된 제 1 구동측 서브 풀리를 가지는 제 1 전단 중간 풀리와, 상기 제 1 전단 중간 풀리의 상기 제 1 구동측 서브 풀리에, 제 1 중단 전동 벨트를 개재(介在)해서 연동 연결되는 제 1 종동측 서브 풀리와, 해당 제 1 종동측 서브 풀리와 같은 축에 설치되고, 제 1 후단 전동 벨트를 개재(介在)해서 상기 제 1 종동측 풀리에 연동 연결되는 제 1 종동측 중간 풀리를 가지는 제 1 후단 중간 풀리를 구비하고,
    상기 제 2 중간 풀리는, 상기 제 2 구동측 풀리에, 제 2 전단 전동 벨트를 개재(介在)해서 연동 연결되는 제 2 구동측 중간 풀리와, 해당 제 2 구동측 중간 풀리와 같은 축에 설치된 제 2 구동측 서브 풀리를 가지는 제 2 전단 중간 풀리와, 상기 제 2 전단 중간 풀리의 상기 제 2 구동측 서브 풀리에, 제 2 중단 전동 벨트를 개재(介在)해서 연동 연결되는 제 2 종동측 서브 풀리와, 해당 제 2 종동측 서브 풀리와 같은 축에 설치되고, 제 2 후단 전동 벨트를 개재(介在)해서 상기 제 2 종동측 풀리에 연동 연결되는 제 2 종동측 중간 풀리를 가지는 제 2 후단 중간 풀리를 구비하고,
    상기 제 1 모터와 상기 제 2 모터는, 각각의 구동축의 돌출 방향이 서로 반대 방향이 되도록 상기 제 2 아암 내에 배치되고,
    상기 제 1 전단 중간 풀리와 상기 제 2 전단 중간 풀리는, 서로 상하 반대 방향으로 배치되고, 상기 제 1 구동측 중간 풀리와 상기 제 2 구동측 중간 풀리가, 평면에서 볼 때 일부 겹치도록 배치되는 것을 특징으로 하는 로봇.
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5423910B1 (ja) * 2013-01-17 2014-02-19 株式会社安川電機 ロボット
TWI641458B (zh) * 2014-01-05 2018-11-21 美商應用材料股份有限公司 用於傳輸電子裝置製造中之基板之機器人設備、驅動組件，及方法
CN104669277B (zh) * 2015-03-11 2016-05-11 宿州学院 一种双臂型写字机器人及其控制方法
US11207145B2 (en) 2016-07-14 2021-12-28 Intuitive Surgical Operations, Inc. Multi-cable medical instrument
JP6605432B2 (ja) * 2016-12-07 2019-11-13 株式会社神戸製鋼所 産業用ロボット
JP7009935B2 (ja) * 2017-11-06 2022-01-26 セイコーエプソン株式会社 ロボット
CN108007209A (zh) * 2017-11-28 2018-05-08 乐山新天源太阳能科技有限公司 用于硅片烧结炉的上料装置
CN108426008A (zh) * 2018-04-27 2018-08-21 太仓维高模塑有限公司 一种减速机构
JP7191564B2 (ja) * 2018-07-03 2022-12-19 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
JP7078479B2 (ja) 2018-07-13 2022-05-31 株式会社安川電機 搬送ロボットおよびロボットシステム
JP2023174279A (ja) * 2022-05-27 2023-12-07 株式会社安川電機 搬送ロボットおよびロボットシステム

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6048284B2 (ja) * 1979-01-30 1985-10-26 日立精機株式会社 工作機械のチャック装置
JPS6048284A (ja) * 1983-08-26 1985-03-15 株式会社日立製作所 ロボットの動力伝動装置構造
JP2001113489A (ja) * 1999-10-18 2001-04-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 産業用ロボット
WO2003006216A1 (en) * 2001-07-13 2003-01-23 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus with multiple independent end effectors
JP2003170384A (ja) * 2001-12-04 2003-06-17 Rorze Corp 平板状物の搬送用スカラ型ロボットおよび平板状物の処理システム
US8573919B2 (en) * 2005-07-11 2013-11-05 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus
JP2009058870A (ja) * 2007-09-03 2009-03-19 Sony Corp レンズ鏡筒回転駆動機構及びレンズ鏡筒回転型撮像装置
JP5332932B2 (ja) * 2009-06-17 2013-11-06 シンフォニアテクノロジー株式会社 ダブルハンドロボットの減速機構
CN102686367B (zh) 2009-12-28 2015-05-20 株式会社爱发科 驱动装置及输送装置
JP5071514B2 (ja) * 2010-04-21 2012-11-14 株式会社安川電機 水平多関節ロボットおよびそれを備えた基板搬送システム

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