JP2013154263A - 紫外線照射装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】紫外線ランプの冷却性能を維持しつつもワークのばたつきを防止する。
【解決手段】ワークWに紫外線を照射する長尺状の紫外線ランプ3を収容する長尺状のケーシング2を有し、ケーシング2が、ケーシング2内部に空気を供給する給気部2A及びケーシング2内部に供給された空気を外部に排出する排気部2Bを備えており、給気部2Aが、ケーシング2の長手方向一端側においてワークWよりも外側に形成された第1の給気口2A1、及び、ケーシング2の長手方向他端側においてワークWよりも外側に形成された第2の給気口2A2を有している。
【選択図】図1

Description

本発明は、例えば樹脂、塗料、インキ又は接着材等の硬化処理に用いられる紫外線照射装置に関するものである。
この紫外線照射装置においては、特許文献1に示すように、ケーシングに収容された紫外線ランプを冷却するために、ケーシングにおけるワーク側開口である光射出口とは反対側に通風口(排気口)を設けたものがある。そして、この紫外線照射装置は、当該通風口からケーシング内部の空気を外部に排出することにより、光射出口から紫外線ランプを冷却するための空気(冷却風)をケーシング内部に供給するように構成している。
しかしながら、この紫外線照射装置では、光射出口から紫外線ランプに冷却風を供給するため、当該冷却風がワーク上を通過することになり、ワークがばたついてしまい、ワーク上に塗布された塗料又はインキ等と紫外線照射装置がこすれてワークの品質が低下してしまうという問題がある。また、ワークがばたついて最悪の場合にはワークが破損してしまうという問題がある。
また、特許文献2に示すように、ケーシングの長手方向一端壁に給気口を設けるとともに、長手方向他端壁に排気口を設けることで、紫外線ランプに沿った冷却風を流すことにより、紫外線ランプを冷却するものがある。これならば、ワーク側から冷却風をケーシング内部に供給するものでないため、ワークのばたつきを抑えることができる。
ところが、ケーシングの長手方向一端壁の給気口からケーシング内部に供給された冷却風は、紫外線ランプの長手方向に沿って流れるに連れて、その温度が上昇するため、紫外線ランプの他端側の冷却が不十分となってしまうという問題がある。
特開2006−35436号公報 特開2011−41886号公報
そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決すべくなされたものであって、紫外線ランプの冷却性能を維持しつつもワークのばたつきを防止することをその主たる所期課題とするものである。
すなわち本発明に係る紫外線照射装置は、ワークに紫外線を照射する長尺状の紫外線ランプを収容する長尺状のケーシングを有し、前記ケーシングが、ケーシング内部に空気を供給する給気部及びケーシング内部に供給された空気を外部に排出する排気部を備えており、前記給気部が、前記ケーシングの長手方向一端側において前記ワークよりも外側に形成された第1の給気口、及び、前記ケーシングの長手方向他端側において前記ワークよりも外側に形成された第2の給気口を有していることを特徴とする。
このような紫外線照射装置であれば、ケーシングの長手方向一端側及び長手方向他端側においてワークよりも外側に第1の給気口及び第2の給気口を設けて、長手方向においてワークの範囲内に給気口を設けない構成としているので、給気口に流れ込む空気(冷却風)によりワークがばたつくことを防止することができる。これにより、ワーク上に塗布された塗料又はインキ等の硬化精度の低下を防ぐとともに、ワークが破損してしまうことを防ぐことができる。また、紫外線ランプの長手方向両側に給気口を設けているので、紫外線ランプに冷却用空気を十分に供給することができるようになり、紫外線ランプの冷却性能の低下を防ぐことができる。
給気口に流れ込む空気がワークに当たりにくくして一層ワークのばたつきを防止すると同時に、紫外線ランプ全体を万遍なく冷却するためには、前記第1の給気口及び前記第2の給気口が、前記ケーシングにおける前記ワーク側の下面に形成されており、前記排気部が、前記ケーシングの長手方向端部又は前記ケーシングにおける前記ワークと反対側の上面に形成されていることが望ましい。
なお、第1の給気口及び第2の給気口が、ケーシングの長手方向に沿った左右側面に形成されている場合には、特に紫外線照射装置にワークを搬送しながら紫外線を照射するものの場合には、給気口に流れ込む空気がワークに当たってしまう恐れがある。このため、前記ケーシングにおける前記下面以外の面に、前記第1の給気口及び前記第2の給気口以外の給気口が形成されていないことが望ましい。このようにケーシングの下面にのみ第1の給気口及び第2の給気口を設ける構成とすれば、排気部からの排気量を必要以上に大きくすることなく当該第1の給気口及び第2の給気口から供給される空気の流速を上げることができ、紫外線ランプの冷却性能を向上させることができる。
紫外線ランプの冷却と同時にケーシング内部に設けられる電装部の冷却を行うためには、前記ケーシングの長手方向他端側に電装部が設けられており、前記第2の給気口が、前記ケーシングの長手方向において前記電装部を含むように構成されていることが望ましい。
電装部の冷却性能を向上させるためには、前記排気部が、前記ケーシングの長手方向他端部に設けられており、前記第2の給気口から供給される空気の流路上に前記電装部が位置していることが望ましい。
前記ケーシングの下面に前記ワークをガイドするためのガイド溝を有するガイド枠体が取り付けられており、前記ケーシングの下面及び前記ガイド溝により形成されるガイド通路に対して、前記ケーシングの長手方向外側に前記第1の給気口及び前記第2の給気口が形成されていることが望ましい。これならば、ワークはガイド枠体により形成されるガイド通路により安定して搬送されるとともに、第1の給気口及び第2の給気口をガイド通路に対してケーシングの長手方向外側に配置しているので、ワークのばたつきをより一層防止することができる。また、ワークがガイド枠体により囲まれる構成となることから、第1の給気口及び第2の給気口に流れ込む空気がワークに与える影響をより一層低減することができる。
このように構成した本発明によれば、ケーシングの長手方向一端側及び長手方向他端側においてワークよりも外側に第1の給気口及び第2の給気口を設けているので、紫外線ランプの冷却性能を維持しつつもワークのばたつきを防止することができる。
本実施形態の紫外線照射装置を模式的に示す右側面図。 同実施形態の紫外線照射装置を模式的に示す断面図。 同実施形態の第1の給気口及び第2の給気口から供給された空気の流路を示す模式図。 同実施形態の第1の給気口及び第2の給気口から供給された空気の流路を示す模式図。
以下に本発明に係る紫外線照射装置の一実施形態について図面を参照して説明する。
本実施形態に係る紫外線照射装置100は、例えばフィルム等の耐熱温度の低い基材上にUVインキ等を塗布してなるワークWに対して紫外線を照射して、前記UVインキ等を硬化させるために用いられるものである。この紫外線照射装置100は、例えば紫外線照射装置100にワークWを搬送する搬送装置(不図示)と組み合わされて用いられる。
具体的にこの紫外線照射装置100は、図1〜図3に示すように、ケーシング2と、このケーシング2に収容される紫外線ランプ3と、を備えている。なお、以下の説明において、適宜、紫外線照射装置100へのワークWの搬入側を右側、ワークWの搬出側を左側とする。
ケーシング2は、図1〜図3に示すように、概略長尺直方体形状をなすものであり、ワークWに紫外線を照射するための紫外線照射窓21を下面に有する。本実施形態の紫外線照射窓21は、ケーシング2の下面に形成された概略長尺矩形状のものであり、紫外線透過性を有するカバー22により閉塞されている。なお、このカバー22を設けることで紫外線照射窓21からケーシング2内部への塵埃の侵入を防いでいる。
また、ケーシング2の下面には、ワークWを前記紫外線照射窓21にガイドするためのガイド枠体4が取り付けられている。このガイド枠体4の上面には、前記紫外線照射窓21に対応する部分(具体的には上面中央部)に左右側面に延びる凹溝41が形成されている。そして、このガイド枠体4が前記ケーシング2の下面に取り付けられた状態で、ガイド枠体4の凹溝41とケーシング2の下面とによりガイド通路5が形成される。このガイド通路5は、紫外線照射装置100の左右側面に貫通する通路であり、搬送装置により搬送されるワークWが通過する。
さらに、ケーシング2の内部には、紫外線ランプ3から射出された紫外線を反射する反射板6と、ワークWへの紫外線を遮断する閉鎖位置及びワークWに紫外線を通過させる開放位置の間を開閉移動するシャッタ部材7が設けられている。シャッタ部材7は、ケーシング2の長手方向他端部側に設けられた、例えば駆動モータ及び歯車等の伝達機構を有するシャッタ駆動機構71により開閉駆動される。なお、駆動モータは図示しない制御部によって制御される。
ケーシング2の長手方向他端部(図1の右側端部)には、当該ケーシング2内部の空気を吸引するための吸引ダクト(不図示)が接続されるダクト接続部8が設けられるとともに、当該ダクト接続部8の下部には、紫外線照射装置100に給電するための外部ケーブル(不図示)が接続される外部ケーブル接続部9が設けられている。
紫外線ランプ3は、例えば波長172nmの真空紫外線を射出するエキシマランプである。具体的にこの紫外線ランプ2は、長尺円筒形状をなすものであり、合成石英ガラス製の軸方向に直交する断面が円形状をなす密閉容器内に例えばキセノン(Xe)ガス等の放電用ガスが充填されており、軸方向から見て左右一対の対向面に、金属薄膜からなる帯状の電極を設けられている。また、紫外線ランプ3は、その両端部が一対の給電端子部31、32に保持されるとともに、当該一対の給電端子部31、32を介して電圧が印加されて点灯し、対をなす帯状の電極の間から上下に紫外線を射出する。
しかして本実施形態の紫外線照射装置100のケーシング2は、図1及び図3に示すように、ケーシング2内部に空気を供給する給気部2A及びケーシング2内部に供給された空気を外部に排出する排気部2Bを有し、紫外線ランプ2を冷却する冷却機構を備えている。
給気部2Aは、図1及び図3に示すように、ケーシング2の長手方向一端側においてワークWよりも外側に形成された第1の給気口2A1と、ケーシング2の長手方向他端側においてワークWよりも外側に形成された第2の給気口2A2とを有している。
具体的に第1の給気口2A1及び第2の給気口2A2は、ケーシング2におけるワークWと対向する対向面(図1において下面)において、ワークWよりも外側に形成されている。なお、本実施形態では、ケーシング2の下面以外の面(正面、左右側面、背面及び上面)には、給気口が形成されておらず、下面にのみ給気口2A1、2A2が形成された構成としている。このように給気口2A1、2A2を下面にのみ形成していることから、ダクトの排気容量を上げることなく、給気口2A1、2A2から供給される冷却風の流速を上げることができ、紫外線ランプ3の冷却性能を向上させることができる。
第1の給気口2A1は、ケーシング2の下面において、紫外線ランプ3の長手方向一端側の給電端子部31から長手方向一端部に亘って形成されており、ガイド通路5よりも長手方向一端側の外側に形成されている。また、第2の給気口2A2は、ケーシング2の下面において、紫外線ランプ3の長手方向他端側の給電端子部32から長手方向他端部に亘って形成されており、ガイド通路5よりも長手方向他端側の外側に形成されている。
特に本実施形態では、ケーシング2の長手方向他端側に、シャッタ駆動機構71及び当該シャッタ駆動機構71を制御する制御部、紫外線ランプの点灯/消灯を制御する制御部等の電装部10が設けられている。そして、第2の給気口2A2は、この電装部10を含む範囲においてワークWよりも長手方向他端側に形成されている。
このように第2の給気口2A2が電装部10を含む範囲に形成されていることから、第2の給気口2A2からケーシング2内部に供給された空気の一部は、電装部10に当たった後に排気部2Bから外部に排出される。つまり、電装部10は、第2の給気口2A2から供給された空気の流路上に位置している。
排気部2Bは、図1及び図3に示すように、ケーシング2の長手方向他端部に設けられたダクト接続部8に連通するようにケーシング2の長手方向他端面の上側に形成された排気口である。具体的にこの排気口は、ケーシング2の長手方向他端面において紫外線ランプ3よりも上側に形成されていることが好ましい。これにより、第1の給気口2A1及び第2の給気口2A2から供給された空気が紫外線ランプ3の外周全体に万遍なく行き渡らせることができる。このように排気部2Bを構成することによって、ダクト接続部8に接続されたダクトによりケーシング2内部の空気が吸引されてケーシング2内部の空気が外部に排出される。
次にこのように構成した紫外線照射装置100における第1の給気口2A1及び第2の給気口2A2からケーシング2内部に供給される空気(冷却風)の流れを図4に示す。
排気部2Bが連通するダクト接続部8に接続されたダクトから空気が吸引されることによって、第1の給気口2A1及び第2の給気口2A2からケーシング2内部に空気が供給される。第1の給気口2A1からケーシング2内部に供給される空気は、紫外線ランプ3の長手方向一端部の給電端子部31に当たる。これにより給電端子部31が冷却される。また第1の給気口2A1から供給された空気は、紫外線ランプ3に沿って、その長手方向一端部から長手方向他端部に流れて排気部2Bに到達する。ここで、ワークWはガイド通路5内にあり、ワークWはガイド通路5を形成する側壁に囲まれていることから、第1の供給口2A1に流れ込む空気がワークWに当たることが無く、ワークWがばたつくことを防止できる。
一方、第2の給気口2A2からケーシング内部に供給される空気は、紫外線ランプ3の長手方向他端部の給電端子部32に当たる。これにより給電端子部32が冷却される。また、第2の給気口2A2から供給された空気は、紫外線ランプ3の長手方向他端部に当たり、紫外線ランプ3の長手方向他端部を冷却する。なお、第1の給気口2A1により供給された空気は、紫外線ランプ3の長手方向他端部に到達した段階で暖められており、紫外線ランプ3を均一に冷却することが難しいが、本実施形態のように第2の給気口2A2から供給された空気が、紫外線ランプ3の長手方向他端部を冷却することから、紫外線ランプ3を長手方向全体に亘って均一に冷却することができる。ここで、ワークWはガイド通路5を形成する側壁に囲まれていることから、第2の供給口2A2に流れ込む空気がワークWに当たることが無く、ワークWがばたつくことを防止できる。
また、第2の給気口2A2は、長手方向において電装部10を含む範囲に形成されており、第2給気口2A2から供給された空気は、電装部10に当たり、当該電装部10の下側から上側に流れる。これにより、電装部10を冷却することができる。
なお、本実施形態では、ケーシング2内部において、紫外線ランプ3の長手方向他端部の給電端子部32と電装部10の間に仕切壁11が形成されており、この仕切壁11よりも紫外線ランプ3側にある第2の供給口2A2から供給された空気が主として紫外線ランプ3及び給電端子部32に当たり、前記仕切壁11よりも電装部10側にある第2の供給口2A2から供給された空気が主として電装部10に当たる。このように仕切壁11を設けることによって、第2の供給口2A2から供給された空気をそれぞれ紫外線ランプ3及び給電端子部32と電装部10とに好適に当てることができる。
このように構成した本実施形態に係る紫外線照射装置100によれば、ケーシング2の長手方向一端側及び長手方向他端側においてワークWよりも外側に第1の給気口2A1及び第2の給気口2A2を設けて、長手方向においてワークWの範囲内に給気口を設けない構成としているので、給気口2A1、2A2に流れ込む空気の流れによりワークWがばたつくことを防止することができる。これにより、ワークW上に塗布された塗料又はインキ等の硬化精度の低下を防ぐとともに、ワークWが破損してしまうことを防ぐことができる。また、紫外線ランプ3の長手方向両側に給気口2A1、2A2を設けているので、紫外線ランプ3に冷却用空気を十分に供給することができるようになり、紫外線ランプ3の冷却性能の低下を防ぐことができる。同様に供給口2A1、2A2により、ケーシング2内部に設けられたその他の部品(反射板6及びシャッタ部材7等)の冷却も十分に行うことができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、前記実施形態では、電装部10がケーシング2の長手方向他端側にのみ設けられているが、長手方向一端側に設けたものであっても良い。この場合、第1の給気口2A1から供給された空気が長手方向一端側に設けられた電装部10に当たるように構成することが望ましい。これならば、電装部10を長手方向一端側及び他端側に分配して配置し、それらを第1の給気口2A1及び第2の給気口2A2によりそれぞれ冷却することができ、電装部10の冷却性能を向上させることができる。
また、前記実施形態の排気部2Bは、ケーシング2の長手方向他端面に設けられたものであったが、ケーシング2の長手方向一端面に設けたものであっても良いし、ケーシング2の上面に設けたものであっても良い。
さらに、前記実施形態の給気部2Aは、ケーシング2の下面にのみ給気口2A1、2A2を有するものであったが、ケーシング2の左右側面に給気口を有するものであっても良い。このように左右側面に給気口を設ける場合には、長手方向において出来るだけワークWから離間した位置に形成することが望ましい。
その上、前記実施形態では、ケーシング2にガイド枠体4を取り付けることで紫外線照射室であるガイド通路5を形成しているが、ケーシングにガイド通路を設けても良い。
加えて、前記実施形態では、ガイド通路5を設けた紫外線照射装置100について説明したが、ガイド通路を有さないものであっても良い。この場合、紫外線照射装置を搬送装置による搬送方向を横切るように配置することが考えられる。また、ワークを搬送装置により搬送させて連続的に硬化処理を行うものの他、バッチ式でワークの硬化処理を行うものに用いても良い。
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
100・・・紫外線照射装置
W・・・ワーク
2・・・ケーシング
3・・・紫外線ランプ
2A・・・給気部
2A1・・・第1の給気口
2A2・・・第2の給気口
2B・・・排気部

Claims (6)

  1. ワークに紫外線を照射する長尺状の紫外線ランプを収容する長尺状のケーシングを有し、
    前記ケーシングが、ケーシング内部に空気を供給する給気部及びケーシング内部に供給された空気を外部に排出する排気部を備えており、
    前記給気部が、前記ケーシングの長手方向一端側において前記ワークよりも外側に形成された第1の給気口、及び、前記ケーシングの長手方向他端側において前記ワークよりも外側に形成された第2の給気口を有していることを特徴とする紫外線照射装置。
  2. 前記第1の給気口及び前記第2の給気口が、前記ケーシングにおける前記ワーク側の下面に形成されており、
    前記排気部が、前記ケーシングの長手方向端部又は前記ケーシングにおける前記ワークと反対側の上面に形成されていることを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置。
  3. 前記ケーシングにおける前記下面以外の面に、前記第1の給気口及び前記第2の給気口以外の給気口が形成されていないことを特徴とする請求項2記載の紫外線照射装置。
  4. 前記ケーシングの長手方向他端側に電装部が設けられており、
    前記第2の給気口が、前記ケーシングの長手方向において前記電装部を含むように構成されている請求項1乃至3の何れかに記載の紫外線照射装置。
  5. 前記排気部が、前記ケーシングの長手方向他端部に設けられており、
    前記第2の給気口から供給された空気の流路上に前記電装部が位置している請求項4記載の紫外線照射装置。
  6. 前記ケーシングの下面に前記ワークをガイドするためのガイド溝を有するガイド枠体が取り付けられており、
    前記ケーシングの下面及び前記ガイド溝により形成されるガイド通路に対して、前記ケーシングの長手方向外側に前記第1の給気口及び前記第2の給気口が形成されている請求項1乃至5の何れかに記載の紫外線照射装置。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002367874A (ja) * 2001-06-05 2002-12-20 Ushio Inc 紫外線照射装置及び、該紫外線照射装置の照射ユニット
JP2006035436A (ja) * 2004-07-22 2006-02-09 Ushio Inc 光照射器
JP2006043647A (ja) * 2004-08-09 2006-02-16 Iwasaki Electric Co Ltd 紫外線照射装置
JP2011041886A (ja) * 2009-08-20 2011-03-03 Ushio Inc 紫外線照射装置
JP2011181266A (ja) * 2010-02-26 2011-09-15 Harison Toshiba Lighting Corp 紫外線照射装置
JP2011215463A (ja) * 2010-04-01 2011-10-27 Ushio Inc 紫外線照射装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002367874A (ja) * 2001-06-05 2002-12-20 Ushio Inc 紫外線照射装置及び、該紫外線照射装置の照射ユニット
JP2006035436A (ja) * 2004-07-22 2006-02-09 Ushio Inc 光照射器
JP2006043647A (ja) * 2004-08-09 2006-02-16 Iwasaki Electric Co Ltd 紫外線照射装置
JP2011041886A (ja) * 2009-08-20 2011-03-03 Ushio Inc 紫外線照射装置
JP2011181266A (ja) * 2010-02-26 2011-09-15 Harison Toshiba Lighting Corp 紫外線照射装置
JP2011215463A (ja) * 2010-04-01 2011-10-27 Ushio Inc 紫外線照射装置

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