JP2013151093A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】製造工程を簡略化できるとともに、圧電素子と圧力発生室との位置ずれを防止して液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル１３に連通する圧力発生室１１が設けられた流路ユニット１６と、流路ユニット１６に固定されるケースヘッド２０と、接着面３５ａが第１接着剤７１と第２接着剤７２とでケースヘッド２０に接着される固定部材３５、及び固定部材３５の接着面３５ａとは交差する圧電素子接合面３５ｂに固定されるとともに流路ユニット１６の圧力発生室１１に対向する島部２７に接合される圧電素子１７を有する圧電素子ユニット１８とを備え、第２接着剤７２は、第１接着剤７１よりも硬化時間が短く、第１接着剤７１は、第２接着剤７２よりも接着強度が高く、固定部材の接着面３５ａのうち圧電素子１７による反力が掛かる第１接着面６１に設けられている。
【選択図】図５

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、圧電素子の変位による圧力を利用してノズルからインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。具体的には、ノズルに連通する圧力発生室が設けられ流路形成板とその一方面側に設けられる振動板とを有する流路ユニットと、各圧力発生室に対応して設けられ固定板に固定された圧電素子（圧電振動子）と、この固定板が固定される収容室を有するケースヘッド（構造体）とを有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、各圧電素子が各圧力発生室に対向するように位置決めした上で、固定板とケースヘッドとをエポキシ樹脂系接着剤などで接合することにより形成されている。

特開２００４−７４７４０号公報

しかしながら、エポキシ樹脂系接着剤の硬化には時間が長く掛かるため、位置決めされた状態を治具などで維持しなければならない。このようインクジェット式記録ヘッドの保持に治具が長時間専有されるため、製造の効率が低下してしまう。多数の治具を用いることで効率の向上を図るとしても、製造コストが増大してしまう。

また、治具を用いなければ、エポキシ樹脂系接着剤が硬化する際に、各圧電素子が各圧力発生室からずれてしまう。すなわち、圧電素子の圧力発生室に対する位置決め精度が低下し、所望のインク吐出特性を得ることができないという問題が生じる。

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに限定されず、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、製造工程を簡略化できるとともに、圧電素子と圧力発生室との位置ずれを防止して液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を吐出するノズルに連通する圧力発生室が設けられた流路ユニットと、前記流路ユニットに固定されるケースヘッドと、一方面が第１接着剤と第２接着剤とで前記ケースヘッドに接着される固定部材、及び該固定部材の前記一方面とは交差する他方面に固定されるとともに前記流路ユニットの前記圧力発生室に対向する領域に接合される圧電素子を有する圧電素子ユニットとを備え、前記第２接着剤は、前記第１接着剤よりも硬化時間が短く、前記第１接着剤は、前記第２接着剤よりも接着強度が高く、前記固定部材の前記一方面のうち前記圧電素子による反力が掛かる領域に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、圧電素子による反力が掛かる領域に、接着強度が高い第１接着剤が設けられている。これにより、圧電素子の反力が固定部材に掛かっても、ケースヘッドから剥がれたり、ずれたりすることを防止することができる。したがって、圧電素子が圧力発生室に対向する領域からずれたりすることが防止できるため、液体噴射特性が向上した液体噴射ヘッドが提供される。また、圧電素子ユニットをケースヘッドに位置決めし、第１接着剤及び第２接着剤で固定する際に、第２接着剤が位置決め後、瞬時に硬化する。このため、第１接着剤が硬化するまでその位置決めした状態を維持することができる。したがって、位置決めから第１接着剤が硬化するまでの間においても、圧電素子が圧力発生室に対向する領域からずれたりすることが防止できるため、液体噴射特性が向上した液体噴射ヘッドが提供される。

ここで、前記圧電素子は、一方向に並設された複数の圧力発生室のそれぞれに対向して複数設けられ、前記第１接着剤は、前記固定部材の前記一方面のうち、前記一方向において前記圧電素子と重なる第１接着面に設けられ、前記第２接着剤は、前記第１接着面よりも外側の第２接着面に設けられていることが好ましい。これによれば、圧電素子による反力が掛かる第１接着面と、該反力が掛からない第２接着面とを、それぞれ第１接着剤及び第２接着剤でケースヘッドに接着することができる。

また、前記圧電素子ユニットは、前記一方向における前記圧電素子の外側に変形しない非変形部を有し、前記第２接着面は、前記固定部材の前記一方面のうち、前記一方向において前記非変形部と重なる領域を含み、前記第２接着剤は、前記第２接着面の全面に設けられていることが好ましい。これによれば、圧電素子の反力が掛かる第１接着面の全てに接着強度が強い第１接着剤を設けたので、該反力による固定部材の位置ずれをより確実に防止することができる。さらに、固定部材のケースヘッドに対する接着面のうち、第２接着剤による仮固定のための第２接着面を最も広くとれるため、第２接着剤による仮固定をより強固なものとすることができる。

また、前記第１接着剤は、熱硬化型接着剤であり、前記第２接着剤は、紫外線硬化型接着剤又は瞬間接着剤であることが好ましい。これによれば、第１接着面ではより強固に固定部材とケースヘッドとを接着することができ、第２接着面ではより早く固定部材とケースヘッドとを接着することができる。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、製造工程を簡略化できるとともに、圧電素子と圧力発生室との位置ずれを防止して液体噴射特性が向上した液体噴射装置が提供される。

実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る圧電素子ユニットの正面図及び図１のＡ−Ａ′線断面図である。 実施形態１に係る圧電素子ユニットの底面図である。 図２のＣ−Ｃ′線断面図である。 図２のＤ−Ｄ′線断面の要部拡大図である。 他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。 実施形態に係るインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

〈実施形態１〉
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の短手方向の断面図であり、図２（ａ）は、図１のＡ−Ａ′線断面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ′線断面図である。

図示するように、インクジェット式記録ヘッド１０は、複数の圧力発生室１１を有する流路形成基板１２と、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル１３が穿設されたノズルプレート１４と、流路形成基板１２のノズルプレート１４とは反対側の面に設けられる振動板１５とを具備する流路ユニット１６を有する。さらに、振動板１５上の各圧力発生室１１に対応する領域に設けられる圧電素子１７を有する圧電素子ユニット１８と、振動板１５上に固定されて圧電素子ユニット１８が収容される収容部５１を有するケースヘッド２０とを具備する。

流路形成基板１２には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室１１が隔壁１１ａによって区画されてその幅方向で複数並設されている。各圧力発生室１１の列の外側には、ケースヘッド２０の液体導入路であるインク導入路２１を介してインクが供給されるリザーバー２２が、流路形成基板１２を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、リザーバー２２と各圧力発生室１１とは、インク供給路２３を介して連通し、各圧力発生室１１には、インク導入路２１、リザーバー２２及びインク供給路２３を介してインクが供給される。さらに、圧力発生室１１のリザーバー２２とは反対の端部側には、流路形成基板１２を貫通するノズル連通孔２４が形成されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板１２に液体流路として、圧力発生室１１、リザーバー２２、インク供給路２３、ノズル連通孔２４が設けられている。このような流路形成基板１２は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板１２に設けられる上記圧力発生室１１等は、流路形成基板１２をエッチングすることによって形成されている。

この流路形成基板１２の一方面側にはノズル１３が穿設されたノズルプレート１４が接合され、各ノズル１３は、流路形成基板１２に設けられたノズル連通孔２４を介して各圧力発生室１１と連通している。

また、流路形成基板１２の他方面側、すなわち、圧力発生室１１の開口面側には振動板１５が接合されて、各圧力発生室１１はこの振動板１５によって封止されている。

振動板１５は、弾性膜２５と、支持板２６との複合板であり、弾性膜２５側が流路形成基板１２に接合されている。例えば、弾性膜２５は樹脂フィルム等の弾性部材から形成され、支持板２６は金属材料等から形成されている。また、振動板１５の各圧力発生室１１に対向する領域内には、圧電素子１７の先端部が当接する島部２７が設けられている。すなわち、振動板１５の各圧力発生室１１の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部２８が形成されて、この薄肉部２８の内側にそれぞれ島部２７が設けられている。

なお、振動板１５のリザーバー２２に対向する領域に、薄肉部２８と同様に、支持板２６がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜のみで構成されるコンプライアンス部２９が設けられている。コンプライアンス部２９は、リザーバー２２内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２９の弾性膜２５が変形することによって圧力変化を吸収し、リザーバー２２内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。

図３及び図４を用いて、圧電素子ユニット１８について説明する。図３（ａ）は、圧電素子ユニット１８の正面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＥ−Ｅ′線断面図であり、図４は、圧電素子ユニット１８の底面図である。なお、図４は、外部電極９０（個別外部電極９２及び共通外部電極９３）の図示を省略している。

圧電素子ユニット１８は、複数の圧電素子１７がその幅方向に並設された圧電素子形成部材３４と、圧電素子形成部材３４の先端部（一端部）側が自由端となるようにその基端部（他端部）側が固定端として接合される固定部材３５とを有する。

圧電素子形成部材３４は、圧電材料３１と、圧電素子１７の２つの極を構成する内部電極、すなわち、隣接する圧電素子１７と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部電極３２と、隣接する圧電素子１７と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極３３とを交互に挟んで積層することにより形成されている。

圧電素子形成部材３４には、例えば、ワイヤーソー等によって櫛歯状に切り分けられ、各圧力発生室１１に対向するように圧電素子１７の列が形成されている。なお、圧電素子１７の列の両外側には、各圧電素子１７よりも広い幅を有する位置決め部１９が設けられている。位置決め部１９は、電圧が印加されないように形成され、変形しない部分である。位置決め部１９は、圧電素子ユニット１８をインクジェット式記録ヘッド１０に組み込む際に、圧電素子ユニット１８を高精度に位置決めするために設けられている。

圧電素子形成部材３４の外表面には、個別内部電極３２及び共通内部電極３３と接続される外部電極９０が形成されている。また、圧電素子形成部材３４の少なくとも圧電素子１７の列に対応する領域の基端部側には、外部電極９０が存在しない電極非形成部９１が存在する。

外部電極９０は、電極非形成部９１を設け、また、各圧電素子１７を櫛歯状に切り分けることで分離され、隣接する圧電素子１７と電気的に独立する個別外部電極９２と、隣接する圧電素子１７と電気的に共通する共通外部電極９３とを構成する。

具体的には、外部電極９０は、各圧電素子１７に対向する部分と位置決め部１９に対向する部分とに分離されている。各圧電素子１７に対向する領域の外部電極９０が、圧電素子形成部材３４の先端部で圧電素子１７の個別電極を構成する個別内部電極３２と電気的に接続されることで個別外部電極９２が構成されている。一方、圧電素子１７の列の両側に設けられた位置決め部１９上の外部電極９０が、圧電素子形成部材３４の基端部側の端面で各圧電素子１７の共通電極を構成する共通内部電極３３と接続されることで共通外部電極９３が構成されている。

固定部材３５は、例えば樹脂などから形成され、上述した圧電素子形成部材３４（圧電素子１７）が接合されるとともに、ケースヘッド２０に接着されるものである。すなわち、固定部材３５の一方面である接着面３５ａは、後述する第１接着剤７１及び第２接着剤７２によりケースヘッド２０に接着される。一方、圧電素子形成部材３４（圧電素子１７）は、固定部材３５の接着面３５ａに交差する他方面（以後、圧電素子接合面３５ｂ）に接合されている。

ここで、図４に示すように、圧電素子１７は一方向（以降、並設方向Ｘとする）に並設され、その並設方向Ｘの両側に電圧の印加で変形しない位置決め部１９（非変形部）が設けられている。

このような圧電素子ユニット１８では、圧電素子１７が変形すると、圧電素子１７の固定端側から固定部材３５の圧電素子接合面３５ｂに反力が掛かる。詳言すると、圧電素子接合面３５ｂのうち、圧電素子１７が接合された領域（以後、第１領域８１）に反力が掛かり、圧電素子接合面３５ｂのうち、位置決め部１９が接合された領域（以後、第２領域８２）には反力が掛からない。

この第１領域８１に掛かる反力は、接着面３５ａに影響を及ぼす。接着面３５ａのうち、並設方向Ｘにおいて圧電素子１７と重なる領域を第１接着面６１とする。すなわち、圧電素子１７の並設方向Ｘに占める範囲の大きさ（幅）及び位置と、第１接着面６１の並設方向Ｘに占める範囲の大きさ（幅）及び位置とが略同一となっている。

この第１接着面６１には、第１領域８１に掛かる圧電素子１７の反力が作用する。例えば、本実施形態では、図３（ｂ）に示すように、接着面３５ａは圧電素子接合面３５ｂに対して垂直としてある。この場合、圧電素子１７の反力が固定部材３５の第１領域８１に掛かると、該反力は平行な方向の力、すなわち剪断する力として第１接着面６１に作用する。このため、詳細は後述するが、圧電素子１７の反力は、第１接着面６１においてケースヘッド２０に接着された固定部材３５をずらすように作用する。なお、接着面３５ａは圧電素子接合面３５ｂに対して垂直としたが、必ずしも垂直である必要は無い。この場合においても、固定部材３５の第１接着面６１には剪断するように圧電素子１７の反力が掛かるからである。

一方、第２領域８２には圧電素子１７の反力が作用しないので、該反力は第２接着面６２を剪断する力として作用しない。このため、詳細は後述するが、第２接着面６２において圧電素子１７の反力は、ケースヘッド２０に接着された固定部材３５をずらすようには作用しない。

図１及び図２に戻り、上述した圧電素子ユニット１８は、圧電素子１７の先端部が上述したように振動板１５の島部２７に当接された状態で固定されている。一方、振動板１５上にはケースヘッド２０が固定され、圧電素子ユニット１８は、このケースヘッド２０に固定されている。

ケースヘッド２０は、島部２７に相対向する領域に厚さ方向に貫通する収容部５１が設けられている。この収容部５１には、圧電素子ユニット１８が収容される。また、ケースヘッド２０の収容部５１は、振動板１５側が幅狭となるように設けられて、内面に段差部３８が設けられており、固定部材３５は、このケースヘッド２０の段差部３８が設けられた内面に第１接着剤７１及び第２接着剤７２によって接合されている。この第１接着剤７１及び第２接着剤７２による固定部材３５とケースヘッド２０との接着の詳細は後述する。

このようなケースヘッド２０は、例えば、樹脂材料からなる。そして、ケースヘッド２０の収容部５１の内面が、圧電素子ユニット１８の少なくとも一部の側面が当接されるアライメント面５０となっている。アライメント面５０は、収容部５１の圧力発生室１１の並設方向の一方側の内面となっており、このアライメント面５０に圧電素子１７の並設方向の一方側の位置決め部１９が当接されている。なお、圧力発生室１１は、その短手方向（幅方向）に複数並設されており、圧電素子１７は複数の圧力発生室１１に対応して、その端面の短手方向（幅方向）に複数並設されている。すなわち、圧電素子１７は、その並設方向が島部２７に固定される端面における短手方向となっており、ケースヘッド２０のアライメント面５０に位置決め部１９を当接させることで、圧電素子１７の短手方向と島部２７の短手方向との位置決めが行われている。

島部２７の短手方向の幅と圧電素子１７の短手方向の幅とは、共に数十μｍ程度の大きさしかなく、両者はほぼ同等の幅で形成されているため、圧電素子１７と島部２７との短手方向の位置決めを高精度に行わなければ、圧電素子１７の変位を島部２７を介して振動板１５に伝わらせることができず、インク吐出特性が劣化してしまう。

本実施形態では、ケースヘッド２０のアライメント面５０と位置決め部１９とを当接させて位置決めすることで、圧電素子１７の短手方向と島部２７の短手方向とが高精度に位置決めされて固定されており、優れたインク吐出特性を有する。

ケースヘッド２０に固定された圧電素子ユニット１８は、各圧電素子１７を駆動するための信号を供給するフレキシブル配線基板３７が接続されている。フレキシブル配線基板３７には、上述した圧電素子１７の個別外部電極９２及び共通外部電極９３が電気的に接続されている。

また、ケースヘッド２０上には、フレキシブル配線基板３７の各配線３６がそれぞれ接続される複数の導電パッド４０が設けられた配線基板４１が固定されており、ケースヘッド２０の収容部５１は、この配線基板４１によって実質的に塞がれている。配線基板４１には、ケースヘッド２０の収容部５１に対向する領域にスリット状の開口部４２が形成されており、フレキシブル配線基板３７はこの配線基板４１の開口部４２から収容部５１の外側に引き出されている。

また、圧電素子ユニット１８を構成するフレキシブル配線基板３７は、例えば、本実施形態では、圧電素子１７を駆動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載されたチップオンフィルム（ＣＯＦ）からなる。そして、フレキシブル配線基板３７の各配線３６は、その基端部側では、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子１７を構成する個別外部電極９２及び共通外部電極９３に接続されている。一方、先端部側では、各配線３６は配線基板４１の各導電パッド４０に接合されている。具体的には、配線基板４１の開口部４２から収容部５１の外側に引き出されたフレキシブル配線基板３７の先端部が配線基板４１の表面に沿って折り曲げられた状態で、各配線３６は配線基板４１の各導電パッド４０に接合されている。

このようなインクジェット式記録ヘッド１０では、インク滴を吐出する際に、圧電素子１７及び振動板１５の変形によって各圧力発生室１１の容積を変化させて所定のノズル１３からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジからリザーバー２２にインクが供給されると、インク供給路２３を介して各圧力発生室１１にインクが分配される。実際には、圧電素子１７に電圧を印加することにより圧電素子１７を収縮させる。これにより、振動板１５が圧電素子１７と共に変形されて圧力発生室１１の容積が広げられ、圧力発生室１１内にインクが引き込まれる。ノズル１３に至るまで内部にインクが満たされた後、配線基板４１を介して供給される記録信号に従い、圧電素子１７に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子１７が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板１５も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室１１の容積が収縮して圧力発生室１１内の圧力が高まりノズル１３からインク滴が吐出される。

ここで、図５及び図６を用いて、圧電素子ユニット１８とケースヘッド２０との接着について詳細に説明する。図５は、図２のＣ−Ｃ′線断面図であり、図６は、図２のＤ−Ｄ′線断面の要部拡大図である。

これらの図に示すように、固定部材３５は、ケースヘッド２０の段差部３８の表面に第１接着剤７１及び第２接着剤７２により接着されている。詳言すると、固定部材３５の接着面３５ａのうち第１接着面６１と段差部３８とは第１接着剤７１で接着され、固定部材３５の接着面３５ａのうち第２接着面６２と段差部３８とは第２接着剤７２で接着されている。本実施形態では、第１接着面６１の全体に第１接着剤７１を設け、第２接着面６２の全体に第２接着剤７２を設けてある。

第１接着剤７１は、第２接着剤７２よりも接着強度が高いものである。例えば、第１接着剤７１としては、エポキシ系接着剤など熱硬化型のものを用いることができる。

第２接着剤７２は、第１接着剤７１よりも硬化時間が短いものである。例えば、紫外線硬化型接着剤やシアノアクリレート系接着剤（瞬間接着剤）を用いることができる。

第１接着剤７１が設けられる第１接着面６１は、上述したように、圧電素子１７の反力が作用する領域である。すなわち、第１接着面６１では、固定部材３５をケースヘッド２０（段差部３８）からずらすように圧電素子１７の反力が作用する。このような第１接着面６１に接着強度が高い第１接着剤７１を設けたので、当該反力に抗することができる。すなわち、固定部材３５がケースヘッド２０からずれてしまうことを防止することができる。

一方、第２接着剤７２が設けられる第２接着面６２は、上述したように、圧電素子１７の反力が作用しない領域である。したがって、第２接着面６２においては強い接着強度を有する接着剤を用いる必要が無く、硬化時間の短い第２接着剤７２を用いることができる。これにより、圧電素子ユニット１８をケースヘッド２０に位置決めし、第２接着面６２に設けた第２接着剤７２で仮固定し、第１接着剤７１が硬化するまでその位置決めした状態を維持することができる。

以上に述べたように、本発明に係るインクジェット式記録ヘッド１０では、圧電素子１７による反力が掛かる第１接着面６１と、該反力が掛からない第２接着面６２とで、それぞれ第１接着剤７１及び第２接着剤７２とが使い分けられている。これにより、圧電素子１７がインクを吐出するために変形した際の反力が固定部材３５に掛かっても、ケースヘッド２０から剥がれたり、ずれたりすることを防止することができる。したがって、圧電素子１７が圧力発生室１１に対向する領域（島部２７）からずれたりすることが防止できるため、インクの吐出特性が向上したインクジェット式記録ヘッド１０が提供される。

また、圧電素子ユニット１８をケースヘッド２０に位置決めし、第１接着面６１に第１接着剤７１、第２接着面６２に第２接着剤７２を設けて固定する際に、第１接着剤７１は収縮するため圧電素子ユニット１８がケースヘッド２０から位置ずれする虞がある。しかしながら、第２接着剤７２が位置決め後、瞬時に硬化するため、第１接着剤７１が硬化するまでその位置決めした状態を維持することができる。したがって、位置決めから第１接着剤７１が硬化するまでの間においても、圧電素子１７が圧力発生室１１に対向する領域（島部２７）からずれたりすることが防止できるため、インクの吐出特性が向上したインクジェット式記録ヘッド１０が提供される。

さらに、第２接着剤７２による仮固定が行われるため、第１接着剤７１が硬化するまで治具などで圧電素子ユニット１８及びケースヘッド２０を保持する必要がない。つまり、仮固定後は、治具から圧電素子ユニット１８及びケースヘッド２０を取り外すことができる。このように治具は、第１接着剤７１が硬化するまでの長時間に亘り専有されないので、他のインクジェット式記録ヘッド１０の製造に用いることができる。これにより、多数の治具が不要となるため製造コストを低減することができる。

また、本実施形態では、第１接着面６１の全面に第１接着剤７１を設けた。すなわち、圧電素子１７の反力が掛かる領域の全てに接着強度が強い第１接着剤７１を設けたので、該反力による固定部材３５の位置ずれをより確実に防止することができる。さらに、第２接着面６２の全面に第２接着剤７２を設けた。すなわち、接着面３５ａのうち、第２接着剤７２による仮固定のための領域を最も広くとれるため、第２接着剤７２による仮固定をより強固なものとすることができる。

なお、第１接着剤７１は、第１接着面６１の全面に設けられる必要は無い。例えば、圧電素子１７の反力や圧電素子ユニット１８の自重などで固定部材３５がケースヘッド２０からずれたり剥がれたりしない程度に、第１接着面６１の範囲内で第１接着剤７１を適宜設ければよい。同様に、第２接着剤７２は、第２接着面６２の全面に設けられる必要は無い。例えば、圧電素子ユニット１８をケースヘッド２０に位置決めした状態が維持される程度に、第２接着面６２の範囲内で第２接着剤７２を適宜設ければよい。

また、上述した実施形態では、接着面３５ａのうち、並設方向Ｘにおいて非変形部である位置決め部１９と重なる範囲を含んで第２接着面６２とした。しかし、第２接着面６２は、このような態様に限定されない。例えば、接着面３５ａのうち、並設方向Ｘにおいて圧電素子形成部材３４（圧電素子及び位置決め部１９）と重なる範囲を第１接着面６１とし、それ以外の領域を第２接着面６２としてもよい。

〈他の実施形態〉
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。図７は、他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド１０の断面図である。図示するように、第２接着剤７２として紫外線硬化型接着剤を用いる場合、ケースヘッド２０に収容部５１に連通する開口部９５を形成してもよい。この開口部９５を通じて接着面３５ａに紫外線が届くようになっている。

インクジェット式記録ヘッド１０の製造に際しては、接着面３５ａに、エポキシ系接着剤などの第１接着剤７１と、紫外線硬化型接着剤である第２接着剤７２を塗布し、圧電素子１７の先端を島部２７に接合するよう位置決めする。そして、開口部９５から紫外線を接着面３５ａに照射し、第２接着剤７２を硬化させる。これにより、圧電素子ユニット１８の位置決めを確実に行った上で、第２接着剤７２による仮固定を行うことができる。なお、開口部９５は、第２接着剤７２の硬化後は、封止してもよい。

また、圧電素子ユニット１８は、圧電素子１７の外側に位置決め部１９が設けられていたが、圧電素子ユニット１８に位置決め部１９を設けなくてもよい。この場合、光学的に圧電素子の先端と、島部２７とを撮像して位置合わせするなど、他の手段で圧電素子ユニット１８の位置決めを行うことができる。

上述した各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

インクジェット式記録装置１は、インクジェット式記録ヘッド１０を具備する。インクジェット式記録ヘッド１０は、インクカートリッジ３とともにキャリッジ４に搭載され、キャリッジ４は、キャリッジ軸９に沿って移動可能に設けられている。

駆動モーター（図示せず）の駆動力が複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ４に伝達されることで、インクジェット式記録ヘッド１０を搭載したキャリッジ４はキャリッジ軸９に沿って移動される。

キャリッジ４のキャリッジ軸９に沿う方向の位置は、リニアエンコーダー２によって検出され、検出信号が位置情報として制御部（図示せず）に送信される。これにより、制御部はこのリニアエンコーダー２からの位置情報に基づいてキャリッジ４（インクジェット式記録ヘッド１０）の位置を認識しながら、インクの吐出動作等を制御することができる。

また、インクジェット式記録装置１はプラテン５を備えており、紙送り機構８により給紙された紙等の記録媒体である記録シート６がプラテン５に巻き掛けられて搬送されるようになっている。

なお、上記各実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。

１ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 １０ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 １１ 圧力発生室、 １６ 流路ユニット、 １７ 圧電素子、 １８ 圧電素子ユニット、 １９ 位置決め部（非変形部）、 ２０ ケースヘッド、 ３５ 固定部材、 ３５ａ 接着面、 ６１ 第１接着面、 ６２ 第２接着面、 ７１ 第１接着剤、 ７２ 第２接着剤

Claims (5)

1. 液体を吐出するノズルに連通する圧力発生室が設けられた流路ユニットと、
   前記流路ユニットに固定されるケースヘッドと、
   一方面が第１接着剤と第２接着剤とで前記ケースヘッドに接着される固定部材、及び該固定部材の前記一方面とは交差する他方面に固定されるとともに前記流路ユニットの前記圧力発生室に対向する領域に接合される圧電素子を有する圧電素子ユニットとを備え、
   前記第２接着剤は、前記第１接着剤よりも硬化時間が短く、
   前記第１接着剤は、前記第２接着剤よりも接着強度が高く、前記固定部材の前記一方面のうち前記圧電素子による反力が掛かる領域に設けられている
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
   前記圧電素子は、一方向に並設された複数の圧力発生室のそれぞれに対向して複数設けられ、
   前記第１接着剤は、前記固定部材の前記一方面のうち、前記一方向において前記圧電素子と重なる第１接着面に設けられ、
   前記第２接着剤は、前記第１接着面よりも外側の第２接着面に設けられている
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
3. 請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
   前記圧電素子ユニットは、前記一方向における前記圧電素子の外側に変形しない非変形部を有し、
   前記第２接着面は、前記固定部材の前記一方面のうち、前記一方向において前記非変形部と重なる領域を含み、
   前記第２接着剤は、前記第２接着面の全面に設けられている
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
4. 請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
   前記第１接着剤は、熱硬化型接着剤であり、
   前記第２接着剤は、紫外線硬化型接着剤又は瞬間接着剤である
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
5. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。

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