JP2013149539A - 質量分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電極のイオン導入穴が第一領域、第二領域及び第三領域に分割されており、第一領域と第三領域の両方または何れか一方のイオン導入穴の中心軸方向と第二領域のイオン導入穴の内部のイオンの流れ方向の軸が異なり、第一領域と第三領域のイオン導入穴の軸が、偏心した位置関係にある事を特徴とする質量分析装置。
【選択図】 図1
Description
実施例1では、第一細孔電極の穴が三つの領域に分割され、第一領域と第三領域の穴が共に1つの構成で、第一領域と第二領域の間で第一細孔電極を分割できる構成について説明する。
(数1)
Q=C1(P1-P2)=C2(P2-P3)≒SP3
(数2)
C1=1305*D1 4/L1*(P1+P2)/2
(数3)
C2=1305*D2 4/L2*(P2+P3)/2
上記の式1から式3と、第二領域14−2の圧力P2=1万Pa〜5万Paの条件から、以下の式4、式5が得られる。
(数4)
D1 4/L1=1.55*10-13*SP3〜2.04*10-13*SP3
(数5)
D2 4/L2≒6.13*10-13*SP3〜1.53*10-11*SP3
ここで、RP28の排気速度S=450L/min(=0.0075 m3/s)、第一真空室15の圧力P3=250Paとした例の場合、P2=1万Pa〜5万Paを満たすための以下の条件式が得られる。
(数6)
D1 4/L1=2.91*10-13〜3.83*10-13
(数7)
D2 4/L2=1.15*10-12〜2.87*10-11
これら条件式を用いることで、例えば、L1、L2=20mm(=0.02m)である場合、D1 =0.28〜0.3mm、D2 =0.39〜0.87mm程度にすれば良い事がわかる。RP28の排気速度や第一真空室15の設定圧力、または、L1、L2などの長さの制限にもよるが、D1 ≦1mm、D2 ≦1.5mmの範囲で使用することが望ましい。
以上、実施例1では、第一細孔電極の穴が三つの領域に分割され、第一領域と第三領域の穴が共に1つの構成で、第一領域と第二領域の間で第一細孔電極を分割できる構成について説明した。
実施例2では、第一細孔電極の穴が三つの領域に分割され、第一領域の穴が複数で、第三領域の穴が1つの構成で、第一領域と第二領域の間で第一細孔電極を分割できる構成について説明する。
実施例3では、第一細孔電極の穴が三つの領域に分割され、第一領域の穴が1つで、第三領域の穴が複数の構成で、第一領域と第二領域の間で第一細孔電極を分割できる構成について説明する。
実施例4では、第一真空室にイオン収束部を配置した構成について説明する。
実施例5では、第一細孔電極の穴が三つの領域に分割され、第一領域の穴と第三領域の穴が共に1つの構成で、第二領域と第三領域の間で第一細孔電極を分割できる構成について説明する。
実施例6では、第一細孔電極の穴が三つの領域に分割され、第一領域の穴と第三領域の穴が共に1つの構成で、第二領域の途中で第一細孔電極を分割できる構成について説明する。
(実施例7)
実施例5では、第一細孔電極の穴が三つの領域に分割され、第一領域の穴と第三領域の穴が共に1つの構成で、第一領域と第二領域の間および第二領域と第三領域の間で分割できる構成について説明する。
実施例8では、第一細孔電極の穴が三つの領域に分割され、第一領域と第三領域の穴が共に1つの構成で、第一領域と第二領域の間で第一細孔電極を分割できる構成で、第一領域が斜めに配置されている構成について説明する。
実施例9では、第一細孔電極の穴が三つの領域に分割され、第一領域と第三領域の穴が共に1つの構成で、第一領域と第二領域の間で第一細孔電極を分割できる構成で、第三領域が斜めに配置されている構成について説明する。
実施例10では、第一細孔電極の穴が三つの領域に分割され、第一領域と第三領域の穴が共に1つの構成で、第一領域と第二領域の間で第一細孔電極を分割できる構成で、第二領域内に偏向電極が配置されている構成について説明する。
2…イオン源
3…真空容器
4…電極
5…金属キャピラリー
6…高電圧
7…試料溶液
8…イオン
9…液滴
9−1…大きな液滴
9−2…小さな液滴
10…管
11…ガス
12…管の出口端
13…第一細孔電極
13−1…第一細孔電極の前段部
13−2…第一細孔電極の後段部
13−3…第一細孔電極の中段部
14…第一細孔電極の穴
14−1…第一細孔電極の穴の第一領域
14−2…第一細孔電極の穴の第二領域
14−3…第一細孔電極の穴の第三領域
15…第一真空室
16…第二細孔電極
17…第二細孔電極の穴
18…第二真空室
19…イオン輸送部
20…イオン
21…第三細孔電極
22…第三細孔電極の穴
23…第三真空室
24…イオン分析部
25…イオン
26…検出器
27…制御部
28…ロータリーポンプ(RP)
29…ターボ分子ポンプ(TMP)
30…ターボ分子ポンプ(TMP)
31…ガス
32…電極の出口端
33…Oリング
34…第一カーブ
35…内壁面
36…第二カーブ
37…内壁面
38…第一領域の流れの軸
39…第二領域の流れの軸
40…第三領域の流れの軸
41…イオン収束部
42…中心軸上
43…偏向電極
44…偏向電極
Claims (8)
- 大気圧下で生成したイオンを、真空排気手段で排気された真空室へ導入し、前記イオンの質量を分析する質量分析装置において、
前記イオンを前記真空室に導入するイオン導入穴が開いた電極を有し、前記電極のイオン導入穴が第一領域、第二領域及び第三領域に分割されており、
前記第一領域と前記第三領域の両方または何れか一方のイオン導入穴の中心軸方向と前記第二領域のイオン導入穴の内部の前記イオンの流れ方向の軸が異なり、
前記第二領域は前記第一領域と前記第三領域へつながる出口以外に出口が無く、
前記電極は、前記第一領域あるいは前記第三領域と前記第二領域との間、または、第二領域の途中部分で、分離する事ができ、
前記第一領域と前記第三領域のイオン導入穴の軸が、偏心した位置関係にある事を特徴とする質量分析装置。 - 請求項1の質量分析装置において、前記第三領域のイオン導入穴の穴径が1.5mm以下である事を特徴とする質量分析装置。
- 請求項1の質量分析装置において、前記第二領域の内部の圧力が1万Pa以上5万Pa以下の範囲にある事を特徴とする質量分析装置。
- 請求項1の質量分析装置において、前記第一領域のイオン導入穴の穴径が1mm以下である事を特徴とする質量分析装置。
- 請求項1の質量分析装置において、前記第一領域と前記第三領域の両方または何れか一つのイオン導入穴の断面形状と前記第二領域のイオン導入穴の断面形状が異なる事を特徴とする質量分析装置。
- 請求項1の質量分析装置において、前記第一領域のイオン導入穴を複数個有する事を特徴とする質量分析装置。
- 請求項1の質量分析装置において、前記第三領域のイオン導入穴を複数個有する事を特徴とする質量分析装置。
- 請求項1の質量分析装置において、前記イオンを収束するイオン収束電極を有し、前記第三領域が、前記第二領域と前記イオン収束電極の間に配置される事を特徴とする質量分析装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012010604A JP5802566B2 (ja) | 2012-01-23 | 2012-01-23 | 質量分析装置 |
US14/371,043 US9177775B2 (en) | 2012-01-23 | 2012-12-21 | Mass spectrometer |
EP12866534.6A EP2808888B1 (en) | 2012-01-23 | 2012-12-21 | Mass analysis device |
CN201280066503.8A CN104040680B (zh) | 2012-01-23 | 2012-12-21 | 质量分析装置 |
PCT/JP2012/083193 WO2013111485A1 (ja) | 2012-01-23 | 2012-12-21 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012010604A JP5802566B2 (ja) | 2012-01-23 | 2012-01-23 | 質量分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013149539A true JP2013149539A (ja) | 2013-08-01 |
JP5802566B2 JP5802566B2 (ja) | 2015-10-28 |
Family
ID=48873224
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012010604A Active JP5802566B2 (ja) | 2012-01-23 | 2012-01-23 | 質量分析装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9177775B2 (ja) |
EP (1) | EP2808888B1 (ja) |
JP (1) | JP5802566B2 (ja) |
CN (1) | CN104040680B (ja) |
WO (1) | WO2013111485A1 (ja) |
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- 2012-01-23 JP JP2012010604A patent/JP5802566B2/ja active Active
- 2012-12-21 WO PCT/JP2012/083193 patent/WO2013111485A1/ja active Application Filing
- 2012-12-21 CN CN201280066503.8A patent/CN104040680B/zh active Active
- 2012-12-21 US US14/371,043 patent/US9177775B2/en active Active
- 2012-12-21 EP EP12866534.6A patent/EP2808888B1/en active Active
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US20210159063A1 (en) | 2017-06-08 | 2021-05-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Mass Spectrometer and Nozzle Member |
US11049706B2 (en) | 2017-06-08 | 2021-06-29 | Hitachi High-Tech Corporation | Mass spectrometer and nozzle member |
CN110462784B (zh) * | 2017-06-08 | 2021-09-17 | 株式会社日立高新技术 | 质量分析装置和管嘴部件 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104040680B (zh) | 2016-04-06 |
EP2808888A1 (en) | 2014-12-03 |
JP5802566B2 (ja) | 2015-10-28 |
EP2808888B1 (en) | 2017-12-20 |
EP2808888A4 (en) | 2015-04-01 |
US9177775B2 (en) | 2015-11-03 |
US20150001392A1 (en) | 2015-01-01 |
WO2013111485A1 (ja) | 2013-08-01 |
CN104040680A (zh) | 2014-09-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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