JP2013145814A - パワーモジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、金属冷却板と、前記金属冷却板に形成され、樹脂成分を含まない無機成分からなる絶縁層と、前記絶縁層に樹脂層を介して接着した金属導体板と、前記金属導体板と接合部材によって接続された半導体素子とを備えることを特徴とするパワーモジュールを提供する。
【選択図】 図1
Description
2 絶縁層
3 樹脂層
4 金属製導体板
5 接合部材
6 半導体素子
7 金属ワイヤ
8 外部接続端子
9 樹脂ケース
10 封止材
11 モールド樹脂
21 高圧ガスボンベ
22、24 搬送管
23 エアロゾル発生器
25 真空チャンバー
26 ノズル
27 XYステージ
28 真空ポンプ
Claims (7)
- 金属冷却板と、
前記金属冷却板に形成され、樹脂成分を含まない無機成分からなる絶縁層と、
前記絶縁層に樹脂層を介して接着した金属導体板と、
前記金属導体板と接合部材によって接続された半導体素子とを備えることを特徴とするパワーモジュール。 - 前記絶縁層と、前記金属導体板と、前記半導体素子とを樹脂により封止することを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール。
- 前記金属冷却板を半導体素子の両面側に設けることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール。
- 前記絶縁層の厚みが5〜300μmであることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール。
- 前記絶縁層がAl2O3を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のパワーモジュール。
- 前記樹脂層に金属粒子を含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のパワーモジュール。
- 前記樹脂層の厚みが5μm以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のパワーモジュール。
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2012
- 2012-01-16 JP JP2012005786A patent/JP2013145814A/ja active Pending
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