JP2013141683A - レーザー加工装置の集光スポット位置検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状物保持工程と、集光器の基準位置設定工程と、設計値と実際の集光スポット位置との検出範囲設定工程と、集光スポット位置調整手段を作動して集光器を検出範囲の一方から他方に所定の移動速度で移動させるとともに、被加工物保持手段をX軸方向に所定の移動速度で移動させつつレーザー光線照射手段を作動して被加工物保持手段に保持された板状物にレーザー加工溝を形成するレーザー加工溝形成工程と、板状物に形成されたレーザー加工溝を該撮像手段によって撮像するレーザー加工溝撮像工程と、撮像されたレーザー加工溝を表示するレーザー加工溝表示工程と、表示手段に表示されたレーザー加工溝に基づいて最も溝幅が小さい位置に対応する集光器のZ軸方向位置を集光スポット位置と判定する集光スポット位置判定工程とを含む。
【選択図】図6
Description
該被加工物保持手段の保持面に所定の厚みを有する板状物を保持する板状物保持工程と、
該集光器によって集光されるレーザー光線の集光スポット位置の設計値と板状物の厚みとによって該集光器のZ軸方向の基準位置を設定する基準位置設定工程と、
該基準位置から設計値と実際の集光スポット位置との誤差範囲を超えるZ軸方向の検出範囲を設定する検出範囲設定工程と、
該集光器のZ軸方向位置とX軸方向との相関関係を持って該集光スポット位置調整手段を作動して該集光器を該検出範囲の一方から他方に所定の移動速度で移動させるとともに、該加工送り手段を作動して該被加工物保持手段をX軸方向に所定の移動速度で移動させつつ該レーザー光線照射手段を作動して該被加工物保持手段に保持された板状物にレーザー加工溝を形成するレーザー加工溝形成工程と、
該レーザー加工溝形成工程によって板状物に形成されたレーザー加工溝を該撮像手段によって撮像するレーザー加工溝撮像工程と、
該レーザー加工溝撮像工程によって撮像されたレーザー加工溝を該表示手段に表示するレーザー加工溝表示工程と、
該レーザー加工溝表示工程によって該表示手段に表示されたレーザー加工溝に基づいて最も溝幅が小さい位置に対応する集光器のZ軸方向位置を求め、該Z軸方向位置を集光スポット位置と判定する集光スポット位置判定工程と、を含む、
ことを特徴とするレーザー加工装置における集光スポット位置検出方法が提供される。
2:静止基台
3:チャックテーブル機構
36:チャックテーブル
37:加工送り手段
374:X軸方向位置検出手段
38:第1の割り出し送り手段
384:Y軸方向位置検出手段
4:レーザー光線照射ユニット支持機構
42:可動支持基台
43:第2の割り出し送り手段
5:レーザー光線照射ユニット
52:レーザー光線照射手段
522:集光器
53:集光スポット位置調整手段
55:Z軸方向位置検出手段
6:撮像手段
7:表示手段
8:板状物
10:制御手段
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持面を備えた被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物にレーザー光線を照射する集光器を備えたレーザー光線照射手段と、該被加工物保持手段と該レーザー光線照射手段とを加工送り方向(X軸方向)に相対的に加工送りする加工送り手段と、該レーザー光線照射手段を該被加工物保持手段の保持面に垂直な集光スポットの光軸方向(Z軸方向)に移動せしめる集光スポット位置調整手段と、該集光器のZ軸方向位置を検出するZ軸方向位置検出手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物を撮像する撮像手段と、該撮像手段によって撮像された画像を表示する表示手段と、を具備するレーザー加工装置における集光スポット位置検出方法であって、
該被加工物保持手段の保持面に所定の厚みを有する板状物を保持する板状物保持工程と、
該集光器によって集光されるレーザー光線の集光スポット位置の設計値と板状物の厚みとによって該集光器のZ軸方向の基準位置を設定する基準位置設定工程と、
該基準位置から設計値と実際の集光スポット位置との誤差範囲を超えるZ軸方向の検出範囲を設定する検出範囲設定工程と、
該集光器のZ軸方向位置とX軸方向との相関関係を持って該集光スポット位置調整手段を作動して該集光器を該検出範囲の一方から他方に所定の移動速度で移動させるとともに、該加工送り手段を作動して該被加工物保持手段をX軸方向に所定の移動速度で移動させつつ該レーザー光線照射手段を作動して該被加工物保持手段に保持された板状物にレーザー加工溝を形成するレーザー加工溝形成工程と、
該レーザー加工溝形成工程によって板状物に形成されたレーザー加工溝を該撮像手段によって撮像するレーザー加工溝撮像工程と、
該レーザー加工溝撮像工程によって撮像されたレーザー加工溝を該表示手段に表示するレーザー加工溝表示工程と、
該レーザー加工溝表示工程によって該表示手段に表示されたレーザー加工溝に基づいて最も溝幅が小さい位置に対応する集光器のZ軸方向位置を求め、該Z軸方向位置を集光スポット位置と判定する集光スポット位置判定工程と、を含む、
ことを特徴とするレーザー加工装置における集光スポット位置検出方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57159286A (en) * | 1981-03-27 | 1982-10-01 | Mitsubishi Electric Corp | Laser working device |
JP2006218482A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Laser Solutions Co Ltd | レーザ加工装置におけるレーザ光の調整方法、レーザ加工装置、およびレーザ光調整プログラム |
JP2009283753A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハのレーザー加工方法およびレーザー加工装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57159286A (en) * | 1981-03-27 | 1982-10-01 | Mitsubishi Electric Corp | Laser working device |
JP2006218482A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Laser Solutions Co Ltd | レーザ加工装置におけるレーザ光の調整方法、レーザ加工装置、およびレーザ光調整プログラム |
JP2009283753A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハのレーザー加工方法およびレーザー加工装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017028030A (ja) * | 2015-07-17 | 2017-02-02 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
CN108723585A (zh) * | 2018-07-03 | 2018-11-02 | 中机数控科技(福建)有限公司 | 一种激光切割机的调焦方法 |
CN112338352A (zh) * | 2019-08-08 | 2021-02-09 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置的加工性能的确认方法 |
JP2021023978A (ja) * | 2019-08-08 | 2021-02-22 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置の加工性能の確認方法 |
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