JP2013140146A - 光学エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スケールを構造化された光で照らすソース格子を用い、以てスケールからの光が、所望のディテクタピッチと一致する比較的粗いピッチを有し得るうねり周波数エンベロープで変調されるようにする。結像構成は、変調エンベロープから高い空間周波数を除去する空間フィルタリングを提供して、検出されるフリンジパターンにおいてクリーンな信号を提供する。このエレメントの組合せは、比較的細かいピッチを有するインクリメンタルスケールトラックパターンが、ディテクタにて粗いピッチを有するフリンジを提供可能にする。種々のスケール分解能が対応するソース格子を使用可能であり、以て全ての組合せが、同一の安価なディテクタ要素にマッチするディテクタフリンジを生成可能である。
【選択図】図3
Description
前記デバイスは、焦点距離Fsを有する第2のレンズをさらに備えても良く、前記第2のレンズは、前記開口部と前記ディテクタ部の間において前記開口部から前記焦点距離Fsに設置され、前記開口部からの光を受信すると共に、前記使用可能な周期結像を形成するよう構成される。幾つかの実施形態において、前記第2のレンズは、前記第1のレンズと名目上同一の光学特性を有しても良く、Fs=Fが成立し、前記第1及び第2のレンズは、前記開口部の位置に関し対称的に方向付けられる。
110, 310, 710, 810, 910, 1310 スケールエレメント
115, 315 スケールパターン
120, 320, 720, 820, 1320 ディテクタエレクトロニクス
125, 325, 725, 825 ディテクタ構成
126, 326 信号処理回路
131, 331, 731, 831, 1331, 1431 光
132, 332, 732, 832, 1432 スケール光
133, 333, 733, 833 空間的にフィルタされたイメージ光
140, 340, 740, 840, 940 レンズ
180, 380, 780, 880, 1380 両側テレセントリック結像構成
181, 381 第1レンズ
182, 382, 1335 開口部
183, 383 第2レンズ
190, 390 信号生成・処理回路
330, 730, 830, 930, 1330 光源
350, 850, 950A, 950B, 1350, 1450 位相格子
360, 760, 860, 1360 照明システム/部
755, 855, 955, 1355, 1390 ビームスプリッタ
770 両側テレセントリックエンコーダ結像配置
781, 881, 1381 第1レンズアレイ
782, 882, 1382 開口アレイ
783, 883, 1383 第2レンズアレイ
1100 テーブル
1340 コリメートレンズ
1342, 1344 反射板
1391 ビーム
1392 ビームダンプ
1393 4分の1波長板
1410 スケール
Claims (19)
- 2つのメンバ間で相対的な変位を測定する装置であって、
測定軸方向に沿って広がり、スケールピッチPSFを有するスケール格子と、
波長λを有する光を出力する光源と、前記光が入力されると共に、前記測定軸方向に横に方向付けられ、且つ前記スケール格子と一致する平面において前記測定軸方向に沿って照明フリンジパターンPMIを有する照明フリンジパターンを含む構造化照明を、前記スケール格子へ出力する構造化照明格子部と、を含む照明源と、
前記スケール格子から出力された使用可能な空間変調されたイメージ光を受信すると共に、前記スケール格子が前記照明源からの前記構造化照明により照らされている場合に、前記空間変調されたイメージ光の使用可能な周期結像を出力するよう設置された結像部と、
前記使用可能な周期結像の異なる位相をそれぞれ受信するよう設置され、且つ前記測定軸方向に沿って、特定のディテクタ信号位相に対応したディテクタエレメント間のピッチに対応するディテクタピッチPdを有する一連の光ディテクタを含むディテクタ部と、を備え、
前記結像部は、
その光路に沿って前記結像部から距離Zに設置されたディテクタ部と、
前記スケール格子から伝送される前記空間変調されたイメージ光を受信するよう設置され、且つ自レンズと前記ディテクタ部との間に位置する焦点を定義する焦点距離Fを有する第1のレンズと、
前記第1のレンズと前記ディテクタ部との間において、略、前記焦点距離Fに設置された開口部と、を含み、
前記空間変調されたイメージ光は、値Δnだけ異なる2つの回折次数の干渉から形成されるフリンジを含み、
前記開口部は、前記測定軸方向に沿って、AW=Z*λ*(a*(Δn+1)/(PMIPSF/((PMI−PSF)*M))を満たす幅Wを有して構成され、Mは、前記結像部の倍率値であり、aの値は、0.5より大きく且つ4.0未満であり、
前記スケール格子は、前記構造化光が入力されると共に、前記スケールピッチPSF及び前記照明フリンジパターンPMIに依存した空間波長PIMESFを有する強度変調エンベロープによって変調された構造化照明を含む前記空間変調されたイメージ光を出力し、PSF及びPMIは、前記ディテクタピッチPdと協調して選択されて、前記光源が非コヒーレント光を出力する場合に、ΔnPMIPSF/(ΔnPMI−PSF)=PIMESF=m*Pd/kが成立し、前記光源がコヒーレント光を出力する場合には、ΔnPMIPSF/(2ΔnPMI−PSF)=PIMESF=m*Pd/kが成立し、
mは、前記ディテクタ部から出力される位相信号の数であり、kは、奇数の整数であり、前記空間波長PIMESFは、前記スケールピッチPSFより大きい、
装置。 - 請求項1において、Δn=2であることを特徴とした装置。
- 請求項1において、Δn=1であることを特徴とした装置。
- 請求項1において、Δn=4であることを特徴とした装置。
- 請求項1において、
前記結像部は、焦点距離Fsを有する第2のレンズをさらに含み、前記第2のレンズは、前記開口部と前記ディテクタ部の間において、前記開口部から前記焦点距離Fs且つ前記ディテクタ部から前記距離Zに設置され、前記開口部からの光を受信すると共に、前記使用可能な周期結像を形成するよう構成されている、
ことを特徴とした装置。 - 請求項5において、
前記第2のレンズは、前記第1のレンズと名目上同一の光学特性を有し、Fs=Fが成立し、Z=Fsが成立し、前記第1及び第2のレンズは、前記開口部の位置に関し対称的に方向付けられる、
ことを特徴とした装置。 - 請求項1において、
前記開口部は、前記ディテクタ部から前記距離Zに位置する、
ことを特徴とした装置。 - 請求項1において、
mは、3及び4の一方に等しく、
kは、1、3及び5の一つに等しい、
ことを特徴とした装置。 - 請求項1において、
前記スケールピッチPSFは、8μm未満である、
ことを特徴とした装置。 - 請求項1において、
前記照明フリンジピッチPMIは、8μm未満である、
ことを特徴とした装置。 - 請求項1において、
前記照明部と前記スケール格子の間に位置すると共に、前記構造化照明を前記スケール格子へ伝送し、前記スケール格子から出力される空間変調されたイメージ光を受信し、前記空間変調されたイメージ光を前記結像部へ出力するよう構成されたビームスプリッタ、
をさらに備えたことを特徴とする装置。 - 請求項1において、
前記干渉フリンジ生成部は、前記構造化照明における零次光を遮断又は抑制する第1の位相格子を含む、
ことを特徴とした装置。 - 請求項12において、
前記干渉フリンジ生成部は、前記第1の位相格子から出力された光が入力されると共に、収束光を含む構造化光を出力するよう構成された第2の位相格子をさらに含む、
ことを特徴とした装置。 - 請求項1において、
前記構造化光を受信すると共に、原点干渉フリンジを前記ディテクタ部へ出力するよう構成された原点スケールトラック、
をさらに備えたことを特徴とする装置。 - 請求項14において、
前記原点スケールトラックは、バーニア原点マークである原点マークを含む、
ことを特徴とした装置。 - 請求項14において、
前記原点スケールトラックは、前記スケール格子に関する合成波長を提供する位相を有する原点マークパターンを含む、
ことを特徴とした装置。 - 請求項1において、
前記構造化光を受信すると共に、絶対的な測定範囲に亘って絶対位置を決定するのに利用可能な信号を提供するために、アブソリュートスケール光を前記ディテクタ部へ出力するよう構成されたアブソリュートスケールトラックパターンを含むアブソリュートスケールトラック、
をさらに備えたことを特徴とする装置。 - 請求項1において、
前記結像部は、焦点距離Fsを有する第2のレンズをさらに含み、前記第2のレンズは、前記開口部と前記ディテクタ部の間において前記開口部から前記焦点距離Fsに設置され、前記開口部からの光を受信すると共に、前記使用可能な周期結像を形成するよう構成されており、
前記測定軸方向に沿った前記使用可能な周期結像の倍率Mは、略、M=Fs/Fを満たし、単に前記距離Fs及びFを選択することによって設定される、
ことを特徴とした装置。 - 請求項1において、
前記光源は、コヒーレント光を出力し、aの値は、0.5より大きく且つ1.5未満である、
ことを特徴とした装置。
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