JP2011107131A - 光電式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源102から出射された光R1を、スケール106の光学格子110で変調させて、変調された光R3を受光素子122で検出する光電式エンコーダ100において、光学格子110で変調された光R3を結像する片側テレセントリック光学系114を備え、片側テレセントリック光学系114は、光学格子110で変調された光R3の一部を透過させ、且つ光源102から出射された光R1による片側テレセントリック光学系114の解像限界を示す空間周波数である遮断空間周波数fc1を、フーリエ変換で得られる光学格子110の基本空間周波数Sf1と基本空間周波数Sf1の2倍高調波Sf2との間の値とするときに求められる大きさの開口118Aを備える。
【選択図】図1
Description
NAlight=0、NAlight<NAopt (2)
MTF=Aout/Ain (3)
fc1=NAopt/λ (4)
Sf1<fc1<Sf2 (5)
2*λ*fb*Sf1<d1<2*λ*fb*Sf2 (6)
1.32mm<d1<2.64mm (7)
1.32mm<d2<2.64mm (8)
NAlight>NAopt (10)
θ3>φ3 (11)
fc3=2*NAopt/λ (12)
Sf1<fc3<Sf2 (13)
λ*fb*Sf1<d3<λ*fb*Sf2 (14)
0.66mm<d3<1.32mm (15)
0.033<NAopt<0.066 (16)
θ4>φ4 (17)
λ*fb*Sf1<d4<λ*fb*Sf2 (18)
θ4UP=θ4−2*δθ>φ4
θ4>φ4+2*δθ (19)
D4>2*fa*sin(φ4+2*δθ) (20)
D4>2fa*0.065 (21)
D4>2fa*0.061 (22)
NAopt=d5/(2*(a5−fcc)) (23)
NAopt=d6/(2*a6) (24)
102〜802…光源
104〜804…コリメータレンズ
106〜806…スケール
108〜408、808…スケール基材
110〜810…光学格子
114〜514…片側テレセントリック光学系
116〜416、520、616、620、816…結像レンズ
118〜718…開口板
118A〜718A…開口
122〜822…受光素子
212、412…ハーフミラー
614…両側テレセントリック光学系
Claims (11)
- 光源から出射された光を、スケールに設けられた一定間隔の光学格子で変調させて、該変調された光を受光素子で検出する光電式エンコーダにおいて、
前記光学格子で変調された光を結像する結像光学系を備え、
該結像光学系は、該光学格子で変調された光の一部を透過させ、且つ前記光源から出射された光による該結像光学系の解像限界を示す空間周波数である遮断空間周波数を、フーリエ変換で得られる前記光学格子の基本空間周波数と該基本空間周波数の2倍高調波との間の値とするときに求められる大きさの開口を備えることを特徴とする光電式エンコーダ。 - 更に、前記光源から出射した光を前記スケールに照射する照射光学系を備え、
該光源から該照射光学系までの距離と該光源の大きさとに基づく光源側開口数と、前記光学格子から前記結像光学系までの距離と前記開口の大きさとに基づく検出側開口数とを比べて、該光源側開口数が該検出側開口数よりも小さいときには、
前記遮断空間周波数は該検出側開口数を前記光の波長で除した値であることを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。 - 前記光源側開口数がゼロとされていることを特徴とする請求項2に記載の光電式エンコーダ。
- 更に、前記光源から出射した光を前記スケールに照射する照射光学系を備え、
該光源から該照射光学系までの距離と該光源の大きさとに基づく光源側開口数と、前記光学格子から前記結像光学系までの距離と前記開口の大きさとに基づく検出側開口数とを比べて、該光源側開口数が該検出側開口数よりも大きいときには、
前記遮断空間周波数は該検出側開口数を2倍して前記光の波長で除した値であることを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。 - 前記結像光学系の光軸に対する前記スケールの配置誤差で生じる誤差角度に応じて、前記光源から前記照射光学系までの距離を短くする、若しくは該光源の大きさを大きくすることを特徴とする請求項4に記載の光電式エンコーダ。
- 前記照射光学系は、前記光源から出射された光の一部を透過させる前段開口が設けられた前段開口板、又は該光を屈折させる照明レンズを備えることを特徴とする請求項2乃至5のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記光源は前記スケールに対して前記結像光学系と同じ側に配置され、該結像光学系は該スケールで反射された光を結像することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、前記開口が設けられた開口板を備えることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、前記光学格子で変調された光を屈折させる結像レンズを備えることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、光軸上の1つの前記結像レンズの焦点位置に1つの前記開口板の開口を配置させる片側テレセントリック光学系とされていることを特徴とする請求項9に記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、光軸上の2つの前記結像レンズの間の焦点位置に1つの前記開口板の開口を配置させる両側テレセントリック光学系とされていることを特徴とする請求項9に記載の光電式エンコーダ。
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