JP2013135092A - トレンチゲート型半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基体の表面に設けたトレンチ溝にゲート電球が形成されたトレンチゲートを備えたIGBTにおいて、間隔が広いトレンチゲート間に設けられたフローティングp層をp+層を設けることにより低抵抗化し、抵抗を介しエミッタを接地する。これにより、キャリア蓄積効果を確保して低損失性を保つとともに、フローティングp層の低抵抗化によりノイズが低減できる。
【選択図】 図1
Description
101 コレクタ層
102 バッファ層
103 ドリフト層
104 ベース層
105 ゲート電極
106 ゲート絶縁膜
107 絶縁膜
108 エミッタ電極
109 エミッタ層
110 コンタクト層
111 エミッタ端子
112 ゲート端子
113 フローティングp層
114 抵抗
115 コレクタ端子
Claims (4)
- トレンチゲート型半導体装置において、
半導体基体内に位置する第1導電型の第1半導体層および前記第1半導体層と隣接する第2導電型の第2半導体層と、
前記半導体基体の一方の主表面から前記第2半導体層内に伸びる少なくとも2つの間隔を持つ複数のトレンチゲートと、
前記の隣り合う間隔の狭い前記トレンチゲートの間に位置する第1導電型の第3半導体層と、
前記第3半導体層内に位置し、前記トレンチゲートに接する第2導電型の第4半導体層と、
前記の隣り合う間隔の広い前記トレンチゲートの間に位置する第1導電型の第5半導体層と、
前記第3半導体層及び前記第4半導体層に電気的に接続する第1主電極と、
前記第1半導体層に電気的に接続する第2主電極とを備え、
前記の第5半導体層は、抵抗を介して前記第1主電極に電気的に接続され、前記第5半導体層を低抵抗化する低抵抗化手段を備えることを特徴としたトレンチゲート型半導体装置。 - 請求項1において、前記低抵抗化手段が、前記第5半導体層に設けられる、前記第5半導体層よりも高不純物濃度の第1導電型の半導体層であることを特徴とするトレンチゲート型半導体装置。
- 請求項1において、前記低抵抗化手段が、前記第5半導体層に電気的に接触するコンタクト電極であることを特徴とするトレンチゲート型半導体装置。
- 請求項1において、前記抵抗が前記の第5半導体層の表面に設けた多結晶シリコンからなる抵抗であることを特徴とするトレンチゲート型半導体装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10229969B2 (en) | 2015-06-09 | 2019-03-12 | Mitsubishi Electric Corporation | Power semiconductor device |
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2011
- 2011-12-27 JP JP2011284698A patent/JP2013135092A/ja active Pending
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